JPH044088A - 蒸留水送水装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蒸留水を生成して所望の位置に送水する蒸留
水送水装置に係り、特に半導体等のような電子部品、医
薬品等を製造する際に必要な水を得るのに好適なものに
関する。

〔従来の技術〕

従来の種の蒸留水送水装置にあっては、大別すると、蒸
発部と凝縮部と送水手段とを有し、蒸発部により水を加
熱して水蒸気を生成すると、該水蒸気を凝縮部が冷却す
ることにより蒸留水を生成し、その蒸留水が送水手段に
よって所望位置に送水されるように構成されている。送
水手段としてはポンプで構成されており、蒸留水を所定
の圧力に昇圧して送水している。

なお、この種の装置として関連するものには例えば「原
料用ハンドブック（幸書房　大火　晴彦著）」の１８１
頁に記載されているものが挙げられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、上記に示す従来技術は、蒸留水を生成する凝
縮部内の圧力が大気圧（約１ｋｇｆ／ｄ）以下であるの
で、生成した蒸留水をそのまま送水することができず、
蒸留水を一旦貯水槽に蓄え、その貯水槽の蒸留水を送水
手段としてのポンプにそって昇圧して高所等の所望位置
に送水するようにしている。

しかしながら、ポンプを用いると、該ポンプの摺動部等
から微粒子等が発生し、そのため、微粒子が蒸留水を汚
染してしまうと云う問題がある。

この問題を解消しようとすると、ポンプの吐出側に微粒
子を除去するためのフィルタを設けることが容易に−考
えられるが、そのようにした場合、フィルタを交換した
り、また必要に応じて洗浄したりする必要があるので、
メインテナンスが問題となる。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、ポンプ
を用いなくとも高所にも確実に送水することができ、し
かも蒸留水が汚染されるのを確実に防止できる蒸留水送
水装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明においては、送水手段
として、加圧用気体が供給されることによって蒸留水を
送水し得るエゼクタで構成したことに特徴を有している
。

〔作用〕

前述の如く、本発明では、送水手段がエゼクタで構成さ
れ、該エゼクタによって蒸留水を昇圧させて送水するよ
うに構成したので、高所にも確実に蒸留水を供給するこ
とができる。しかも、エゼクタを使用すると、ポンプを
用いた従来技術に比べ、ポンプのような摺動部がないの
で、微粒子が発生することがなく、蒸留水が汚染される
のを確実に防ぐことができるばかりでなく、フィルタ等
のように微粒子を除去する手段が不要になり、メインテ
ナンスが良好となる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図及び第２図により説明す
る。第１図は本発明の第一の実施例を示す蒸留水送水装
置の概略配管図である。

第１図に示す蒸留水送水装置は、原水Ａが原水ライン１
を経て蒸留器２に供給されている。

蒸留器２は、内部に伝熱管３を内蔵した部屋を形成して
おり、原水Ａが送り込まれると、伝熱管３によって過熱
されることにより、水蒸気Ａ１を生成するようにしてい
る。また蒸留器２の上部には該蒸留器２内の水蒸気Ａ１
を送り込むためにエゼクタ４が設置されている。エゼク
タ４は、後述するボイラ５から加圧用気体としての水蒸
気Ａ２が送り込まれると、蒸留器２内の水蒸気Ａ１を連
れ出して伝熱管３内を流れるようになっている。

そのため、エゼクタ４は高圧側の取込み口が第一の連結
管６を介しボイラ５の蒸気取出し口に接続されると共に
、低圧側の取込み口が連結管７を介し蒸留器２の蒸気取
出し口に接続され、かつ吐出側が伝熱管３の一端に接続
されている。

そして、水蒸気Ａ１がエゼクタ４によって蒸留器２内の
伝熱管３を通っている間、その水蒸気Ａ１が蒸留器２内
の原水Ａと熱交換されることにより水蒸気に変換される
ようにしている。

従って、この蒸留器２は水を加熱して水蒸気を生成する
ための蒸発部と、その水蒸気を冷却して蒸留水を生成す
るための凝縮部とが一体的に形成されている。

一方、ボイラ５は下部に加熱装置８を有し、原水Ａの一
部が供給されると、加熱装置８によって加熱されること
により、水蒸気Ａ２を生成するようにしている。

さらに、伝熱管３を経た水蒸気は送水手段により昇圧さ
れて送水されるようにしている。前記送水手段としては
エゼクタ９で構成され、該エゼクタ９はボイラ５からの
水蒸気Ａ２が供給されることにより蒸留水を所定の圧力
に昇圧して所望の位置に送水するようにしている。その
ため、エゼクタ９の高圧側の取込み口が第二の蒸気管１
０を介しボイラ５の蒸気取出し口に接続されると共に、
低圧側の取込み口が伝熱管３の他端に接続されている。

