JPH044055U - - Google Patents
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- JPH044055U JPH044055U JP4230990U JP4230990U JPH044055U JP H044055 U JPH044055 U JP H044055U JP 4230990 U JP4230990 U JP 4230990U JP 4230990 U JP4230990 U JP 4230990U JP H044055 U JPH044055 U JP H044055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask plate
- thin film
- substrate
- hole
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るマスク板の部分拡大断
面図、第２図はマスク板および基板の固定方式を
説明するための説明図、第３図および第４図は薄
膜の形成過程を示す図であつて第３図はスパツタ
リング開始前の状態を示す概略部分断面図、第４
図はスパツタリング終了時の概略部分断面図、第
５図は具体例における薄膜パターンを示す図、第
６図はスパツタリング装置の模式図、第７図は基
板およびマスク板の固定方式を示す斜視図、第８
図はマスク板の反りを説明するための模式的な断
面図である。 １……マスク板、２……マスク穴、３……マス
ク穴の周縁部、５……セラミツク基板、８……Ｐ
ｔ薄膜。
面図、第２図はマスク板および基板の固定方式を
説明するための説明図、第３図および第４図は薄
膜の形成過程を示す図であつて第３図はスパツタ
リング開始前の状態を示す概略部分断面図、第４
図はスパツタリング終了時の概略部分断面図、第
５図は具体例における薄膜パターンを示す図、第
６図はスパツタリング装置の模式図、第７図は基
板およびマスク板の固定方式を示す斜視図、第８
図はマスク板の反りを説明するための模式的な断
面図である。 １……マスク板、２……マスク穴、３……マス
ク穴の周縁部、５……セラミツク基板、８……Ｐ
ｔ薄膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基板上に形成すべき薄膜と同形状の貫通穴が形
成されるとともにその基板の表面に密着させて固
定される薄膜形成用マスク板において、 少なくとも前記貫通穴の周縁部が前記基板に接
する面側に弾性的に反つていることを特徴とする
薄膜形成用マスク板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4230990U JPH044055U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4230990U JPH044055U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044055U true JPH044055U (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=31553744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4230990U Pending JPH044055U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044055U (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP4230990U patent/JPH044055U/ja active Pending
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