JPH0437788A - レーザ描画装置 - Google Patents

レーザ描画装置

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Publication number
JPH0437788A
JPH0437788A JP14488290A JP14488290A JPH0437788A JP H0437788 A JPH0437788 A JP H0437788A JP 14488290 A JP14488290 A JP 14488290A JP 14488290 A JP14488290 A JP 14488290A JP H0437788 A JPH0437788 A JP H0437788A
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JP
Japan
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laser beams
scanning
laser
acousto
horizontal
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Application number
JP14488290A
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English (en)
Inventor
Sakuya Tamada
作哉 玉田
Masanobu Yamamoto
山本 真伸
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザビームを用いて被描画媒体にパターン
情報を描画するレーザ描画装置に関し、特にレーザビー
ムを用いてテレビジョン画像等を表示するレーザ描画装
置に用いて好適なものである。
〔発明の概要〕
本発明は、レーザ描画装置において、一定の周期で連続
的に送られてくるパターン情報信号を上記一定の周期に
基いて複数列の互いに連続するパターン情報信号に変換
する変換手段と、該変換手段からの複数列のパターン情
報信号成分により変調された同一波長の複数本のレーザ
ビームを同時に水平方向に偏向させる1つの水平偏向手
段とを有すると共に、上記複数本のレーザビームを空間
的に分離させて、1つの被描画媒体に上記複数本のレー
ザビームを同時にかつ互いに並列に走査させるように構
成することにより、高速の水平ラスクー走査が必要であ
る場合においても、高分解能の水平ラスター走査が可能
で、しかも、装置自体の小型化をも図れることができる
ようにしたものである。
〔従来の技術〕
強度変調されたレーザビームを、水平及び垂直方向に2
次元的にラスク走査して、例えばテレビジッン画像を表
示するレーザ描画袋!がある。
そして、このレーザ描画装置のレーザビームの走査方式
として、回転多面鏡を用いた機械方式があるが、この回
転多面鏡を用いた機械方式には、以下の欠点がある。
(i)回転多面鏡を回転駆動するモータの軸振れ等によ
る振動が発生する。
(j)回転多面鏡の回転による風切り音等の騒音が発生
する。
(iii)回転多面鏡の軸受の耐久性に問題がある。
(tv)上述した回転駆動モータの回転の立ち上がりが
速みやかでは無いので、クイック・スタートが困難であ
る。
(v)回転駆動モータの回転安定性に問題があるため、
時間ジッターが発生する。
以上のような欠点を有する機械方式のレーザビーム走査
方式に対して、機械的な駆動部分の無い音響光学偏向器
を用いた音響光学走査方式が、例えば、「音響光学偏向
器を使用したラスタ走査型レーザデイスプレィ装置」 
(電子通信学会論文詰第58巻C3第4号1975年第
209真〜第216頁)に記載されている。
第6図は、上述した音響光学偏向器を使用したラスタ走
査型レーザデイスプレィ装置の一例の概略図である。
図において、レーザ光源(21)から出射されたレーザ
ビームはビーム絞り込みレンズ(22)を介して細く絞
り込まれ、音響光学光強度変調器(23)に供給される
。この光強度変調器(23)は、音響光学媒体に印加さ
れる超音波の強度を変えて、レーザビームがこの超音波
によって回折される効率を変化させることで、回折レー
ザビームの強度を変調するものである。そして、この光
強度変調器(23)に、輝度信号が供給され、レーザビ
ームが映像信号に応じて光強度変調される。そして、こ
