JPH0441924B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、例えば磁気テープの製造ラインに
おいて、塗布された塗膜の膜厚を測定する場合に
適用される膜厚装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は特願昭60−174609号公報に記載されて
いる従来の膜厚測定装置である。図において、１
は所定の速度で回転される回転軸、２は回転軸１
の面から所定の距離をあけて回転軸１と平行に設
けられた遮光板、３は回転軸１と密着して回転軸
１の速度と同じ速度で走行するシートと塗膜とか
らなる被測定部材で、所定の厚みの膜が設けられ
ている。４，５は所定の角度をなして配置されそ
れぞれレーザー光４ａ，５ａを発生するレーザー
光発生器、６は反射ミラーで、レーザー光４ａを
受けて回転軸１の表面と遮光板２との間を走査
し、レーザー光５ａを受けて被測定部材３と遮光
板２との間を走査するように制御される。７，８
は反射ミラー６で反射した各レーザー光４ａ，５
ａをそれぞれ集光するレンズ、９，１０は走査し
た各レーザー光４ａ，５ａを集光するレンズ、１
１，１２は受光器、１３，１４はカウンタ、１５
は演算器、１６は表示器である。

次に動作について説明する。レーザー光発生器
４，５から発射された各レーザー光４ａ，５ａは
反射ミラー６に入射され、いずれも同一の角速度
で走査される。反射した各レーザー光４ａ，５ａ
はそれぞれレンズ７，８で集光されて、第３図に
示すようにそれぞれギヤツプＡ，Ｂの位置でその
ビーム径が最小になつて、回転軸１に垂直な方
向、つまりギヤツプの方向に一定の速度で走査さ
れる。このとき、各受光器１１，１２には各ギヤ
ツプＡ，Ｂを各レーザー光４ａ，５ａが通過して
いる間だけ入射される。したがつて、受光器１
１，１２の出力信号はギヤツプＡ，Ｂの大きさに
比例した幅のパルス波形となる。これをカウンタ
１３，１４でパルスカウントしてパルス幅に相当
したカウント数が得られる。演算器１５ではこれ
らのカウント数から厚みを計算して表示器１６に
表示する。カウンタ１３のカウント数をａ、カウ
ンタ１４のカウント数をｂとすると、被測定部材
３の厚みt_xは(1)式で求められる。

t_x＝t_p（１−ｂ／ａ）……(1) 但し、t_pはギヤツプＡの大きさ（寸法）であ
る。こうして得られた被測定部材１の厚みからシ
ートの厚みを差引くことによつて膜厚が求められ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の膜厚測定装置は以上のように構成されて
おり、走査機構のフイードバツク制御が行なわれ
ていないため、走査される光ビームの移動速度が
一定とならず、１回の走査中にも速度が変動し、
その変動分が誤差となる欠点があつた。

この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、走査される光ビームの移動位
置および速度が一定になるようにフイードバツク
制御し、移動速度の変動による誤差を除去するこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る膜厚測定装置は、別のレーザー
光源を用いるかまたは、同一レーザー光源の出射
ビームを光分岐器で分岐して得られるいま１つの
光ビームを位置検出受光素子で位置検出し、その
信号と駆動源信号との差が０になるように走査機
構をフイードバツク駆動するものである。

〔作用〕

この発明における膜厚測定装置は、光ビームの
走査波形が、駆動源信号波形に等しくなるように
フイードバツク制御するため、走査速度が安定
し、測定精度の高い膜厚測定装置が得られる。

〔実施例〕

以下この発明の一実施例を図について説明す
る。第１図において、１〜１６は従来のものと同
様である。１７はレーザー光源で、レーザー光１
７ａを発射する。１８は入射された光ビームスポ
ツトの位置を電気信号に変換するPSD等の位置
検出受光素子、１９は増幅器、２０は反射ミラー
６を駆動する走査機構、２１は三角波を発生する
発振器で、走査機構２０の駆動信号源である。２
２は走査機構２０を駆動する駆動回路である。

次に動作について説明する。第１図において、
レーザー光源１７の出射光ビームは走査機構２０
に入射されて走査偏向され、位置検出受光素子１
８に入射される。位置検出受光素子１８は入射光
ビームスポツトの位置に対応する電気信号を出力
し、その信号は増幅器１９で増幅される。この信
号は走査機構２０の駆動回路２２に送られ、発振
器２１の出力信号と比較増幅され、その差が零に
なるように走査機構２０が駆動される。したがつ
て被測定ギヤツプを走査する光ビームはその動き
が常に駆動源三角波信号と一致するようにフイー
ドバツク駆動され、走査速度は一定となるので、
走査速度の変動に起因する誤差は生じない。

〔発明の効果〕

このようにこの発明によれば、走査する光ビー
ムの動きを位置検出受光素子で受光し、駆動源三
角波信号と等しくなるようにフイードバツク制御
するので、光ビームの走査速度が安定し、これに
起因する測定誤差が除去され、精度の高い膜厚測
定装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による膜厚測定装
置の構成図、第２図、第３図は従来の膜厚測定装
置の構成図である。 図において、１は回転軸、２は遮光板、３は被
測定部材、４，５，１７はレーザー光発生器、４
ａ，５ａ，１７ａはレーザー光、１８は位置検出
受光素子、２０は走査機構、２２は駆動回路であ
る。なお、各図中同一符号は同一又は相当部分を
示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 被測定膜がシートに塗布された被測定部材を
   回転軸で密着支持しながら走行させ、上記回転軸
   の面から所定の距離をあけて上記回転軸と平行に
   遮光板を設けて、上記被測定膜の表面と上記遮光
   板との間を第１のレーザー光を使つて反射ミラー
   で走査し、上記回転軸の表面と上記遮光板との間
   を第２のレーザー光を使つて上記反射ミラーで走
   査して上記被測定膜の膜厚を測定するものにおい
   て、第３のレーザー光を上記反射ミラーを介して
   位置検出受光素子に入射して光ビームスポツトの
   位置を電気信号で出力し、上記位置検出受光素子
   の出力と上記反射ミラーを駆動する走査機構の駆
   動信号とが一致するようにしたことを特徴とする
   膜厚測定装置。