JPS61264341A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPS61264341A
JPS61264341A JP10778585A JP10778585A JPS61264341A JP S61264341 A JPS61264341 A JP S61264341A JP 10778585 A JP10778585 A JP 10778585A JP 10778585 A JP10778585 A JP 10778585A JP S61264341 A JPS61264341 A JP S61264341A
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equivalent
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photosensitive resin
type epoxy
epoxy resin
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Katsushige Tsukada
塚田 勝重
Noboru Sugasawa
菅沢 昇
Nobuyuki Hayashi
信行 林
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    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • G03F7/0381Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable using a combination of a phenolic resin and a polyoxyethylene resin
    • HELECTRICITY
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Abstract

PURPOSE:To enable a solder mask developable with an inflammable developing soln., superior in resolution and heat resistance and high in reliability to be formed by incorporating a specified photopolymerizable unsatd. compound. CONSTITUTION:The photopolymerizable unsatd. compound is obtained by reacting isocyanatoethyl methacrylate in an isocyanato equivalent/hydroxyl equivalent ratio of 0.1-1.2, with the secondary hydroxyl group of an unsatd. compd. obtained by additionally reacting unsatd. carboxylic acid in an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.1-0.98, with a novolak type epoxy resin selected from a group composed of o-cresol-, phenol-, and halogenated phenol- novolak type epoxy resins. The photosensitive resin compsn. contains said unsatd. compd., a sensitizer or its system to be allowed to produce a free radical by actinic rays, and fine filler particles. The use of this photosensitive resin compsn. permits it to be developed with an inflammable developing soln., such as 1,1,1-trichloroethane, and a solder mask superior in resolution and durability to be formed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは印刷配
線板製造、金属精密加工等に使用し得る保護膜形成用の
感光性樹脂組成物に関する。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more specifically, a photosensitive resin composition for forming a protective film that can be used in printed wiring board manufacturing, metal precision processing, etc. Regarding.

(従来の技術) 従来、印刷配線板業界において、ソルダマスク。(Conventional technology) Traditionally, solder masks have been used in the printed wiring board industry.

化学めっき用レジスト等に使用可能な優れた特性を有す
る感光性樹脂組成物が知られている。ソルダマスクの主
な目的は、はんだ付は時のはんだ付は領域を限定し、は
んだブリッジ等を防ぐこと。
Photosensitive resin compositions having excellent properties that can be used as resists for chemical plating and the like are known. The main purpose of a solder mask is to limit the area during soldering and prevent solder bridging.

裸の銅導体の腐食を防止すること、および長期にわたっ
て導体間の電気絶縁性を保持することである。通常ソル
ダマスクとしては、エポキシ樹脂。
The purpose is to prevent corrosion of bare copper conductors and to maintain electrical insulation between conductors over a long period of time. Epoxy resin is usually used as a solder mask.

アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分とするも
ので(印刷マスク)が用いられる。
A mask whose main component is a thermosetting resin such as aminoplast resin (printed mask) is used.

しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり。However, in recent years, the wiring density of printed wiring boards has increased.

また導体間の電気絶縁性の要求も厳しくなシ、それに用
いるソルダマスクも厚膜で寸法精度の優れたものが要求
されるようになp、スクリーン印刷方式のものでは対処
できなくなっている。
In addition, requirements for electrical insulation between conductors have become stricter, and the solder mask used therefor has also been required to have a thick film and excellent dimensional accuracy, making it no longer possible to meet the requirements with screen printing methods.

そこで写真法(像状露光に続く現像により画像を形成)
で薄膜(通常導体上15μmが望まれている)で、かつ
寸法精度の優れた高信頼性のソルダマスクを形成する感
光性樹脂組成物の出現が望まれている。
Therefore, the photographic method (forming an image by imagewise exposure followed by development)
It is desired to develop a photosensitive resin composition that can form a highly reliable solder mask that is thin (usually 15 μm thick on a conductor) and has excellent dimensional accuracy.

従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成物としては、
(1)アクリル系ポリマおよび光重合性モノマを主成分
とする感光性樹脂組成物(特開昭53−56018号公
報、特開昭54−1018号公報等)、(21光反応性
が付与されたエポキシ樹脂およびエポキシ樹脂硬化剤を
主成分とする感光性樹脂組成物(特開昭52−3799
6号公報、特開昭58−62636号公報等)等が知ら
れている。
Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask,
(1) Photosensitive resin compositions containing acrylic polymers and photopolymerizable monomers as main components (JP-A-53-56018, JP-A-54-1018, etc.), (21 photoreactivity imparted) A photosensitive resin composition containing an epoxy resin and an epoxy resin curing agent as main components (Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-3799
6, Japanese Unexamined Patent Publication No. 58-62636, etc.) are known.

しかしながら前記t1)の感光性樹脂組成物は2通常の
エツチングおよびめっき用フィルム状感光材料(例えば
デュポン社製、商品名リストン、日立化成工業■製、商
品名フオテツク等)に使用されている難燃性の1.1.
1− ) ’Jジクロルタンで現像可能であシ、高解像
度のソルダマスクを形成することはできるが、このよう
な感光性樹脂組成物はフィルム性付与のためアクリル系
ポリマを多量に使用しているため、硬化被膜の耐熱性が
充分でないという欠点がある。
However, the photosensitive resin composition of t1) is a flame-retardant material used in ordinary film photosensitive materials for etching and plating (for example, manufactured by DuPont, trade name Riston, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name Fotec, etc.). Sex 1.1.
1-) Although it is possible to develop with 'J dichlorothane and form a high-resolution solder mask, such photosensitive resin compositions use a large amount of acrylic polymer to impart film properties. However, there is a drawback that the heat resistance of the cured film is not sufficient.

一方、前記(2)の感光性樹脂組成物は、エポキシ樹脂
をベースとしておシ、硬化被膜の耐熱性には優れている
がe  l+L1−トリクロルエタン等の難燃性有機解
剖に不溶性であるため、現像液として。
On the other hand, the photosensitive resin composition of (2) is based on an epoxy resin, and although it has excellent heat resistance of the cured film, it is insoluble in flame-retardant organic compounds such as e1+L1-trichloroethane. , as a developer.

シクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使用する必要が
あシ、安全上好ましくないという欠点がある。
This method has the drawback of requiring the use of a flammable organic solvent such as cyclohexanone, which is not desirable from a safety standpoint.

