JPH04362187A - タンタルへの白金コーティング - Google Patents
タンタルへの白金コーティングInfo
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- JPH04362187A JPH04362187A JP3162017A JP16201791A JPH04362187A JP H04362187 A JPH04362187 A JP H04362187A JP 3162017 A JP3162017 A JP 3162017A JP 16201791 A JP16201791 A JP 16201791A JP H04362187 A JPH04362187 A JP H04362187A
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Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Electrodes For Compound Or Non-Metal Manufacture (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、不溶性電極等に用いら
れるタンタルへの白金コーティングに関するものである
。
れるタンタルへの白金コーティングに関するものである
。
【０００２】
【従来の技術とその問題点】従来、タンタルへの白金電
気めっきを施すにはタンタル表面を粗す前処理を行い、
均一な被覆面を得るのと密着性をより高めるために特開
昭５３−８２６２５号公報、特開昭５３−８２６６４号
公報に白金ストライク浴として硫酸系の浴を用い、白金
ストライクめっきした後、白金電気めっきを施すことで
達成されることが記載されている。しかし、高電流を負
荷して電解するような電極として用いるには密着力が不
十分であり、使用中に白金が剥がれてしまうことが生じ
やすく、信頼性に欠ける点があった。
気めっきを施すにはタンタル表面を粗す前処理を行い、
均一な被覆面を得るのと密着性をより高めるために特開
昭５３−８２６２５号公報、特開昭５３−８２６６４号
公報に白金ストライク浴として硫酸系の浴を用い、白金
ストライクめっきした後、白金電気めっきを施すことで
達成されることが記載されている。しかし、高電流を負
荷して電解するような電極として用いるには密着力が不
十分であり、使用中に白金が剥がれてしまうことが生じ
やすく、信頼性に欠ける点があった。
【０００３】これを解決するために発明者は、密着力を
向上させる目的で白金被覆後に熱処理を施す工夫を行っ
たが、電極特性を示す数値として有用であるところの塩
素発生効率の低下をきたしてしまう欠点があった。
向上させる目的で白金被覆後に熱処理を施す工夫を行っ
たが、電極特性を示す数値として有用であるところの塩
素発生効率の低下をきたしてしまう欠点があった。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、上記従来の欠点を解決するた
めに成されたもので、電極特性が低下することのない長
寿命の白金被覆タンタル電極とするための白金コーティ
ングをタンタル材上へ施す方法を提供することを目的と
するものである。
めに成されたもので、電極特性が低下することのない長
寿命の白金被覆タンタル電極とするための白金コーティ
ングをタンタル材上へ施す方法を提供することを目的と
するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、タンタル材上
に白金を被覆する方法に於いて、タンタル材の表面をサ
ンドブラスト処理した後、ふっ化水素酸および／または
ふっ化水素酸アンモニウム溶液で処理し、次いで白金電
気めっきを行って白金を電着させ、さらに真空中または
非酸化性雰囲気中で熱処理することを特徴とするタンタ
ルへの白金コーティングで、前記熱処理温度が４００℃
〜１２００℃であるタンタルへの白金コーティングであ
る。
に白金を被覆する方法に於いて、タンタル材の表面をサ
ンドブラスト処理した後、ふっ化水素酸および／または
ふっ化水素酸アンモニウム溶液で処理し、次いで白金電
気めっきを行って白金を電着させ、さらに真空中または
非酸化性雰囲気中で熱処理することを特徴とするタンタ
ルへの白金コーティングで、前記熱処理温度が４００℃
〜１２００℃であるタンタルへの白金コーティングであ
る。
【０００６】以下、本発明の方法の詳細を説明する。ま
ず、白金電気めっきを施す前にタンタル材の表面をサン
ドブラストにより梨地状に粗す。用いる研磨剤はアルミ
ナ粉、または鋳鉄粉等が用いられるが、タンタル材表面
に該研磨剤が食い込み残ることがあり、これを除去する
のが容易なアルミナ粉が良いものである。アルミナ粉は
アランダム＃８０〜＃１００程度のものが良く、アルミ
ナ粉を吹き付けて適度の粗らさにするには１〜４ｋｇｆ
／ｃｍ２ 位の圧力で行うのが良い。
ず、白金電気めっきを施す前にタンタル材の表面をサン
ドブラストにより梨地状に粗す。用いる研磨剤はアルミ
ナ粉、または鋳鉄粉等が用いられるが、タンタル材表面
に該研磨剤が食い込み残ることがあり、これを除去する
のが容易なアルミナ粉が良いものである。アルミナ粉は
アランダム＃８０〜＃１００程度のものが良く、アルミ
ナ粉を吹き付けて適度の粗らさにするには１〜４ｋｇｆ
／ｃｍ２ 位の圧力で行うのが良い。
【０００７】次いで、脱脂処理し、ふっ化水素酸および
／またはふっ化水素酸アンモニウム溶液で処理するが、
該ふっ化水素の濃度は２〜３０％のものを用い、約５〜
３０秒間浸漬して処理する。ふっ化水素酸アンモニウム
溶液の場合は液濃度を５〜３０％のものを用い、約５〜
３０分間浸漬して処理する。この際ふっ化水素酸は加熱
する必要はなく、室温でよいものである。前記ふっ化水
