JPH0441169A - Disk polishing method - Google Patents

Disk polishing method

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Publication number
JPH0441169A
JPH0441169A JP14430090A JP14430090A JPH0441169A JP H0441169 A JPH0441169 A JP H0441169A JP 14430090 A JP14430090 A JP 14430090A JP 14430090 A JP14430090 A JP 14430090A JP H0441169 A JPH0441169 A JP H0441169A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
pressure roller
polishing
contact
pressurizing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14430090A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shotaro Hiwatari
樋渡 正太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP14430090A priority Critical patent/JPH0441169A/en
Publication of JPH0441169A publication Critical patent/JPH0441169A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent a polishing unevenness by making the movement of a pressurizing roller soft-landing on the disk surface with its crawling immediately before the pressurizing roller abutting on the disk surface by a variable speed motor. CONSTITUTION:Pressurizing rollers 10a, 10b are displaced at a high speed by a variable speed motor 17 until just before their abutment on a disk 1 and can be subjected to soft landing on the disk 1 by displacing them with crawling while displacing them from just before their abutment on the disk 1 until the positional state that the specific pressurizing force acts. Namely since the abutment of the pressurizing rollers 10a, 10b on the disk 1 is not performed impactly, the bound and vibration of the pressurizing rollers 10a, 10b due to the face deflection accompanied by the rotation of the disk 1 are not caused. The polishing unevenness on the surface of the disk 1 can thus be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁気ディスク、光ディスク等からなる記録媒
体としてのディスクの表面を研摩加工す[従来の技術] 磁気ディスクの製造工程において、スパッタリング等の
手段で記録面に磁性体を塗布する前の段階て、この磁気
ディスクの表面を研摩加工する、所謂テクスチャ加工か
行われる。このテクスチャ加工は、ディスクの表面に研
摩テープを当接させて、磁粒を噴射しながら、ディスク
を回転駆動することによって、ディスク表面の円周方向
に微小な傷を付けるようにするものである。
Detailed Description of the Invention [Industrial Field of Application] The present invention involves polishing the surface of a disk as a recording medium, such as a magnetic disk or an optical disk. [Prior Art] In the manufacturing process of a magnetic disk, sputtering, etc. Before the magnetic material is applied to the recording surface by means of the method described above, the surface of the magnetic disk is polished, so-called texturing. This texture processing involves placing an abrasive tape in contact with the surface of the disk and rotating the disk while ejecting magnetic particles, thereby creating minute scratches in the circumferential direction of the disk surface. .

前述した研摩テープのディスク表面への押し付けは、通
常、加圧ローラを用いて行われるようになっており、該
加圧ローラはシリンダ等の駆動手段に平行板ばねを介し
て連結されており、この駆動手段によって加圧ローラを
ディスク表面に押し付ける方向に変位させて、平行板ば
ねな撓めることによって所定の押し付は力を発揮させる
ようにしている。
The above-mentioned pressing of the abrasive tape onto the disk surface is usually performed using a pressure roller, and the pressure roller is connected to a driving means such as a cylinder via a parallel leaf spring. This drive means displaces the pressure roller in the direction of pressing it against the disk surface, and by bending the parallel plate spring, a predetermined pressing force is exerted.

[考案か解決しようとする課題] ここて、ディスクの表面における研摩加工は、その性質
上、ディスク表面全体にわたって均一なものとなってい
なければならない。然るに、前述した従来技術によって
研摩加工を行うと、肉眼ては識別し得ない程度てはある
が、研摩むらか発生する。この研摩むらは、通常、ディ
スク表面における放射方向に複数条の縞模様の傷、即ち
傷の濃淡縞として現れることになる。特に、ディスクの
回転時に面振れ等があると、この傷の濃淡縞の発生はさ
らに著しくなる。
[Problem to be invented or solved] Due to its nature, the polishing process on the surface of the disk must be uniform over the entire surface of the disk. However, when polishing is performed using the above-mentioned conventional technique, polishing unevenness occurs, although it is not noticeable to the naked eye. This polishing unevenness usually appears as a plurality of striped scratches in the radial direction on the disk surface, that is, dark and light stripes of scratches. In particular, if there is surface runout or the like during rotation of the disk, the occurrence of dark and light stripes due to scratches becomes even more noticeable.

