JPH04337915A - 弾性表面波コンボルバ - Google Patents
弾性表面波コンボルバInfo
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- JPH04337915A JPH04337915A JP13861891A JP13861891A JPH04337915A JP H04337915 A JPH04337915 A JP H04337915A JP 13861891 A JP13861891 A JP 13861891A JP 13861891 A JP13861891 A JP 13861891A JP H04337915 A JPH04337915 A JP H04337915A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 48
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波の伝搬方向
に電極幅および周期の異なるすだれ状電極を設けた弾性
表面波変換器を組合せた弾性表面波コンボルバに関する
。
に電極幅および周期の異なるすだれ状電極を設けた弾性
表面波変換器を組合せた弾性表面波コンボルバに関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧電性基板（圧電性薄膜基板を含
む）または電歪性基板上に設けられた正負の電極からな
るすだれ状電極（インタディジタルトランスジューサ）
を有する弾性表面波変換器は、一般には等周期構造の電
極配置となっていた。図５（ａ）は、従来の弾性表面波
変換器を用いた弾性表面波コンボルバを示す平面図、図
５（ｂ）はそのＸ−Ｙ断面図を示す。５１は電気信号を
弾性表面波に変換する第１の弾性表面波変換器、５２は
同様の電気信号を弾性表面波に変換する第２の弾性表面
波変換器、５３は弾性表面波変換器５１，５２で発生さ
れ進んできた弾性表面波を検出してコンボリューション
出力を電気信号として取り出す出力電極である。弾性表
面波変換器５１，５２のすだれ状電極はいずれも等周期
の電極配置構造を有する。すなわち、すだれ状電極の電
極幅をｍ、周期をｐとしたときｐは一定であり、また、
ｍ／ｐはどこをとっても定数（多くは「０．５」）であ
った。
む）または電歪性基板上に設けられた正負の電極からな
るすだれ状電極（インタディジタルトランスジューサ）
を有する弾性表面波変換器は、一般には等周期構造の電
極配置となっていた。図５（ａ）は、従来の弾性表面波
変換器を用いた弾性表面波コンボルバを示す平面図、図
５（ｂ）はそのＸ−Ｙ断面図を示す。５１は電気信号を
弾性表面波に変換する第１の弾性表面波変換器、５２は
同様の電気信号を弾性表面波に変換する第２の弾性表面
波変換器、５３は弾性表面波変換器５１，５２で発生さ
れ進んできた弾性表面波を検出してコンボリューション
出力を電気信号として取り出す出力電極である。弾性表
面波変換器５１，５２のすだれ状電極はいずれも等周期
の電極配置構造を有する。すなわち、すだれ状電極の電
極幅をｍ、周期をｐとしたときｐは一定であり、また、
ｍ／ｐはどこをとっても定数（多くは「０．５」）であ
った。
【０００３】このような等周期の電極配置構造を有する
弾性表面波変換器では、発生された弾性表面波は左右両
方向にほぼ同じ振幅で伝搬する。したがって、両方向に
同様の挿入損失特性を有し、いわば両方向性の特性を有
するといえる。
弾性表面波変換器では、発生された弾性表面波は左右両
方向にほぼ同じ振幅で伝搬する。したがって、両方向に
同様の挿入損失特性を有し、いわば両方向性の特性を有
するといえる。
【０００４】一方、等周期の電極配置構造を有する弾性
表面波変換器を用いて一方向にのみ低挿入損失の特性を
有する一方向性の弾性表面波変換器を得る技術として、
従来は例えば１２０度移相器を用いる方法、９０度移相
器を用いる方法、および等周期で正負電極の間に反射電
極を非対称に配置することにより一方向特性を得る内部
反射型一方向性変換器とする方法などがあった。
表面波変換器を用いて一方向にのみ低挿入損失の特性を
有する一方向性の弾性表面波変換器を得る技術として、
従来は例えば１２０度移相器を用いる方法、９０度移相
器を用いる方法、および等周期で正負電極の間に反射電
極を非対称に配置することにより一方向特性を得る内部
反射型一方向性変換器とする方法などがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】等周期の電極配置構造
を有する弾性表面波変換器は両方向性の特性を有し、一
方向にのみ低挿入損失となる特性は得られない。したが
って、このような弾性表面波変換器を用いて弾性表面波
コンボルバを構成してもコンボリューション効率の高い
コンボルバが得られない。また、上述の一方向性の弾性
表面波変換器を得る技術では、一方向に低挿入損失とな
る特性が得られるが、やはり等周期の電極配置構造を有
する弾性表面波変換器を用いているので、広帯域の特性
が得られない。したがって、弾性表面波コンボルバに適
用しても広帯域の特性が得られない。
を有する弾性表面波変換器は両方向性の特性を有し、一
方向にのみ低挿入損失となる特性は得られない。したが
って、このような弾性表面波変換器を用いて弾性表面波
コンボルバを構成してもコンボリューション効率の高い
コンボルバが得られない。また、上述の一方向性の弾性
