JPH04346632A - プラズマ切断用電極材料 - Google Patents
プラズマ切断用電極材料Info
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- JPH04346632A JPH04346632A JP3116103A JP11610391A JPH04346632A JP H04346632 A JPH04346632 A JP H04346632A JP 3116103 A JP3116103 A JP 3116103A JP 11610391 A JP11610391 A JP 11610391A JP H04346632 A JPH04346632 A JP H04346632A
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- cutting
- tho2
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 17
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Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、大気中、酸化雰囲気中
などにおいて使用されるプラズマ切断用電極材料に関す
るものである。
などにおいて使用されるプラズマ切断用電極材料に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、大気中や酸素雰囲気中など酸化雰
囲気中でのプラズマ切断に使用される電極材料としては
、たとえばハフニウム(Hf)やジルコニウム(Zr)
などの金属材料が使用されている。また最近、特開昭6
3−199842号公報、特開昭63−216943号
公報に示されるように、レニウム(Re)やRuに放電
特性のよい酸化イットリウム(Y2O3)を混合した電
極が開発されている。さらにガスタービン機関などのよ
うな種久の動力発生装置における火花点火器において、
特開昭52−118137号公報に示されるように耐熱
耐酸化金属であるIrまたはRuに少量のY2O3また
はThO2を混合した電極材が開発されている。
囲気中でのプラズマ切断に使用される電極材料としては
、たとえばハフニウム(Hf)やジルコニウム(Zr)
などの金属材料が使用されている。また最近、特開昭6
3−199842号公報、特開昭63−216943号
公報に示されるように、レニウム(Re)やRuに放電
特性のよい酸化イットリウム(Y2O3)を混合した電
極が開発されている。さらにガスタービン機関などのよ
うな種久の動力発生装置における火花点火器において、
特開昭52−118137号公報に示されるように耐熱
耐酸化金属であるIrまたはRuに少量のY2O3また
はThO2を混合した電極材が開発されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記H
fやZrは極めて高価であり、入手も困難であるので、
切断コストも高くつくという問題点があった。また前記
の特開昭63−199842号公報、特開昭63−21
6943号公報に示されているReまたはRu−Y2O
3電極は大電流を流した時の放電特性の不安定さ、電極
の消耗が大きい。したがって、大気中や酸素雰囲気中な
ど酸化雰囲気中での切断に使用される電極材料としては
、コストの割には十分満足な性能を得られるものではな
いという問題点があった。さらに前記の特開昭63−1
99842号公報に示されているIrまたはRu−Y2
O3またはThO2電極が同様の雰囲気下で使用される
電極として開発されている。しかし、これは火花点火器
としての使用を目的として開発されているため、その火
花点火器の形状より機械的強度が重要視され、酸化物の
添加量に制限があった(2〜16容量%すなわち1.6
〜13重量%程度)。またReまたはRu−Y2O3電
極と同様に大気中や酸素雰囲気中でのプラズマ切断に使
用される電極材料としては、この組成範囲では十分な性
能を得られるものではないという問題点があった。
fやZrは極めて高価であり、入手も困難であるので、
切断コストも高くつくという問題点があった。また前記
の特開昭63−199842号公報、特開昭63−21
6943号公報に示されているReまたはRu−Y2O
3電極は大電流を流した時の放電特性の不安定さ、電極
の消耗が大きい。したがって、大気中や酸素雰囲気中な
ど酸化雰囲気中での切断に使用される電極材料としては
、コストの割には十分満足な性能を得られるものではな
いという問題点があった。さらに前記の特開昭63−1
99842号公報に示されているIrまたはRu−Y2
O3またはThO2電極が同様の雰囲気下で使用される
電極として開発されている。しかし、これは火花点火器
としての使用を目的として開発されているため、その火
花点火器の形状より機械的強度が重要視され、酸化物の
添加量に制限があった(2〜16容量%すなわち1.6
〜13重量%程度)。またReまたはRu−Y2O3電
