JPH04350532A - 圧力センサ装置の調整方式 - Google Patents
圧力センサ装置の調整方式Info
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- JPH04350532A JPH04350532A JP15109191A JP15109191A JPH04350532A JP H04350532 A JPH04350532 A JP H04350532A JP 15109191 A JP15109191 A JP 15109191A JP 15109191 A JP15109191 A JP 15109191A JP H04350532 A JPH04350532 A JP H04350532A
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title abstract description 12
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- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 5
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001687 destabilization Effects 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被調整の圧力センサ
装置の出力特性の調整方式に関するものである。
装置の出力特性の調整方式に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、圧力センサ装置は製品として完
成すると、出力特性が理想状態となるようにトリミング
装置により、その特性を調整して出荷している。図４に
従来の圧力センサ装置の調整方式の一例を示す。図４に
おいて、Ｓは被調整圧力センサ装置である。また、Ａは
特性調整装置の一例で、１は圧力センサ駆動用直流電源
、２は被調整圧力センサ装置Ｓ内の特性調整手段を調整
するトリミング装置、３は上記圧力センサ装置Ｓの出力
電圧値を測定し、トリミング装置２へ電圧値情報をフィ
ードバックする電圧計、４は上記圧力センサ装置Ｓに所
定の圧力を供給する圧力発生器、５は上記圧力センサ装
置Ｓへの入力圧力値を測定し、トリミング装置にフィー
ドバック情報を送る入力圧力計、Ｐは配管である。
成すると、出力特性が理想状態となるようにトリミング
装置により、その特性を調整して出荷している。図４に
従来の圧力センサ装置の調整方式の一例を示す。図４に
おいて、Ｓは被調整圧力センサ装置である。また、Ａは
特性調整装置の一例で、１は圧力センサ駆動用直流電源
、２は被調整圧力センサ装置Ｓ内の特性調整手段を調整
するトリミング装置、３は上記圧力センサ装置Ｓの出力
電圧値を測定し、トリミング装置２へ電圧値情報をフィ
ードバックする電圧計、４は上記圧力センサ装置Ｓに所
定の圧力を供給する圧力発生器、５は上記圧力センサ装
置Ｓへの入力圧力値を測定し、トリミング装置にフィー
ドバック情報を送る入力圧力計、Ｐは配管である。
【０００３】被調整圧力センサ装置Ｓは図２のように構
成される。図中、ｒ１ないしｒ４は、ピエゾ抵抗効果を
利用したセンサ部分を形成するブリッヂ抵抗である。６
は＋側，−側の入力端子と装置外への出力端子とを有し
、上記センサ部分で発生した二種類の電気信号を＋側，
−側入力端子にそれぞれ受け、差動増幅して出力する増
幅器で、圧力センサ装置Ｓの出力特性を調整する手段と
して、オフセット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧと
が設けられる。
成される。図中、ｒ１ないしｒ４は、ピエゾ抵抗効果を
利用したセンサ部分を形成するブリッヂ抵抗である。６
は＋側，−側の入力端子と装置外への出力端子とを有し
、上記センサ部分で発生した二種類の電気信号を＋側，
−側入力端子にそれぞれ受け、差動増幅して出力する増
幅器で、圧力センサ装置Ｓの出力特性を調整する手段と
して、オフセット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧと
が設けられる。
【０００４】調整方法は次のとおりである。図４の特性
ｂに示すように、出力特性が理想的な出力特性ａに対し