表面波変換器を得る技術では、一方向に低挿入損失とな
る特性が得られるが、やはり等周期の電極配置構造を有
する弾性表面波変換器を用いているので、広帯域の特性
が得られない。したがって、弾性表面波コンボルバに適
用しても広帯域の特性が得られない。
【０００６】この発明は、上述の従来例における問題点
に鑑み、コンボリューション効率が高くかつ広帯域特性
を有する弾性表面波コンボルバを提供することを目的と
する。
に鑑み、コンボリューション効率が高くかつ広帯域特性
を有する弾性表面波コンボルバを提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明は、圧電性または電歪性の基板上に、弾性
表面波を励振する第１および第２のすだれ状電極と、こ
れらの弾性表面波を検出してコンボリューション出力を
電気信号として取り出す出力電極とを備えた弾性表面波
コンボルバにおいて、上記第１および第２のすだれ状電
極が所定の厚みを有し、上記第１のすだれ状電極は上記
出力電極に向かって徐々に電極幅および周期が短くなる
正負の電極を交互に配置してなり、上記第２のすだれ状
電極は上記出力電極に向かって徐々に電極幅および周期
が長くなる正負の電極を交互に配置してなり、かつ、上
記第２のすだれ状電極はダブル電極構造を有することを
特徴とする。
め、この発明は、圧電性または電歪性の基板上に、弾性
表面波を励振する第１および第２のすだれ状電極と、こ
れらの弾性表面波を検出してコンボリューション出力を
電気信号として取り出す出力電極とを備えた弾性表面波
コンボルバにおいて、上記第１および第２のすだれ状電
極が所定の厚みを有し、上記第１のすだれ状電極は上記
出力電極に向かって徐々に電極幅および周期が短くなる
正負の電極を交互に配置してなり、上記第２のすだれ状
電極は上記出力電極に向かって徐々に電極幅および周期
が長くなる正負の電極を交互に配置してなり、かつ、上
記第２のすだれ状電極はダブル電極構造を有することを
特徴とする。
【０００８】
【作用】伝搬方向に周期の異なる正負電極が配置され、
その電極の膜厚が厚い場合、励振の位相と電極の反射の
位相とが一方の伝搬方向で同じ位相となり、他方の伝搬
方向は逆位相となるようにできる。このような一方向性
の特性を有する弾性表面波変換器をその方向性を同じ向
きに合せ、その間に出力電極を形成することにより、弾
性表面波コンボルバが得られる。特に上記の構成で、第
２のすだれ状電極がダブル電極構造を有するようにすれ
ば、第２の電極はほぼ両方向性の特性を有するものとな
り、コンボリューション効率の高いコンボルバが得られ
る。
その電極の膜厚が厚い場合、励振の位相と電極の反射の
位相とが一方の伝搬方向で同じ位相となり、他方の伝搬
方向は逆位相となるようにできる。このような一方向性
の特性を有する弾性表面波変換器をその方向性を同じ向
きに合せ、その間に出力電極を形成することにより、弾
性表面波コンボルバが得られる。特に上記の構成で、第
２のすだれ状電極がダブル電極構造を有するようにすれ
ば、第２の電極はほぼ両方向性の特性を有するものとな
り、コンボリューション効率の高いコンボルバが得られ
る。
【０００９】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を説明
する。
する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例に係る弾性表面
波コンボルバの平面図である。２は圧電性基板上に配置
された励振側の第１の弾性表面波変換器、３は圧電性基
板上に配置された励振側の第２の弾性表面波変換器であ
る。第１の弾性表面波変換器２は正電極４および負電極
５（第１のすだれ状電極）を有する。第２の弾性表面波
変換器３は正電極６および負電極７（第２のすだれ状電
極）を有する。８は出力電極を示す。正電極４および負
電極５は、出力電極に向かって徐々に電極幅ｍおよび周
期ｐが短くなるように交互に配置してある。この第１の
すだれ状電極はｍ／ｐ＝０．５とした。正電極６および
負電極７は、出力電極に向かって徐々に電極幅ｍおよび
周期ｐが長くなるように交互に配置してある。さらに、
第２のすだれ状電極はダブル電極構造となっており、１
本の正電極６は２本の電極６ａ，６ｂを、１本の負電極
７は２本の電極７ａ，７ｂを、それぞれ備えている。こ
の第２のすだれ状電極はｍ／ｐ＝０．２５とした。言替
えれば、第２のすだれ状電極はｍ／ｐ＝０．８とした通
常のすだれ状電極の１本１本を２分割してダブル電極構
造としたものである。なお、圧電性基板１としてはＹカ
ットＺ伝搬のニオブ酸リチウムを、電極４，５，６，７
としてはアルミニウム膜を用いた。
波コンボルバの平面図である。２は圧電性基板上に配置
された励振側の第１の弾性表面波変換器、３は圧電性基
板上に配置された励振側の第２の弾性表面波変換器であ
る。第１の弾性表面波変換器２は正電極４および負電極
５（第１のすだれ状電極）を有する。第２の弾性表面波
変換器３は正電極６および負電極７（第２のすだれ状電
極）を有する。８は出力電極を示す。正電極４および負
電極５は、出力電極に向かって徐々に電極幅ｍおよび周
期ｐが短くなるように交互に配置してある。この第１の
すだれ状電極はｍ／ｐ＝０．５とした。正電極６および
負電極７は、出力電極に向かって徐々に電極幅ｍおよび
周期ｐが長くなるように交互に配置してある。さらに、
第２のすだれ状電極はダブル電極構造となっており、１