の光強度変調器(23)から出射した強度変調されたレ
ーザビームは、ビーム拡大レンズ(24)を介して、所
定の太さのレーザビームに変換された後、水平走査用音
響光学偏向器(25)に供給される。
この音響光学偏向器(25)は、音響光学媒体(25a
)の−面に、圧電効果を利用した超音波発生器(25b
)が取付けられた構造となっており、この超音波発生器
(25b)に高周波発生器(25c)からの電圧が印加
されることで音響光学媒体(25a)に超音波振動の進
行波が作られる。この時、高周波発振器(25c)の発
振周波数が低い場合には波長が長い進行波が作られ、発
振周波数が高い場合には波長の短い進行波が作られる。
そして、音響光学偏向器(25)に供給されたレーザビ
ームは、音響光学媒体(25a)に導かれて、超音波振
動の進行波と遭遇され、この進行波によって、回折され
て、偏向を受ける。この時、超音波振動の進行波の波長
が短い程大きな偏向を受けるので、高周波発振器(25
c)の発振周波数を低い周波数から高い周波数へ鋸歯状
に繰り返し掃引することで、音響光学偏向器(25)か
ら出射するレーザビームは、偏向を受けて偏向走査を繰
り返す水平走査レーザビームとなる。
ここで、高分解能の画像を投影するには、音響光学偏向
器(25)に入射させるレーザビームの径を太くする必
要がある。然るに、ビーム径が太い場合、音響光学媒体
(25a )中の超音波振動の進行波の伝達速度が有限
であるため、入射したレーザビームの超音波発生器(2
5b)に近い部分と遠い部分では、遭遇する超音波の周
波数が異なり、偏向角度がビーム径の位置によって異な
る。つまり、超音波発生器(25b)に近い部分では、
高い周波数の超音波に遭遇して大きな偏向を受け、遠い
部分では低い周波数の超音波に遭遇して小さな偏向を受
けるので、あたかもシリンドリカルレンズを透過させた
如くに、レーザビームは平行ビームとはならずに、集光
して偏向される。これをシリンドリカルレンズ効果と呼
んでいる。
そして、音響光学偏向器(25)から出射され、偏向走
査を繰り返す水平走査レーザビームとなったレーザビー
ムは、補正シリンドリカルレンズ(26)に供給される
。この補正シリンドリカルレンズ(26)は、上述のシ
リンドリカルレンズ効果を補正するためで、これを透過
したレーザビームは再び平行なレーザビームとなって、
水平偏向走査を繰り返す。
そして、この補正シリンドリカルレンズ(26)を透過
した水平偏向レーザビームは、垂直走査用音響光学偏向
器(27)に供給される。この音響光学偏向器(27)
は、水平走査用音響光学偏向器(25)と同じ構造を有
するもので、音響光学媒体(27a)の−面に、圧電効
果を利用した超音波発生器(27b)が取付けられ、高
周波発振器(27c)からの電圧を印加することで光学
媒体(27a)に超音波振動の進行波を作り、高周波発
振器(27c)の発振周波数を低い周波数から高い周波
数へ鋸歯状に繰り返し掃引して、入射したレーザビーム
を垂直方向に繰り返し偏向させるものである。
なお、垂直偏向の走査繰り返し回数は例えば、毎秒60
回と、上述した水平偏向に比べて遅いので、音響光学偏
向器(27)でのシリンドリカルレンズ効果は無視でき
る。
そして、この音響光学偏向器(27)から出射された水
平および垂直の二次元偏向走査を繰り返すレーザビーム
は拡大投影レンズ(28)および(29)を介してスク
リーン(30)上に投影される。この拡大投影レンズ(
28)および(29)は偏向器での偏向角度がわずか2
°程度で極めて小さくこのままでは、スクリーン(30
)上での画面サイズが大きくならない為、実用的なスク
リーンサイズに描画サイズを拡大させる目的で用いてい
る。
このようにしてスクリーン(30)上にレーザビームが
ラスター走査されて、且つこの水平、垂直偏向に同期し
て光強度変調器(23)へ映像信号が与えられることで
テレビジョン画像が表示可能となる。
そして、上述のような音響光学偏向器を使用したレーザ
デイスプレィ装置の場合、機械方式のものと比較して、
振動や騒音が無く、耐久性にも優れ、クイック・スター
トも容易で、時間ジッターも無い、また、小型軽量とな
る利点も有している。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで音響光学偏向器(25)は、上述したように、
音響光学媒体(25a)の−面に超音波発生器(25b
)を貼り付けてこの媒体(25a)中に超音波の進行波