(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し1、1.
1− トリクロルエタン等の難燃性現像液により現像で
き、かつ解偉度および耐熱性にも優れた高信頼性ソルダ
マスクを形成することのできる感光性樹脂組成物を提供
することにある。
(Problems to be Solved by the Invention) It is an object of the present invention to eliminate the drawbacks of the prior art described above.
1- It is an object of the present invention to provide a photosensitive resin composition which can be developed with a flame-retardant developer such as trichloroethane and which can form a highly reliable solder mask having excellent resolution and heat resistance.

(問題点を解決するための手段) 本発明は +al  オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
、フェノールノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン
化フェノールノボラック型エポキシm脂からなる群から
選ばれた少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と
、不飽和カルボン酸とを。
(Means for Solving the Problems) The present invention provides at least one novolak-type epoxy resin selected from the group consisting of +al orthocresol novolac-type epoxy resins, phenol novolac-type epoxy resins, and halogenated phenol novolac-type epoxy resins. and an unsaturated carboxylic acid.

酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.98の範囲で付
加反応させて得られる不飽和化合物の2級水酸基に、イ
ンシアナートエチルメタクリレートを。
Incyanate ethyl methacrylate is added to the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by addition reaction at an acid equivalent/epoxy equivalent ratio of 0.1 to 0.98.

イソシアナート当量/水酸基当量比が0.1〜1.2の
範囲で反応させて得られる光重合性不飽和化合物。
A photopolymerizable unsaturated compound obtained by reacting at an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio of 0.1 to 1.2.

[b)  活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤
および(!またけ)増感剤系。
[b) Sensitizers and sensitizer systems that generate free radicals by actinic light.

並びに (c1微粒状充填剤。and (c1 fine granular filler.

を含有してなる感光性樹脂組成物に関する。The present invention relates to a photosensitive resin composition containing the following.

本発明の感光性樹脂組成物は必須成分(a)として。The photosensitive resin composition of the present invention has as an essential component (a).

オルソクレゾールノボランク型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン化フェノー
ルノボラック屋エポキシ樹脂からなる群から選ばれた少
なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と、不飽和カ
ルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.
98の範囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の2
級水酸基に。
At least one novolak epoxy resin selected from the group consisting of orthocresol novolak epoxy resin, phenol novolak epoxy resin, and halogenated phenol novolak epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid, acid equivalent/epoxy equivalent The ratio is 0.1-0.
2 of unsaturated compounds obtained by addition reaction in the range of 98
to the grade hydroxyl group.

イノシアナートエチルメタクリレートを、イソシアナー
ト当量/水酸基当量比が0.1〜1.2の範囲で反応さ
せて得られる光重合不飽和化合物を含有する。
Contains a photopolymerizable unsaturated compound obtained by reacting inocyanate ethyl methacrylate with an isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio in the range of 0.1 to 1.2.

本発明に用いられるノボラック型エポキシ樹脂ハ9例え
ばオルンクレゾール、フェノール、ノ10ゲン化フェノ
ール等とアルデヒドを酸触媒の存在下に反応させて得ら
れるノボラック製樹脂のフェノール性水酸基にアルカリ
の存在下にエピクロルヒドリンを反応させて得られるも
ので、商業的にも入手可能である。
The novolac type epoxy resin used in the present invention is obtained by reacting an aldehyde with, for example, olincresol, phenol, 10-genated phenol, etc. in the presence of an acid catalyst. It is obtained by reacting epichlorohydrin and is commercially available.

オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては9
例えばチバ・ガイギー社製、アラルダイトECN129
9(軟化点99°C,エポキシ当量230)、ECN1
280(軟化点80℃、エポキシ当量230 )、EC
N1273 (軟化点73℃、エポキシ当量230)、
  日本化薬■製、 EOCN104(軟化点90〜1
00°C,エポキシ当量225〜245 )、EOCN
IO3(軟化点80〜90℃、エポキシ当量215〜2
35 )、 EOCNIO2(軟化点70〜80℃、エ
ポキシ当量215〜235 )、EOCNIO1(軟化
点65〜69℃、エポキシ当量205〜225)等が挙
げられる。
9 for orthocresol novolac type epoxy resin
For example, Araldite ECN129 manufactured by Ciba Geigy.
9 (softening point 99°C, epoxy equivalent 230), ECN1
280 (softening point 80°C, epoxy equivalent 230), EC
N1273 (softening point 73°C, epoxy equivalent 230),
Made by Nippon Kayaku ■, EOCN104 (softening point 90-1
00°C, epoxy equivalent 225-245), EOCN
IO3 (softening point 80-90℃, epoxy equivalent 215-2
35), EOCNIO2 (softening point 70-80°C, epoxy equivalent 215-235), EOCNIO1 (softening point 65-69°C, epoxy equivalent 205-225).

フェノールノボラック型エポキシ樹脂としては。As a phenol novolac type epoxy resin.

例えばシェル社製、エピコート154(エポキシ当量1
76〜181)、ダウケミカル社製、DEN431(エ
ポキシ当量172〜179)、DEN438(エポキシ
当量175〜182)、東部化成■製、YDPN−63
8(エポキシ当量170〜190 )、YDPN−60
1(エポキシ当量180〜220 )、YDPN−60
2(エポキシ当量180〜220)等が挙げられる。
For example, Epikote 154 (epoxy equivalent: 1
76-181), manufactured by Dow Chemical Company, DEN431 (epoxy equivalent weight 172-179), DEN438 (epoxy equivalent weight 175-182), manufactured by Tobu Kasei ■, YDPN-63
8 (epoxy equivalent 170-190), YDPN-60
1 (epoxy equivalent 180-220), YDPN-60
2 (epoxy equivalent: 180 to 220).

ハロゲン化フェノールノボラック屋エポキシ樹脂として
は9例えば日本化薬■製、BREN(エポキシ当量27
0〜300.臭素含有量35〜37チ、軟化点80〜9
0℃)等の臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂
等が挙げられる。不飽和カルボン酸としては、アクリル
酸、メタクリル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリ
ルアクリル酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸等が用い
られる。
Examples of halogenated phenol novolak epoxy resins include 9, manufactured by Nippon Kayaku ■, and BREN (epoxy equivalent: 27
0-300. Bromine content 35-37chi, softening point 80-9
Examples include brominated phenol novolac type epoxy resins such as 0°C). As the unsaturated carboxylic acid, acrylic acid, methacrylic acid, β-furylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid, etc. are used.

