JPH0435061B2 - - Google Patents

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JPH0435061B2
JPH0435061B2 JP59252630A JP25263084A JPH0435061B2 JP H0435061 B2 JPH0435061 B2 JP H0435061B2 JP 59252630 A JP59252630 A JP 59252630A JP 25263084 A JP25263084 A JP 25263084A JP H0435061 B2 JPH0435061 B2 JP H0435061B2
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JP
Japan
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parts
type epoxy
equivalent
epoxy resin
resin composition
Prior art date
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JP59252630A
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Japanese (ja)
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JPS61130946A (en
Inventor
Katsushige Tsukada
Noboru Sugasawa
Nobuyuki Hayashi
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0435061B2 publication Critical patent/JPH0435061B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しく
は印刷配線板製造、金属精密加工等に使用し得る
保護膜形成用の感光性樹脂組成物に関する。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more specifically, a photosensitive resin composition for forming a protective film that can be used in printed wiring board manufacturing, metal precision processing, etc. Regarding.

(従来の技術) 従来、印刷配線板業界において、ソルダマス
ク、化学めつき用レジスト等に使用可能な優れた
特性を有する感光性樹脂組成物が知られている。
ソルダマスクの主な目的は、はんだ付け時のはん
だ付け領域を限定し、はんだブリツジ等を防ぐこ
と、裸の銅導体の腐食を防止すること、および長
期にわたつて導体間の電気絶縁性を保持すること
である。通常ソルダマスクとしては、エポキシ樹
脂、アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成
分とするもので(印刷マスク)が用いられる。
(Prior Art) Photosensitive resin compositions having excellent properties that can be used for solder masks, chemical plating resists, etc. have been known in the printed wiring board industry.
The main purpose of a solder mask is to limit the soldering area during soldering to prevent solder bridging, etc., to prevent corrosion of bare copper conductors, and to maintain electrical insulation between conductors over a long period of time. That's true. Usually, a solder mask (printed mask) whose main component is a thermosetting resin such as an epoxy resin or an aminoplast resin is used.

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高ま
り、また導体間の電気絶縁性の要求も厳しくな
り、それに用いるソルダマスクも厚膜で寸法精度
の優れたものが要求されるようになり、スクリー
ン印刷方式のものでは対処できなくなつている。
However, in recent years, the wiring density of printed wiring boards has increased, and the requirements for electrical insulation between conductors have also become stricter, and the solder masks used therein are also required to be thick and have excellent dimensional accuracy. It's getting to the point where things can no longer be dealt with.

そこで写真法(像状露光に続く現像により画像
を形成)で厚膜(導体上25μm)で、かつ寸法精
度の優れた高信頼性のソルダマスクを形成する感
光性樹脂組成物の出現が望まれている。
Therefore, there is a desire for the emergence of a photosensitive resin composition that can form a thick film (25 μm on a conductor) and highly reliable solder mask with excellent dimensional accuracy using a photographic method (forming an image by imagewise exposure followed by development). There is.

従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物と
しては、(1)アクリル系ポリマおよび光重合性モノ
マを主成分とする感光性樹脂組成物(特開昭53−
56018号公報、特開昭54−1018号公報等)、(2)光反
応性が付与されたエポキシ樹脂およびエポキシ樹
脂硬化剤を主成分とする感光性樹脂組成物(特開
昭52−37996号公報、特開昭58−62636号公報等)
等が知られている。
Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask, (1) a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (Japanese Patent Application Laid-Open No. 1983-1999-
56018, JP-A-54-1018, etc.), (2) Photosensitive resin compositions containing as main components an epoxy resin imparted with photoreactivity and an epoxy resin curing agent (JP-A-52-37996, etc.) Publications, Japanese Patent Application Laid-open No. 58-62636, etc.)
etc. are known.

しかしながら前記(1)の感光性樹脂組成物は、通
常のエツチングおよびめつき用フイルム状感光材
料(例えばデユポン社製 商品名リストン、日立
化成工業(株)製、商品名フオテツク等)に使用され
ている、難燃性の1,1,1−トリクロルエタン
で現像可能であり、高解像度のソルダマスクを形
成することはできるが、このような感光性樹脂組
成物はフイルム性付与のためアクリル系ポリマを
多量に使用しているため、硬化被膜の耐熱性が充
分でないという欠点がある。
However, the photosensitive resin composition of (1) above is used in ordinary film-like photosensitive materials for etching and plating (for example, Dupont's product name Riston, Hitachi Chemical Co., Ltd.'s product name FOTEK, etc.). Although it can be developed with flame-retardant 1,1,1-trichloroethane and can form high-resolution solder masks, such photosensitive resin compositions require acrylic polymers to provide film properties. Since it is used in large quantities, it has the disadvantage that the cured film does not have sufficient heat resistance.

一方、前記(2)の感光性樹脂組成物は、エポキシ
樹脂をベースとしており、硬化被膜の耐熱性には
優れているが、1,1,1−トリクロルエタン等
の難燃性有機溶剤に不溶性であるため、現像液と
して、シクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使
用する必要があり、安全上好ましくないという欠
点がある。
On the other hand, the photosensitive resin composition (2) above is based on epoxy resin and has excellent heat resistance of the cured film, but is insoluble in flame-retardant organic solvents such as 1,1,1-trichloroethane. Therefore, it is necessary to use a flammable organic solvent such as cyclohexanone as a developer, which is disadvantageous in terms of safety.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去
し、1,1,1−トリクロルエタン等の難燃性現
像液により現像でき、かつ解像度および耐熱性に
も優れた高信頼性ソルダマスクを形成することの
できる感光性樹脂組成物を提供することにある。
(Problems to be Solved by the Invention) An object of the present invention is to eliminate the drawbacks of the prior art, to enable development with a flame-retardant developer such as 1,1,1-trichloroethane, and to improve resolution and heat resistance. Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can form an excellent and highly reliable solder mask.