を作り、この媒体(25a)中に入射した光をこの超音
波で回折させて光の出射方向を変えるものである。
そして、この超音波の振動数が高い程、つまり超音波の
波長が短い程偏向される光の角度は大きくなる。したが
って、この音響光学偏向器(25)を用いてレーザビー
ムをラスタ走査させる場合は、超音波の振動周波数を(
低い値から高い値へあるいは高い値から低い値へ)掃引
する必要がある。
ここで、大きな偏向走査角度を得るにはこの超音波の周
波数の掃引幅Δfを大きくすれば可能であるが、高周波
数帯域では超音波の減衰が顕著になる為実用的でなく限
界がある。通常は走査角度は2度程度の極めて小さな値
しか得ることができない、したがって、描画する際には
上述したように投影レンズ(28) 、 (29)を用
いてこの走査角度を拡大投影する必要が有るが、拡大比
に応じてビーム径も拡大する為に画像の分解能、つまり
一走査線当りのビームスポット径の連り数Nは拡大比に
無関係となって、 N=xDΔf / 2 vcosθ で決まる。
二こで、Dはレーザビームの径、■は超音波の媒体(2
5a)中の音速、θは走査中心角が入射レーザビームと
なす角度である。
したがって、高分解能の画像を得る為には音響光学媒体
(25a)に入射させるレーザビームの径を大きくする
必要がある。しかしながら、ビーム径を太き(すると走
査速度が遅くなる欠点がある。
これは、ビーム径を超音波が伝播するのに時間を費やす
為である。この偏向方向を切換るに必要な時間をτとす
ると、 τ=πD / 2 vcosθ で表され、ビーム径に比例して時間τが大きなものとな
ってしまう。
すなわち、高速走査と高分解能の描画とは相反する関係
になっている。
したがって従来の音響光学偏向器を使用したレーザデイ
スプレィ装置においては、例えば水平解像度320本、
走査線数525本/フレームのNTSCテレビジョン方
式の描画が限界であって、これを上まわった、例えば水
平走査線1125本のハイビジョンテレビ方式への適用
は不可能であった。
本発明は、このような点に鑑み成されたもので、その目
的とするところは、ハイビジョンテレビ方式のように高
速の水平ラスクー走査が必要である場合においても、高
分解能の水平ラスター走査が可能で、しかも装置自体の
小型化をも図ることができるレーザ描画装置を提供する
ことにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のレーザ描画装置(A)は、一定の周期で連続的
に送られてくるパターン情報信号■1を上記一定の周期
に基いて複数列の互いに連続するパターン情報信号V!
s−1及びvoに変換する変換手段(1)と、この変換
手段(1)からの複数列のパターン情報信号成分により
変調された同一波長の複数本のレーザビーム1tn−1
及び15を同時に水平方向に偏向させる1つの水平偏向
手段(3)とを有すると共に、これら複数本のレーザビ
ームI!1〜1及び!□を空間的に分離させて、1つの
被描画媒体(7)に上記複数本のレーザビームf1m−
1及び11を同時にかつ互いに並列に走査させるように
構成する。
〔作 用〕
上述の本発明の構成によれば、一定の周期で連続的に送
られて(るパターン情報信号■、を複数列の互いに連続
するパターン情報信号■、−1及び■1に変換し、この
複数列のパターン情報信号成分により夫々変調された同
一波長の複数本のレーザビームj!!*−1及び2□を
1つの水平偏向手段(3)で水平偏向し、更にこれら複
数本のレーザビーム2わ−、及びilを空間的に分離さ
せて、1つの被描画媒体(7)に同時にかつ互いに並列
に走査させるようにしたので、水平ブランキング期間T
、を少なくとも1水平走査期間T分又はそれ以上延長さ
せることができ、ハイビジョンテレビ方式の如く高速の
水平ラスター走査が必要な場合においても、水平ブラン
キング期間T、内においてレーザビームl tn−1及
びI!、を走査開始点まで帰還させることが十分可能と
なり、被描画媒体(7)に高分解能の水平ラスター走査
を行なわしめることができる。
また、1つの水平偏向手段(3)で複数本のレーザビー
ムl tn−+及び1.を同時に水平偏向させるように
したので、部品点数が削減され、装置自体の小型化が実
現できる。
〔実施例] 以下、第1図〜第5図を参照しながら本発明の詳細な説
明する。
第1図は、本実施例に係るレーザ描画装置(A)を示す
構成図である。この図において、(1)は、ある一定の