また、蒸留器２及びボイラ５に夫々供給された原水Ａ内
の不純物の濃度が上がるのを防止するための排水ライン
（符示せず）が設けられている。

該排水ラインはボイラ５内の原水Ａを蒸留器２に送り込
む第一の排出管１１と、蒸留器２内の原水Ａを外部に排
水するための第二の排出管１２とを有し、これら第一、
第二の排出管１１．１２によってボイラ５内の原水Ａを
蒸留器２に、また蒸留器２内の原水Ａを外部に排水する
ことにより、ボイラ５及び蒸留器２内の原水Ａを蒸発さ
せたときに原水Ａに含まれる不純物の濃度が高まるのを
防止するようにしている。

実施例の蒸留水送水装置は、上記の如く、送水手段とし
てエゼクタ９を用い、該エゼクタ９によって蒸留水を昇
圧させて送水するように構成したので、高所にも確実に
蒸留水を供給することができる。しかも、エゼクタ９を
使用すると、ポンプを用いた従来技術に比べ、ポンプの
ような摺動部がないので、微粒子が発生することがなく
、蒸留水が汚染されるのを確実に防ぐことができるばか
りでなく、フィルタ等のように微粒子を除去する手段が
不要になり、メインテナンスが良好となる。

また図示実施例では、ボイラ５がエゼクタ９のみならず
エゼクタ４にも水蒸気Ａｌ、Ａ２を夫々供給するので、
ボイラ５を有効に活用することができる。

第２図は本発明の他の実施例を示す蒸留水送水装置の概
略配管図である。

第２図に示す蒸留水送水装置は、加熱装置２３を設けた
蒸発部２２が設置され、該蒸発部２２内で原水ライン２
１を経て送り込まれた原水Ａが加熱されることにより水
蒸気Ａ１を生成するようにしている。一方、蒸発部２２
には蒸気流通路２４を介し凝縮部２５が連結されている
。凝縮部２５には冷却装置２６が設けられ、蒸発部２２
からの水蒸気Ａ１が冷却装置２６と熱交換されることに
よって蒸留水を生成し、その生成した蒸留水を凝縮部２
５の内側下部に貯水している。冷却装置２６は冷却媒体
が冷却管を通るように構成されている。そして、凝縮部
２５の低部が連結管２８を経て送水手段としてのエゼク
タ２７に接続され、該エゼクタ２７によって凝縮部２５
内の蒸留水を所定の圧力に昇圧して所望位置に送水する
ようにしている。

この場合、エゼクタ２７に供給する加圧用気体としては
、蒸留水に対して悪影響のないもの１例えば窒素ガス或
いはアルゴンガス等のような不活性ガス２９を用いてお
り、図示しない供給源によってエゼクタ２７に送り込ま
れるようにしている。

この実施例によれば、凝縮部２５内の蒸留水をエゼクタ
２７によって送水するので、基本的には第一の実施例と
同様の作用効果を得ることができる。

なお、本例では図示していないが、蒸発部２２内の原水
Ａに含まれる不純物の濃度が高まるのを防ぐため、第一
の実施例と同様に、蒸発部２２内の原水を排水するため
の排水ラインを設けても良いのは勿論である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、送水手段としてエ
ゼクタを用い、該エゼクタによって蒸留水を昇圧させて
送水するように構成したので、ポンプを使用しなくとも
、高所にも確実に蒸留水を供給することができ、しかも
、ポンプを使用しないので、蒸留水が汚染されるのを確
実に防止できると共にメインテナンスが良好となる結果
、それだけ信頼性を高め得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第一の実施例を示す蒸留水送水装置の
概略配管図、第２図は本発明の他の実施例を示す蒸留水
送水装置の概略配管図である。 Ａ・・・原水、Ａｌ、Ａ２・・・水蒸気、２・・・蒸留
器、３・・・伝熱管、５・・・ボイラ、９・・・送水手
段としてのエゼクタ、２２・・・蒸発部、２５・・凝縮
部、２７・・・送■ 図 １ρ −エ仁゛フク 舅 目 ２５−ぷり茗訂

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、水を加熱して水蒸気を生成する蒸発部と、該蒸発部
   の水蒸気を冷却して蒸留水を生成する凝縮部と、該凝縮
   部の蒸留水を所定の圧力に昇圧して所望位置に送水する
   送水手段とを有する蒸留水送水装置において、前記送水
   手段を、加圧用気体が供給されることによつて蒸留水を
   送水し得るエゼクタで構成したことを特徴とする蒸留水
   送水装置。 ２、請求項１において、前記エゼクタに供給する加圧用
   気体に、蒸気を用いることを特徴とする蒸留水送水装置
   。 ３、請求項１において、前記エゼクタに供給する加圧用
   気体に、不活性ガスを用いることを特徴とする蒸留水送
   水装置。