本の正電極６は２本の電極６ａ，６ｂを、１本の負電極
７は２本の電極７ａ，７ｂを、それぞれ備えている。こ
の第２のすだれ状電極はｍ／ｐ＝０．２５とした。言替
えれば、第２のすだれ状電極はｍ／ｐ＝０．８とした通
常のすだれ状電極の１本１本を２分割してダブル電極構
造としたものである。なお、圧電性基板１としてはＹカ
ットＺ伝搬のニオブ酸リチウムを、電極４，５，６，７
としてはアルミニウム膜を用いた。
【００１１】このような電極を用いることにより、第１
のすだれ状電極は出力電極に向かって強い方向性を有し
、第２のすだれ状電極はそれ程の方向性を有しないよう
にできる。特に、ダブル電極構造の電極はほぼ両方向性
の特性を有し、結果としてコンボリューション効率の高
いコンボルバが得られる。ダブル電極構造を採ることに
より、この実施例の電極幅はλ／８となるが実用の周波
数では問題なく作製することができる。この場合、ｍ／
ｐとしては、０≦ｍ／ｐ＜０．５も本特許に含まれる。
のすだれ状電極は出力電極に向かって強い方向性を有し
、第２のすだれ状電極はそれ程の方向性を有しないよう
にできる。特に、ダブル電極構造の電極はほぼ両方向性
の特性を有し、結果としてコンボリューション効率の高
いコンボルバが得られる。ダブル電極構造を採ることに
より、この実施例の電極幅はλ／８となるが実用の周波
数では問題なく作製することができる。この場合、ｍ／
ｐとしては、０≦ｍ／ｐ＜０．５も本特許に含まれる。
【００１２】なお本発明は、圧電性基板上に配置された
電極における反射を積極的に利用して弾性表面波変換器
に方向性をもたせることを初めて見出だし、この弾性表
面波変換器の方向性を利用して広い帯域幅で高いコンボ
リューション効率を有する弾性表面波コンボルバを構成
したものである。この場合、電極において弾性表面波が
反射するように、電極はある程度の厚みを有する必要が
ある。電極の厚さをＨ、弾性表面波の波長をλとすると
、０．０１≦Ｈ／λ≦０．１０程度とするのが好ましい
。
電極における反射を積極的に利用して弾性表面波変換器
に方向性をもたせることを初めて見出だし、この弾性表
面波変換器の方向性を利用して広い帯域幅で高いコンボ
リューション効率を有する弾性表面波コンボルバを構成
したものである。この場合、電極において弾性表面波が
反射するように、電極はある程度の厚みを有する必要が
ある。電極の厚さをＨ、弾性表面波の波長をλとすると
、０．０１≦Ｈ／λ≦０．１０程度とするのが好ましい
。
【００１３】さらに、Ｚｍを電極メタルの音響インピー
ダンスとし、Ｚｇを電極ギャップの音響インピーダンス
としたとき、Ｚｍ／Ｚｇの値に応じて弾性表面波変換器
の方向性が定まる。
ダンスとし、Ｚｇを電極ギャップの音響インピーダンス
としたとき、Ｚｍ／Ｚｇの値に応じて弾性表面波変換器
の方向性が定まる。
【００１４】図２は、Ａｌからなる電極の厚さを２００
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝０．９８としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図２（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極（図ではＩＤＴと略称してある）２４に向かって
、正負電極の配置の密度が徐々に高くなるようなアップ
チャープのすだれ状電極２３を隣接させた構成では、図
２（ａ）の実線２１に示すような周波数特性となる。 逆に、図２（ｃ）のように、一対の正負電極を有するす
だれ状電極２６に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に粗くなるようなダウンチャープのすだれ状電極２５
を隣接させた構成では、図２（ａ）の破線２２に示すよ
うな周波数特性となる。周波数特性としては実線２１の
ほうが破線２２より良好である。したがって、すだれ状
電極２３は矢印２３Ｄに示す方向性を有し、すだれ状電
極２５は矢印２５Ｄに示す方向性を有することがわかる
。
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝０．９８としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図２（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極（図ではＩＤＴと略称してある）２４に向かって
、正負電極の配置の密度が徐々に高くなるようなアップ
チャープのすだれ状電極２３を隣接させた構成では、図
２（ａ）の実線２１に示すような周波数特性となる。 逆に、図２（ｃ）のように、一対の正負電極を有するす
だれ状電極２６に向かって、正負電極の配置の密度が徐
々に粗くなるようなダウンチャープのすだれ状電極２５
を隣接させた構成では、図２（ａ）の破線２２に示すよ
うな周波数特性となる。周波数特性としては実線２１の
ほうが破線２２より良好である。したがって、すだれ状
電極２３は矢印２３Ｄに示す方向性を有し、すだれ状電
極２５は矢印２５Ｄに示す方向性を有することがわかる
。
【００１５】図３は、Ａｌからなる電極の厚さを２００