周期で連続的に送られてくるパターン情報信号、例えば
映像信号■1を2列の互いに連続する映像信号”1a−
1及び■、に変換するパラレル変換回路である。この回
路(1)の構成及び動作については後述する。
そして、上記パラレル変換回路(1)から出力される2
列の映像信号vt□、及びvlを対応する2つのレーザ
ダイオードD、及びD2に夫々供給し、各レーザダイオ
ードD1及びり、から上記各映像信号V2R−1及び■
hの信号成分により変調された2本の同一波長のレーザ
ビームl□−1及び12Rを出射する。各レーザダイオ
ードD、及びDiから出射される2本の垂直方向に偏光
されたレーザビーム12□1及びNZnは、シリンドリ
カルレンズCL、及びCL、に互いに平行に供給される
と共に、シリンドリカルレンズCL、に供給されて水平
方向に偏光され、更に1/2波長板(2)に供給される
ことによって、各レーザビーム12.1及び!2、の偏
光面が90°回転して水平方向に変換される。このとき
、各レーザビームZ 1m−+及びltnの断面形状は
、水平走査方向にのみ拡大した扁平形となる。その後、
シリンドリカルレンズCL。
及びCL、に順次供給されて、各レーザビーム!1−1
及び!21の断面形状は更に扁平化され、各レーザビー
ムf!++−1及び!、の配列ピッチも更に狭くなされ
る。このレーザビームlz−+及びl!、。
の扁平度並びに配列ピンチは、後述する音響光学偏向器
(3)のレーザビーム入射側の開口幅により決定される
。即ち、2本のレーザビームl 1n−1及び1.が音
響光学偏向器(3)の開口(図示せず)内に入射できる
ように、各レーザビーム!4 !*−1及びl!++の
扁平度並びに配列ピンチが設定される。その後、各レー
ザビームlN、、−1及び!2..は、シリンドリカル
レンズCL、を介して音響光学偏向器(3)に供給され
る。このシリンドリカルレンズCL。
は、音響光学偏向器(3)のシリンドリカルレンズ効果
を打消す(補正する)ものであり、各レーザビームI!
2m−1及び!!7は、このシリンドリカルレンズCL
&を通ることによって、互いに平行に音響光学偏向器(
3)に入射され、音響光学偏向器(3)の音響光学媒体
(3a)内において発生する超音波振動の進行波によっ
て、水平方向に偏向される。尚、(3b)は超音波発生
器である。水平偏向された2本のレーザビームl tn
−1及び11は、シリンドリカルレンズCL、とCL9
及びシリンドリカルレンズCL、とCL +。によって
、水平方向及び垂直方向の各ビーム径と角倍率が変換さ
れて、各レーザビームlい、及び10の断面形状はほぼ
円形となる。その後、各レーザビーム72!a−1及び
j!!*をガルバノミラ−(4)に入射させて、このガ
ルバノミラ−(4)の振れにより、各レーザビームf!
 !*−1及び!!、、を垂直方向に偏向させる。この
時、2本のレーザビーム2、−1及び!2、が空間的に
分離されるようになし、更に2本のレーザビームに−1
及び!2..を互いに非平行となるようにする必要があ
る。
この為一方のみのレーザビームIl、又は!2(図示の
例では!、)の光路中にウェッジプリズムWPを挿入す
るか、はじめから両ビームをわずかに非平行となるよう
にDオ、CL、を設置する。そして、ガルバノミラ−(
4)で垂直偏向された2本のレーザビーム11−5及び
10をミラー(5)および投影用レンズ(6)を介して
スクリーン(7)に入射させる。このとき、スクリーン
(7)には、2本のレーザビーム10−8及びltmが
同時にかつ並列に入射される。
スクリーン(7)に入射したレーザビーム1−tn−+
及び!!7は、上記音響光学偏向器(3)とガルバノミ
ラ−(4)による水平偏向と垂直偏向により、ラスター
走査が行なわれ、スクリーン(7)上に画像を描画する
このように、本例では、パラレル変換回路(1)におい
て、連続する映像信号■1を2列の互いに連続する映像
信号V、、、及びVtmに変換してレーザダイオードD
1及びDtに供給し、各レーザダイオードD、及びD2
において、上記2列の映像信号Vz、−,及び■、に基
いて夫々レーザビームlア。
及びEtaを出射するようにしているため、例えば全水
平走査ラインのうち、一方のレーザダイオードD+に奇
数ラインに関する映像信号Vffi++−1を供給し、
他方のレーザダイオードDtに偶数ラインに関する映像
信号■2゜を供給すれば、第3図に示すように、1つの
表示期間tで2ライン分の映像信号V□−1及び■2.
