JPH043378A - 浮動ヘツドスライダのスライダ面加工方法 - Google Patents
浮動ヘツドスライダのスライダ面加工方法Info
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- JPH043378A JPH043378A JP10453690A JP10453690A JPH043378A JP H043378 A JPH043378 A JP H043378A JP 10453690 A JP10453690 A JP 10453690A JP 10453690 A JP10453690 A JP 10453690A JP H043378 A JPH043378 A JP H043378A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ディスク状記録媒体を記録及び／又は再生す
るための浮動ヘッドスライダのスライダ面加工方法に関
するものである。
るための浮動ヘッドスライダのスライダ面加工方法に関
するものである。
Ｃ発明の概要〕
本発明は、浮、動ヘッドスライダのスライダ面を〔従来
の技術〕 従来から例えば特開昭６１−５７０８７号公報に見られ
るように浮動ヘッドスライダがある。
の技術〕 従来から例えば特開昭６１−５７０８７号公報に見られ
るように浮動ヘッドスライダがある。
この種浮動ヘッドスライダは、ディスク状記録媒体に対
してスライダを浮動させるために、スライダのディスク
状記録媒体との対向面に凹部とその凹部に対して凸部と
なるスライダ面を形成している。なお、正圧方式のスラ
イダは、上記公報に見られるような双胴形状のスライダ
面が一般的であり、一対のスライダ面間に形成された溝
状凹部の深さは数１００μｍとなる。また、負圧方式の
スライダは、上記双胴形状の一対のスライダ面間の一部
を直角に接続したＨ型形状のスライダ面等が採用され、
凹部の深さは数μｍが好ましいとされている。
してスライダを浮動させるために、スライダのディスク
状記録媒体との対向面に凹部とその凹部に対して凸部と
なるスライダ面を形成している。なお、正圧方式のスラ
イダは、上記公報に見られるような双胴形状のスライダ
面が一般的であり、一対のスライダ面間に形成された溝
状凹部の深さは数１００μｍとなる。また、負圧方式の
スライダは、上記双胴形状の一対のスライダ面間の一部
を直角に接続したＨ型形状のスライダ面等が採用され、
凹部の深さは数μｍが好ましいとされている。
しかし従来は、主として、上記スライダの上記対向面に
機械加工によって上記凹部を切削することによって、上
記スライダ面を加工する方法を採用していたために、特
に、負圧方式のスライダのスライダ面のように、スライ
ダ面の形状が複雑で、かつ、凹部の深さが非常に浅いス
ライダ面の加工が極めて困難であった。即ち、加工に多
大の時間を要する上に、凹部の深さ精度を出し難い等の
課題があった。なお、エツチング方法は加工に多大の時
間を要する課題があった。
機械加工によって上記凹部を切削することによって、上
記スライダ面を加工する方法を採用していたために、特
に、負圧方式のスライダのスライダ面のように、スライ
ダ面の形状が複雑で、かつ、凹部の深さが非常に浅いス
ライダ面の加工が極めて困難であった。即ち、加工に多
大の時間を要する上に、凹部の深さ精度を出し難い等の
課題があった。なお、エツチング方法は加工に多大の時
間を要する課題があった。
本発明は、各種形状のスライダ面を極めて短時間で、か
つ、極めて高精度に加工できるスライダ面加工方法を提
供することを一目的としている。
つ、極めて高精度に加工できるスライダ面加工方法を提
供することを一目的としている。
上記目的を達成するために、本発明のスライダ面加工方
法は、浮動ヘッドスライダのディスク状記録媒体との対
向面における凹部形成領域をマスキングし、上記対向面
におけるスライダ面形成領域に微粒子を高速噴射によっ
て堆積させるようにしたものである。
法は、浮動ヘッドスライダのディスク状記録媒体との対
向面における凹部形成領域をマスキングし、上記対向面
におけるスライダ面形成領域に微粒子を高速噴射によっ
て堆積させるようにしたものである。
〔課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明のスライダ面加工方
法は、微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐｏｗｅｒ−
Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）によってスライ
ダ面を加工するので、スライダ面を形状に全く左右され
ずに極めて短時間に加工できる。しかも、微粒子の噴射
圧力や噴射速度等を管理するだけで、微粒子の堆積量を
自由にコントロールすることができるので、凹部の深さ
が数μｍオーダの各種形状のスライダ面を極めて高精度
に加工することができる。
法は、微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐｏｗｅｒ−
Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）によってスライ
ダ面を加工するので、スライダ面を形状に全く左右され
ずに極めて短時間に加工できる。しかも、微粒子の噴射
圧力や噴射速度等を管理するだけで、微粒子の堆積量を
自由にコントロールすることができるので、凹部の深さ