(問題点を解決するための手段) 本発明は(a)オルソクレゾールノボラツク型エポ
キシ樹脂、フエノールノボラツク型エポキシ樹脂
およびハロゲン化フエノールノボラツク型エポキ
シ樹脂からなる群から選ばれた少なくとも1種の
ノボラツク型エポキシ樹脂と、不飽和カルボン酸
とを、酸当量/エポキシ当量比が0.2〜1の範囲
で付加反応させて得られる不飽和化合物の2級水
酸基に、イソシアナートエチルメタクリレート
を、イソシアナート当量/水酸基当量比が0.2〜
1の範囲で反応させて得られる光重合性不飽和化
合物、(b)ガラス転移温度が約40〜150℃の線状高
分子化合物並びに(c)活性光により遊離ラジカルを
生成する増感剤および(または)増感剤系を含有
してなる感光性樹脂組成物に関する。
(Means for Solving the Problems) The present invention provides (a) at least one type of epoxy resin selected from the group consisting of orthocresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, and halogenated phenol novolac type epoxy resin. Isocyanato ethyl methacrylate is added to the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by addition-reacting a novolac type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio in the range of 0.2 to 1. /Hydroxy group equivalent ratio is 0.2~
A photopolymerizable unsaturated compound obtained by reacting in the range of 1, (b) a linear polymer compound with a glass transition temperature of about 40 to 150°C, and (c) a sensitizer that generates free radicals by actinic light; (or) It relates to a photosensitive resin composition containing a sensitizer system.

本発明の感光性樹脂組成物は必須成分(a)とし
て、オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹
脂、フエノールノボラツク型エポキシ樹脂および
ハロゲン化フエノールノボラツク型エポキシ樹脂
からなる群から選ばれた少なくとも1種のノボラ
ツク型エポキシ樹脂と、不飽和カルボン酸とを、
酸当量/エポキシ当量比が0.2〜1の範囲で付加
反応させて得られる不飽和化合物の2級水酸基
に、イソシアナートエチルメタクリレートを、イ
ソシアナート当量/水酸基当量比が0.2〜1の範
囲で反応させて得られる光重合性不飽和化合物を
含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains at least one type of essential component (a) selected from the group consisting of orthocresol novolac type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, and halogenated phenol novolac type epoxy resins. Novolac type epoxy resin and unsaturated carboxylic acid,
Isocyanate ethyl methacrylate is reacted with the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by addition reaction at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.2 to 1 in an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio of 0.2 to 1. Contains a photopolymerizable unsaturated compound obtained by

本発明に用いられるノボラツク型エポキシ樹脂
は、例えばオルソクレゾール、フエノール、ハロ
ゲン化フエノール等とアルデヒドを酸触媒の存在
下に反応させて得られるノボラツク型樹脂のフエ
ノール性水酸基にアルカリの存在下にエピクロル
ヒドリンを反応させて得られるもので、商業的に
も入手可能である。
The novolak-type epoxy resin used in the present invention is obtained by reacting aldehyde with orthocresol, phenol, halogenated phenol, etc. in the presence of an acid catalyst, and epichlorohydrin is added to the phenolic hydroxyl group in the presence of an alkali. It is obtained by reaction and is commercially available.

オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹脂と
しては、例えばチバ・ガイギー社製アラルダイト
ECN1299(軟化点99℃、エポキシ当量230)、
ECN1280(軟化点80℃、エポキシ当量230)、
ECN1273(軟化点73℃、エポキシ当量230)、日本
化薬(株)製EOCN104(軟化点90〜100℃、エポキシ
当量225〜245)、EOCN103(軟化点80〜90℃、エ
ポキシ当量215〜235)、EOCN102(軟化点70〜80
℃、エポキシ当量215〜235)、EOCN101(軟化点
65〜69℃、エポキシ当量205〜225)等が挙げられ
る。
As the orthocresol novolak type epoxy resin, for example, Araldite manufactured by Ciba Geigy
ECN1299 (softening point 99℃, epoxy equivalent 230),
ECN1280 (softening point 80℃, epoxy equivalent 230),
ECN1273 (softening point 73°C, epoxy equivalent 230), EOCN104 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (softening point 90-100°C, epoxy equivalent 225-245), EOCN103 (softening point 80-90°C, epoxy equivalent 215-235) , EOCN102 (softening point 70~80
°C, epoxy equivalent 215-235), EOCN101 (softening point
65-69°C, epoxy equivalent 205-225), etc.

フエノールノボラツク型エポキシ樹脂として
は、例えばシエル社製エピコート154(エポキシ当
量176〜181)ダウケミカル社製DEN431(エポキ
シ当量172〜179)、DEN438(エポキシ当量175〜
182)、東都化成(株)製YDPN−638(エポキシ当量
170〜190)、YDPN−601(エポキシ当量180〜
220)、YDPN−602(エポキシ当量180〜220)等
が挙げられる。
Examples of phenol novolac type epoxy resins include Epicote 154 (epoxy equivalent: 176 to 181, manufactured by Shell), DEN431 (epoxy equivalent, 172 to 179), and DEN438 (epoxy equivalent, 175 to 179) manufactured by Dow Chemical.
182), YDPN-638 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. (epoxy equivalent
170-190), YDPN-601 (epoxy equivalent 180-
220), YDPN-602 (epoxy equivalent: 180-220), etc.

ハロゲン化フエノールノボラツク型エポキシ樹
脂としては、例えば日本化薬(株)製BREN(エポキ
シ当量270〜300、臭素含有量35〜37%、軟化点80
〜90℃)等の臭素化フエノールノボラツク型エポ
キシ樹脂等が挙げられる。不飽和カルボン酸とし
ては、アクリル酸、メタクリル酸、β−フリルア
クリル酸、β−スチリルアクリル酸、α−シアノ
ケイ皮酸、ケイ皮酸等が用いられる。
Examples of halogenated phenol novolak type epoxy resin include BREN (epoxy equivalent: 270-300, bromine content: 35-37%, softening point: 80%, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).
Examples include brominated phenol novolak type epoxy resins such as 90°C). As the unsaturated carboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, β-furylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid, etc. are used.

