JPH04339194A - 減衰機構 - Google Patents
減衰機構Info
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- JPH04339194A JPH04339194A JP3110330A JP11033091A JPH04339194A JP H04339194 A JPH04339194 A JP H04339194A JP 3110330 A JP3110330 A JP 3110330A JP 11033091 A JP11033091 A JP 11033091A JP H04339194 A JPH04339194 A JP H04339194A
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- magnetic bearing
- damping
- axial direction
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動を減衰するための減
衰機構に関し、特に、ターボ分子ポンプを支承するのに
使用される磁気軸受装置の半径方向（軸方向に直交する
方向）に作用する不安定力に起因する振動を減衰する減
衰機構に関する。
衰機構に関し、特に、ターボ分子ポンプを支承するのに
使用される磁気軸受装置の半径方向（軸方向に直交する
方向）に作用する不安定力に起因する振動を減衰する減
衰機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の５軸制御形磁気軸受を用いたター
ボ分子ポンプの一例が図４に示されている。このターボ
分子ポンプは羽根車１、ステータ２、羽根車１と一体化
した軸１ａを含み、該軸１ａの中間部にはモータ１２が
設けられている。そして、半径方向軸受として能動形磁
気軸受３、４が設けられ、軸方向軸受として能動形磁気
軸受５、６が設けられている。なお、図４中の符号１０
、１１は非常用軸受である。
ボ分子ポンプの一例が図４に示されている。このターボ
分子ポンプは羽根車１、ステータ２、羽根車１と一体化
した軸１ａを含み、該軸１ａの中間部にはモータ１２が
設けられている。そして、半径方向軸受として能動形磁
気軸受３、４が設けられ、軸方向軸受として能動形磁気
軸受５、６が設けられている。なお、図４中の符号１０
、１１は非常用軸受である。
【０００３】明確には図示されていないが、この様な５
軸制御形磁気軸受では半径方向磁気軸受が４軸、軸方向
磁気軸受が１軸設けられている。
軸制御形磁気軸受では半径方向磁気軸受が４軸、軸方向
磁気軸受が１軸設けられている。
【０００４】また、図５に示すような１軸制御の磁気軸
受装置を備えたターボ分子ポンプも提案されている。図
５の磁気軸受装置は半径方向軸受として受動安定形磁気
軸受１３と、軸方向軸受である能動形磁気軸受５、６と
を備えており、且つ図４の５軸制御形磁気軸受と同様に
非常用軸受１０、１１も備えている。
受装置を備えたターボ分子ポンプも提案されている。図
５の磁気軸受装置は半径方向軸受として受動安定形磁気
軸受１３と、軸方向軸受である能動形磁気軸受５、６と
を備えており、且つ図４の５軸制御形磁気軸受と同様に
非常用軸受１０、１１も備えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４の５軸制
御形磁気軸受の場合には、制御すべき軸の数が多いこと
から製造コストが高く、制御そのものが複雑でその分だ
け信頼度が低くなってしまう。
御形磁気軸受の場合には、制御すべき軸の数が多いこと
から製造コストが高く、制御そのものが複雑でその分だ
け信頼度が低くなってしまう。
【０００６】一方、図５の１軸制御形磁気軸受の場合に
は、軸方向制御軸受５、６が回転体の羽根車１と反対側
の軸端付近に位置しているため、メンテナンスその他で
羽根車１を取り出すためには軸方向磁気軸受５、６、非
常用軸受１１等を分解しなくてはならなかった。さらに
、高真空側に非常用軸受が作動した場合に発生する粉塵
等の不純物が逆流してしまい不都合であった。
は、軸方向制御軸受５、６が回転体の羽根車１と反対側
の軸端付近に位置しているため、メンテナンスその他で
羽根車１を取り出すためには軸方向磁気軸受５、６、非
常用軸受１１等を分解しなくてはならなかった。さらに
、高真空側に非常用軸受が作動した場合に発生する粉塵
等の不純物が逆流してしまい不都合であった。