本発明において、これらのノボラック型エポキシ樹脂と
不飽和カルボン酸との付加反応は式(1)に示すようで
あシ、酸当量/エポキシ当量比が0.1〜0.98の範
囲で常法により行なわれる。酸当量/エポキシ当量比が
0.1未満ではイメージ露光後の現像処理により光硬化
被膜が膨潤しやすい。酸当量/エポキシ当量比が0.9
8を超える場合には。
In the present invention, the addition reaction between these novolac type epoxy resins and unsaturated carboxylic acids is as shown in formula (1), and is carried out by a conventional method when the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is in the range of 0.1 to 0.98. This is done by When the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is less than 0.1, the photocured film is likely to swell during development treatment after image exposure. Acid equivalent/epoxy equivalent ratio is 0.9
If it exceeds 8.

密着性、耐熱性等が低下する。Adhesion, heat resistance, etc. decrease.

H ・・・(1) 例えば前記ノボラック型エポキシ樹脂をメチルエチルケ
トン、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ
アセテート、シクロヘキサノン等の不活性有機溶剤に溶
解し、触媒としてトリエチルアミン、トリーn−ブチル
アミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等の3級アミン
、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、塩化ベンジル
トリエチルアンモニウム等の4級アンモニウム塩などを
H... (1) For example, the novolak type epoxy resin is dissolved in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, etc., and 3 such as triethylamine, tri-n-butylamine, diethylcyclohexylamine, etc. are used as a catalyst. quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride and benzyltriethylammonium chloride.

また重合禁止剤としてハイドロキノン、p−メトキシフ
ェノール等を用い、70〜110℃で前記不飽和カルボ
ン酸と上記の当量比の範囲で攪拌反応させることにより
、不飽和化合物が得られる。
Further, an unsaturated compound can be obtained by stirring and reacting with the unsaturated carboxylic acid at 70 to 110° C. in the equivalent ratio range described above using hydroquinone, p-methoxyphenol, etc. as a polymerization inhibitor.

上記のようにノボラック型エポキシ樹脂を不飽和カルボ
ン酸とを付加反応させて得られる不飽和化合物の2級水
酸基に対するインシアナートエチルメタクリレートの反
応は式(II)に示すようでおジイソシアナート当量/
水酸基当量比が0.1〜1.2の範囲で常法により行な
われる、イソシアナート当量/水酸基当量比が0.1未
満の場合には、1,1゜1−トリクロルエタン等の難燃
性有機溶剤による現像が困難となり、また光硬化性も低
下する。イソシアナート当量/水酸基当量比が1.2 
tl−超える場合には1反応時にゲル化しゃすくなシ、
また耐熱性等の特性も低下する。反応後、メタノール。
The reaction of incyanatoethyl methacrylate with the secondary hydroxyl group of the unsaturated compound obtained by addition-reacting a novolac type epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid as described above is as shown in formula (II), and the diisocyanate equivalent is /
When the isocyanate equivalent/hydroxyl equivalent ratio is less than 0.1, flame retardant materials such as 1,1゜1-trichloroethane, etc. Development with organic solvents becomes difficult, and photocurability also decreases. Isocyanate equivalent/hydroxyl equivalent ratio is 1.2
If it exceeds tl, gelation will not occur during one reaction.
In addition, properties such as heat resistance are also reduced. After reaction, methanol.

エタノール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート等の
1級アルコールを用いて残存するイソシアナートエチル
メタクリレートをウレタン化し、失活させることが安全
上および保存安定性向上の上で望ましい、イソシアナー
トエチルメタクリレートとしては9例えばダウケミカル
社製のものが用いられる。
It is desirable to urethane and deactivate the remaining isocyanatoethyl methacrylate using a primary alcohol such as ethanol or 2-hydroxyethyl methacrylate from the viewpoint of safety and improving storage stability. The one manufactured by Dow Chemical Company is used.

H 例えば前記のノボランク型エポキシ樹脂と不飽和カルボ
ン酸との付加反応を行ない9次いでこの生成物にジブチ
ルチンジラウレート、ジブチルランク2エチルヘキソエ
ート等のウレタン化触媒t−添加し、上記の当量比の範
囲でインシアナートエチルメタクリレートを50〜11
0℃で攪拌反応させることにより、光重合性不飽和化合
物が得られる。このような反応条件下ではウレタン結合
とエポキシ基との反応、不飽和結合の熱重合等の副反応
を防止することができ、その結果ゲル状物を生成させる
ことなく、光重合性不飽和化合物を得ることができる。
H For example, an addition reaction between the above-mentioned novolanc type epoxy resin and an unsaturated carboxylic acid is carried out.Next, a urethanization catalyst such as dibutyl tin dilaurate or dibutyl rank 2 ethyl hexoate is added to the product, and the above equivalent ratio is Incyanate ethyl methacrylate in the range of 50 to 11
A photopolymerizable unsaturated compound is obtained by stirring and reacting at 0°C. Under such reaction conditions, side reactions such as the reaction between urethane bonds and epoxy groups and thermal polymerization of unsaturated bonds can be prevented, and as a result, photopolymerizable unsaturated compounds can be formed without forming gel-like substances. can be obtained.

本発明において、特に好ましい光重合性不飽和化合物と
しては、オルソクレゾールノボラック屋エポキシ樹脂/
アクリル酸/イソシアナートエチルメタクリレート(酸
当量/エポキシ当量比0.1〜0.98 、インシアナ
ート当量/水酸基当量比0、1〜1.2 ) 未反応物
、オルソクレゾールノボランク型エポキシ樹脂/メタク
リル酸/イソシアナートエチルメタクリレート(酸当量
/エポキシ当量比0.1〜0.98.  イソシアナー
ト当量/水酸基当量比0.1〜1.2)系反応物等が挙
げられる。
In the present invention, particularly preferred photopolymerizable unsaturated compounds include orthocresol novolak epoxy resin/
Acrylic acid/isocyanate ethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio 0.1 to 0.98, incyanato equivalent/hydroxyl equivalent ratio 0.1 to 1.2) Unreacted material, orthocresol novolanc type epoxy resin/methacrylic acid /isocyanate ethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio 0.1 to 0.98; isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio 0.1 to 1.2) type reactants.