そこで、本発明者は、この研摩むらの発生原因について
研究したところ、加圧ローラによって研摩テープをディ
スクの表面に押し付ける際に衝撃が加わり、しかも加圧
ローラとその駆動手段との間には、該加圧ローラのディ
スク表面に対する押し付は力を発揮させるためのばねか
介装されていることから、加圧ローラのディスクへの当
接時に該平行板ばねが振動して、加圧ローラかディスク
表面上をバウンドしたり、振動したりすることにより研
摩テープによって付けられる傷か部分的に大きくなるこ
とにより生しるものである、との知見を得て本発明を完
成するに至った。
Therefore, the inventor of the present invention researched the cause of this uneven polishing and found that when the pressure roller presses the abrasive tape against the surface of the disk, an impact is applied, and there is a gap between the pressure roller and its driving means. Since a spring is interposed to exert force when the pressure roller presses against the disk surface, the parallel leaf spring vibrates when the pressure roller comes into contact with the disk, causing the pressure roller to press against the surface of the disk. The present invention was completed based on the knowledge that the scratches caused by the abrasive tape are caused by the abrasive tape partially enlarging as it bounces or vibrates on the disk surface.

従って、本発明の目的とするところは、ディスクの表面
における研摩加工を行うに当って、その表面に放射方向
における研摩むらか発生するのを防止することができる
ディスク研摩方式を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a disk polishing method that can prevent uneven polishing from occurring in the radial direction on the surface of the disk when polishing the surface. .

[課題を解決するための手段] 前述した目的を達成するために、本発明は、磁気ディス
ク、光ディスク等の記録媒体としてのディスクの表面を
研摩加工するための研摩テープをディスクの表裏両面に
押し付けるための一対の加圧ローラと、該各加圧ローラ
を前記ディスクに押し付ける方向に変位させるための可
変速モータとを備え、前記モータによって前記加圧ロー
ラを前記ディスク表面に当接させる直前に、該加圧ロー
ラの移動を微速化させて、該ディスク表面にソフトラン
チインクさせるようにしたことをその特徴とするもので
ある。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method of pressing an abrasive tape on both the front and back surfaces of the disk for polishing the surface of the disk as a recording medium such as a magnetic disk or an optical disk. a pair of pressure rollers, and a variable speed motor for displacing each pressure roller in a direction in which it is pressed against the disk, and immediately before the motor brings the pressure roller into contact with the disk surface, The feature is that the movement of the pressure roller is slowed down to produce soft launch ink on the disk surface.

[作用] このような構成を採用することによって、加圧ローラに
よる研摩テープのディスク表面への押し付は時に嘉接痕
や打痕等が発生して、研摩むらか生しるのを防止するこ
とができる。また、加圧ローラの変位ストロークにおけ
るディスクに当接する直前まては高速て変位させ、該デ
ィスクへの当接直前で減速して、微速化するように制御
することによって、その加工速度、効率の維持を図るこ
とかできる。
[Function] By adopting such a configuration, pressing of the abrasive tape against the disk surface by the pressure roller can prevent contact marks, dents, etc. from occurring, resulting in uneven polishing. be able to. In addition, the machining speed and efficiency can be improved by controlling the displacement stroke of the pressure roller so that it is displaced at high speed just before it comes into contact with the disk, and then decelerated just before it comes into contact with the disk. It is possible to try to maintain it.

[実施例1 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
[Embodiment 1] Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings.

まず、第1図及び第2図に本発明の方式を実施するため
の装置の概略構成を示す。
First, FIGS. 1 and 2 show a schematic configuration of an apparatus for implementing the method of the present invention.