極と同様に大気中や酸素雰囲気中でのプラズマ切断に使
用される電極材料としては、この組成範囲では十分な性
能を得られるものではないという問題点があった。
【0004】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、その目的は、コストが低く、放
電特性の安定したプラズマ切断用電極材料を提供するこ
とにある。
になされたものであり、その目的は、コストが低く、放
電特性の安定したプラズマ切断用電極材料を提供するこ
とにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
、本発明の電極材料は、略40〜85重量%のRuと、
略15〜60重量%のThO2とを含有させた。
、本発明の電極材料は、略40〜85重量%のRuと、
略15〜60重量%のThO2とを含有させた。
【0006】
【作用】上記の構成を有する本発明の電極材料の成分の
うち、Ruは、融点が高く耐酸化性とくに高温耐酸化性
に優れている。またThO2は放電特性に優れておりま
た融点も高く、蒸気圧も低い。これらRuとThO2を
適当な割合で組み合わせることによって、プラズマ用切
断機に使用される埋め込み形電極に必要な機械的強度が
得られ、酸化消耗と熱消耗が少なく、また大電流を流し
ても安定した放電特性を保つことが可能となる。Ruの
好ましい含有量は重量%で略40〜85%であり、Th
O2の好ましい含有量は略15〜60%である。この電
極材料は、上記RuとThO2の合金であるが、その特
性を損なわない範囲内で少量の他の元素を添加してもよ
い。
うち、Ruは、融点が高く耐酸化性とくに高温耐酸化性
に優れている。またThO2は放電特性に優れておりま
た融点も高く、蒸気圧も低い。これらRuとThO2を
適当な割合で組み合わせることによって、プラズマ用切
断機に使用される埋め込み形電極に必要な機械的強度が
得られ、酸化消耗と熱消耗が少なく、また大電流を流し
ても安定した放電特性を保つことが可能となる。Ruの
好ましい含有量は重量%で略40〜85%であり、Th
O2の好ましい含有量は略15〜60%である。この電
極材料は、上記RuとThO2の合金であるが、その特
性を損なわない範囲内で少量の他の元素を添加してもよ
い。
【0007】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【0008】まず、本実施例の電極材料の製造方法につ
いて説明する。平均粒度4.5μm、純度99.9%の
Ru粉末と平均粒度3.0μm、純度99.9%のTh
O2粉末を、ボールミルにて5時間湿式混合し、乾燥し
た。得られたRu−ThO2混合粉末を金型内にて1ト
ンの成形圧で予備成形し、直径3mm、長さ5mmの圧
粉体とした後、冷間静水圧プレス(CIP)にて2トン
で本成形を行なう(この時、成形体密度は55〜60%
となる)。その後、アルゴン雰囲気中で焼結(2100
℃−30分)を行い直径2.2mm長さ4mmの焼結体
からなる電極材料とした。
いて説明する。平均粒度4.5μm、純度99.9%の
Ru粉末と平均粒度3.0μm、純度99.9%のTh
O2粉末を、ボールミルにて5時間湿式混合し、乾燥し
た。得られたRu−ThO2混合粉末を金型内にて1ト
ンの成形圧で予備成形し、直径3mm、長さ5mmの圧
粉体とした後、冷間静水圧プレス(CIP)にて2トン
で本成形を行なう(この時、成形体密度は55〜60%
となる)。その後、アルゴン雰囲気中で焼結(2100
℃−30分)を行い直径2.2mm長さ4mmの焼結体
からなる電極材料とした。
【0009】次に、実験方法について説明する。図1及
び図2に示すように、得られた電極材料2aを銅製のチ
ップホルダーに圧入した電極2と、ノズル7を備えたト
ーチ1を陰極とし、水冷した銅板3を陽極とする。次に
切断電源4により、両者間にアークを発生させ、コンプ
レッサ6より得られる圧縮エアーをエアレギュレータ5
を通して、電極2の周りを旋回させ、ノズル7より排出
することにより、プラズマアーク8を発生させる試験装
置を用い、プラズマアーク発生テストを行なった。その
ときの電極の消耗量を調べた結果を図3に示す。図3の
試験条件は電流30A、電圧100V、エアー圧力3.
5Kg/cm2、時間5分間であった。また消耗量は立
方ミリメートル(mm3)で表わしてある。図3から解
るとおり、本発明による電極材料は、従来のZrやHf
およびRu−Y2O3に比べその消耗量が少ない。
び図2に示すように、得られた電極材料2aを銅製のチ
ップホルダーに圧入した電極2と、ノズル7を備えたト
ーチ1を陰極とし、水冷した銅板3を陽極とする。次に
切断電源4により、両者間にアークを発生させ、コンプ
レッサ6より得られる圧縮エアーをエアレギュレータ5
を通して、電極2の周りを旋回させ、ノズル7より排出
することにより、プラズマアーク8を発生させる試験装
置を用い、プラズマアーク発生テストを行なった。その
ときの電極の消耗量を調べた結果を図3に示す。図3の
試験条件は電流30A、電圧100V、エアー圧力3.