本発明の感光性樹脂組成物は活性光により遊離ラジカル
を生成する増感剤および(または)増感剤系を必須成分
(b)として含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains as an essential component (b) a sensitizer and/or a sensitizer system that generates free radicals by actinic light.

増感剤としては、置換または非置換の多核キノン類1例
えば、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアン
トラキノン、オクタメチルアントラキノン、1.2−ベ
ンズアントラキノン、ス3−ジフェニルアントラキノン
等、ジアセチルベンジル等のブトアルドニル化合物、ベ
ンゾイン、ビパロン等のα−ケタルドニルアルコール類
およびエーテル類、α−炭化水素置換芳香族アシロイン
類。
Examples of the sensitizer include substituted or unsubstituted polynuclear quinones 1, such as 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 3-diphenylanthraquinone, diacetylbenzyl, etc. α-ketaldonyl alcohols and ethers such as butaldonyl compounds, benzoin and biparone, and α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins.

例えばα−フェニル−ベンゾイン、α、α−ジェトキシ
アセトフェノン等、ベンゾフェノン、4.4’−ビスジ
アルキルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、2
メチルチオキサントン、2.4−ジエチルチオキサント
ン、2−クロルチオキサントン、2−イノプロピルチオ
キサントン、2−エチルチオキサントン等のチオキサン
トン類が用いられ、これらは単独でも組み合わせて使用
してもよい。
For example, aromatic ketones such as α-phenyl-benzoin, α, α-jethoxyacetophenone, benzophenone, 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone, etc.
Thioxanthone such as methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-inopropylthioxanthone, and 2-ethylthioxanthone are used, and these may be used alone or in combination.

増感剤系としては9例えば2,4.5−)!Jアリルイ
ミダゾールニ量体と2−メルカプトベンゾキナゾール、
ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4−ジエチル
アミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組み合わせ
が用いられる。またそれ自体で光開始性はないが、前記
物質と組み合わせて用いることにより全体として光開始
性能のよシ良好な増感剤系となるような添加剤1例えば
、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等の3
級アミン、チオキサントン類に対するジメチルアミノ安
息香酸イソアミル、N−メチルジエタールアミ/、ビス
エチルアミノベンゾフェノン等ヲ用いることもできる。
As a sensitizer system, 9 (for example, 2,4.5-)! J allylimidazole dimer and 2-mercaptobenzoquinazole,
A combination with leuco crystal violet, tris(4-diethylamino-2-methylphenyl)methane, etc. is used. Also, additives which do not have photoinitiating properties by themselves, but which, when used in combination with the above-mentioned substances, result in a sensitizer system with better photoinitiating properties as a whole, such as triethanolamine for benzophenone, etc.
It is also possible to use isoamyl dimethylaminobenzoate, N-methyldietalamide, bisethylaminobenzophenone, etc. for thioxanthones.

本発明の感光性樹脂組成物は微粒状充填剤を必須成分(
c1として含有する。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a fine particulate filler as an essential component (
Contained as c1.

微粒状充填剤としては9例えばタルク、シリカ。Examples of fine particulate fillers include talc and silica.

酸化チタン、クレイ、炭酸カルシウム、含水珪酸。Titanium oxide, clay, calcium carbonate, hydrated silicic acid.

水酸化アルミニウム、アルミナ、硫酸バリウム。Aluminum hydroxide, alumina, barium sulfate.

三酸化アンチモン、炭酸マグネシウム、マイカ粉。Antimony trioxide, magnesium carbonate, mica powder.

珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム等が用いられる。Aluminum silicate, magnesium silicate, etc. are used.

微粒状充填剤の粒径は、解像度、硬化被膜の密着性等の
低下防止の点から、好ましくは0.01〜10μm、よ
υ好ましくは0.01〜1,5μmである。微粒状充填
剤は感光性樹脂組成物中に均一に分散されていることが
好ましい。充填剤と前記光重合性不飽和化合物との間の
接着力を増すために、充填剤の表面を、水酸基、アミノ
基、エポキシ基、ビニル基等の官能基を有するシランカ
ンプリング剤で処理することもできる。シランカンプリ
ング剤としては9例えばγ−7ミノプロビルトリエトキ
シシラン、β−アミノエチル−r−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−グリシドオキシグロビルトリメト
キシシラン、r−メタアクリロキシグロビルトリメトキ
シシラン等が挙げられる。
The particle size of the particulate filler is preferably 0.01 to 10 μm, more preferably 0.01 to 1.5 μm, from the viewpoint of preventing deterioration of resolution, adhesion of the cured film, and the like. It is preferable that the particulate filler is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition. In order to increase the adhesive force between the filler and the photopolymerizable unsaturated compound, the surface of the filler is treated with a silane camping agent having a functional group such as a hydroxyl group, an amino group, an epoxy group, or a vinyl group. You can also do that. Examples of silane camping agents include γ-7minopropyltriethoxysilane, β-aminoethyl-r-aminopropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxyglobiltrimethoxysilane, and r-methacryloxyglobiltrimethoxysilane. Examples include methoxysilane.

本発明の感光性樹脂組成物は、光重合性不飽和化合物(
81100重量部に対して、増感剤および(または)増
感剤系(blを0.1〜30重量部並びに微粒状充填剤
(c1を3〜100重量部の範囲で用いることが、解像
度および半田耐熱性に優れたゾルダマスフを形成する上
で好ましい。更に本発明の組成物は他の光重合性化合物
を含有してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerizable unsaturated compound (
Using 0.1 to 30 parts by weight of the sensitizer and/or sensitizer system (bl) and 3 to 100 parts by weight of the particulate filler (c1) to improve resolution and This is preferable for forming a solder mask having excellent solder heat resistance.Furthermore, the composition of the present invention may contain other photopolymerizable compounds.