同図において、1は磁気ディスク等のように円環状の記
録媒体としてのディスクを示し、該ディスク1はスピン
ドル2にクランプされて、回転駆動せしめられるように
なっている。そして、このディスク1を回転駆動する間
に、研摩テープ3を表裏両面に押し付けることによって
、その研摩加工か行われる。この研摩テープ3をディス
ク1に押し付けるために、一対の加圧ローラ10a 、
 10bか用いられる。
In the figure, reference numeral 1 indicates a disk as an annular recording medium such as a magnetic disk, and the disk 1 is clamped by a spindle 2 and driven to rotate. While the disk 1 is rotationally driven, the polishing process is performed by pressing the polishing tape 3 on both the front and back surfaces. In order to press this abrasive tape 3 onto the disk 1, a pair of pressure rollers 10a,
10b is used.

これら加圧ローラ10a 、 10bは、ブラケット1
1a、llbによって回転自在に支承されており、この
ブラケットlla、llbは支持ブロック12a。
These pressure rollers 10a and 10b are attached to the bracket 1
It is rotatably supported by brackets 1a and llb, and these brackets lla and llb are support blocks 12a.

12bに取り付けられている。そして、この支持ブロッ
ク12a 、 12bは、平行板ばね13a、13bを
介してスライドブロック14a 、 14bに連結され
ている。スライドブロック14a、14bはポールナツ
ト15a 、 15bに取り付けられており、また該各
ボールナット15a 、 15bにはボールねし16が
挿通されており、該ボールねじ16はモータ17によっ
て回転駆動せしめられるようになっている。さらに、1
8はボールナツト15a 、 15bをガイドするガイ
ドレールである。
12b. The support blocks 12a, 12b are connected to slide blocks 14a, 14b via parallel plate springs 13a, 13b. The slide blocks 14a, 14b are attached to pole nuts 15a, 15b, and a ball screw 16 is inserted through each ball nut 15a, 15b, and the ball screw 16 is driven to rotate by a motor 17. It has become. Furthermore, 1
8 is a guide rail that guides the ball nuts 15a and 15b.

ここで、モータ17は、可変速モータからなり、このモ
ータ17を作動させて、ボールねじ16を回転駆動する
と、ポールナツト15a、15bは相互に近接・離間す
る方向にスライド変位せしめられるようになっている。
Here, the motor 17 is composed of a variable speed motor, and when the motor 17 is operated to rotate the ball screw 16, the pole nuts 15a and 15b are slid in the direction of approaching or separating from each other. There is.

本発明は前述した装置構成によってディスク1の表面を
テクスチャ加工するものであるが、次にその研摩方法に
ついて説明する。
The present invention textures the surface of the disk 1 using the above-described apparatus configuration.Next, the polishing method will be described.

まず、加圧ローラ10a 、 10bにそれぞれ研摩テ
ープ3を当接させて、第2図に示したように、相互に離
間させた状態に保持させておき、この加圧ローラ10a
、10b間にディスク1を配置する。
First, the abrasive tape 3 is brought into contact with the pressure rollers 10a and 10b, respectively, and the pressure rollers 10a and 10b are kept separated from each other as shown in FIG.
, 10b.

この状態て、スピンドル2によってディスク1を回転駆
動すると共に、モータ17を作動させることによって、
ボールねし16を回転させる。この結果、ポールナツト
15a 、 15bは相互に近接する方向に変位して、
該ポールナツト15a、15bに連結されている加圧ロ
ーラ10a、10bか相互に近接する方向に変位するこ
とになって、研摩テープ3かディスク1の表裏両面に当
接せしめられる。そこて、この研摩テープ3に磁粒を含
む研摩液を供給しながら、該研摩テープ3を第2図に矢
印て示した方向に送ることによって、該ディスク1の表
面が研摩されて、円周方向に微小な傷を生じさせるテク
スチャ加工が行われる。
In this state, by rotating the disk 1 with the spindle 2 and operating the motor 17,
Rotate the ball screw 16. As a result, the pole nuts 15a and 15b are displaced toward each other, and
The pressure rollers 10a, 10b connected to the pole nuts 15a, 15b are displaced in a direction closer to each other, so that the abrasive tape 3 is brought into contact with both the front and back surfaces of the disk 1. Then, by feeding the polishing tape 3 with a polishing liquid containing magnetic particles and sending the polishing tape 3 in the direction shown by the arrow in FIG. 2, the surface of the disk 1 is polished and the circumference is A texture process is performed that creates minute scratches in the direction.