バラツキを有している場合につき説明する。まず被調整
圧力センサ装置Ｓに、トリミング装置２によって制御さ
れる圧力発生器４によって所定の圧力値が加えられ、圧
力が安定するのを待って、入力圧力計５からトリミング
装置２へ入力圧力値情報がフィードバックされる。トリ
ミング装置２では、この圧力情報をモニタして圧力セン
サ装置Ｓの入力圧力値をＰ１に設定する。この入力圧力
値Ｐ１についての出力電圧の調整目標値を演算する。こ
の目標値はＶ１であり、実際値ＶＥとの間に誤差を有す
る。電圧計３からフィードバックされる電圧値情報が、
上記目標値Ｖ１となるようにオフセット調整抵抗ＲＯと
ゲイン調整抵抗ＲＧとを調整する。このようにオフセッ
ト調整抵抗ＲＯ及びゲイン調整抵抗ＲＧによって、理想
状態となるように特性を調整している。
ｂに示すように、出力特性が理想的な出力特性ａに対し
バラツキを有している場合につき説明する。まず被調整
圧力センサ装置Ｓに、トリミング装置２によって制御さ
れる圧力発生器４によって所定の圧力値が加えられ、圧
力が安定するのを待って、入力圧力計５からトリミング
装置２へ入力圧力値情報がフィードバックされる。トリ
ミング装置２では、この圧力情報をモニタして圧力セン
サ装置Ｓの入力圧力値をＰ１に設定する。この入力圧力
値Ｐ１についての出力電圧の調整目標値を演算する。こ
の目標値はＶ１であり、実際値ＶＥとの間に誤差を有す
る。電圧計３からフィードバックされる電圧値情報が、
上記目標値Ｖ１となるようにオフセット調整抵抗ＲＯと
ゲイン調整抵抗ＲＧとを調整する。このようにオフセッ
ト調整抵抗ＲＯ及びゲイン調整抵抗ＲＧによって、理想
状態となるように特性を調整している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧力センサ装置
の特性調整は以上のような方式で実施されているが、圧
力センサ装置が、駆動電源電圧の変動，周囲温度の変動
，入力圧力の変動といった環境条件の影響を受けやすい
為に、精度の高い調整が難しかった。また、入力圧力の
安定化の為の待ち時間や、圧力値情報をリアルタイムで
目標値にフィードバックしようとすると調整時間が長く
なっていた。
の特性調整は以上のような方式で実施されているが、圧
力センサ装置が、駆動電源電圧の変動，周囲温度の変動
，入力圧力の変動といった環境条件の影響を受けやすい
為に、精度の高い調整が難しかった。また、入力圧力の
安定化の為の待ち時間や、圧力値情報をリアルタイムで
目標値にフィードバックしようとすると調整時間が長く
なっていた。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、圧力センサ装置が被る環境条件
の影響を補償して、高精度な特性調整を可能とし、また
従来の調整時間を短縮可能な圧力センサ装置の調整方式
を提供することを目的とする。
ためになされたもので、圧力センサ装置が被る環境条件
の影響を補償して、高精度な特性調整を可能とし、また
従来の調整時間を短縮可能な圧力センサ装置の調整方式
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る圧力セ
ンサ装置の調整方式は、被調整圧力センサ装置と同一の
入力圧力が供給されるとともに、入力圧力に対し出力が
ほぼ理想状態となるように特性があらかじめ設定された
基準圧力センサ装置７と、この基準圧力センサ装置７の
出力と被調整圧力センサ装置Ｓの出力の差を演算する差
動増幅器８とを備え、トリミング装置２０は、被調整圧
力センサ装置Ｓと基準圧力センサ装置７が所定の入力圧
力値のときに差動増幅器８の出力がほぼ零となるように
特性調整手段を調整する。
ンサ装置の調整方式は、被調整圧力センサ装置と同一の
入力圧力が供給されるとともに、入力圧力に対し出力が
ほぼ理想状態となるように特性があらかじめ設定された
基準圧力センサ装置７と、この基準圧力センサ装置７の
出力と被調整圧力センサ装置Ｓの出力の差を演算する差
動増幅器８とを備え、トリミング装置２０は、被調整圧
力センサ装置Ｓと基準圧力センサ装置７が所定の入力圧
力値のときに差動増幅器８の出力がほぼ零となるように
特性調整手段を調整する。
【０００８】第２の発明に係る圧力センサ装置の調整方
式は、被調整圧力センサ装置Ｓ内の増幅器６に設けられ
るオフセット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを特性
調整手段とし、トリミング装置２０は第１の入力圧力値
