JPH0322353U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0322353U JPH0322353U JP8378289U JP8378289U JPH0322353U JP H0322353 U JPH0322353 U JP H0322353U JP 8378289 U JP8378289 U JP 8378289U JP 8378289 U JP8378289 U JP 8378289U JP H0322353 U JPH0322353 U JP H0322353U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- center
- disk
- wafer
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
Description
第1図は本考案実施例の要部縦断面図で、第2
図は、第1図の−矢視図である。第3図は本
考案の他の実施例の要部縦断面図である。 1……デイスク、1a……凹部(熱交換部)、
2……パイプ(熱伝導路)。
図は、第1図の−矢視図である。第3図は本
考案の他の実施例の要部縦断面図である。 1……デイスク、1a……凹部(熱交換部)、
2……パイプ(熱伝導路)。
Claims (1)
- イオン注入装置等において複数枚のウエハを所
定位置に保持するためのデイスクであつて、壁体
内部に、各ウエハを保持する部分の熱をそれぞれ
中央部に導くための複数本の熱伝導路を形成する
とともに、その中央部には、導かれた熱を外部に
放出する熱交換部を形成したことを特徴とする、
ウエハ保持デイスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8378289U JPH0322353U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8378289U JPH0322353U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0322353U true JPH0322353U (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=31631738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8378289U Pending JPH0322353U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0322353U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006181478A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Fuji Xerox Engineering Co Ltd | 細断処理装置および紙詰まり除去方法 |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP8378289U patent/JPH0322353U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006181478A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Fuji Xerox Engineering Co Ltd | 細断処理装置および紙詰まり除去方法 |