他の光重合性化合物としては1例えばトリメチロ−ルプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリア
クリレート、トリメチルへキサメチレンジイノシアナー
ト/2−ヒドロキシエチルアクリレート(1/2モル比
)反応物インシアナートエチルメタクリレート/水(2
/1モル比)反応物等が挙げられる。また特開昭53−
56018号公報に示される光重合性化合物を用いるこ
ともできる。しかしこれら他の光重合性化合物の含有量
は、耐熱性の保持上から、(a)光重合性不飽和化合物
に対して10重量%以下であることが好ましい。
Other photopolymerizable compounds include 1, such as trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, trimethylhexamethylene diinocyanate/2-hydroxyethyl acrylate (1/2 molar ratio) reaction product incyanatoethyl methacrylate /water (2
/1 molar ratio) reactants, etc. Also, JP-A-53-
Photopolymerizable compounds disclosed in Japanese Patent No. 56018 can also be used. However, from the viewpoint of maintaining heat resistance, the content of these other photopolymerizable compounds is preferably 10% by weight or less based on (a) the photopolymerizable unsaturated compound.

更に本発明の感光性樹脂組成物は他の副次的成分を含有
していてもよい。副次的成分としては。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other subsidiary components. As a secondary ingredient.

高分子結合剤、熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性向上
剤、消泡剤、難燃剤、密着性向上剤、エポキシ樹脂の潜
在性硬化剤等が挙げられる。
Examples include polymer binders, thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, coatability improvers, antifoaming agents, flame retardants, adhesion improvers, and latent curing agents for epoxy resins.

本発明の感光性樹脂組成物はディップコート法。The photosensitive resin composition of the present invention is prepared using a dip coating method.

フローコート法、スクリーン印刷法等の常法により、加
工保護すべき基板上に直接塗工し、厚さ10〜150μ
mの感光層を容易に形成することができる。塗工にあた
り、必要ならば組成物を溶剤に痔解させて行なうことも
できる。溶剤としては9例えばメチルエチルケトン、メ
チルセロソルフアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、塩化メチン
y、  1,1.1−1リクロルエタン等を挙げること
ができる。
Coat directly onto the substrate to be processed and protected using conventional methods such as flow coating and screen printing to a thickness of 10 to 150 μm.
m photosensitive layers can be easily formed. In coating, if necessary, the composition can be dissolved in a solvent. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, methine chloride, and 1,1.1-1-lichloroethane.

またこの溶液を9例えばポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリイミドフィルム等のフィルム上に、ナイフ
コート法、ロールコート法等により塗布し、乾燥して得
られる感光性エレメントを熱ロールを用いて基板上に加
熱加圧積層して感光層を形成することもできる。この際
基板が導体配線ラインの形成された印刷配線板等の10
μm以上の凹凸を有する場合には、空気の巻き込みを防
ぐため、  200 mmHg以下の真空下で積層する
ことが好ましい。このための装置としては例えば特公昭
55−13341号公報に記載される積層装置が用いら
れる。なお活性光に不透明な支持体フィルムを用いる場
合には、露光時に支持体フィルムを剥離する必要がある
In addition, this solution is coated onto a film such as a polyethylene terephthalate film or a polyimide film by a knife coating method or a roll coating method, and the photosensitive element obtained by drying is heated and pressed onto a substrate using a hot roll. A photosensitive layer can also be formed by laminating them. At this time, the substrate is a printed wiring board or the like on which conductor wiring lines are formed.
When the layers have irregularities of μm or more, it is preferable to laminate them under a vacuum of 200 mmHg or less in order to prevent air from being entrained. As an apparatus for this purpose, for example, a laminating apparatus described in Japanese Patent Publication No. 55-13341 is used. In addition, when using a support film that is opaque to actinic light, it is necessary to peel off the support film at the time of exposure.

こうして形成された感光層の露光および現像は常法によ
り行なわれる。すなわち、光源として超高圧水銀灯、高
圧水銀灯等を用い、感光性樹脂組成物の層上に直接また
はポリエチレンテンフタレートフィルム等の透明フィル
ムを介し、ネガマスク全通して像的に露光する。露光後
透明フィルムが残っている場合には、これを剥離した後
現像する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by conventional methods. That is, using an ultra-high-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, or the like as a light source, the layer of the photosensitive resin composition is imagewise exposed directly or through a transparent film such as a polyethylene terephthalate film through a negative mask. If a transparent film remains after exposure, it is peeled off and then developed.

現像処理に用いられる現像液は露光部にダメージを与え
ず、未露光部を選択的に溶出するものであればその種類
については特に制限はない。現像液としては2例えば1
.1.1− トリクロルエタン等のハロゲン化炭化水素
が用いられる。また1、 1.1−トリクロルエタンを
主成分とする洗浄剤9例えばスリーワンEX(東亜合成
化学■製)ヲ使用することもできる。
The type of developer used in the development process is not particularly limited as long as it does not damage the exposed areas and selectively elutes the unexposed areas. As a developer, 2, for example, 1
.. 1.1- Halogenated hydrocarbons such as trichloroethane are used. It is also possible to use a cleaning agent 9 containing 1,1,1-trichloroethane as a main component, for example, Three-One EX (manufactured by Toagosei Chemical Co., Ltd.).

上記の方法で得られた像的な保護被膜は9通常のエツチ
ング、めっき等のための耐食膜としての特性を持ってい
るが、現像後に活性光の露光および80〜200℃での
加熱処理を行なうことにより、密着性、耐熱性、耐溶剤
等の特性を向上でき。
The image-like protective film obtained by the above method has properties as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but after development, exposure to active light and heat treatment at 80 to 200°C are necessary. By doing so, properties such as adhesion, heat resistance, and solvent resistance can be improved.

ソルダマスクとしての特性を満足する永久的な保護膜が
得られる。これらの活性光の露光および加熱処理の順序
はどちらが先でもよい。
A permanent protective film that satisfies the properties of a solder mask is obtained. The order of exposure to active light and heat treatment may be in any order.

(発明の効果) 本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保護被膜は
、トリクレン、メチルエチルケトン、イア7’ロピルア
ルコール、トルエン等の有機溶剤に充分耐え、酸性水溶
液またはアルカリ水溶液にも耐える。更に耐熱性9機械
的特性にも優れているので、エツチング、めっき等のた
めの耐食膜、ソルダマスク等の永久的な保護膜として使
用することができる。更に本発明の感光性樹脂組成物を
用いて形成される被膜は優れた化学的、物理的特性を有
し、このため多層印刷配線板の層間絶縁層。
(Effects of the Invention) The protective film obtained using the photosensitive resin composition of the present invention has sufficient resistance to organic solvents such as tricrene, methyl ethyl ketone, Ia7'lopyl alcohol, toluene, etc., and also resistance to acidic or alkaline aqueous solutions. . Furthermore, since it has excellent heat resistance and mechanical properties, it can be used as a corrosion-resistant film for etching, plating, etc., and as a permanent protective film for solder masks, etc. Furthermore, the film formed using the photosensitive resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties, and therefore can be used as an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board.