.により変調された2本の走査線m、−1及びmoを同
時に描画することができる。
ここで、通常は、第2図に示すように、1水平走査期間
T内に1本の走査線mを走査させるわけだが本例では、
第3図に示すように、走査線m 、、−。
及びm1間のピッチをplとした場合、上記例では同時
に2本の走査線m0−1及びm5が走査することから、
実質的な水平走査ピッチpvに対し、上記p1が−pv
 となるように例えばり、、CL!の設置角、またはウ
ェッジプリズムWPの設置角θを差動マイクロメータま
たは、圧電素子等を用いたフィードバックサーボ系等を
用いて設定すればよい。また、その他の既知の手段によ
り設定することも可能である。
次に、本例に係るパラレル変換回路(1)の構成とその
動作を第4図及び第5図に基いて説明する。
このパラレル変換回路(1)は、第4図に示すように、
一定の周期T(例えば、NTSC方式であれば水平走査
期間63.5μ5eC1水平ブランキング期間10.9
μsec )で連続的に送られてくるアナログの映像信
号■、をデジタルの映像信号■、に変換するA/D変換
器(11)と、上記アナログ映像信号■1から水平同期
信号S、を分離させる同期分離回路(12)と、上記A
/D変換器(11)からの映像信号■、を2列の互いに
連続する映像信号Vd1a−1及びV4tアとして分離
し格納する第1及び第2のラインメモリ(13a)及び
(13b)  と、各ラインメモリ(13a)及び(1
3b)からの映像信号V 4 t ll−1及びV4t
nをアナログ映像信号Vt、−、及びVtnに夫々変換
するD/A変換器(14a)及び(14b)と、上記同
期分離回路(12)からの水平同期信号shに基いて、
各回路に必要なりロックパルスを供給する制御クロック
発生器(15)とを有する。尚、(16)は、音響光学
偏向器(3)に掃引信号fを供給する掃引信号発生器、
(17)は、掃引信号発生器(16)から出力される掃
引信号fの出力タイミングを所定時間遅延させる遅延回
路である。
そして、第5図に示すように、一定周期Tで連続的に送
られてくる映像信号V、のうち、例えば第1走査線に関
する映像信号Val (第5図A参照)を第1の表示期
間t1において、制御クロック発生器(15)からのA
/Dクロックパルスpdllに基いてA/D変換器(1
1)にてデジタル映像信号Va+に変換すると共に、制
御クロック発生器(15)からの書込みクロックパルス
P。、に基いて、上記デジタル映像信号Vd、を例えば
第1のラインメモリ(13a)に書込む(第5図り参照
)。次に、第2走査線に関する映像信号■4□(第5図
A参照)を第2の表示期間t2において、A/D変換器
(11)にてデジタル映像信号V4Zに変換すると共に
、制御クロンク発生器(15)からの書込みクロックパ
ルスpwtに基いて上記映像信号■4□を第2のライン
メモリ(13b)に書込む(第5図C参照)0次に、第
3の表示期間t3において、制御クロック発生器(15
)からの読出しクロックパルスpr+及びPrzに基い
て各ラインメモリ(13a)及び(13b)から第1走
査線及び第2走査線に関する映像信号V□及びVtzを
読出しく第5図り及びE参照)、制御クロック発生器(
15)からのD/Aクロックパルスp。に基いて、夫々
D/A変換器(14a)及び(14b)を介してアナロ
グ映像信号■tイー、及びVz−(V+及びVZ)に変
換したのち(第5図■及びJ参照)、該アナログ映像信
号V!m−1及び■、を後段のレーザダイオードD+及
びD2に供給し、各レーザダイオードD、及びD2から
レーザビーム2□、、−1及び2t、。
(!1及びi!2)を夫々の映像信号成分により変調し
て出射させる。この出射期間は1表示期間t3に相当す
る。また、この第3の表示期間t3において、上記の如
く第1のラインメモリ(13a)から第1走査線に関す
る映像信号V4.を読出すと同時に、この第1のライン
メモリ(13a)にデジタル変換された第3走査線に関
する映像信号■4.を書込む(第5図C参照)。
一方、遅延回路(17)は、同期分離回路(12)から