【０００７】また図５の１軸制御形磁気軸受の場合、半
径方向に不安定力が作用して回転軸が半径方向に触れ回
ってしまう恐れがある。しかし、従来のターボ分子ポン
プにおいては、これを簡単な構造で有効に防止する手段
がなかった。換言すると、半径方向の不安定力に起因し
て回転軸に半径方向の振動が発生した場合にはこれを減
衰せしめる必要があるが、従来技術においては好適な減
衰機構が存在しなかった。
径方向に不安定力が作用して回転軸が半径方向に触れ回
ってしまう恐れがある。しかし、従来のターボ分子ポン
プにおいては、これを簡単な構造で有効に防止する手段
がなかった。換言すると、半径方向の不安定力に起因し
て回転軸に半径方向の振動が発生した場合にはこれを減
衰せしめる必要があるが、従来技術においては好適な減
衰機構が存在しなかった。
【０００８】本発明は上記した従来技術の問題点に鑑み
て提案されたもので、半径方向の不安定力に起因して回
転軸に半径方向（軸線に直交する方向）振動が発生した
場合に、有効に減衰せしめる減衰機構の提供を目的とし
ている。
て提案されたもので、半径方向の不安定力に起因して回
転軸に半径方向（軸線に直交する方向）振動が発生した
場合に、有効に減衰せしめる減衰機構の提供を目的とし
ている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の減衰機構は、対
象物の特定方向の振動を減衰せしめる減衰機構において
、該対象物の長手軸方向の動きは固定するが長手軸方向
と直交する方向には可動な滑り機構と、長手軸方向と直
交する方向の振動に対してバネ力と減衰力とを付加する
リング状の減衰部材、とを含んでいる。
象物の特定方向の振動を減衰せしめる減衰機構において
、該対象物の長手軸方向の動きは固定するが長手軸方向
と直交する方向には可動な滑り機構と、長手軸方向と直
交する方向の振動に対してバネ力と減衰力とを付加する
リング状の減衰部材、とを含んでいる。
【００１０】本発明の減衰機構の実施に際して、前記対
象物として例えばターボ分子ポンプの回転軸がある。こ
の場合、長手軸方向とは回転軸の軸線方向であり、長手
軸方向と直交する方向とは回転軸の半径方向である。そ
して、半径方向磁気軸受を永久磁石の反発力を利用した
受動安定形とし、この時発生する軸方向の不安定化力を
能動形軸方向軸受の電磁石で制御して安定化するタイプ
のターボ分子ポンプにおいて好適に用いられる。すなわ
ち、受動安定形の半径方向磁気軸受の回転体に配置され
た永久磁石と固定部に配置された永久磁石とは軸方向に
微小に偏寄して配置されており、該永久磁石同士の反発
力で常に軸方向に一定方向の力が発生しており、この力
に対して能動形軸方向軸受の制御電磁石で１方向の力の
みを発生することにより制御するタイプにおいて好適に
用いられる。
象物として例えばターボ分子ポンプの回転軸がある。こ
の場合、長手軸方向とは回転軸の軸線方向であり、長手
軸方向と直交する方向とは回転軸の半径方向である。そ
して、半径方向磁気軸受を永久磁石の反発力を利用した
受動安定形とし、この時発生する軸方向の不安定化力を
能動形軸方向軸受の電磁石で制御して安定化するタイプ
のターボ分子ポンプにおいて好適に用いられる。すなわ
ち、受動安定形の半径方向磁気軸受の回転体に配置され
た永久磁石と固定部に配置された永久磁石とは軸方向に
微小に偏寄して配置されており、該永久磁石同士の反発
力で常に軸方向に一定方向の力が発生しており、この力
に対して能動形軸方向軸受の制御電磁石で１方向の力の
みを発生することにより制御するタイプにおいて好適に
用いられる。
【００１１】より詳細に言えば、本発明の減衰機構は、
羽根車と軸とモータからなる回転部と、軸と羽根車の間
に位置する固定部とを含み、回転体及び固定部に永久磁
石を持っている受動安定半径方向磁気軸受をそれぞれ備
え、軸方向には能動形磁気軸受を軸方向制御磁気軸受と
して配置し、前記受動安定半径方向磁気軸受は、軸方向
に着磁されたリング状の永久磁石を半径方向に対向させ
て回転体と固定部のそれぞれに同心円状に配置して、該
磁石の対を軸方向に微小な間隔を空けて複数対配置し、
軸方向の異なる位置に少なくとも二つ備え、非常用軸受
を高真空側に配置せず、羽根車に近い非常用軸受を軸方
向制御磁気軸受近傍に配置し、回転体の軸部直径を前記
非常用軸受の内径より小さくしたターボ分子ポンプの前
記軸の半径方向振動を減衰させるため、前記受動安定半
