JPH0441187Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、分子線結晶成長装置の改良に関す
る。

従来の技術 従来、第２図を伴なつて次に述べる構成を有す
る分子線結晶成長装置が提案されている。

すなわち、例えば液体窒素を用いた吸着用冷却
体２を内装している分子線結晶成長用室１を有
し、その分子線結晶成長用室１に、第１のバルブ
３′を介して、吸着用冷却体２と同様の吸着用冷
却体５を内装している室４が連結され、一方、そ
の室４に、第１の排気用ポンプ６′が連結されて
いる。この場合、第１の排気用ポンプ６′は、油
拡散型である。

また、排気用ポンプ６′に、第２のバルブ７′を
介して、第２の排気用ポンプ８が連結されてい
る。この場合、第２の排気用ポンプ８は、ロータ
リ型である。

以上が、従来、提案されている分子線結晶成長
装置の構成である。

このような構成を有する分子線結晶成長装置に
よれば、第１及び第２のバルブ３′及び７′を開に
した状態で、第１及び第２の排気用ポンプ６′及
び８を作動させることによつて、分子線結晶成長
用室１内を排気し、その分子線結晶成長用室１内
を、所要の真空度に保たせ、また、分子線結晶成
長用室１及び室４内の吸着用冷却体２及び４を冷
却させ、そして、そのような状態で、分子線結晶
成長用室１内で分子線を用いた結晶成長を行わせ
ることができる。また、このように分子線結晶成
長を行わせている間、分子線結晶成長用室１内に
おいて、吸着用冷却体２に、有毒物質や可燃性物
質を他の種々の物質などとともに吸着させること
ができる。また、室４内において、吸着用冷却体
５上に、第１の排気用ポンプ６′が油拡散型であ
ることにより、その第１の排気用ポンプ６′から
発生する油を、それが分子線結晶成長用室１内に
混入させることのないように、吸着させることが
できる。

さらに、上述した分子線結晶成長を行つて後、
分子線結晶成長用室１内の吸着用冷却体２の冷却
を停止させれば、吸着用冷却体２の温度が上昇
し、このため、吸着用冷却体２から、それまでの
間に付着していた有毒物質や可燃性物質などが、
ガス状に放出し、そして、そのガスを第１及び第
２の排気用ポンプ６′及び８を用いて排出させる
ことができる。

考案が解決しようとする問題点 しかしながら、第２図に示す従来の分子線結晶
成長装置の場合、第１及び第２の排気用ポンプ
６′及び８のいずれか一方または双方に異常（第
１の排気用ポンプのヒータの断線、第２の排気用
ポンプの電源の供給停止など）が発生した場合、
第１及び第２のバルブ３′及び７′を手動で閉にす
るようにした構成しか有しないため、分子線結晶
成長用室１に、第１の排気用ポンプ６′側からの
気体が逆流したり、さらには、第２の排気用ポン
プ８側からの気体が逆流したりして、分子線結晶
成長用室１が汚染される、というおそれを有して
いた。

また、第１の排気用ポンプ６′に故障が生じた
ことにより、例えばそれを取替えたりする場合に
おいて、室４や第１の排気用ポンプ６′及び第２
のバルブ７′間のガス路などが大気にさらされる
とき、それらの内壁に付着している不燃性物質の
ために、それらから火災が発生したりする、とい
うおそれを有していた。

さらに、第１の排気用ポンプ６′として油拡散
型の排気用ポンプを用いているため、吸着用冷却
体５を内装している室４を設けていても、第１の
排気用ポンプからの油が分子線結晶成長用室１内
に混入するおそれを有し、また、吸着用冷却体５
を内装している室４を設ける必要がある、という
欠点を有していた。

問題点を解決するための手段 よつて、本考案は、上述した欠点のない、新規
な分子線結晶成長装置を提案せんとするものであ
る。

本考案による分子線結晶成長装置は、次に述べ
る構成を有する。

すなわち、分子線結晶成長用室を有し、その分
子線結晶成長用室に、第１の常開バルブを介し
て、ターボ分子型であり且つ異常動作時そのこと
を表している第１の検出信号を出力する第１の排
気用ポンプが連結されている。

また、その第１の排気用ポンプに、第２の常開
バルブを介して、ロータリ型であり且つ異常動作
時そのことを表している第２の検出信号を出力す
る第２の排気用ポンプが連結されている。

さらに、上記第１の常開バルブと上記第１の排
気用ポンプとの間の第１のガス路に、第１の常閉
バルブを介して、第１の不活性ガス源が連結さ
れ、また、上記第２の常開バルブと上記第２の排
気用ポンプとの間の第２のガス路に、第２の常閉
バルブを介して、上記第１の不活性ガス源または
第２の不活性ガス源が連結されている。

さらに、上記第１及び第２の常開バルブが、上
記第１及び第２の排気用ポンプのいずれか一方ま
たは双方の異常動作時において、上記第１及び第
２の検出信号からのいずれか一方または双方にも
とずき電気制御系から得られる第１及び第２の制
御信号によつて、ともに、閉に制御されるように
構成されている。