感光性接着剤、塗料、プラスチックレリーフ、印刷版材
料、金属精密加工材料等にも用いることができる。
It can also be used in photosensitive adhesives, paints, plastic reliefs, printing plate materials, metal precision processing materials, etc.

また9本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、
1,1.1−)リクロルエタン等の難燃性現偉液により
現像でき、解像度および耐熱性に優れたソルダマスクを
形成することができる。しかも写真法により厚膜のソル
ダマスクを形成することも可能である。
Furthermore, by using the photosensitive resin composition of the present invention,
1,1.1-) It can be developed with a flame-retardant developing solution such as dichloroethane, and a solder mask with excellent resolution and heat resistance can be formed. Moreover, it is also possible to form a thick film solder mask using a photographic method.

(実施例) 実施例中の部は重量部を意味する。(Example) Parts in the examples mean parts by weight.

実施例1 (a)  光1合性不飽和化合物の合成ル オルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂、EOCN102(エ
ポキシ当量230)1095部 メチルエチルケトン      800部B部子。リル
酸            69部塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム 7部 p−メトキシフェノール      3部メチルエチル
ケトン      100部C,インシアナートエチル
メタクリレート163部 ジブチルチンジラウレート    0.5部メチルエチ
ルケトン      100部り、メタノール    
       10部温度計、攪拌装置、冷却管および
滴下器の付いた加熱および冷却可能な5t!の反応器に
、前記Aを加え、攪拌しながら60℃に昇温し、均一に
溶解させた。反応温度を60℃に保ちながら、これに約
1時間かけてBを滴下した。Bの滴下後、2時間かけて
80℃に昇温し、80℃で約15時間攪拌を続は反応系
の戯画を1以下にした。
Example 1 (a) Synthesis of photoreactive unsaturated compound Orthocresol novolak type epoxy resin, EOCN102 (epoxy equivalent weight 230) 1095 parts Methyl ethyl ketone 800 parts Part B. Lilic acid 69 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 parts Methyl ethyl ketone 100 parts C, incyanato Ethyl methacrylate 163 parts Dibutyl tin dilaurate 0.5 parts Methyl ethyl ketone 100 parts Methanol
10-part heating and cooling 5t with thermometer, stirrer, cooling tube and dropper! The above A was added to the reactor, and the temperature was raised to 60°C while stirring to uniformly dissolve it. B was added dropwise thereto over about 1 hour while maintaining the reaction temperature at 60°C. After dropping B, the temperature was raised to 80°C over 2 hours, and the mixture was stirred at 80°C for about 15 hours until the number of caricatures in the reaction system was reduced to 1 or less.

次いで温度を60℃に低下させ2反応器度を60℃に保
ちながら約3時間かけて均一にCを滴下した。C滴下後
、約5時間かけて徐々に反応温度を80”Cまで昇温し
た後、温度を60℃に低下させ、Dを加え、約1時間攪
拌を続けた。こうして不揮発分57]Ut%のオルソク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂/アクリル酸/イソ
シアナートエチルメタクリレート(酸当量/エポキシ当
量比=0.2.インシアナート当量/水酸基当量比=1
.1)系光重合性不飽和化合物の溶液(1)を得た。
Next, the temperature was lowered to 60°C, and C was uniformly added dropwise to the reactor over about 3 hours while maintaining the temperature at 60°C. After dropping C, the reaction temperature was gradually raised to 80"C over about 5 hours, and then the temperature was lowered to 60"C, D was added, and stirring was continued for about 1 hour.In this way, the nonvolatile content was 57] Ut%. Orthocresol novolak type epoxy resin / acrylic acid / isocyanato ethyl methacrylate (acid equivalent / epoxy equivalent ratio = 0.2. incyanato equivalent / hydroxyl group equivalent ratio = 1)
.. 1) A solution (1) of a photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(b)  感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(118
8部(不揮発分50部)にλ4ジエチルチオキサントン
1.5部、安息香酸イソブチル2部、ミクロエースP−
4(日本タルク製、超微粒子タルク平均粒径1.5μm
)30部、フタロシアニングリーン0.1部およびモダ
フロー0.1部を配合し、ロールミルで混合分散させて
9本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。
(b) Preparation of photosensitive resin composition Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in (a) (118
8 parts (non-volatile content 50 parts), 1.5 parts of λ4 diethylthioxanthone, 2 parts of isobutyl benzoate, Micro Ace P-
4 (manufactured by Nippon Talc, ultrafine talc average particle size 1.5 μm
), 0.1 part of phthalocyanine green, and 0.1 part of Modaflow were mixed and dispersed using a roll mill to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

(c)硬化被膜の形成 (b)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を、銅張シ積
層板上に塗布し、室温で20分、80℃で20分間乾燥
し、厚さ40μmの感光層を形成した。次いでネガマス
クを通してオーク製作所■裂。
(c) Formation of a cured film The solution of the photosensitive resin composition obtained in (b) was applied onto a copper-clad laminate and dried at room temperature for 20 minutes and at 80°C for 20 minutes to form a film with a thickness of 40 μm. A photosensitive layer was formed. Then, through the negative mask, the orc manufacturing company ■cracked.

フェニックス3000型露光機を用い、200mJ/c
m”で露光した。露光後80℃で5分間加熱し。
200mJ/c using Phoenix 3000 exposure machine
After exposure, the film was heated at 80°C for 5 minutes.

常温で30分放置した後、Lift  hリクロルエタ
ンを用いて20℃で90秒間スプレー現像した。
After being left at room temperature for 30 minutes, spray development was performed at 20° C. for 90 seconds using Lift h dichloroethane.

次いで東芝電材■製、東芝紫外線照射装置(定格電圧2
00V、定格消費電カフ、2KW、適合ランプH560
0L/2.  ランプ本数1本)を使用し。
Next was the Toshiba ultraviolet irradiation equipment (rated voltage 2) manufactured by Toshiba Denzai ■.
00V, rated power consumption cuff, 2KW, compatible lamp H560
0L/2. (1 lamp) is used.