本発明において、これらのノボラツク型エポキ
シ樹脂と不飽和カルボン酸との付加反応は式
()に示すようであり、酸当量/エポキシ当量
比が0.2〜1の範囲で常法により行なわれる。酸
当量/エポキシ当量比が0.2未満ではイメージ露
光後の現像処理により光硬化被膜が膨潤しやす
い。酸当量/エポキシ当量比が1を超える場合に
は、密着性、耐熱性等が低下する。
In the present invention, the addition reaction between these novolac type epoxy resins and unsaturated carboxylic acids is as shown in formula (), and is carried out by a conventional method at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.2 to 1. If the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is less than 0.2, the photocured film is likely to swell during development treatment after image exposure. When the acid equivalent/epoxy equivalent ratio exceeds 1, adhesion, heat resistance, etc. decrease.

例えば前記ノボラツク型エポキシ樹脂をメチル
エチルケトン、メチルセロソルブアセテート、エ
チルセロソルブアセテート、シクロヘキサノン等
の不活性有機溶剤に溶解し、触媒としてトリエチ
ルアミン、トリ−n−ブチルアミン、ジエチルシ
クロヘキシルアミン等の3級アミン、塩化ベンジ
ルトリメチルアンモニウム、塩化ベンジルトリエ
チルアンモニウム等の4級アンモニウム塩を、ま
た重合禁止剤としてハイドロキノン、p−メトキ
シフエノール等を用い、70〜110℃で前記不飽和
カルボン酸と攪拌反応させることにより、不飽和
化合物が得られる。
For example, the novolac type epoxy resin is dissolved in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, etc., and a tertiary amine such as triethylamine, tri-n-butylamine, diethylcyclohexylamine, benzyltrimethyl chloride, etc. is used as a catalyst. By stirring and reacting with the unsaturated carboxylic acid at 70 to 110°C using a quaternary ammonium salt such as ammonium or benzyltriethylammonium chloride, or hydroquinone or p-methoxyphenol as a polymerization inhibitor, the unsaturated compound is can get.

上記のようにノボラツク型エポキシ樹脂を不飽
和カルボン酸との付加反応させて得られる不飽和
化合物の2級水酸基に対するイソシアナートエチ
ルメタクリレートの反応は式()に示すようで
ありイソシアナート当量/水酸基当量比が0.2〜
1の範囲で常法により行なわれる。イソシアナー
ト当量/水酸基当量比が0.2未満の場合には、1,
1,1−トリクロルエタン等の難燃性有機溶剤に
よる現像が困難となり、また光硬化性も低下す
る。イソシアナート当量/水酸基当量比が1を超
える場合には、保存安定性、耐熱性等が低下す
る。イソシアナートエチルメタクリレートとして
は、例えばダウケミカル社製のものが用いられ
る。
As mentioned above, the reaction of isocyanate ethyl methacrylate with the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by the addition reaction of the novolac type epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid is as shown in the formula (), and isocyanate equivalent / hydroxyl group equivalent. Ratio is 0.2~
1 in a conventional manner. When the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio is less than 0.2, 1,
Development with flame-retardant organic solvents such as 1,1-trichloroethane becomes difficult, and photocurability also decreases. If the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio exceeds 1, storage stability, heat resistance, etc. will decrease. As the isocyanate ethyl methacrylate, for example, one manufactured by Dow Chemical Company is used.

例えば前記のノボラツク型エポキシ樹脂と不飽
和カルボン酸との付加反応を行ない、次でいこの
生成物にジブチルチンジラウレート、ジブチルチ
ンジ2エチルヘキソエート等のウレタン化触媒を
添加し、所定量のイソシアナートエチルメタクリ
レートを50〜110℃で攪拌反応させることにより、
光重合性不飽和化合物が得られる。このような反
応条件下ではウレタン結合とエポキシ基との反
応、不飽和結合の熱重合等の副反応を防止するこ
とができ、その結果ゲル状物を生成させることな
く、光重合性不飽和化合物を得ることができる。
For example, an addition reaction is carried out between the above-mentioned novolak type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid, and then a urethanization catalyst such as dibutyltin dilaurate or dibutyltin di-2-ethylhexoate is added to the resulting product to form a predetermined amount of isocyanate. By stirring and reacting ethyl methacrylate at 50 to 110℃,
A photopolymerizable unsaturated compound is obtained. Under such reaction conditions, side reactions such as the reaction between urethane bonds and epoxy groups and thermal polymerization of unsaturated bonds can be prevented, and as a result, photopolymerizable unsaturated compounds can be formed without forming gel-like substances. can be obtained.

本発明において、特に好ましい光重合性不飽和
化合物としては、オルソクレゾールノボラツク型
エポキシ樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチ
ルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比0.2
〜1、イソシアナート当量/水酸基当量比0.2〜
1)系反応物、オルソクレゾールノボラツク型エ
ポキシ樹脂/メタクリル酸/イソシアナートエチ
ルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比0.2
〜1、イソシアナート当量/水酸基当量比0.2〜
1)系反応物等が挙げられる。
In the present invention, particularly preferred photopolymerizable unsaturated compounds include orthocresol novolac type epoxy resin/acrylic acid/isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio 0.2).
~1, isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio 0.2~
1) System reactant, orthocresol novolac type epoxy resin/methacrylic acid/isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio 0.2
~1, isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio 0.2~
1) system reactants, etc.

本発明の感光性樹脂組成物は、ガラス転移温度
が約40〜150℃の線状高分子化合物を必須成分b
として含有する。この高分子化合物は既に公知の
ものが用いられる。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a linear polymer compound having a glass transition temperature of about 40 to 150°C as an essential component (b).
Contained as. As this polymer compound, a known one can be used.

ガラス転移温度が約40℃未満では形成されるソ
ルダマスクの耐熱性が低く、ガラス転移温度が約
150℃を超えると前記光重合性不飽和化合物との
相溶性が悪くなり、支持体フイルムまたは基板上
に感光性樹脂組成物の層を形成できなくなる。
If the glass transition temperature is less than approximately 40℃, the heat resistance of the solder mask formed will be low, and the glass transition temperature will be approximately
If the temperature exceeds 150°C, the compatibility with the photopolymerizable unsaturated compound deteriorates, making it impossible to form a layer of the photosensitive resin composition on the support film or substrate.