また、上記第２の常閉バルブが、上記第１及び
第２の常開バルブが閉に制御された場合、その閉
の時点から僅かな予定の時間だけ遅れた時点か
ら、上記電気制御系からの第２の制御信号によつ
て、開に制御されるように構成されている。

作用・効果 本考案による分子線結晶成長装置によれば、第
２図で上述した従来の分子線結晶成長装置の場合
と同様に、分子線結晶成長用室を、第１及び第２
の排気用ポンプを用いて排気して、所要の真空度
に保たせ、そして、その状態で、分子線を用いた
結晶成長させることができる。また、この場合、
分子線結晶成長用室内の吸着用冷却体に、有毒物
質や可燃性物質を付着させることができる。ま
た、分子線結晶成長後、分子線結晶成長用室内の
吸着用冷却体に付着している有毒物質や、可燃性
物質を、第１及び第２の排気用ポンプを用いて排
出させることができる。

しかしながら、本考案による分子線結晶成長装
置によれば、第１及び第２の排気用ポンプのいず
れか一方または双方に異常が生じた場合、第１及
び第２の常開バルブが、電気制御系からの制御信
号によつて、直ちに、閉状態に制御されるので、
分子線結晶成長用室に汚染が生ずるおそれを有し
ない。

また、第１の排気用ポンプに故障が生じたこと
により、それを取替えたりする場合などにおい
て、第１の排気用ポンプが連結されるガス路の内
壁に付着している可燃性物質を排出させることが
できるので、そのガス路が大気にさらされても、
そのガス路から火災が発生するおそれがない。

さらに、第１の排気用ポンプとしてターボ型の
排気用ポンプを用いているので、第２図で上述し
た従来の分子線結晶成長装置の場合のように、第
１の排気用ポンプからの油によつて分子線結晶成
長用室に汚染が生ずるおそれを有したり、吸着用
冷却体を内装している室を別途設ける必要があつ
たりする、という欠点を有しない。

実施例 次に、第１図を伴なつて、本考案による分子線
結晶成長装置の実施例を述べよう。

第１図において、第２図との対応部分には同一
符号を付し詳細説明を省略する。

第１図に示す本考案による分子線結晶成長装置
は、第２図の場合と同様に、吸着用冷却体２を内
装している分子線結晶成長用室１を有し、その分
子線結晶成長用室１に、第１の常開バルブ３を介
して、第１の排気用ポンプ６が連結されている。
この場合、第１の常開バルブ３は、後述する電気
制御系３１からの制御信号によつて、閉に制御さ
れる構成を有する。また、第１の排気用ポンプ６
は、ターボ分子型であり、且つその異常動作時
（回転中になんらかの原因で回転停止したり、回
転むらが生じたるする時）、そのことを表してい
る検出信号を出力する構成を有する。

また、第１の排気用ポンプ６に、第２の常開バ
ルブ７を介して、第２の排気用ポンプ８が連結さ
れている。この場合、第２の常開バルブ７は、後
述する電気制御系３１からの制御信号によつて制
御される構成を有する。また、第２の排気用ポン
プ８は、ロータリー型であり、且つ第１の排気用
ポンプ６の場合と同様に、その異常動作時、その
ことを表している検出信号を出力する構成を有す
る。

さらに、第１の常開バルブ３と第１の排気用ポ
ンプ６との間のガス路２１に、第１の常閉バルブ
３２を介して、窒素ガスなどの第１の不活性ガス
源３３が連結されているとともに、真空計３４が
連結されている。この場合、第１の常閉バルブ３
２は、手動によつて、または、他の電気制御系
（図示せず）からの制御信号によつて開に制御さ
れる構成を有する。

また、第２の常開バルブ７と第２の排気用ポン
プ８との間のガス路２２に、第２の常閉バルブ３
５を介して、上述した第１の不活性ガス源３３ま
たは他の第２の不活性ガス源（図においては第２
の不活性ガス源３６）が連結されている。この場
合、第２の常閉バルブ３５は、その開閉が電気制
御系３１からの制御信号によつて、制御される構
成を有する。

さらに、上述した第１及び第２の排気用ポンプ
６及び８に、それらからそれぞれ得られる検出信
号を受けるように、電気制御系３１が接続されて
いる。この場合、電気制御系３１は、第１及び第
２の排気用ポンプ６及び８のいずれか一方または
双方が異常動作したとき、第１及び第２の常開バ
ルブ３及び７を、ともに、同時に、閉に制御する
制御信号を出力し、また、それら制御信号によつ
て、第１及び第２の常開バルブ３及び７が閉にな
つた時点から、わずかな予定の時間だけ遅れた時
点から、常閉バルブ３５を開に制御する制御信号
を出力する構成を有する。

以上が、本考案による分子線結晶成長装置の実
施例の構成である。

このような構成を有する本考案による分子線結
晶成長装置によれば、第１及び第２の排気用ポン
プ６及び８を動作させることによつて、分子線結
晶成長用室１を排気し、その分子線結晶成長用室
１内を、所要の真空度に保たせ、また、分子線結
晶成長用室１に内装している吸着用冷却体２を冷
却させ、そして、そのような状態で、詳細説明は
省略するが、第２図で上述した従来の分子線結晶
成長装置を用いる場合と同様に、分子線結晶成長
用室１内で、分子線を用いた結晶成長を行わせる
ことができる。また、このように分子線結晶成長
を行わせている間、分子線結晶成長用室１内にお
いて、吸着用冷却体２に、有毒物質や可燃性物質
を他の種々の物質などとともに、吸着させること
ができる。