1J/cIn2で照射した後、150℃で30分間加熱
処理してネガマスクに相応する寸法精度の優れたソルダ
マスクを得た。このソルダマスクは耐冷熱衝撃性に優れ
、ロジン系フラックスA−226(タムラ化研■裂)を
用いて、260℃で10秒間、はんだ付は処理し、更に
トリクレンで25℃。
After irradiation at 1 J/cIn2, a heat treatment was performed at 150° C. for 30 minutes to obtain a solder mask with excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask. This solder mask has excellent cold and thermal shock resistance, and was soldered at 260°C for 10 seconds using rosin-based flux A-226 (Tamura Kakenhira), and then soldered at 25°C with Triclean.

10分間清浄化処理した後、MIL−8TD−202E
107D条件B (−659C30分間、常温5分以内
、125°C30分間)、50サイクルの冷熱衝撃試験
でクラックの発生および被膜の剥がれは認められず、長
期間の信頼性が非常に優れていることがわかった。
After cleaning for 10 minutes, MIL-8TD-202E
107D Condition B (-659C for 30 minutes, room temperature for 5 minutes or less, 125°C for 30 minutes), no cracking or peeling of the coating was observed in 50 cycles of thermal shock testing, and the long-term reliability is extremely excellent. I understand.

実施例2 (a)  光重合性不飽和化合物の合成A、オルソクレ
ゾールノボラック型エポキシ樹脂、EOCN104(エ
ポキシ当量230)920部 ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、BR
EN(エポキシ当量285)285部 メチルセロソルブアセテート  600部B、アクリル
酸          288部塩化ベンジルトリメチ
ルアンモニウム 7部 p−メトキシフェノール      3部メチルセロソ
ルブアセテート  100部C,インシアナートエチル
メタクリレート620部 ジブチルチンジラウレート    0.5部メチルセロ
ソルブアセテート  100部り、メタノール    
       10部A−Dを用い、その他は実施例1
 (a)と同様にして、不揮発分54重量%のノボラッ
ク型エポキシ樹脂/アクリル酸/インシアナートエチル
メタクリレート(酸当量/エポキシ当量比=0.8イン
シアナート当量/水酸基当量比=1)系光重合性不飽和
化合物の溶液+II)を得た。
Example 2 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A, orthocresol novolac type epoxy resin, EOCN104 (epoxy equivalent weight 230) 920 parts Halogenated phenol novolac type epoxy resin, BR
EN (epoxy equivalent weight 285) 285 parts Methyl cellosolve acetate 600 parts B, acrylic acid 288 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts C, incyanato ethyl methacrylate 620 parts Dibutyl tin dilaurate 0. 5 parts methyl cellosolve acetate 100 parts methanol
10 parts A-D were used, and the rest was Example 1.
In the same manner as in (a), photopolymerization of a novolac type epoxy resin with a nonvolatile content of 54% by weight/acrylic acid/incyanatoethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 0.8 incyanato equivalent/hydroxyl group equivalent ratio = 1) A solution of sexually unsaturated compounds +II) was obtained.

(bl  感光性樹脂組成物の調製 (a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液(111
148部(不揮発分80部)、三酸化アンチモン(平均
粒径0.15μm)3部、ベンゾフェノン2、.7部、
ミヒラーケトン0.3部、ホスマーM(油脂製品■製、
リン酸エステル)とベンゾトリアゾールとの等モル塩0
.1部およびビクトリアピュアブルー0602部を配合
し、三本ロールで混合して本発明の感光性樹脂組成物の
浴液を調製した。
(bl Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in preparation (a) of photosensitive resin composition (111
148 parts (non-volatile content 80 parts), 3 parts of antimony trioxide (average particle size 0.15 μm), 2 parts of benzophenone, . 7th part,
Michler's ketone 0.3 parts, Hosmer M (oil product ■,
Equimolar salt of phosphoric acid ester) and benzotriazole 0
.. A bath liquid of the photosensitive resin composition of the present invention was prepared by blending 1 part and 2 parts of Victoria Pure Blue 060 and mixing with a triple roll.

以下、実施例1(c)と同様にして耐熱性に優れた硬化
被膜を得た。
Thereafter, a cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1(c).

また前記感光性樹脂組成物を厚さ0.8mm、UL94
V−0のガラスエポキシ難燃基材(日立化成工業■製、
MCL−E−67)の両面に適用し。
Further, the photosensitive resin composition had a thickness of 0.8 mm and a UL94
V-0 glass epoxy flame retardant base material (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.,
Applied to both sides of MCL-E-67).

厚さ75μmの硬化被膜を形成させた場合には。When a cured film with a thickness of 75 μm is formed.

UL94V−1の難燃性管保持することがわかった。It was found that the flame retardant tube maintained UL94V-1.

実施例3 (al  光重合性不飽和化合物の合成A、オルソクレ
ゾールノボラック聾エポキシ樹脂、BOCN104(エ
ポキシ当量230)1095部 メチルセロソルブアセテート  600部B、 メタク
リル酸         368部塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム 7部 p−メトキシフェノール       3部メチルセロ
ソルブアセテート  100部C,インシアナートエチ
ルメタクリレート287部 ジブチルチンジラウレー)     0.5部メチルセ
ロソルブアセテート  100部り、メタノール   
         10部A−Dを用い、その他は実施
例1(a)と同様にして、不揮発分69重量%のノボラ
ックをエポキシ樹脂/メタクリル酸/イソシアナートエ
チルメタクリレート(酸当量/エポキシ当量比= O,
S 、  インシアナート当量/水酸基当量比=0.8
8)系光重合性不飽和化合物の溶液(m)を得た。
Example 3 (al Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A, orthocresol novolac deaf epoxy resin, BOCN104 (epoxy equivalent weight 230) 1095 parts Methyl cellosolve acetate 600 parts B, methacrylic acid 368 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxy Phenol 3 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts C, incyanato ethyl methacrylate 287 parts dibutyl tin dilaure) 0.5 parts Methyl cellosolve acetate 100 parts, methanol
Using 10 parts A-D, and in the same manner as in Example 1(a), a novolak with a non-volatile content of 69% by weight was mixed with epoxy resin/methacrylic acid/ethyl isocyanate methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = O,
S, Incyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio = 0.8
8) A solution (m) of a photopolymerizable unsaturated compound was obtained.

