JPH0438652U - - Google Patents
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- JPH0438652U JPH0438652U JP8041890U JP8041890U JPH0438652U JP H0438652 U JPH0438652 U JP H0438652U JP 8041890 U JP8041890 U JP 8041890U JP 8041890 U JP8041890 U JP 8041890U JP H0438652 U JPH0438652 U JP H0438652U
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- JP
- Japan
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- liquid metal
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- holding device
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- Pending
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- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第1図は本考案の液体金属イオン源チツプ保持
装置が使用される半導体素子製造装置の一例の概
略構成図、第2図a,bは本考案の液体金属イオ
ン源チツプ保持装置の一実施例を示す平面図及び
側面図、第3図は同保持装置の作用を示す説明図
、第4図a,bはチツプ保持装置の他の例を示す
平面図及び側面図、第5図a,bは従来のチツプ
保持装置の部分断面平面図及び側面図である。 1……イオン源チツプ、21,22……チツプ
保持具。
装置が使用される半導体素子製造装置の一例の概
略構成図、第2図a,bは本考案の液体金属イオ
ン源チツプ保持装置の一実施例を示す平面図及び
側面図、第3図は同保持装置の作用を示す説明図
、第4図a,bはチツプ保持装置の他の例を示す
平面図及び側面図、第5図a,bは従来のチツプ
保持装置の部分断面平面図及び側面図である。 1……イオン源チツプ、21,22……チツプ
保持具。
Claims (1)
- 液体金属イオン源となるチツプを、複数個の弾
性的な変形が生じ得る形状に製作したチツプ保持
具により保持し、チツプ保持具が熱膨脹したとき
該保持具自身が弾性により撓むことにより、その
熱膨脹を吸収するようにしたことを特徴とする液
体金属イオン源チツプ保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8041890U JPH0438652U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8041890U JPH0438652U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0438652U true JPH0438652U (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=31625460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8041890U Pending JPH0438652U (ja) | 1990-07-27 | 1990-07-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0438652U (ja) |
-
1990
- 1990-07-27 JP JP8041890U patent/JPH0438652U/ja active Pending
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