前記線状高分子化合物としては、前記光重合性
不飽和化合物との相溶性、印刷配線基板と感光性
樹脂組成物の層との密着性の点で、ビニル共重合
線状高分子化合物が好ましい。線状高分子化合物
の重合成分として各種のビニル単量体、例えばメ
チルメタクリレート、ブチルメタクリレート、エ
チルアクリレート、スチレン、α−メチルスチレ
ン、ビニルトルエン、2−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、アク
リル酸、メタクリル酸、グリシジルメタクリレー
ト、t−ブチルアミノエチルメタクリレート、
2,3−ジブロモプロピルメタクリレート、3−
クロロ−2−ヒドロキシプロピルメタクリレー
ト、モノブロモフエニルアクリレート、モノブロ
モフエニルメタクリレート、ジブロモフエニルア
クリレート、ジブロモフエニルメタクリレート、
トリブロモフエニルアクリレート、トリブロモフ
エニルメタクリレート、トリブロモフエノキシエ
チルアクリレート、テトラヒドロフルフリルメタ
クリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレ
ート、アクリルアミド、アクリロニトリル等を用
いることができる。
The linear polymer compound is preferably a vinyl copolymer linear polymer compound in terms of compatibility with the photopolymerizable unsaturated compound and adhesion between the printed wiring board and the layer of the photosensitive resin composition. . Various vinyl monomers, such as methyl methacrylate, butyl methacrylate, ethyl acrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, are used as polymerization components for linear polymer compounds. Hydroxyethyl acrylate, acrylic acid, methacrylic acid, glycidyl methacrylate, t-butylaminoethyl methacrylate,
2,3-dibromopropyl methacrylate, 3-
Chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, monobromophenyl acrylate, monobromophenyl methacrylate, dibromophenyl acrylate, dibromophenyl methacrylate,
Tribromophenyl acrylate, tribromophenyl methacrylate, tribromophenoxyethyl acrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, acrylamide, acrylonitrile, and the like can be used.

本発明の感光性樹脂組成物は、活性光により遊
離ラジカルを生成する増感剤および(または)増
感剤系を必須成分cとして含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains as an essential component c a sensitizer and/or a sensitizer system that generates free radicals by actinic light.

増感剤としては、置換または非置換の多核キノ
ン類、例えば、2−エチルアントラキノン、2−
t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアント
ラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,
3−ジフエニルアントラキノン等、ジアセチルベ
ンジル等のケトアルドニル化合物、ベンゾイン、
ピバロン等のα−ケタルドニルアルコール類およ
びエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイ
ン類、例えばα−フエニル−ベンゾイン、α,α
−ジエトキシアセトフエノン等、ベンゾフエノ
ン、4,4′−ビスジアルキルアミノベンゾフエノ
ン等の芳香族ケトン類、2メチルチオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロ
ルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサン
トン、2−エチルチオキサントン等のチオキサン
トン類が用いられ、これらは単独でも組合わせて
使用してもよい。
As a sensitizer, substituted or unsubstituted polynuclear quinones, such as 2-ethylanthraquinone, 2-
t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,
3-diphenylanthraquinone, etc., ketoaldonyl compounds such as diacetylbenzyl, benzoin,
α-ketaldonyl alcohols and ethers such as pivalone, α-hydrocarbon substituted aromatic acyloins such as α-phenyl-benzoin, α,α
- Aromatic ketones such as diethoxyacetophenone, benzophenone, 4,4'-bisdialkylaminobenzophenone, 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2 - Thioxanthone such as ethylthioxanthone is used, and these may be used alone or in combination.

増感剤系としては、例えば2,4,5−トリア
リ、ルイミダゾール二量体と2−メルカプトベン
ゾキナゾール、ロイコクリスタルバイオレツト、
トリス(4−ジエチルアミノ−2−メチルフエニ
ル)メタン等との組合わせが用いられる。またそ
れ自体で光開始性はないが、前記物質と組合わせ
て用いることにより全体として光開始性能のより
良好な増感剤系となるような添加剤、例えば、ベ
ンゾフエノンに対するトリエタノールアミン等の
3級アミン、チオキサントン類に対するジメチル
アミノ安息香酸イソアミル、N−メチルジエター
ルアミン、ビスエチルアミノベンゾフエノン等を
用いることもできる。
Examples of the sensitizer system include 2,4,5-triary, limidazole dimer and 2-mercaptobenzoquinazole, leuco crystal violet,
A combination with tris(4-diethylamino-2-methylphenyl)methane or the like is used. Also, additives which do not have photoinitiating properties by themselves but which, when used in combination with the above-mentioned substances, result in a sensitizer system with better overall photoinitiating performance, such as triethanolamine for benzophenone, etc. It is also possible to use isoamyl dimethylaminobenzoate, N-methyldietalamine, bisethylaminobenzophenone, etc. for thioxanthones.

本発明の感光性樹脂組成物は、(a)上記の光重合
性不飽和化合物100重量部に対して、(b)上記の線
状高分子化合物を5〜400重量部並びに(c)上記の
増感剤および(または)増感剤系を0.1〜30重量
部の範囲で用いることが、解像度および半田耐熱
性に優れたソルダマスクを形成する上で好まし
い。更に他の光重合性化合物を含有していてもよ
い。他の光重合性化合物としては、例えばトリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、トリメチルヘキサ
メチレンジイソシアナート/2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート(1/2モル比)反応物等が挙げ
られる。また特開昭53−56018号公報に示される
光重合性化合物を用いることもできる。しかしこ
れら他の光重合性化合物の含有量は、耐熱性保持
上、(a)光重合性不飽和化合物および(b)線状高分子
化合物の合計量に対して10重量%以下であること
が好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains (a) 100 parts by weight of the above photopolymerizable unsaturated compound, (b) 5 to 400 parts by weight of the above linear polymer compound, and (c) the above-mentioned linear polymer compound. It is preferable to use the sensitizer and/or sensitizer system in a range of 0.1 to 30 parts by weight in order to form a solder mask with excellent resolution and soldering heat resistance. Furthermore, it may contain other photopolymerizable compounds. Examples of other photopolymerizable compounds include trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and trimethylhexamethylene diisocyanate/2-hydroxyethyl acrylate (1/2 molar ratio) reaction product. Furthermore, photopolymerizable compounds disclosed in JP-A-53-56018 can also be used. However, in order to maintain heat resistance, the content of these other photopolymerizable compounds should be 10% by weight or less based on the total amount of (a) photopolymerizable unsaturated compound and (b) linear polymer compound. preferable.