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝１．００としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図３（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極３４に向かって、正負電極の配置の密度が徐々に
高くなるようなアップチャープのすだれ状電極３３を隣
接させた構成では、図３（ａ）の実線３１に示すような
周波数特性となる。また、図３（ｃ）のように、一対の
正負電極を有するすだれ状電極３６に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープ
のすだれ状電極３５を隣接させた構成でも、同じく図３
（ａ）の実線３１に示す周波数特性となる。したがって
、すだれ状電極３３およびすだれ状電極３５は、ともに
方向性を有しないことがわかる。
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝１．００としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図３（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極３４に向かって、正負電極の配置の密度が徐々に
高くなるようなアップチャープのすだれ状電極３３を隣
接させた構成では、図３（ａ）の実線３１に示すような
周波数特性となる。また、図３（ｃ）のように、一対の
正負電極を有するすだれ状電極３６に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープ
のすだれ状電極３５を隣接させた構成でも、同じく図３
（ａ）の実線３１に示す周波数特性となる。したがって
、すだれ状電極３３およびすだれ状電極３５は、ともに
方向性を有しないことがわかる。
【００１６】図４は、Ａｌからなる電極の厚さを２００
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝１．０２としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図４（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極４４に向かって、正負電極の配置の密度が徐々に
高くなるようなアップチャープのすだれ状電極４３を隣
接させた構成では、図４（ａ）の実線４１に示すような
周波数特性となる。逆に、図４（ｃ）のように、一対の
正負電極を有するすだれ状電極４６に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープ
のすだれ状電極４５を隣接させた構成では、図４（ａ）
の破線４２に示すような周波数特性となる。周波数特性
としては破線４２のほうが実線４１より良好である。し
たがって、すだれ状電極４３は矢印４３Ｄに示す方向性
を有し、すだれ状電極４５は矢印４５Ｄに示す方向性を
有することがわかる。
０オングストロームとしＺｍ／Ｚｇ＝１．０２としたと
きの等価回路解析によるチャープ型電極の方向性を説明
するための周波数特性および電極の配置を示す図である
。図４（ｂ）のように、一対の正負電極を有するすだれ
状電極４４に向かって、正負電極の配置の密度が徐々に
高くなるようなアップチャープのすだれ状電極４３を隣
接させた構成では、図４（ａ）の実線４１に示すような
周波数特性となる。逆に、図４（ｃ）のように、一対の
正負電極を有するすだれ状電極４６に向かって、正負電
極の配置の密度が徐々に粗くなるようなダウンチャープ
のすだれ状電極４５を隣接させた構成では、図４（ａ）
の破線４２に示すような周波数特性となる。周波数特性
としては破線４２のほうが実線４１より良好である。し
たがって、すだれ状電極４３は矢印４３Ｄに示す方向性
を有し、すだれ状電極４５は矢印４５Ｄに示す方向性を
有することがわかる。
【００１７】以上のような各種の条件でのチャープ型電
極の方向性を調査した結果、チャープ型電極においては
、Ｚｍ／Ｚｇ＜１のときは正負電極の配置密度が粗から
密になる向きの方向性を有し、Ｚｍ／Ｚｇ＝１のときは
方向性を有さず、Ｚｍ／Ｚｇ＞１のときは正負電極の配
置密度が密から粗になる向きの方向性を有することが分
かった。したがって、このような電極の方向性を考慮し
てコンボルバを構成すれば低挿入損失かつ広帯域特性を
有するようにすることができる。本来は、いずれのすだ
れ状電極も一方向で向かい合った特性が最良であるが、
分散性をなくす点から、他方のすだれ状電極は両方向性
を有するようにするとよい。一方のすだれ状電極は出力
電極に向かう方向性を有し、他方のすだれ状電極は両方
向性を有するようにするとよい。
極の方向性を調査した結果、チャープ型電極においては
、Ｚｍ／Ｚｇ＜１のときは正負電極の配置密度が粗から
密になる向きの方向性を有し、Ｚｍ／Ｚｇ＝１のときは
方向性を有さず、Ｚｍ／Ｚｇ＞１のときは正負電極の配
置密度が密から粗になる向きの方向性を有することが分
かった。したがって、このような電極の方向性を考慮し
てコンボルバを構成すれば低挿入損失かつ広帯域特性を
有するようにすることができる。本来は、いずれのすだ
れ状電極も一方向で向かい合った特性が最良であるが、
分散性をなくす点から、他方のすだれ状電極は両方向性
を有するようにするとよい。一方のすだれ状電極は出力
電極に向かう方向性を有し、他方のすだれ状電極は両方