径方向磁気軸受の中の少なくとも一つに設置されている
。
羽根車と軸とモータからなる回転部と、軸と羽根車の間
に位置する固定部とを含み、回転体及び固定部に永久磁
石を持っている受動安定半径方向磁気軸受をそれぞれ備
え、軸方向には能動形磁気軸受を軸方向制御磁気軸受と
して配置し、前記受動安定半径方向磁気軸受は、軸方向
に着磁されたリング状の永久磁石を半径方向に対向させ
て回転体と固定部のそれぞれに同心円状に配置して、該
磁石の対を軸方向に微小な間隔を空けて複数対配置し、
軸方向の異なる位置に少なくとも二つ備え、非常用軸受
を高真空側に配置せず、羽根車に近い非常用軸受を軸方
向制御磁気軸受近傍に配置し、回転体の軸部直径を前記
非常用軸受の内径より小さくしたターボ分子ポンプの前
記軸の半径方向振動を減衰させるため、前記受動安定半
径方向磁気軸受の中の少なくとも一つに設置されている
。
【００１２】本発明の実施に際して、軸方向位置を検出
する手段と、その検出手段によって検出された位置信号
に基づいて電磁石に流す電流を制御する制御手段と、一
つの電磁石とを含む軸方向制御磁気軸受を低真空側の羽
根車と軸の付け根部分に配置するのが好ましい。
する手段と、その検出手段によって検出された位置信号
に基づいて電磁石に流す電流を制御する制御手段と、一
つの電磁石とを含む軸方向制御磁気軸受を低真空側の羽
根車と軸の付け根部分に配置するのが好ましい。
【００１３】
【作用】上記した様な構成を有する本発明によれば、少
くとも一対の前記永久磁石の対に、半径方向振動を減衰
する様に作用するリング状の減衰部材を設け、該磁石対
に、軸方向の動きは固定するが半径方向には可動な滑り
機構を持つ半径方向磁気軸受支持手段を備えたので、半
径方向の振動が好適に抑制され、回転軸が半径方向の振
動を発生した場合にリング状の減衰部材の作用により該
振動を減衰させることが出来る。
くとも一対の前記永久磁石の対に、半径方向振動を減衰
する様に作用するリング状の減衰部材を設け、該磁石対
に、軸方向の動きは固定するが半径方向には可動な滑り
機構を持つ半径方向磁気軸受支持手段を備えたので、半
径方向の振動が好適に抑制され、回転軸が半径方向の振
動を発生した場合にリング状の減衰部材の作用により該
振動を減衰させることが出来る。
【００１４】そして、半径方向の不安定力による振動を
確実に抑制することが出来、且つ制御軸数の少ない磁気
軸受を含んだターボ分子ポンプを提供することも出来る
。
確実に抑制することが出来、且つ制御軸数の少ない磁気
軸受を含んだターボ分子ポンプを提供することも出来る
。
【００１５】
【実施例】以下、図１乃至図３を参照して、本発明の実
施例を説明する。
施例を説明する。
【００１６】図１及び図２は本発明の実施例を簡略化し
て示したものである。ここで、図４及び図５に示す部材
と同一の部材には、同一の符号が付されている。
て示したものである。ここで、図４及び図５に示す部材
と同一の部材には、同一の符号が付されている。
【００１７】羽根車１及びステータ２の間には半径方向
（符号Ｒ）磁気軸受２０及びそれを構成する永久磁石群
２１、２２が設けられている。該半径方向磁気軸受２０
は、永久磁石の反発力を利用した受動安定形として構成
されている。
（符号Ｒ）磁気軸受２０及びそれを構成する永久磁石群
２１、２２が設けられている。該半径方向磁気軸受２０
は、永久磁石の反発力を利用した受動安定形として構成
されている。
【００１８】受動安定形の半径方向磁気軸受２０の永久
磁石群２１、２２を構成する永久磁石は、その位置関係
が図２に示す様になっている。すなわち、羽根車１側に
取り付けられた軸受の永久磁石２２は、ステータ２側に
取り付けられた軸受の永久磁石２１に対して微小量Ｘだ
け上方へ偏寄されている。そして上方へ偏寄することに
より、該永久磁石同士の反発力に基づき羽根車１及び回
転軸１ａには常に軸（Ｖ）方向上方へ力が作用するので
ある。なお、永久磁石２１、２２は、軸Ｖ方向で隣接す
る磁石間に微小な隙間ｋが設けられており、隣接する磁
石の面同士の極性は同一となる様に配置されている。
磁石群２１、２２を構成する永久磁石は、その位置関係
が図２に示す様になっている。すなわち、羽根車１側に
取り付けられた軸受の永久磁石２２は、ステータ２側に
取り付けられた軸受の永久磁石２１に対して微小量Ｘだ
け上方へ偏寄されている。そして上方へ偏寄することに
より、該永久磁石同士の反発力に基づき羽根車１及び回
転軸１ａには常に軸（Ｖ）方向上方へ力が作用するので