更に本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成
分を含有していてもよい。副次的成分としては、
熱重合防止剤、染料、顔料、フイラー、塗工性向
上剤、消泡剤、難燃剤、難燃助剤、密着性向上
剤、エポキシ樹脂の潜在硬化剤等が挙げられる。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other subsidiary components. As a secondary ingredient,
Examples include thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, fillers, coatability improvers, antifoaming agents, flame retardants, flame retardant aids, adhesion improvers, and latent curing agents for epoxy resins.

本発明の感光性樹脂組成物を用いて感光層を形
成するに際しては、例えば、感光性樹脂組成物を
メチルエチルケトン、メチルセロソルブアセテー
ト、エチルセロソルブアセテート、シクロヘキサ
ノン等の有機溶剤に溶解させ、この溶液をデイツ
プコート法、フローコート法、ロールコート法、
スクリーン印刷法等の常法により、加工保護すべ
き基板板上に直接塗布し、溶剤を乾燥させること
により、厚さ10〜150μmの感光層を容易に形成す
ることができる。
When forming a photosensitive layer using the photosensitive resin composition of the present invention, for example, the photosensitive resin composition is dissolved in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, etc., and this solution is dip coated. method, flow coating method, roll coating method,
A photosensitive layer with a thickness of 10 to 150 μm can be easily formed by directly coating the substrate to be processed and protected by a conventional method such as screen printing and drying the solvent.

また前記溶液を、例えばポリエチレンテレフタ
レートフイルム、ポリイミドフイルム等の支持体
フイルム上に、ナイフコート法、ロールコート法
等により塗布し、乾燥して得られる感光性エレメ
ントを熱ロールを用いて基板上に加熱加圧積層し
て感光層を形成することもできる。この際基板が
導体配線ラインの形成された印刷配線板等の
10μm以上の凹凸を有する場合には、空気の巻き
込みを防ぐため、200mmHg以下の真空下で積層す
ることが好ましい。このための装置としては例え
ば特公昭55−13341号公報に記載される積層装置
が用いられる。なお活性光に不透明な支持体フイ
ルムを用いる場合には、露光時に支持体フイルム
を剥離する必要がある。
Further, the solution is applied onto a support film such as polyethylene terephthalate film or polyimide film by a knife coating method, a roll coating method, etc., and the photosensitive element obtained by drying is heated on a substrate using a heat roll. A photosensitive layer can also be formed by laminating under pressure. In this case, the board is a printed wiring board etc. on which conductor wiring lines are formed.
When the layers have irregularities of 10 μm or more, it is preferable to laminate them under a vacuum of 200 mmHg or less in order to prevent air from being trapped. As an apparatus for this purpose, for example, a laminating apparatus described in Japanese Patent Publication No. 13341/1984 is used. In addition, when using a support film that is opaque to actinic light, it is necessary to peel off the support film at the time of exposure.

こうして形成された感光層の露光および現像は
常法により行なわれる。すなわち、光源として超
高圧水銀灯、高圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組
成物の層上に直接または支持体フイルムを介し、
ネガマスクを通して、像的に露光する。露光後支
持体フイルムが残つている場合は支持体フイルム
を剥離した後、現像する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by conventional methods. That is, using an ultra-high-pressure mercury lamp, high-pressure mercury lamp, etc. as a light source, directly or through a support film on the layer of the photosensitive resin composition,
Imagewise exposure through a negative mask. If the support film remains after exposure, the support film is peeled off and then developed.

現像処理に用いられる現像液は露光部にダメー
ジを与えず、未露光部を選択的に溶出するもので
あればその種類については特に制限はない。現像
液としては、例えば1,1,1−トリクロルエタ
ン等のハロゲン化炭化水素、ジエチレングリコー
ルモノブチルエーテル炭酸ナトリウム水溶液等の
有機溶剤/希アルカリ水溶液混合液等が用いられ
る。また1,1,1−トリクロルエタンを主成分
とする洗浄剤、例えばスリーワンEX(東亜合成化
学(株)製)を使用することもできる。
The type of developer used in the development process is not particularly limited as long as it does not damage the exposed areas and selectively elutes the unexposed areas. As the developer, for example, a halogenated hydrocarbon such as 1,1,1-trichloroethane, an organic solvent/diluted alkali aqueous solution mixture such as diethylene glycol monobutyl ether sodium carbonate aqueous solution, etc. are used. It is also possible to use a cleaning agent containing 1,1,1-trichloroethane as a main component, such as Three-One EX (manufactured by Toagosei Kagaku Co., Ltd.).

上記の方法で得られた像的な保護被膜は、通常
のエツチング、めつき等のための耐食膜である
が、現像後に活性光の露光および80〜200℃での
加熱処理を行なうことにより、更に優れた特性を
有する保護膜が得られる。これらの活性光の露光
および加熱処理の順序はどちらが先でもよい。
The image-like protective film obtained by the above method is a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but after development, it can be exposed to active light and heat-treated at 80 to 200°C. A protective film with even better properties can be obtained. The order of exposure to active light and heat treatment may be in any order.