(bl  感光性樹脂組成物の調製 実施例2(a)の光重合性不飽和化合物の溶液([1の
代わシに、(a)で得られた光重合性不飽和化合物の溶
液(III)116部(不揮発分80部)を用い、その
他は実施例1(b)および(c)と同様にして、耐熱性
に優れた硬化被膜を得た。
(bl Solution of photopolymerizable unsaturated compound obtained in Preparation Example 2 (a) of photosensitive resin composition ([In place of 1, solution (III) of photopolymerizable unsaturated compound obtained in (a)) A cured film with excellent heat resistance was obtained using 116 parts (non-volatile content: 80 parts) and in the same manner as in Example 1(b) and (c) except for the following.

実施例4 (a)  光重合性不飽和化合物の合成A、ラフエノー
ルノボラックエポキシ樹脂。
Example 4 (a) Synthesis of photopolymerizable unsaturated compound A, rough enol novolac epoxy resin.

YDPN−638(xボキシ当量18o)857部 エチルセロソルブアセテート  600部B・ ケイ皮
酸           176部アクリル酸    
       86部塩化ベンジルトリメチルアンモニ
ウム塩7部 p−メトキシフェノール      3部エチルセロソ
ルブアセテート  100部C0インシアナートエチル
メタクリレート369部 ジブチルチンジラウレート    0.1部エチルセロ
ソルブアセテート  100部り、メタノール    
       10部A−Dを用い、その他は実施例1
(a)と同様にして、不揮発分65重量%のフェノール
ノボラック型エポキシ樹脂/ケイ皮酸/アクリル酸/イ
ソシアナ・−トエチルメタクリレート(酸当量/エポキ
シ当量比= 0.5 、 インシアナート当量/水酸基
当量比=1)来光束合性不飽和化合物の溶液(IVIを
得た。
YDPN-638 (x-boxy equivalent: 18o) 857 parts Ethyl cellosolve acetate 600 parts B Cinnamic acid 176 parts Acrylic acid
86 parts Benzyltrimethylammonium chloride 7 parts p-methoxyphenol 3 parts Ethyl cellosolve acetate 100 parts CO incyanato Ethyl methacrylate 369 parts Dibutyltin dilaurate 0.1 part Ethyl cellosolve acetate 100 parts Methanol
10 parts A-D were used, and the rest was Example 1.
In the same manner as in (a), phenol novolak type epoxy resin with nonvolatile content of 65% by weight/cinnamic acid/acrylic acid/isocyana-toethyl methacrylate (acid equivalent/epoxy equivalent ratio = 0.5, incyanate equivalent/hydroxyl group equivalent) Ratio=1) A solution (IVI) of a luminous flux-combining unsaturated compound was obtained.

(b)  感光性樹脂組成分の調製 ta)で得られた光重合性不飽和化合物の溶液GV19
2部(不揮発分60部)、微細アルミナA −5ON(
昭和軽金属■製、平均粒径1μm )15N、2.4−
ジエチルチオキサントン2部、ジメチルアミノ安息香酸
エチル3部、ビクトリアビュアフk −0,02部、キ
ュアゾールCttZ  AZINE1部およびメチルセ
ロソルブ5部を配合し、三本ロールで混合分散させて本
発明の感光性樹脂組成物の分散液を調製した。
(b) Solution GV19 of photopolymerizable unsaturated compound obtained in preparation of photosensitive resin composition ta)
2 parts (non-volatile content 60 parts), fine alumina A-5ON (
Manufactured by Showa Light Metal ■, average particle size 1μm) 15N, 2.4-
2 parts of diethylthioxanthone, 3 parts of ethyl dimethylaminobenzoate, 0.02 parts of Victoria Buaf K, 1 part of Curazole CttZ AZINE, and 5 parts of methyl cellosolve were blended and mixed and dispersed using a triple roll to produce the photosensitive resin of the present invention. A dispersion of the composition was prepared.

(c)  硬化被膜の形成 現像液として、1,1.1−トリクロルエタンの代わり
にスリーワンEX(1,1,1−1リクロルエタンを主
成分とする洗浄液、東亜合成■製)を用い。
(c) Formation of a cured film Three-one EX (a cleaning solution containing 1,1,1-1-trichloroethane as a main component, manufactured by Toagosei ■) was used instead of 1,1,1-trichloroethane as the developer.

その他は実施例1(c)と同様にして耐熱性に優れた硬
化被膜を得た。
A cured film with excellent heat resistance was obtained in the same manner as in Example 1(c) in other respects.

実施例よシ明らかなように1本発明の感光性樹脂組成物
を用いることにより、写真法による厚膜の画像形成が可
能であり、tた1、1.1−トリクロルエタン等の難燃
性現像液を用いて、解像度および耐熱性に優れた高信頼
性のソルダマスクを形成することができる。
As is clear from the examples, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a thick film image by photography, and it is possible to form a thick film using the photosensitive resin composition of the present invention. A highly reliable solder mask with excellent resolution and heat resistance can be formed using a developer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、(a)オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
、フェノールノボラック型エポキシ樹脂およびハロゲン
化フェノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群から
選ばれた少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と
、不飽和カルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が0
.1〜0.98の範囲で付加反応させて得られる不飽和
化合物の2級水酸基に、イソシアナートエチルメタクリ
レートを、イソシアナート当量/水酸基当量比が0.1
〜1.2の範囲で反応させて得られる光重合性不飽和化
合物、 (b)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤およ
び(または)増感剤系、 並びに (c)微粒状充填剤、 を含有してなる感光性樹脂組成物。
[Scope of Claims] 1. (a) at least one novolac-type epoxy resin selected from the group consisting of orthocresol novolac-type epoxy resin, phenol novolak-type epoxy resin, and halogenated phenol novolak-type epoxy resin; and unsaturated carboxylic acid and the acid equivalent/epoxy equivalent ratio is 0.
.. Isocyanate ethyl methacrylate is added to the secondary hydroxyl group of an unsaturated compound obtained by addition reaction in the range of 1 to 0.98, and the isocyanate equivalent/hydroxyl group equivalent ratio is 0.1.
A photopolymerizable unsaturated compound obtained by reacting in the range of ~1.2, (b) a sensitizer and/or a sensitizer system that generates free radicals by actinic light, and (c) a fine particulate filler. , A photosensitive resin composition comprising:
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