の信号5xb(水平同期信号S、の2倍の周期を存する
信号;第5図C参照)の入力に基いて、ある一定時間t
4の経過後に出力がオンとされる遅延信号S6を出力す
る(第5図に参照)。この遅延信号S4は、内部タイマ
ー等により次の水平ブランキング期間時にオフされる。
そして、この遅延信号S4に基いて、掃引信号発生器(
16)から音響光学偏向器(3)に対し、掃引信号fを
出力する(第5図り参照)、この掃引信号fは、周波数
を低周波から高周波に掃引してなる鋸歯状の波形を有し
、その出力期間Tfは上記遅延信号S4の出力期間T4
と同しに設定される。特に本例では、レーザダイオード
D、及びD2のレーザビームI−、、−、及びltnの
出射に合わせて、音響光学偏向器(3)における音響光
学媒体(3a)内での超音波波長の空間分布が常に1次
式、所謂リニア・アクセス・モード(LAM)となるよ
うに、掃引信号fの周波数変化量Δfを設定する。即ち
、上記の例では、第1走査線と第2走査線に関するレー
ザビーム!t、。
及び15がレーザダイオードD1及びD2から出射され
た段階でリニア・アクセス・モード(LAM)となるよ
うにして、各レーザビームj! 1n−1及び1.を互
いに均一に水平偏向できるようにし、次の第4の水平ブ
ランキング期間114でその掃引を終了させる。
そして、次の第4の表示期間L4で第4走査線に関する
デジタル映像信号Vd4を第2のラインメモリ(13b
)に書込み(第5図C参照)、次の第5の表示期間t、
で各ラインメモリ(13a)及び(13b)から第3走
査線及び第4走査線に関する映像信号VaS  及びV
44を読出しく第5図F及びG参照)、夫々D/A変換
器(14a)及び(14b)を介してアナログ映像信号
V、−1及びVt−(Vs及びV、)に交換したのち(
第5図■及びJ参照)、該映像信号VZ*−1及び■1
をレーザダイオードD1及びD!に供給し、このレーザ
ダイオードD1及びD2から第3走査線及び第4走査線
に関するレーザビームj! !n−1及び1t−(i3
及び14)を出射させる。
もちろん、この第5の表示期間tSにおいても、音響光
学偏向器(3)がリニア・アクセス・モードに入るよう
になされる。また、この第5の表示期間t、においで、
第5走査線に関する映像信号Vasが映像信号vitの
読出しと共に第1のラインメモリ(3a)に書込まれる
(第5図H参照)。
尚、音響光学偏向器(3)が1表示期間(例えば期間t
、)内においてリニア・アクセス・モード(LAM)に
入るようにするためには、その前の表示期間(例えば期
間t2)にかかる遅延時間t6を適宜調整すればよい。
そして、上記動作を順次繰返すことによって、2本の並
列するレーザビーム!□□、及び!hがスクリーン(7
)上において順次ラスター走査され、このラスター走査
により、スクリーン(7)に画像が描画される。
上述の如く、本例によれば、一定の周期Tで連続的に送
られてくる映像信号■、を2列の互いに連続する映像信
号Vt++−1及びV□に変換し、この2列の映像信号
Vtm−1及びVlmの信号成分により夫々変調された
同一波長の2本のレーザビーム1 !a−1及び11を
1つの音響光学偏向器(3)で水平偏向し、更にこれら
2本のレーザビーム10〜1及びIl□をシリンドリカ
ルレンズCL q〜CL、、にて空間的に分離させたの
ち、1つのガルバノミラ−(4)で垂直偏向して、1つ
のスクリーン(7)に同時にかつ並列に走査させるよう
にしたので、実質的な水平ブランキング期間が第3図に
示すように入力映像信号■、における1表示期間1.と
その前後の水平ブランキング期間t。1及びt 111
Kを合わせた長さT、になり、レーザビームl !a−
1及びIl!、、の帰線に関し、余裕をもたせることが
できる。
即ち、通常、音響光学偏向器(3)は、そのレーザビー
ムに対する偏向特性からビームの径に比例して高分解能
の水平ラスター走査が可能となるが、その反面、走査速
度が遅くなるため、特にその帰線期間を長くとる必要が
ある。ところが、本例の場合、水平ブランキング期間T
、を少なくとも1水平走査期間T分又はそれ以上延長さ