(発明の効果) 本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保
護被膜は、トリクレン、メチルエチルケトン、イ
ソプロピルアルコール、トルエン等の有機溶剤に
充分耐え、酸性水溶液またはアルカリ水溶液にも
耐える。更に耐熱性、機械的特性にも優れている
ので、ソルダマスク等の永久的な保護膜として使
用することができる。更に本発明の感光性樹脂組
成物を用いて形成される被膜は優れた化学的、物
理的特性を有し、このため多層印刷配線板の層間
絶縁層、感光性接着剤、塗料、プラスチツクレリ
ーフ、印刷版材料、金属精密加工材料等にも用い
ることができる。
(Effects of the Invention) The protective coating obtained using the photosensitive resin composition of the present invention has sufficient resistance to organic solvents such as tricrene, methyl ethyl ketone, isopropyl alcohol, and toluene, and also to acidic or alkaline aqueous solutions. Furthermore, since it has excellent heat resistance and mechanical properties, it can be used as a permanent protective film for solder masks and the like. Furthermore, the film formed using the photosensitive resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties, and therefore can be used as an interlayer insulating layer of multilayer printed wiring boards, photosensitive adhesives, paints, plastic reliefs, etc. It can also be used for printing plate materials, metal precision processing materials, etc.

また、本発明の感光性樹脂組成物を用いること
により、1,1,1−トリクロルエタン等の難燃
性現像液により現像でき、解像度および耐熱性に
優れたソルダマスクを形成することができる。し
かも写真法により厚膜のソルダマスクを形成する
ことも可能である。
Further, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to develop with a flame retardant developer such as 1,1,1-trichloroethane, and a solder mask with excellent resolution and heat resistance can be formed. Moreover, it is also possible to form a thick film solder mask using a photographic method.

(実施例) 実施例中の部は重量部を意味する。(Example) Parts in the examples mean parts by weight.

実施例 1 (a) 光重合性不飽和化合物の合成 A オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹
脂、EOCN102(エポキシ当量230) 1095部 メチルエチルケトン 800部 B アクリル酸 343部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム 7部 p−メトキシフエノール 3部 メチルエチルケトン 100部 C イソシアナートエチルメタクリレート 737部 ジブチルチンジラウレート 0.5部 メチルエチルケトン 100部 D メタノール 10部 温度計、攪拌装置、冷却管および滴下器の付い
た加熱および冷却可能な5の反応器に、前記A
を加え、攪拌しながら60℃に昇温し、均一に溶解
させた。反応温度を60℃に保ちながら、これに約
1時間かけてBを滴下した。B滴下後、2時間か
けて80℃に昇温し、80℃で約20時間攪拌を続け反
応系の酸価を1以下にした。
Example 1 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A Orthocresol novolak type epoxy resin, EOCN102 (epoxy equivalent: 230) 1095 parts Methyl ethyl ketone 800 parts B Acrylic acid 343 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 Parts Methyl ethyl ketone 100 parts C Isocyanatoethyl methacrylate 737 parts Dibutyltin dilaurate 0.5 parts Methyl ethyl ketone 100 parts D Methanol 10 parts Into the reactor No. 5 which can be heated and cooled and equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling tube and a dropper, add the above A.
was added, and the temperature was raised to 60°C while stirring to uniformly dissolve. B was added dropwise to this over about 1 hour while maintaining the reaction temperature at 60°C. After dropping B, the temperature was raised to 80°C over 2 hours, and stirring was continued at 80°C for about 20 hours to bring the acid value of the reaction system to 1 or less.

次いで温度を60℃に低下させ、反応温度を60℃
に保ちながら約3時間かけて均一にCを滴下し
た。C滴下後、約5時間かけて徐々に反応温度を
80℃まで昇温した後、温度を60℃に低下させ、D
を加え、約1時間攪拌を続けた。こうして不揮発
分69%のオルソクレゾールノボラツク型エポキシ
樹脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメタク
リレート(酸当量/エポキシ当量比=1、イソシ
アナート当量/水酸基当量比=1)系光重合性不
飽和化合物の溶液()を得た。
Then reduce the temperature to 60℃ and reduce the reaction temperature to 60℃
C was uniformly added dropwise over a period of about 3 hours while maintaining the temperature. After dropping C, gradually lower the reaction temperature over about 5 hours.
After raising the temperature to 80℃, lower the temperature to 60℃, and
was added, and stirring was continued for about 1 hour. Thus, a solution of a photopolymerizable unsaturated compound based on orthocresol novolak type epoxy resin with a nonvolatile content of 69%/acrylic acid/isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 1, isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio = 1) I got ().

(b) 感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
()72部(不揮発分50部)、スチレン/メチルメ
タクリレート/2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート(30/63/7重量比)共重合体(分子量約15
万、ガラス転移温度100℃)20部、2,4−ジエ
チルチオキサントン1部、ジメチルアミノ安息香
酸イソアミル2部およびビクトリアピユアブルー
0.01部を混合して本発明の感光性樹脂組成物の溶
液を調製した。
(b) Preparation of photosensitive resin composition 72 parts (nonvolatile content: 50 parts) of the photopolymerizable unsaturated compound solution obtained in (a), styrene/methyl methacrylate/2-hydroxyethyl methacrylate (30/63 /7 weight ratio) copolymer (molecular weight approximately 15
20 parts, glass transition temperature 100°C), 1 part of 2,4-diethylthioxanthone, 2 parts of isoamyl dimethylaminobenzoate, and Victoria Piure Blue
A solution of the photosensitive resin composition of the present invention was prepared by mixing 0.01 part.

