JPH028030U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH028030U JPH028030U JP8425988U JP8425988U JPH028030U JP H028030 U JPH028030 U JP H028030U JP 8425988 U JP8425988 U JP 8425988U JP 8425988 U JP8425988 U JP 8425988U JP H028030 U JPH028030 U JP H028030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer holding
- holding jig
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である半導体製造
装置のウエハ保持治具の横断面図、第２図はこの
考案の他の実施例を示すウエハ保持治具の横断面
図、第３図は従来のウエハ保持治具の斜視図、第
４図は第３図の横断面である。 図において、１はウエハ保持治具、２はウエハ
、１１，１２は保持棒、１３は凸形状の溝部、１
４は溝部、１５は連結棒を示す。なお、図中、同
一符号は同一、または相当部分を示す。
装置のウエハ保持治具の横断面図、第２図はこの
考案の他の実施例を示すウエハ保持治具の横断面
図、第３図は従来のウエハ保持治具の斜視図、第
４図は第３図の横断面である。 図において、１はウエハ保持治具、２はウエハ
、１１，１２は保持棒、１３は凸形状の溝部、１
４は溝部、１５は連結棒を示す。なお、図中、同
一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体製造装置に使用するウエハ保持治具に於
いて、このウエハ保持治具により高温に保持され
たチヤンバー内へウエハを出入れする際、ウエハ
の熱膨張をその治具がさまたげない点接触とした
ことを特徴とする半導体製造装置のウエハ保持治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8425988U JPH028030U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8425988U JPH028030U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH028030U true JPH028030U (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=31308956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8425988U Pending JPH028030U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH028030U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970030251A (ko) * | 1995-11-30 | 1997-06-26 | 김광호 | 반도체장치 제조용 확산로의 배플 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP8425988U patent/JPH028030U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970030251A (ko) * | 1995-11-30 | 1997-06-26 | 김광호 | 반도체장치 제조용 확산로의 배플 |