ある。なお、永久磁石２１、２２は、軸Ｖ方向で隣接す
る磁石間に微小な隙間ｋが設けられており、隣接する磁
石の面同士の極性は同一となる様に配置されている。
【００１９】一方、回転軸１ａの下方には、永久磁石群
３１、３２から構成された受動安定形半径方向磁気軸受
３０が設けられている。明確には図示されていないが、
回転軸１ａ側に取り付けられた永久磁石群３１が微小量
だけ上方へ偏寄しているために、永久磁石３１、３２同
士の反発により回転軸１ａに軸方向Ｖ上方へ向かう力が
作用する。
３１、３２から構成された受動安定形半径方向磁気軸受
３０が設けられている。明確には図示されていないが、
回転軸１ａ側に取り付けられた永久磁石群３１が微小量
だけ上方へ偏寄しているために、永久磁石３１、３２同
士の反発により回転軸１ａに軸方向Ｖ上方へ向かう力が
作用する。
【００２０】再び図１において、軸受２０の永久磁石群
２１、２２及び軸受３０の永久磁石群３１、３２におい
て発生する軸方向Ｖ上方への不安定化力は、能動形軸方
向磁気軸受２５の電磁石２６による制御で安定化される
様になっている。より詳細に述べれば、能動形の軸方向
磁気軸受２５は羽根車１と軸１ａとの接続部分近傍に配
置されている。電磁石２６に流れる電流を図示しない制
御手段により制御すれば、能動形の軸方向磁気軸受の軸
方向の力が制御される。そして、この制御された軸方向
の力と、前述の半径方向磁気軸受２０、３０の永久磁石
群２１、２２、３１、３２において発生する軸方向力と
により、軸方向Ｖの制御軸受としての作用が行われるの
である。
２１、２２及び軸受３０の永久磁石群３１、３２におい
て発生する軸方向Ｖ上方への不安定化力は、能動形軸方
向磁気軸受２５の電磁石２６による制御で安定化される
様になっている。より詳細に述べれば、能動形の軸方向
磁気軸受２５は羽根車１と軸１ａとの接続部分近傍に配
置されている。電磁石２６に流れる電流を図示しない制
御手段により制御すれば、能動形の軸方向磁気軸受の軸
方向の力が制御される。そして、この制御された軸方向
の力と、前述の半径方向磁気軸受２０、３０の永久磁石
群２１、２２、３１、３２において発生する軸方向力と
により、軸方向Ｖの制御軸受としての作用が行われるの
である。
【００２１】作動に際して、軸方向の変位が検出器９に
より検出されて図示しない制御手段に出力され、該制御
手段はその変位に対応した電流を電磁石２６に供給する
のである。
より検出されて図示しない制御手段に出力され、該制御
手段はその変位に対応した電流を電磁石２６に供給する
のである。
【００２２】図１の回転軸１ａに設置された受動形半径
方向磁気軸受３０の永久磁石３１、３２の組合せには減
衰機構４０が設けられている。この減衰機構４０は、ス
テータ２側の永久磁石群３２を保持する保持具２７を有
し、該保持具２７は軸方向Ｖには固定されているが半径
方向Ｒには滑動自在である様な機構２８で支持されてい
る。そして、保持具２７と前記機構２８との間には、半
径方向Ｒの振動を減衰させる減衰部材２９が挿入されて
いる。この様な減衰機構４０を設けることにより、軸１
ａの回転中に発生する不安定力に起因する半径方向Ｒの
振動を抑え、安定に運転することができる。
方向磁気軸受３０の永久磁石３１、３２の組合せには減
衰機構４０が設けられている。この減衰機構４０は、ス
テータ２側の永久磁石群３２を保持する保持具２７を有
し、該保持具２７は軸方向Ｖには固定されているが半径
方向Ｒには滑動自在である様な機構２８で支持されてい
る。そして、保持具２７と前記機構２８との間には、半
径方向Ｒの振動を減衰させる減衰部材２９が挿入されて
いる。この様な減衰機構４０を設けることにより、軸１
ａの回転中に発生する不安定力に起因する半径方向Ｒの
振動を抑え、安定に運転することができる。
【００２３】すなわち、滑動自在な機構２８により保持
具２７を支持しているので、回転軸１ａの半径方向Ｒの
振動は減衰部材２９の圧縮及び圧縮解除の繰り返し運動
に変換される。そして、減衰部材２９の弾性変形は前記
圧縮に対する反発力と内部減衰力として作用する。換言
すれば、減衰部材２９の弾性反発力と内部減衰力は半径
方向Ｒの振動に対して減衰作用を及ぼし、それにより該
振動は減衰されるのである。
具２７を支持しているので、回転軸１ａの半径方向Ｒの
振動は減衰部材２９の圧縮及び圧縮解除の繰り返し運動
に変換される。そして、減衰部材２９の弾性変形は前記
圧縮に対する反発力と内部減衰力として作用する。換言