ここで、加圧ローラ10a、10bによる研摩テープ3
のディスク1への当接時において、例えば2 kg/c
n+乃至5 kg/cm程度の所定の加圧力を加える必
要があるが、この加圧力は平行板ばね13a。
Here, the abrasive tape 3 by the pressure rollers 10a and 10b is
For example, 2 kg/c when in contact with the disk 1
It is necessary to apply a predetermined pressing force of about n+ to 5 kg/cm, and this pressing force is applied to the parallel leaf spring 13a.

13bを所定量撓ませることにより得られる。It is obtained by bending 13b by a predetermined amount.

而して、このモータ17の作動による加圧ローラ10a
、10bの変位ストロークは、第3図に示したように、
該加圧ローラ10a、10bがディスク1に当接する直
前までは高速で移動させる。そして、これら加圧ローラ
1.Oa、10bがディスク1に当接する直前の位置で
、その変位速度を落とし、微速てディスク1に当接させ
る。そして、この加圧ローラ10a、10bがディスク
1に当接した後においてもその変位を継続させて、平行
板ばね13a。
Therefore, the pressure roller 10a due to the operation of this motor 17
, 10b, as shown in FIG.
The pressure rollers 10a, 10b are moved at high speed until just before they contact the disk 1. These pressure rollers 1. At a position immediately before Oa and 10b contact the disk 1, the displacement speed is reduced and the Oa and 10b are brought into contact with the disk 1 at a very slow speed. Even after the pressure rollers 10a, 10b come into contact with the disk 1, the displacement continues, and the parallel plate spring 13a.

13bか前述した所定量撓む状態にまて変位させること
によって、該ディスク1を加圧ローラ10a。
By displacing the disc 13b to a state where it is bent by the predetermined amount described above, the disc 1 is moved to the pressure roller 10a.

10bて挟み込ませてこの平行板ばね13a、13bの
作用により加圧する。
10b, and pressurized by the action of the parallel leaf springs 13a, 13b.

このように、加圧ローラ10a、10bのディスク1に
当接する直前まては高速て変位させ、該ディスク1に当
接する直前から所定の加圧力か作用する位置状態にまて
変位させる間は微速で変位させるようにすることによっ
て、加圧ローラloa。
In this way, the pressure rollers 10a and 10b are displaced at high speed until they come into contact with the disk 1, and are moved at a slow speed from just before they come into contact with the disk 1 until they are displaced to a position where a predetermined pressing force is applied. By displacing the pressure roller loa.

10bをディスク1にソフトランディングさせることか
てきて、該ディスク1への当接時に衝撃か加わったり、
平行板ばね13a、13bの戻りによってバウンドした
り、振動したりすることがなく、このディスク1に当接
痕、打痕等による放射方向の傷の濃淡縞か出来る不都合
は生じない。また、ディスクlの回転時に面振れかあっ
ても、前述した如く、加圧ローラ10a 、 10bの
ディスク1への当接が衝撃的に行われるものてはないこ
とから、この面振れによる加圧ローラ10a 、 10
bのバウンドなり振動なりを生しることはない。しかも
、加圧ローラ10a、10bのディスク1への当接直前
まては高速で変位するようになっており、従って、該加
圧ローラ10a 、 10bの微速域はその変位ストロ
ーク全体から見れば極〈僅かなものであるから、加工速
度が落ちるという不都合はない。
10b to make a soft landing on the disk 1, and when it comes into contact with the disk 1, a shock may be applied,
There is no bounce or vibration caused by the return of the parallel leaf springs 13a, 13b, and there is no inconvenience that the disk 1 will have dark and light stripes of scratches in the radial direction due to contact marks, dents, etc. Furthermore, even if there is surface runout when the disk l rotates, the pressure rollers 10a and 10b do not come into contact with the disk 1 in an impactful manner, as described above, so the pressure due to this surface runout is Rollers 10a, 10
There is no bounce or vibration of b. Furthermore, the pressure rollers 10a, 10b are displaced at high speed just before they come into contact with the disk 1, so the slow speed range of the pressure rollers 10a, 10b is extremely small in terms of their entire displacement stroke. (Since the amount is small, there is no problem of slowing down the processing speed.