5Kg/cm2、時間5分間であった。また消耗量は立
方ミリメートル(mm3)で表わしてある。図3から解
るとおり、本発明による電極材料は、従来のZrやHf
およびRu−Y2O3に比べその消耗量が少ない。
【0010】また図4に示すように、HfやZr電極材
料は電圧100V、エアー圧力3.5kg/cm2、時
間5分間と一定にして、試験電流値を30〜60Aと上
げていくと、その消耗量が増加したが、本発明による電
極材料では試験電流値を上げてもその消耗量の変化が少
なく、安定した放電特性を示すことがわかる。
料は電圧100V、エアー圧力3.5kg/cm2、時
間5分間と一定にして、試験電流値を30〜60Aと上
げていくと、その消耗量が増加したが、本発明による電
極材料では試験電流値を上げてもその消耗量の変化が少
なく、安定した放電特性を示すことがわかる。
【0011】また、本発明の好ましい組成範囲は、図3
および図4から解るとおりRuが略40〜85重量%の
範囲であり、より好ましくは略60〜80重量%の範囲
である。
および図4から解るとおりRuが略40〜85重量%の
範囲であり、より好ましくは略60〜80重量%の範囲
である。
【0012】次に、図5にRu−ThO2焼結体の強度
を示す。
を示す。
【0013】これより本発明の範囲の焼結体は、Hf、
Zrと同等の強度を有しており、埋め込み型のプラズマ
切断用電極として使用することが出来るものである。
Zrと同等の強度を有しており、埋め込み型のプラズマ
切断用電極として使用することが出来るものである。
【0014】この電極材料の製造は比較的容易であり、
原料の入手にも問題はない。この電極材料は、安定した
プラズマアークが得られ、切断電極として用いた場合に
は大電流を入力しても安定しており消耗も少なく、切断
スピードも速くまた厚板も容易に切断出来、従来の電極
に比べその性能が格段に向上することが確かめられた。
原料の入手にも問題はない。この電極材料は、安定した
プラズマアークが得られ、切断電極として用いた場合に
は大電流を入力しても安定しており消耗も少なく、切断
スピードも速くまた厚板も容易に切断出来、従来の電極
に比べその性能が格段に向上することが確かめられた。
【0015】
【発明の効果】以上詳述したことから明らかなように、
本発明の組成範囲のRu−ThO2電極によれば、従来
のZrやHfよりも入手性に優れ、これに比べ約2倍よ
り3倍の耐消耗性を有し、さらにRu−Y2O3電極と
比べ1.5〜2倍の耐消耗性を有し、また大電流時にも
安定したアーク特性を得ることの出来る優れたものであ
る。この電極材料は、プラズマ切断用として使用して十
分にその特性が発揮できるものである。
本発明の組成範囲のRu−ThO2電極によれば、従来
のZrやHfよりも入手性に優れ、これに比べ約2倍よ
り3倍の耐消耗性を有し、さらにRu−Y2O3電極と
比べ1.5〜2倍の耐消耗性を有し、また大電流時にも
安定したアーク特性を得ることの出来る優れたものであ
る。この電極材料は、プラズマ切断用として使用して十
分にその特性が発揮できるものである。
【図1】試験装置の説明図である。
【図2】試験装置のトーチ部分を拡大して示す説明図で
ある。
ある。
【図3】組成と耐消耗性の関係を表わすグラフである。
【図4】試験電流値と耐消耗性の関係を表わすグラフで
ある。
ある。
【図5】機械的強度を表わすグラフである。
1 トーチ
2 電極
3 水冷銅板
Claims (1)
- 【請求項1】 40〜85重量%のルテニウム(Ru
)と、略15〜60重量%の酸化トリウム(ThO2)
とを含有するプラズマ切断用電極材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3116103A JPH04346632A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | プラズマ切断用電極材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3116103A JPH04346632A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | プラズマ切断用電極材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04346632A true JPH04346632A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14678776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3116103A Pending JPH04346632A (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | プラズマ切断用電極材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04346632A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9347137B2 (en) | 2006-09-11 | 2016-05-24 | Ihi Corporation | Method of manufacturing electrode for electrical-discharge surface treatment, and electrode for electrical-discharge surface treatment |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP3116103A patent/JPH04346632A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9347137B2 (en) | 2006-09-11 | 2016-05-24 | Ihi Corporation | Method of manufacturing electrode for electrical-discharge surface treatment, and electrode for electrical-discharge surface treatment |
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