すれば、減衰部材２９の弾性反発力と内部減衰力は半径
方向Ｒの振動に対して減衰作用を及ぼし、それにより該
振動は減衰されるのである。
【００２４】ここで、軸方向Ｖには固定され半径方向Ｒ
には滑動自在であるような機構２８を構成する材料とし
ては、例えばスライドベアリングやテフロンのような滑
りの良いものが考えられる。これ等は微小な摩擦を持っ
ているため、半径方向Ｒのエネルギーを吸収して、その
振動を減衰させる効果がある。
には滑動自在であるような機構２８を構成する材料とし
ては、例えばスライドベアリングやテフロンのような滑
りの良いものが考えられる。これ等は微小な摩擦を持っ
ているため、半径方向Ｒのエネルギーを吸収して、その
振動を減衰させる効果がある。
【００２５】なお、能動形軸方向磁気軸受２５の近傍で
羽根車１と回転軸１ａとの接合部近傍位置には、非常用
軸受１０が配置されている。
羽根車１と回転軸１ａとの接合部近傍位置には、非常用
軸受１０が配置されている。
【００２６】一方、回転軸１ａの羽根車１とは反対側の
端部には、非常用軸受１１が配置されている。そして、
非常用軸受１０の内径は回転軸１ａの直径（外径）より
も大きく設定されている。従って、羽根車１及び回転軸
１ａを含む回転部を引き抜く場合であっても、非常用軸
受１０と当ることがない。そのため、回転軸端部のナッ
トとスペーサ（図示せず）を外すだけで、簡単に回転部
を引き抜くことができて、分解組立を容易に行える。
端部には、非常用軸受１１が配置されている。そして、
非常用軸受１０の内径は回転軸１ａの直径（外径）より
も大きく設定されている。従って、羽根車１及び回転軸
１ａを含む回転部を引き抜く場合であっても、非常用軸
受１０と当ることがない。そのため、回転軸端部のナッ
トとスペーサ（図示せず）を外すだけで、簡単に回転部
を引き抜くことができて、分解組立を容易に行える。
【００２７】さらに、非常用軸受１０及び１１が低真空
側に配置されているので、非常用軸受１０及び１１が作
動しても、高真空側の汚染を防ぐことができる。
側に配置されているので、非常用軸受１０及び１１が作
動しても、高真空側の汚染を防ぐことができる。
【００２８】以上においてその作動原理を説明した本発
明の実施例は、図３においてその詳細が示されている。
明の実施例は、図３においてその詳細が示されている。
【００２９】図３の実施例の構成及び作用については、
基本的には図１に示す実施例と大差ないので、説明を省
略する。
基本的には図１に示す実施例と大差ないので、説明を省
略する。
【００３０】図示の実施例において、減衰機構４０は受
動安定形半径方向磁気軸受３０においてのみ設けられて
いるが、回転軸１ａに２個或いはそれ以上の受動安定形
半径方向磁気軸受を設け、それぞれに減衰機構を設ける
ことも可能である旨を付記する。
動安定形半径方向磁気軸受３０においてのみ設けられて
いるが、回転軸１ａに２個或いはそれ以上の受動安定形
半径方向磁気軸受を設け、それぞれに減衰機構を設ける
ことも可能である旨を付記する。
【００３１】
【発明の効果】本発明の作用効果を以下に列挙する。
【００３２】（１） 半径方向の振動が生じたとして
も対処できる。従って、回転の安定性が保証される。
も対処できる。従って、回転の安定性が保証される。
【００３３】（２） 制御コイルを一つだけ持ち軸方
向の位置のみを制御する所謂１軸制御タイプのターボ分
子ポンプについて適用可能である。
向の位置のみを制御する所謂１軸制御タイプのターボ分
子ポンプについて適用可能である。
【図１】本発明の実施例の作動原理を示すために簡略化
して表現された正面図。
して表現された正面図。
【図２】図１の部分拡大図。
【図３】本発明の実施例の正面図。
【図４】従来技術を示す正面図。
【図５】その他の従来技術を示す正面図。
１・・・羽根車
１ａ・・・回転軸
２・・・ステータ
３、４・・・半径方向能動形磁気軸受
５、６、２５・・・軸方向能動形磁気軸受７、８・・・
半径方向変位検出器 ９・・・軸方向変位検出器 １０、１１・・・非常用軸受 １２・・・モータ １３、２０、３０・・・受動形半径方向磁気軸受１５・
・・非常用軸受保持具 １６・・・ケーシング ２１、２２、３１、３２・・・受動形半径方向磁気軸受
の磁石群 ２６・・・軸方向能動形磁気軸受の電磁石２７・・・保
持具 ２８・・・滑り機構 ２９・・・減衰部材 ４０・・・減衰機構