(c) 硬化被膜の形成 (b)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張
り積層板上に塗布し、室温で20分、80℃で20分間
乾燥し、厚さ40μmの感光層を形成した。次いで
ネガマスクを通してオーク製作所(株)製フエニツク
ス3000型露光機を用い、200mJ/cm2で露光した。
露光後80℃で5分間加熱し、常温で30分放置した
後、1,1,1−トリクロルエタンを用いて20℃
で90秒間スプレー現像した。次いで東芝電材(株)製
東芝紫外線照射装置(定格電圧200V、定格消費
電力7.2KW、適合ランプH5600L/2、ランプ本
数1本)を使用し、1J/cm2で照射した後、150℃
で30分間加熱処理してネガマスクに相応する寸法
精度の優れたソルダマスクを得た。このソルダマ
スクは耐冷熱衝撃性に優れ、ロジン系フラツクス
A−226(タムラ化研(株)製)を用いて、260℃で10
秒間、はんだ付け処理し、更にトリクレンで25
℃、10分間清浄化処理した後、MIL−STD−
202E 107D 条件B(−65℃30分間、常温5分以
内、125℃30分間)、50サイクルの冷熱衝撃試験で
クラツクの発生および被膜の剥がれは認められ
ず、長期間の信頼性が非常に優れていることがわ
かつた。
(c) Formation of a cured film The solution of the photosensitive resin composition obtained in (b) was applied onto a copper-clad laminate, dried at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 20 minutes, and formed into a photosensitive film with a thickness of 40 μm. formed a layer. The film was then exposed to light at 200 mJ/cm 2 through a negative mask using a Phoenix Model 3000 exposure machine manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd.
After exposure, heat at 80℃ for 5 minutes, leave at room temperature for 30 minutes, and then heat at 20℃ using 1,1,1-trichloroethane.
Spray developed for 90 seconds. Next, using a Toshiba ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Denzai Co., Ltd. (rated voltage 200V, rated power consumption 7.2KW, compatible lamp H5600L/2, number of lamps 1), irradiation was performed at 1J/cm 2 and then heated to 150℃.
A solder mask with excellent dimensional accuracy comparable to a negative mask was obtained by heat treatment for 30 minutes. This solder mask has excellent thermal shock resistance and is made of rosin flux A-226 (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.) for 100 min at 260°C.
Solder for 25 seconds and then solder with Triclean for 25 seconds.
After cleaning for 10 minutes at ℃, MIL-STD-
202E 107D No cracks or peeling of the coating were observed in the thermal shock test of 50 cycles under condition B (-65℃ for 30 minutes, room temperature for 5 minutes or less, 125℃ for 30 minutes), and the product has excellent long-term reliability. I found out that

実施例 2 (a) 光重合性不飽和化合物の合成 A オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹
脂、EOCN104(エポキシ当量230) 920部 ハロゲン化フエノールノボラツク型エポキシ樹
脂、BREN(エポキシ当量285) 285部 メチルセロソルブアセテート 600部 B アクリル酸 288部 塩化ヘンジルトリメチルアンモニウム 7部 p−メトキシフエノールノ 3部 メチルセロソルブアセテート 100部 C イソシアナートエチルメタクリレート 620部 ジブチルチンジラウレート 0.5部 メチルセロソルブアセテート 100部 D メタノール 10部 A〜Dを用い、その他は実施例1−(a)と同様に
して、不揮発分54%のノボラツク型エポキシ樹
脂/アクリル酸/イソシアナートエチルメタクリ
レート(酸当量/エポキシ当量比=0.8イソシア
ナート当量/水酸基当量比=1)系光重合性不飽
和化合物の溶液()を得た。
Example 2 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A Orthocresol novolac type epoxy resin, EOCN104 (epoxy equivalent weight 230) 920 parts Halogenated phenol novolac type epoxy resin, BREN (epoxy equivalent weight 285) 285 parts Methyl cellosolve Acetate 600 parts B Acrylic acid 288 parts Henzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts C Ethyl isocyanate methacrylate 620 parts Dibutyl tin dilaurate 0.5 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts D Methanol 10 parts A~ D was used, and the other procedures were the same as in Example 1-(a). Novolac type epoxy resin with nonvolatile content of 54%/acrylic acid/isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 0.8 isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent) A solution of a photopolymerizable unsaturated compound (ratio=1) was obtained.

(b) 感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
()148部(不揮発分80部)、メチルメタクリレ
ート/トリブロモフエニルアクリレート/スチレ
ン/2−ヒドロキシエチルメタクリレート(68/
10/15/7重量比)共重合体(分子量約10万、ガ
ラス転移温度102℃)20部、ベンゾフエノン2.7
部、ミヒラーケトン0.3部、ホスマーM(油脂製品
(株)製リン酸エステル)とベンゾトリアゾールとの
等モル塩0.1部およびビクロアピユアブルー0.02
部を混合して本発明の感光性樹脂組成物の溶液を
調製した。
(b) Preparation of photosensitive resin composition 148 parts (nonvolatile content: 80 parts) of the photopolymerizable unsaturated compound solution obtained in (a), methyl methacrylate/tribromophenyl acrylate/styrene/2-hydroxy Ethyl methacrylate (68/
10/15/7 weight ratio) copolymer (molecular weight approximately 100,000, glass transition temperature 102°C) 20 parts, benzophenone 2.7
part, Michler's ketone 0.3 parts, Hosmer M (oil and fat products)
0.1 part of an equimolar salt of phosphoric acid ester (manufactured by Co., Ltd.) and benzotriazole and 0.02 part of Bichlorapiure Blue
A solution of the photosensitive resin composition of the present invention was prepared by mixing the following parts.

以下、実施例1−(c)と同様にして耐熱性に優れ
た硬化被膜を得た。
Thereafter, a cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1-(c).

また前記感光性樹脂組成物を厚さ0.8mm、
UL94V−0のガラスエポキシ難燃基材(日立化
成工業(株)製 MCL−E−67)の両面に適用し、
厚さ75μmの硬化被膜を形成させた場合には
UL94V−1の難燃性を保持することがわかつた。
Further, the photosensitive resin composition was coated with a thickness of 0.8 mm.
Applied to both sides of a UL94V-0 glass epoxy flame retardant base material (MCL-E-67 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.),
When a hardened film with a thickness of 75 μm is formed,
It was found that it maintains flame retardancy of UL94V-1.

実施例 3 (a) 光重合性不飽和化合物の合成 A オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹
脂、EOCN104(エポキシ当量230) 1095部 メチルセロソルブアセテート 600部 B メタクリル酸 368部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム 7部 p−メトキシフエノールノ 3部 メチルセロソルブアセテート 100部 C イソシアナートエチルメタクリレート 287部 ジブチルチンジラウレート 0.5部 メチルセロソルブアセテート 100部 D メタノール 10部 A〜Dを用い、その他は実施例1−(a)と同様に
して、不揮発分69%のノボラツク型エポキシ樹
脂/メタクリル酸/イソシアナートエチルメタク
リレート(酸当量/エポキシ当量比=0.8イソシ
アナート当量/水酸基当量比=0.88)系光重合性
不飽和化合物の溶液()を得た。
Example 3 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A Orthocresol novolak type epoxy resin, EOCN104 (epoxy equivalent: 230) 1095 parts Methyl cellosolve acetate 600 parts B Methacrylic acid 368 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxy Phenol 3 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts C Isocyanate ethyl methacrylate 287 parts Dibutyltin dilaurate 0.5 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts D Methanol 10 parts A to D were used, and the rest was the same as in Example 1-(a). A solution ( ) of a photopolymerizable unsaturated compound based on a novolak type epoxy resin with a non-volatile content of 69%/methacrylic acid/isocyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 0.8 isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio = 0.88) was obtained. .