Ｐ１を加えたときにオフセット調整抵抗ＲＯを、それよ
り大きい第２の入力圧力値Ｐ２を加えたときにゲイン調
整抵抗ＲＧを調整する。
式は、被調整圧力センサ装置Ｓ内の増幅器６に設けられ
るオフセット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを特性
調整手段とし、トリミング装置２０は第１の入力圧力値
Ｐ１を加えたときにオフセット調整抵抗ＲＯを、それよ
り大きい第２の入力圧力値Ｐ２を加えたときにゲイン調
整抵抗ＲＧを調整する。
【０００９】
【作用】第１の発明に係る圧力センサ装置の調整方式で
は、環境条件の変動による被調整圧力センサ装置Ｓの特
性の不安定化を、基準圧力センサ装置７を設けて同一環
境条件下で作動させることで常時補正し、高精度な特性
調整ができるとともに、差動増幅器８の出力がほぼ零に
なるように被調整圧力センサ装置Ｓの特性調整手段を調
整するため、従来の調整装置における演算，情報のフィ
ードバックを簡略化し、それらに要した時間を短縮でき
る。
は、環境条件の変動による被調整圧力センサ装置Ｓの特
性の不安定化を、基準圧力センサ装置７を設けて同一環
境条件下で作動させることで常時補正し、高精度な特性
調整ができるとともに、差動増幅器８の出力がほぼ零に
なるように被調整圧力センサ装置Ｓの特性調整手段を調
整するため、従来の調整装置における演算，情報のフィ
ードバックを簡略化し、それらに要した時間を短縮でき
る。
【００１０】第２の発明に係る圧力センサ装置の調整方
式では、被調整圧力センサ装置Ｓ内に設けられるオフセ
ット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを特性調整手段
とし、トリミング装置２０で上記特性を理想状態となる
ように調整して、調整作業を簡略化する。
式では、被調整圧力センサ装置Ｓ内に設けられるオフセ
ット調整抵抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを特性調整手段
とし、トリミング装置２０で上記特性を理想状態となる
ように調整して、調整作業を簡略化する。
【００１１】
【実施例】本発明に係る圧力センサ装置の調整方式の一
実施例を図１を用いて説明する。図２，図４と同じもの
は同一符号を付して説明を省略する。図１において、Ｂ
は本発明を適用する圧力センサ装置の特性調整装置であ
る。７は基準圧力センサ装置で、被調整圧力センサ装置
Ｓと同一の構成で、温度，電源電圧，圧力に対する同じ
依存特性を有し、かつ、上記圧力センサ装置Ｓと同一の
入力圧力が供給されるとともに、図３のａに示す如く入
力圧力に対し出力がほぼ理想状態となるように特性があ
らかじめ設定されている。８は差動増幅器で、同一環境
下に配置された被調整圧力センサ装置Ｓと基準圧力セン
サ装置７との出力を、それぞれ十側，一側の入力端子か
ら受け、差動増幅して出力する。トリミング装置２０は
差動増幅器８の出力が０となるようにオフセット調整抵
抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを調整する。
実施例を図１を用いて説明する。図２，図４と同じもの
は同一符号を付して説明を省略する。図１において、Ｂ
は本発明を適用する圧力センサ装置の特性調整装置であ
る。７は基準圧力センサ装置で、被調整圧力センサ装置
Ｓと同一の構成で、温度，電源電圧，圧力に対する同じ
依存特性を有し、かつ、上記圧力センサ装置Ｓと同一の
入力圧力が供給されるとともに、図３のａに示す如く入
力圧力に対し出力がほぼ理想状態となるように特性があ
らかじめ設定されている。８は差動増幅器で、同一環境
下に配置された被調整圧力センサ装置Ｓと基準圧力セン
サ装置７との出力を、それぞれ十側，一側の入力端子か
ら受け、差動増幅して出力する。トリミング装置２０は
差動増幅器８の出力が０となるようにオフセット調整抵
抗ＲＯとゲイン調整抵抗ＲＧを調整する。
【００１２】次に調整方法を説明する。図１において、
圧力発生器４により、被調整圧力センサ装置Ｓ及び基準
圧力センサ装置７に第１の入力圧力値Ｐ１を加える。こ
のとき図３に示すように理想状態に特性調整された基準
圧力センサ装置７の出力電圧値Ｖ１に対し、被調整圧力
センサ装置Ｓの出力電圧値がＶＥであれば両者間に誤差
を生じ、この誤差分が差動増幅器８に検出され、アナロ
グ電圧として電圧計３により計測され、トリミング装置