素酸で処理するのは、タンタル材の表面を梨地状に処理
した際に付着しているアルミナ粉を除去するだけでなく
、タンタル材の表面を活性化させるためでもある。ふっ
化水素酸アンモニウム溶液の場合は反応が遅いので長め
に浸漬した方が良く、また表面を凹凸に荒らす効果があ
る。
／またはふっ化水素酸アンモニウム溶液で処理するが、
該ふっ化水素の濃度は２〜３０％のものを用い、約５〜
３０秒間浸漬して処理する。ふっ化水素酸アンモニウム
溶液の場合は液濃度を５〜３０％のものを用い、約５〜
３０分間浸漬して処理する。この際ふっ化水素酸は加熱
する必要はなく、室温でよいものである。前記ふっ化水
素酸で処理するのは、タンタル材の表面を梨地状に処理
した際に付着しているアルミナ粉を除去するだけでなく
、タンタル材の表面を活性化させるためでもある。ふっ
化水素酸アンモニウム溶液の場合は反応が遅いので長め
に浸漬した方が良く、また表面を凹凸に荒らす効果があ
る。
【０００８】次いで、純水で２０〜３０秒間洗浄したの
ち、白金電気めっきを施す。白金めっき浴は特に限定さ
れるものではないが、硫酸系のめっき浴が良く、Ｐｔ５
〜３０ｇ／ｌ、硫酸２５〜３００ｇ／ｌの組成から成る
ものが特に良い。電気めっき条件は５０℃、０．５Ａ／
ｄｍ２ で行えば良く、任意の厚みを得るためには通電
時間を調節して行う。
ち、白金電気めっきを施す。白金めっき浴は特に限定さ
れるものではないが、硫酸系のめっき浴が良く、Ｐｔ５
〜３０ｇ／ｌ、硫酸２５〜３００ｇ／ｌの組成から成る
ものが特に良い。電気めっき条件は５０℃、０．５Ａ／
ｄｍ２ で行えば良く、任意の厚みを得るためには通電
時間を調節して行う。
【０００９】白金電気めっきを施した、タンタル材は水
洗、湯洗等を行い温風乾燥後、真空中または非酸化性雰
囲気中で４００〜１２００℃で１５〜１２０分間熱処理
する。前記熱処理を真空中または非酸化性雰囲気中で行
うのは、タンタルを酸化させないためと、電着させた白
金をタンタルに強く密着させるためである。また、熱処
理温度を４００〜１２００℃とするのは、４００℃以下
では密着力が十分得られず、１２００℃以上では白金の
部分凝集が生じピンホールが生じやすくなり、また、１
１００℃以上の温度ではタンタルが再結晶し、タンタル
の強度が低下し、電極等の形状の寸法精度が悪くなり使
用条件が限定される場合もあるのでタンタル材の特性を
確認しておく必要がある。
洗、湯洗等を行い温風乾燥後、真空中または非酸化性雰
囲気中で４００〜１２００℃で１５〜１２０分間熱処理
する。前記熱処理を真空中または非酸化性雰囲気中で行
うのは、タンタルを酸化させないためと、電着させた白
金をタンタルに強く密着させるためである。また、熱処
理温度を４００〜１２００℃とするのは、４００℃以下
では密着力が十分得られず、１２００℃以上では白金の
部分凝集が生じピンホールが生じやすくなり、また、１
１００℃以上の温度ではタンタルが再結晶し、タンタル
の強度が低下し、電極等の形状の寸法精度が悪くなり使
用条件が限定される場合もあるのでタンタル材の特性を
確認しておく必要がある。
【００１０】なお、白金は９００℃以上になると再結晶
化がおこり、また拡散層のコントロールも難しいことか
ら、熱処理温度は４００〜８５０℃で行うのが最も好ま
しいものである。熱処理条件として４００℃のごとき低
い温度では長く、１２００℃のごとき高い温度では短い
時間で処理する。本発明による電極が電極特性を損なう
ことなく、長寿命であることは次の理由による。サンド
ブラスト処理により、タンタル表面は粗面になり、次な
るふっ化水素酸溶液、ふっ化水素酸アンモニウム溶液に
より粒内腐食され、比表面積がさらに増大する。本発明
の方法により製造された電極は白金メッキ後の熱処理に
より、比表面積は減少する。しかし予め表面を粗にして
比表面積を増大させてあるので、その減少の程度が少な
い特徴があり、従って塩素発生効率が低下しない。また
熱処理によりタンタル材への白金被覆が極めて強い密着
力で形成され、高電流を負荷するような電極として用い
ても白金が剥がれることがなく、長寿命の安定した電極
として使用することができる。
化がおこり、また拡散層のコントロールも難しいことか
ら、熱処理温度は４００〜８５０℃で行うのが最も好ま
しいものである。熱処理条件として４００℃のごとき低
い温度では長く、１２００℃のごとき高い温度では短い
時間で処理する。本発明による電極が電極特性を損なう
ことなく、長寿命であることは次の理由による。サンド
ブラスト処理により、タンタル表面は粗面になり、次な
るふっ化水素酸溶液、ふっ化水素酸アンモニウム溶液に
より粒内腐食され、比表面積がさらに増大する。本発明
の方法により製造された電極は白金メッキ後の熱処理に
より、比表面積は減少する。しかし予め表面を粗にして
比表面積を増大させてあるので、その減少の程度が少な
い特徴があり、従って塩素発生効率が低下しない。また
熱処理によりタンタル材への白金被覆が極めて強い密着
力で形成され、高電流を負荷するような電極として用い
ても白金が剥がれることがなく、長寿命の安定した電極
として使用することができる。
【００１１】以下、本発明に係わる実施例を記載するが
、該実施例は本発明を限定するものではない。
、該実施例は本発明を限定するものではない。
【００１２】
【実施例１】タンタルの板（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）をアランダム＃８０を用いて圧力４ｋｇｆ／ｃ
ｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水洗
し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に１０秒間浸漬したの
ち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金ス
トライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ
）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッ
キ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、真空中（１０−３Ｔｒｒ）で８００℃、１５分
間熱処理して、タンタル板上へ白金コーティングした電
極を得た。
１ｍｍ）をアランダム＃８０を用いて圧力４ｋｇｆ／ｃ
ｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水洗
し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に１０秒間浸漬したの
ち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金ス
トライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ
）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッ
キ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、真空中（１０−３Ｔｒｒ）で８００℃、１５分
間熱処理して、タンタル板上へ白金コーティングした電
極を得た。
【００１３】
【実施例２】タンタルの網（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力２ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸アンモニウム（１００ｇ／ｌ）に１
５分間浸漬したのち水洗し、次いで１０％希硫酸につけ
て水洗し、白金ストライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ
硫酸１５０ｇ／ｌ）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、
温度５０℃、メッキ時間３０秒でストライクメッキした
のち、白金メッキ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１０
０ｇ／ｌ）を用いて電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度
５０℃、メッキ時間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを
付け、水洗し乾燥した後、真空中で４００℃、５０分間
熱処理して、タンタル板上へ白金コーティングした電極
を得た。
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力２ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸アンモニウム（１００ｇ／ｌ）に１
５分間浸漬したのち水洗し、次いで１０％希硫酸につけ
て水洗し、白金ストライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ
硫酸１５０ｇ／ｌ）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、
温度５０℃、メッキ時間３０秒でストライクメッキした
のち、白金メッキ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１０
０ｇ／ｌ）を用いて電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度
５０℃、メッキ時間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを
付け、水洗し乾燥した後、真空中で４００℃、５０分間
熱処理して、タンタル板上へ白金コーティングした電極
を得た。
【００１４】
【実施例３】タンタルの板（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力４ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）とふっ化水素酸アン
モニウム（５０ｇ／ｌ）混合液に１分間浸漬したのち水
洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、真空中で５００℃５０分間熱処理して、タンタ
ル板上へ白金コーティングした電極を得た。
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力４ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）とふっ化水素酸アン
モニウム（５０ｇ／ｌ）混合液に１分間浸漬したのち水
洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、真空中で５００℃５０分間熱処理して、タンタ
ル板上へ白金コーティングした電極を得た。
【００１５】
【実施例４】タンタルの網（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力２ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に３０秒間浸漬した
のち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金
ストライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／