せることができ、しかも、その水平ブランキング期間T
、を帰線期間として利用するため、ビーム径をより大き
く設定することが可能となり、高分解能の水平ラスター
走査を実現させることができる。従って、高速の水平ラ
スター走査が必要である例えばHDTVにおいても、ビ
ーム径を大きくとることができ、高分解能の水平ラスタ
ー走査が可能となる。
ところで、分解能(リニア・アクセス・モードにおける
分解本数)は、次式、 N=□ τ (1−τ/T)  Δf    ・・・(
1)γ で求まる。ここでγ=4/π−1,27、τは帰線期間
内におけるビームの偏向終了点から偏向開始点までの期
間、本例では第5図で示すように、遅延時間t4に相当
する。Tは水平走査期間、Δfは周波数帯域である。そ
して、例えばτ−30u sec、us −60μse
c 、Δf−70MHzに設定した場合、N−1650
本となり、HDTVに適用させることが可能であること
がわかる。
また、1つの音響光学偏向器(3)で2本のレーザビー
ムl Zni及びlいを同時に水平偏向させるようにし
たので、部品点数が削減され、装置自体の小型化も実現
させることができると共に、最小限のレンズ系で容易に
水平走査線を均一に描画させることも可能となる。
なお、上記実施例は、2本のレーザビームl!a−1及
びltmに対し適用した例を示したが、もちろん2本以
上のレーザビームに対しても通用させることができる。
また垂直偏向手段としてガルバノミラ−(4)を用いた
が、その他音響光学偏向器やポリゴンミラー等を用いて
もよい。
〔発明の効果〕
本発明に係るレーザ描画装置によれば、ハイビジランテ
レビ方式のように高速の水平ラスター走査が必要である
場合においても、高分解能の水平ラスター走査が可能で
、しかも装置自体の小型化をも図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本実施例に係るレーザ描画装置を示す構成図、
第2図は通常の水平走査の一例を示す説明図、第3図は
本例による水平走査の一例を示す説明図、第4図は本例
に係るパラレル変換回路を示すブロック線図、第5図は
本例に係るパラレル変換回路の動作を示すタイムチャー
ト、第6図は従来例に係るレーザ描画装置を示す構成図
である。 (A)はレーザ描画装置、(1)はパラレル変換回路、
(2)は1/2波長板、(3)は音響光学偏向器、(4
)はガルバノミラ−1(5)はミラー、(6)は投影用
レンズ、(7)はスクリーン、DI及びD2はレーザダ
イオード、CL、〜CL、。はシリンドリカルレンズで
ある。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 一定の周期で連続的に送られてくるパターン情報信号を
    上記一定の周期に基いて複数列の互いに連続するパター
    ン情報信号に変換する変換手段と、該変換手段からの複
    数列のパターン情報信号成分により変調された同一波長
    の複数本のレーザビームを同時に水平方向に偏向させる
    1つの水平偏向手段とを有すると共に、上記複数本のレ
    ーザビームを空間的に分離させて、1つの被描画媒体に
    上記複数本のレーザビームを同時にかつ互いに並列に走
    査するようにしてなるレーザ描画装置。
JP14488290A 1990-06-01 1990-06-01 レーザ描画装置 Pending JPH0437788A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003084707A (ja) * 2001-09-11 2003-03-19 Ricoh Co Ltd 光走査型画像表示装置
WO2013095556A1 (en) * 2011-12-22 2013-06-27 Intel Corporation Configuration of acousto-optic deflectors for laser beam scanning

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