２にフィードバックされる。トリミング装置２０は、電
圧計で計測される電圧がほぼ零となるように、図２に示
したオフセット調整抵抗ＲＯの抵抗値を調整制御する。 オフセット電圧調整終了後、ついで上記第１の入力圧力
値Ｐ１より大きい第２の入力圧力値Ｐ２を加えたとき、
上記と同じ手順で、差動増幅器８の出力がほぼ零となる
ように図２に示したゲイン調整抵抗ＲＧの抵抗値を調整
制御することで、被調整圧力センサ装置Ｓの特性調整を
完了する。なお、入力圧力値Ｐ１，Ｐ２はトリミング装
置２にあらかじめ設定しておけばよい。従来必要として
いた入力圧力計５を省略できる。なぜならば、入力圧力
値Ｐ１，Ｐ２に対しそれ程厳密な正確さを要求されない
からである。
圧力発生器４により、被調整圧力センサ装置Ｓ及び基準
圧力センサ装置７に第１の入力圧力値Ｐ１を加える。こ
のとき図３に示すように理想状態に特性調整された基準
圧力センサ装置７の出力電圧値Ｖ１に対し、被調整圧力
センサ装置Ｓの出力電圧値がＶＥであれば両者間に誤差
を生じ、この誤差分が差動増幅器８に検出され、アナロ
グ電圧として電圧計３により計測され、トリミング装置
２にフィードバックされる。トリミング装置２０は、電
圧計で計測される電圧がほぼ零となるように、図２に示
したオフセット調整抵抗ＲＯの抵抗値を調整制御する。 オフセット電圧調整終了後、ついで上記第１の入力圧力
値Ｐ１より大きい第２の入力圧力値Ｐ２を加えたとき、
上記と同じ手順で、差動増幅器８の出力がほぼ零となる
ように図２に示したゲイン調整抵抗ＲＧの抵抗値を調整
制御することで、被調整圧力センサ装置Ｓの特性調整を
完了する。なお、入力圧力値Ｐ１，Ｐ２はトリミング装
置２にあらかじめ設定しておけばよい。従来必要として
いた入力圧力計５を省略できる。なぜならば、入力圧力
値Ｐ１，Ｐ２に対しそれ程厳密な正確さを要求されない
からである。
【００１３】
【発明の効果】第１の発明によれば、理想的特性にあら
かじめ設定された基準圧力センサ装置と、この基準圧力
センサ装置の出力と被調整圧力センサ装置との出力差を
演算する差動増幅器とを備え、トリミング装置は、上記
差動増幅器の出力がほぼ零となるように特性調整手段を
調整するので、環境条件の変動による被調整圧力センサ
装置の特性不安定化を常に補正して、高精度な特性調整
ができるとともに、圧力入力開始と同時に特性調整を開
始できるため、従来の入力圧力安定までの待ち時間を排
除し、上記差動増幅器の出力がほぼ零となるよう調整す
る為、従来の目標電圧値の演算に要した時間が不必要と
なり、調整時間を短縮することができた。
かじめ設定された基準圧力センサ装置と、この基準圧力
センサ装置の出力と被調整圧力センサ装置との出力差を
演算する差動増幅器とを備え、トリミング装置は、上記
差動増幅器の出力がほぼ零となるように特性調整手段を
調整するので、環境条件の変動による被調整圧力センサ
装置の特性不安定化を常に補正して、高精度な特性調整
ができるとともに、圧力入力開始と同時に特性調整を開
始できるため、従来の入力圧力安定までの待ち時間を排
除し、上記差動増幅器の出力がほぼ零となるよう調整す
る為、従来の目標電圧値の演算に要した時間が不必要と
なり、調整時間を短縮することができた。
【００１４】第２の発明によれば、被調整圧力センサ装
置内の増幅器に設けられるオフセット調整抵抗ＲＯとゲ
イン調整抵抗ＲＧとを同装置の特性調整手段としたので
、トリミング装置により、被調整圧力センサ装置Ｓを理
想的特性に調整し、調整を効率的に行なえ、調整時間を
短縮できる。
置内の増幅器に設けられるオフセット調整抵抗ＲＯとゲ
イン調整抵抗ＲＧとを同装置の特性調整手段としたので
、トリミング装置により、被調整圧力センサ装置Ｓを理
想的特性に調整し、調整を効率的に行なえ、調整時間を
短縮できる。
【図１】本発明に係る圧力センサ装置の調整方式の一実
施例を示すブロック図である。
施例を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例及び従来の一例に共通な圧力
センサ装置の回路図である。
センサ装置の回路図である。
【図３】圧力センサ装置の所定の入力圧力に対する出力
電圧の特性を示した相関図である。
電圧の特性を示した相関図である。
【図４】従来の圧力センサ装置の調整方式の一例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
１ 圧力センサ駆動用直流電源