半径方向変位検出器 ９・・・軸方向変位検出器 １０、１１・・・非常用軸受 １２・・・モータ １３、２０、３０・・・受動形半径方向磁気軸受１５・
・・非常用軸受保持具 １６・・・ケーシング ２１、２２、３１、３２・・・受動形半径方向磁気軸受
の磁石群 ２６・・・軸方向能動形磁気軸受の電磁石２７・・・保
持具 ２８・・・滑り機構 ２９・・・減衰部材 ４０・・・減衰機構
Claims (2)
- 【請求項１】 対象物の特定方向の振動を減衰せしめ
る減衰機構において、該対象物の長手軸方向の動きは固
定するが長手軸方向と直交する方向には可動な滑り機構
と、長手軸方向と直交する方向の振動に対してバネ力と
減衰力とを付加するリング状の減衰部材、とを含むこと
を特徴とする減衰機構。 - 【請求項２】 羽根車と軸とモータからなる回転部と
、軸と羽根車の間に位置する固定部とを含み、回転体及
び固定部に永久磁石を持っている受動安定半径方向磁気
軸受をそれぞれ備え、軸方向には能動形磁気軸受を軸方
向制御磁気軸受として配置し、前記受動安定半径方向磁
気軸受は、軸方向に着磁されたリング状の永久磁石を半
径方向に対向させて回転体と固定部のそれぞれに同心円
状に配置して、該磁石の対を軸方向に微小な間隔を空け
て複数対配置し、軸方向の異なる位置に少なくとも二つ
備え、非常用軸受を高真空側に配置せず、羽根車に近い
非常用軸受を軸方向制御磁気軸受近傍に配置し、回転体
の軸部直径を前記非常用軸受の内径より小さくしたター
ボ分子ポンプの前記軸の半径方向振動を減衰させるため
、前記受動安定半径方向磁気軸受の中の少なくとも一つ
に設置された請求項１の減衰機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3110330A JPH04339194A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 減衰機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3110330A JPH04339194A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 減衰機構 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2210426A Division JPH04219493A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339194A true JPH04339194A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=14533008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3110330A Pending JPH04339194A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 減衰機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04339194A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7276828B2 (en) | 2003-12-25 | 2007-10-02 | Delta Electronics, Inc. | Magnetic bearing system |
| JP2008275152A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 軸受装置 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP3110330A patent/JPH04339194A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7276828B2 (en) | 2003-12-25 | 2007-10-02 | Delta Electronics, Inc. | Magnetic bearing system |
| JP2008275152A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 軸受装置 |
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