ｌ）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メ
ッキ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッ
キ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用
いて電流密度０．５Ａ／ｄｍ２、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、窒素雰囲気中で４００℃５０分間熱処理して、
タンタル板上へ白金コーティングした電極を得た。
１ｍｍ）をアランダム＃１００を用いて圧力２ｋｇｆ／
ｃｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水
洗し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に３０秒間浸漬した
のち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金
ストライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／
ｌ）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メ
ッキ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッ
キ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用
いて電流密度０．５Ａ／ｄｍ２、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
した後、窒素雰囲気中で４００℃５０分間熱処理して、
タンタル板上へ白金コーティングした電極を得た。
【００１６】
【従来例１】タンタルの板（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）をアランダム＃８０を用いて圧力４ｋｇｆ／ｃ
ｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水洗
し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に１０秒間浸漬したの
ち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金ス
トライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ
）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッ
キ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
してタンタル板上へ白金コーティングした電極を得た。
１ｍｍ）をアランダム＃８０を用いて圧力４ｋｇｆ／ｃ
ｍ２ でサンドブラスト処理し、脱脂処理した後、水洗
し、ふっ化水素酸（ＨＦ１０％）に１０秒間浸漬したの
ち水洗し、次いで１０％希硫酸につけて水洗し、白金ス
トライク浴（Ｐｔ１ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ
）を用いて電流密度５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッ
キ時間３０秒でストライクメッキしたのち、白金メッキ
浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用い
て電流密度０．５Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時
間６０分で白金メッキ厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥
してタンタル板上へ白金コーティングした電極を得た。
【００１７】
【従来例２】タンタルの板（サイズ１００×５０×厚さ
１ｍｍ）を脱脂処理した後、水洗し、ふっ化水素酸（Ｈ
Ｆ１０％）に１０秒間浸漬したのち水洗し、次いで１０
％希硫酸につけて水洗し、白金ストライク浴（Ｐｔ１ｇ
／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ）を用いて電流密度５
Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時間３０秒でストラ
イクメッキしたのち、白金メッキ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆ
ｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用いて電流密度０．５Ａ／
ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時間６０分で白金メッキ
厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥してタンタル板上へ白
金コーティングした電極を得た。
１ｍｍ）を脱脂処理した後、水洗し、ふっ化水素酸（Ｈ
Ｆ１０％）に１０秒間浸漬したのち水洗し、次いで１０
％希硫酸につけて水洗し、白金ストライク浴（Ｐｔ１ｇ
／ｌ、ｆｒｅｅ硫酸１５０ｇ／ｌ）を用いて電流密度５
Ａ／ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時間３０秒でストラ
イクメッキしたのち、白金メッキ浴（Ｐｔ５ｇ／ｌ、ｆ
ｒｅｅ硫酸１００ｇ／ｌ）を用いて電流密度０．５Ａ／
ｄｍ２ 、温度５０℃、メッキ時間６０分で白金メッキ
厚２ミクロンを付け、水洗し乾燥してタンタル板上へ白