向性を有するようにするとよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電性または電歪性の基板上に厚みを有するすだれ状電
極を設けた弾性表面波コンボルバにおいて、すだれ状電
極の方向性を考慮し一方をダブル電極構造としているの
で、コンボリューション効率が高くかつ広帯域特性を有
する弾性表面波コンボルバが得られる。
圧電性または電歪性の基板上に厚みを有するすだれ状電
極を設けた弾性表面波コンボルバにおいて、すだれ状電
極の方向性を考慮し一方をダブル電極構造としているの
で、コンボリューション効率が高くかつ広帯域特性を有
する弾性表面波コンボルバが得られる。
【図１】 本発明の一実施例に係る弾性表面波コンボ
ルバの平面図
ルバの平面図
【図２】 Ｚｍ／Ｚｇ＝０．９８のチャープ型電極の
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
【図３】 Ｚｍ／Ｚｇ＝１．００のチャープ型電極の
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
【図４】 Ｚｍ／Ｚｇ＝１．０２のチャープ型電極の
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
方向性を説明するための周波数特性および電極の配置を
示す図
【図５】 従来の弾性表面波変換器を用いたフィルタ
の平面図および断面図
の平面図および断面図
２，５１…第１の弾性表面波変換器、３，５２…第２の
弾性表面波変換器、４…正電極、５…負電極、６…ダブ
ル電極構造の正電極、７…ダブル電極構造の負電極、８
，５３…出力電極。
弾性表面波変換器、４…正電極、５…負電極、６…ダブ
ル電極構造の正電極、７…ダブル電極構造の負電極、８
，５３…出力電極。
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電性または電歪性の基板上に、
弾性表面波を励振する第１および第２のすだれ状電極と
、これらの弾性表面波を検出してコンボリューション出
力を電気信号として取り出す出力電極とを備えた弾性表
面波コンボルバにおいて、上記第１および第２のすだれ
状電極が所定の厚みを有し、上記第１のすだれ状電極は
上記出力電極に向かって徐々に電極幅および周期が短く
なる正負の電極を交互に配置してなり、上記第２のすだ
れ状電極は上記出力電極に向かって徐々に電極幅および
周期が長くなる正負の電極を交互に配置してなり、かつ
、上記第２のすだれ状電極はダブル電極構造を有するこ
とを特徴とする弾性表面波コンボルバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861891A JP3255658B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 弾性表面波コンボルバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13861891A JP3255658B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 弾性表面波コンボルバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04337915A true JPH04337915A (ja) | 1992-11-25 |
| JP3255658B2 JP3255658B2 (ja) | 2002-02-12 |
Family
ID=15226291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13861891A Expired - Fee Related JP3255658B2 (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 弾性表面波コンボルバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3255658B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08222992A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222993A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP13861891A patent/JP3255658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08222992A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
| JPH08222993A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-08-30 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性表面波コンボルバ |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3255658B2 (ja) | 2002-02-12 |
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