なお、前述した実施例においては、ディスク1のテクス
チャ加工を行う場合について説明したか、これ以外でも
、例えばラッピング等、ディスり1の表面研摩を行う場
合全体に適用することかできる。
In the above-mentioned embodiment, the case where the texture processing of the disk 1 is performed has been explained, but the present invention can also be applied to the entire case where the surface of the disk 1 is polished, such as lapping, for example.

〔発明の効果] 以上説明したように、本発明においては、モータによっ
て加圧ローラをディスク表面に当接させる直前に、該加
圧ローラの移動を微速化させることによって、該ディス
ク表面にソフトランデインクさせるようにしたので、デ
ィスクの表面研摩を行うに当って加圧ローラのディスク
への当接時に衝撃が加わることがなくなって、このディ
スクにおける研摩むらが発生するおそれはない。
[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, by slowing down the movement of the pressure roller immediately before the motor brings the pressure roller into contact with the disk surface, a soft landing is created on the disk surface. Since the ink is applied, no impact is applied when the pressure roller contacts the disk during surface polishing of the disk, and there is no risk of uneven polishing occurring on the disk.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本発明の一実施例を示すものてあって、ローラ、
13a 、 13b :平行板ばね、Ila 、 ll
b ニブラケット、12a 、 12b :支持ブロッ
ク、13a。 13b:平行板ばね、14a 、 14b ニスライト
ブロック、15a 、 15b :ボールナット、16
:ボールねし、17:モータ。
The drawings show one embodiment of the present invention, and include rollers,
13a, 13b: Parallel leaf spring, Ila, ll
b Bracket, 12a, 12b: Support block, 13a. 13b: Parallel leaf spring, 14a, 14b Nisrite block, 15a, 15b: Ball nut, 16
:Ball, 17:Motor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 磁気ディスク、光ディスク等の記録媒体としてのディス
クの表面を研摩加工するための研摩テープをディスクの
表裏両面に押し付けるための一対の加圧ローラと、該各
加圧ローラを前記ディスクに押し付ける方向に変位させ
るための可変速モータとを備え、前記モータによって前
記加圧ローラを前記ディスク表面に当接させる直前に、
該加圧ローラの移動を微速化させて、該ディスク表面に
ソフトランデイングさせるようにしたことを特徴とする
ディスク研摩方式。
A pair of pressure rollers for pressing an abrasive tape on both the front and back sides of the disk for polishing the surface of a disk as a recording medium such as a magnetic disk or an optical disk, and each pressure roller is displaced in the direction of pressing the disk against the disk. a variable speed motor for bringing the pressure roller into contact with the disk surface, and immediately before the motor brings the pressure roller into contact with the disk surface,
A disk polishing method characterized in that the movement of the pressure roller is slowed down to cause a soft landing on the disk surface.
JP14430090A 1990-06-04 1990-06-04 Disk polishing method Pending JPH0441169A (en)

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JP14430090A JPH0441169A (en) 1990-06-04 1990-06-04 Disk polishing method

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010007822A (en) * 2000-10-02 2001-02-05 이성목 Equipment a rise automatic of rotative speed for grindstone

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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