金コーティングした電極を得た。
【００１８】実施例１〜４と従来例１、２で得た電極の
白金メッキ部分の密着力試験としてテープ（住友３Ｍ製
：２５０番スコッチテープ）を用いてピールテストを行
ったところ、実施例１〜４は剥がれることはなかったが
、従来例１は一部に剥がれが生じ、従来例２のものはテ
ープ密着部全面が剥がれてしまった。また、５０Ａで寿
命試験を行った結果について図１に、塩素発生効率につ
いては図２にその結果を示す。
白金メッキ部分の密着力試験としてテープ（住友３Ｍ製
：２５０番スコッチテープ）を用いてピールテストを行
ったところ、実施例１〜４は剥がれることはなかったが
、従来例１は一部に剥がれが生じ、従来例２のものはテ
ープ密着部全面が剥がれてしまった。また、５０Ａで寿
命試験を行った結果について図１に、塩素発生効率につ
いては図２にその結果を示す。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の前処理工程によりタンタル材上へ均一に白金を電着で
き、さらに熱処理により密着力が高い白金コーティング
ができるという優れた効果を奏すものである。
の前処理工程によりタンタル材上へ均一に白金を電着で
き、さらに熱処理により密着力が高い白金コーティング
ができるという優れた効果を奏すものである。
【図１】本発明の実施例１、２と従来例１について寿命
試験をした結果を示すグラフである。
試験をした結果を示すグラフである。
【図２】本発明の実施例１、２と従来例１、２について
塩素発生効率テストの結果を示すグラフである。
塩素発生効率テストの結果を示すグラフである。
Claims (2)
- 【請求項１】 タンタル材上に白金を被覆した電極を
製造する方法に於いて、タンタル材の表面をサンドブラ
スト処理した後、ふっ化水素酸および／またはふっ化水
素酸アンモニウム溶液で処理し、次いで白金電気めっき
を行って白金を電着させ、さらに真空中または非酸化性
雰囲気中で熱処理することを特徴とするタンタルへの白
金コーティング。 - 【請求項２】 前記熱処理温度が４００℃〜１２００
℃である請求項１に記載のタンタルへの白金コーティン
グ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162017A JPH04362187A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | タンタルへの白金コーティング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162017A JPH04362187A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | タンタルへの白金コーティング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362187A true JPH04362187A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15746475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3162017A Pending JPH04362187A (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | タンタルへの白金コーティング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04362187A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007113099A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Univ Meijo | メッキ膜作製方法と該方法によるメッキ膜を備えたメッキ製品 |
| JP2011149044A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 電解酸化反応用電極及びその製造方法 |
| CN108264134A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-10 | 石家庄市源生园环保有限公司 | 一种高盐高cod废水电解电极及电解氧化处理方法 |
-
1991
- 1991-06-06 JP JP3162017A patent/JPH04362187A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007113099A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Univ Meijo | メッキ膜作製方法と該方法によるメッキ膜を備えたメッキ製品 |
| JP2011149044A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-08-04 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 電解酸化反応用電極及びその製造方法 |
| CN108264134A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-10 | 石家庄市源生园环保有限公司 | 一种高盐高cod废水电解电极及电解氧化处理方法 |
| CN108264134B (zh) * | 2018-01-25 | 2020-09-11 | 石家庄市源生园环保有限公司 | 一种高盐高cod废水电解电极及电解氧化处理方法 |
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