さらに、上述した分子線結晶成長を行つて後、
分子線結晶成長用室１内の吸着用冷却体２の冷却
を停止させれば、吸着用冷却体２の温度が上昇
し、このため、吸着用冷却体２から、それまでの
間に付着していた有毒物質や可燃性物質などが、
ガス状に放出し、そして、それらのガスを第１及
び第２の排気用ポンプ６及び８を用いて排出させ
ることができる。

また、上述した分子線結晶の成長を行つている
とき、または上述したように有毒物質や可燃性物
質などを排出させているときに、なんらかの原因
で、第１及び第２の排気用ポンプ６及び８のいず
れか一方または双方に異常動作が生ずれば、第１
及び第２の常開バルブ３及び６が、電気制御系３
１からの制御信号によつて直ちに閉に制御され
る。このため、分子線結晶成長用室１に、第１の
排気用ポンプ６側からの気体が逆流したり、さら
には第２の排気用ポンプ８側からの気体が逆流し
たりして、分子線結晶成長用室１が汚染される、
というおそれがない。また、第１及び第２の常開
バルブ３及び６が閉に制御された時点から僅かに
遅れた時点から、第２の常閉バルブ３５が、電気
制御系３１からの制御信号によつて開に制御され
る。このため、不活性ガス源３６からの不活性ガ
スが、第２の常開バルブ７及び第２の排気用ポン
プ８間のガス路２２に満される。このため、第２
の排気用ポンプ８からの、それに用いている潤滑
油などが、第２の常開バルブ７及び第２の排気用
ポンプ８間のガス路２２に付着されることから回
避される。

さらに、第１の排気用ポンプ６に故障が生じた
ことにより、例えばその第１の排気用ポンプ６を
取替えたりする場合、第１の常開バルブ３を閉に
し、また、第２の常開バルブ７を開にし、そし
て、第２の排気用ポンプ８を作動状態にさせた状
態で、第１の常閉バルブ３３を開にすることによ
つて、第１の常開バルブ３及び第１の排気用ポン
プ６間のガス路２１を排気することができる。こ
のため、ガス路２１，２２，２３及び排気用ポン
プ６の周りに予めヒータ（図示せず）を配置して
おき、そして、それによつて、ガス路２１，２
２，２３及び排気用ポンプ６を加熱させれば、第
１の常開バルブ３及び第２の排気用ポンプ８間の
ガス路２１の内壁に可燃性物質が付着していて
も、それをガス化して、第２の排気用ポンプ８に
よつて排気させることができる。よつて、そのよ
うな排気を行つて後、第１の排気用ポンプ６を取
替えるときに、第１の常開バルブ３及び第１の排
気用ポンプ６間のガス路２１や、第１の排気用ポ
ンプ６及び第２の常閉バルブ８間のガス路２３が
大気にさらされた場合でも、それらガス路２１及
び２３から火災が発生したりする、というおそれ
を有しない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案による分子線結晶成長装置の
実施例を示す一部断面略線図である。第２図は、
従来の分子線結晶成長装置を示す一部断面略線図
である。 １……分子線結晶成長用室、２……吸着用冷却
体、３，７……常開バルブ、６，８……排気用ポ
ンプ、３１……電気制御系、３２，３５……常閉
バルブ、３３，３６……不活性ガス源。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 分子線結晶成長用室を有し、 上記分子線結晶成長用室に、第１の常開バルブ
   を介して、ターボ分子型であり且つ異常動作時そ
   のことを表している第１の検出信号を出力する第
   １の排気用ポンプが連結され、 上記第１の排気用ポンプに、第２の常開バルブ
   を介して、ロータリ型であり且つ異常動作時その
   ことを表している第２の検出信号を出力する第２
   の排気用ポンプが連結され、 上記第１の常開バルブと上記第１の排気用ポン
   プとの間の第１のガス路に、第１の常閉バルブを
   介して、第１の不活性ガス源が連結され、 上記第２の常開バルブと上記第２の排気用ポン
   プとの間の第２のガス路に、第２の常閉バルブを
   介して、上記第１の不活性ガス源または第２の不
   活性ガス源が連結され、 上記第１及び第２の常開バルブが、上記第１及
   び第２の排気用ポンプのいずれか一方または双方
   の異常動作時において、上記第１及び第２の検出
   信号からのいずれか一方または双方にもとずき電
   気制御系から得られる第１及び第２の制御信号に
   よつて、ともに、閉に制御され、 上記第２の常閉バルブが、上記第１及び第２の
   常開バルブが閉に制御された場合、その閉の時点
   から僅かな予定の時間だけ遅れた時点から、上記
   電気制御系からの第２の制御信号によつて、開に
   制御されるように構成されていることを特徴とす
   る分子線結晶成長装置。