２，２０ トリミング装置
３ 電圧計
４ 圧力発生器
５ 入力圧力計
６ 増幅器
７ 基準圧力センサ装置
８ 差動増幅器
Ａ 従来の調整装置
Ｂ 本発明を説明するための調整装置ｒ１，ｒ２，ｒ
３，ｒ４ ブリッヂ抵抗ＲＯ オフセット調整抵抗 ＲＧ ゲイン調整抵抗 Ｓ 被調整圧力センサ装置 Ｐ１，Ｐ２ 入力圧力値 Ｖ１，ＶＥ，Ｖ２ 出力電圧値 ａ 理想状態の特性 ｂ 実際の特性 ｐ 配管
３，ｒ４ ブリッヂ抵抗ＲＯ オフセット調整抵抗 ＲＧ ゲイン調整抵抗 Ｓ 被調整圧力センサ装置 Ｐ１，Ｐ２ 入力圧力値 Ｖ１，ＶＥ，Ｖ２ 出力電圧値 ａ 理想状態の特性 ｂ 実際の特性 ｐ 配管
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも圧力センサ部分と，入力圧
力に対する出力の特性を調整する特性調整手段とを備え
た被調整圧力センサ装置の調整であって、上記被調整圧
力センサ装置に所定の入力圧力値を加えその出力が所定
値となるように上記特性調整手段を調整するトリミング
装置を備えた圧力センサ装置の調整方式において、上記
被調整圧力センサ装置と同一の入力圧力が供給されると
ともに、入力圧力に対し出力がほぼ理想状態となるよう
に特性があらかじめ設定された基準圧力センサ装置と、
この基準圧力センサ装置の出力と上記被調整圧力センサ
装置の出力の差を演算する差動増幅器とを備え、上記ト
リミング装置は、上記被調整圧力センサ装置と基準圧力
センサ装置が、所定の入力圧力値のときに上記差動増幅
器の出力がほぼ零となるように上記特性調整手段を調整
することを特徴とする圧力センサ装置の調整方式。 - 【請求項２】 被調整圧力センサ装置は、圧力センサ
部分の出力を差動増幅する増幅器とから成り、特性調整
手段は上記増幅器に設けられるオフセット調整抵抗とゲ
イン調整抵抗とより成り、トリミング装置は第１の入力
圧力値を加えたときに上記オフセット調整抵抗を調整し
、ついで上記第１の入力圧力値より大きい第２の入力圧
力値を加えたときに上記ゲイン調整抵抗を調整するよう
にしたことを特徴とする請求項１の圧力センサ装置の調
整方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15109191A JPH04350532A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 圧力センサ装置の調整方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15109191A JPH04350532A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 圧力センサ装置の調整方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04350532A true JPH04350532A (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=15511138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15109191A Pending JPH04350532A (ja) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | 圧力センサ装置の調整方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04350532A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232665A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Fujifilm Corp | 圧力解析システム |
-
1991
- 1991-05-27 JP JP15109191A patent/JPH04350532A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232665A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Fujifilm Corp | 圧力解析システム |
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