(b) 感光性樹脂組成物の調製 光重合性不飽和化合物の溶液()の代わり
に、(a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
()116部(不揮発分80部)を用い、その他は実
施例2(b)および(c)と同様にして、耐熱性に優れた
硬化被膜を得た。
(b) Preparation of photosensitive resin composition Instead of the photopolymerizable unsaturated compound solution (), 116 parts of the photopolymerizable unsaturated compound solution () obtained in (a) (non-volatile content: 80 parts) was added. A cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 2(b) and (c).

実施例 4 (a) 光重合性不飽和化合物の合成 A フエノールノボラツク型エポキシ樹脂、
YDPN−638(エポキシ当量180) 857部 エチルセロソルブアセテート 600部 B ケイ皮酸 176部 アクリル酸 86部 塩化ベンジルトリメチルアンモニウム塩7部 p−メトキシフエノール 3部 エチルセロソルブアセテート 100部 C イソシアナートエチルメタクリレート 369部 ジブチルチンジラウレート 0.1部 エチルセロソルブアセテート 100部 D メタノール 10部 A〜Dを用い、その他は実施例1−(a)と同様に
して、NV65%のフエノールノボラツク型エポキ
シ樹脂/ケイ皮酸/アクリル酸/イソシアナート
エチルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比
=0.5、イソシアナート当量/水酸基当量比=1)
系光重合性不飽和化合物の溶液()を得た。
Example 4 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A phenol novolac type epoxy resin,
YDPN-638 (Epoxy equivalent: 180) 857 parts Ethyl cellosolve acetate 600 parts B Cinnamic acid 176 parts Acrylic acid 86 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 parts Ethyl cellosolve acetate 100 parts C Isocyanate ethyl methacrylate 369 parts Dibutyltin dilaurate 0.1 part Ethyl cellosolve acetate 100 parts D Methanol 10 parts A to D were used, and the other procedures were the same as in Example 1-(a). NV65% phenol novolac type epoxy resin/cinnamic acid/acrylic acid /Isocyanate ethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 0.5, isocyanate equivalent/hydroxyl equivalent ratio = 1)
A solution () of a photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(b) 感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液
()92部(不揮発分60部)、アクリル酸メチル/
スチレン/メタクリル酸メチル(55/25/20重量
比)共重合体(分子量約10万、ガラス転移温度44
℃)40部、2,4−ジエチルチオキサントン2
部、ジメチルアミノ安息香酸エチル3部、および
ビクトリアピユアブルー0.02部を混合して本発明
の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
(b) Preparation of photosensitive resin composition 92 parts (non-volatile content: 60 parts) of the photopolymerizable unsaturated compound solution obtained in (a), methyl acrylate/
Styrene/methyl methacrylate (55/25/20 weight ratio) copolymer (molecular weight approximately 100,000, glass transition temperature 44
°C) 40 parts, 2,4-diethylthioxanthone 2
1 part, 3 parts of ethyl dimethylaminobenzoate, and 0.02 part of Victoria Pure Blue to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

(c) 硬化被膜の形成 現像液として、1,1,1−トリクロルエタン
の代わりにスリーワンEX(1,1,1−トリクロ
ルエタンを主成分とする洗浄液、東亜合成(株)製)
を用い、その他は実施例1−(c)と同様にして耐熱
性に優れた硬化被膜を得た。
(c) Formation of a cured film As a developer, use Three-One EX (cleaning liquid whose main component is 1,1,1-trichloroethane, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) instead of 1,1,1-trichloroethane.
A cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1-(c).

実施例より明らかなように、本発明の感光性樹
脂組成物を用いることにより、写真法による厚膜
の画像形成が可能であり、また1,1,1−トリ
クロルエタン等の難燃性現像液を用いて、解像度
および耐熱性に優れた高信頼性のソルダマスクを
形成することができる。
As is clear from the examples, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a thick film by a photographic method, and it is also possible to form a thick film using a flame-retardant developer such as 1,1,1-trichloroethane. Using this method, a highly reliable solder mask with excellent resolution and heat resistance can be formed.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 (a)オルソクレゾールノボラツク型エポキシ樹
脂、フエノールノボラツク型エポキシ樹脂および
ハロゲン化フエノールノボラツク型エポキシ樹脂
からなる群から選ばれた少なくとも1種のノボラ
ツク型エポキシ樹脂と、不飽和カルボン酸とを、
酸当量/エポキシ当量比が0.2〜1の範囲で付加
反応させて得られる不飽和化合物の2級水酸基
に、イソシアナートエチルメタクリレートを、イ
ソシアナート当量/水酸基当量比が0.2〜1の範
囲で反応させて得られる光重合性不飽和化合物、
(b)ガラス転移温度が約40〜150℃の線状高分子化
合物並びに(c)活性光により遊離ラジカルを生成す
る増感剤および(または)増感剤系を含有してな
る感光性樹脂組成物。
1 (a) At least one novolak-type epoxy resin selected from the group consisting of orthocresol novolak-type epoxy resin, phenol novolak-type epoxy resin, and halogenated phenol novolak-type epoxy resin, and an unsaturated carboxylic acid. ,
Isocyanate ethyl methacrylate is reacted with the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by addition reaction at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.2 to 1 in an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio of 0.2 to 1. a photopolymerizable unsaturated compound obtained by
(b) a linear polymer compound with a glass transition temperature of about 40 to 150°C; and (c) a photosensitive resin composition containing a sensitizer and/or a sensitizer system that generates free radicals when exposed to actinic light. thing.
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