が数μｍオーダの各種形状のスライダ面を極めて高精度
に加工することができる。
以下、本発明を適用した負圧方式の浮動ヘッドスライダ
のスライダ面加工方法の一実施例を図面を参照して説明
する。
のスライダ面加工方法の一実施例を図面を参照して説明
する。
まず、第１図は負圧力式の浮動ヘッドスライダ１を示し
たものであり、スライダ基板２はセラムガラス材等によ
って形成されている。このスライダ基板２は長さＡが３
〜４薗、巾Ｂが２〜３ｍｍ、厚さＣが０．５〜１１ＩＩ
１１程度のものである。そして、このスライダ基板２の
ディスク状記録媒体との対向面３は０．０１μｍ程度の
平坦性に研磨加工されていて、その対向面３にはＨ型形
状のスライダ面４と、正圧用の凹部５と、負圧用の大き
な凹部６とが形成されている。そして、スライダ面４に
対する凹部５．６の深さＤが２〜３μｍ程度に形成され
ている。なお、スライダ基板２の凹部６側の端部の中央
部にヘッドチップ７が低融点のガラス材等によって融着
されていて、そのヘッドギャップ８が凹部６の端部の中
央部に配置され、そのヘッドギャップ８はスライダ面４
とほぼ面−又はスライダ面４より僅かに突出されている
。なお、９はヘッド巻線、１０はヘッド巻！ＩＩＡ逃げ
溝、１１はサスペンション取付溝である。
たものであり、スライダ基板２はセラムガラス材等によ
って形成されている。このスライダ基板２は長さＡが３
〜４薗、巾Ｂが２〜３ｍｍ、厚さＣが０．５〜１１ＩＩ
１１程度のものである。そして、このスライダ基板２の
ディスク状記録媒体との対向面３は０．０１μｍ程度の
平坦性に研磨加工されていて、その対向面３にはＨ型形
状のスライダ面４と、正圧用の凹部５と、負圧用の大き
な凹部６とが形成されている。そして、スライダ面４に
対する凹部５．６の深さＤが２〜３μｍ程度に形成され
ている。なお、スライダ基板２の凹部６側の端部の中央
部にヘッドチップ７が低融点のガラス材等によって融着
されていて、そのヘッドギャップ８が凹部６の端部の中
央部に配置され、そのヘッドギャップ８はスライダ面４
とほぼ面−又はスライダ面４より僅かに突出されている
。なお、９はヘッド巻線、１０はヘッド巻！ＩＩＡ逃げ
溝、１１はサスペンション取付溝である。
次に、第１ Ａ、図〜第２Ｃ図によって、スライダ面４
の加工方法である微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐ
ｏｗｅｒ−Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）を説
明する。
の加工方法である微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐ
ｏｗｅｒ−Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）を説
明する。
まず、第１Ａ図及び第２Ａ図に示すように、前記セラム
ガラス材等からなるスライダ基板２０対向面３における
２つの凹部形成領域５ａ、６ａを感光性ポリウレタン樹
脂等からなり、厚みＥが数１０μｍ〜１００μｍ程度の
マスク１２．１３によってマスキングする。
ガラス材等からなるスライダ基板２０対向面３における
２つの凹部形成領域５ａ、６ａを感光性ポリウレタン樹
脂等からなり、厚みＥが数１０μｍ〜１００μｍ程度の
マスク１２．１３によってマスキングする。
次に、第１Ａ図及び第２Ｂ図に示すように、アルミナ等
からなり、直径が０．５μｍ程度以下の微粒子１４と高
圧ガス（エアやドライチソ素等）との固気混合２相流１
５を、噴射ノズル１６からスライダ基板２０対向面３に
、例えば５ｋｇ／ｃ１１１程度の高圧で、かつ、秒速１
００ｍ程度の高速で噴射させて、上記対向面３における
Ｈ型形状のスライダ面形成領域４ａに微粒子１４を厚さ
Ｆが２〜３μｍ程度となるように堆積させる。
からなり、直径が０．５μｍ程度以下の微粒子１４と高
圧ガス（エアやドライチソ素等）との固気混合２相流１
５を、噴射ノズル１６からスライダ基板２０対向面３に
、例えば５ｋｇ／ｃ１１１程度の高圧で、かつ、秒速１
００ｍ程度の高速で噴射させて、上記対向面３における
Ｈ型形状のスライダ面形成領域４ａに微粒子１４を厚さ
Ｆが２〜３μｍ程度となるように堆積させる。
この後、第１Ｂ図及び第２Ｃ図に示すように、マスク５
．６を上記対向面３から除去すれば、その対向面３に深
さＤが２〜３μｍ程度の２つの凹部５．６が形成される
と共に、アルミナ等の微粒子１４の堆積によって形成さ
れたＨ型形状のスライダ面４が形成される。なおこの後
、スライダ面４をラッピングブレンド加工するのが好ま
しい。
．６を上記対向面３から除去すれば、その対向面３に深
さＤが２〜３μｍ程度の２つの凹部５．６が形成される
と共に、アルミナ等の微粒子１４の堆積によって形成さ
れたＨ型形状のスライダ面４が形成される。なおこの後
、スライダ面４をラッピングブレンド加工するのが好ま
しい。
この加工方法によれば、マスク１２、Ｉ３の形状を変更
するだけで、スライダ面４の形状に全く左右されること
なく、各種形状のスライダ面４を極めて短時間で加工で
きる。また、微粒子１４の噴射圧力や噴射速度等を管理
するだけで、微粒子工４の堆積量を自由にコントロール
することができるので、凹部５．６の深さＤが数μｍオ
ーダの各種形状のスライダ面４を極めて高精度に加工す
ることができる。
するだけで、スライダ面４の形状に全く左右されること
なく、各種形状のスライダ面４を極めて短時間で加工で
きる。また、微粒子１４の噴射圧力や噴射速度等を管理
するだけで、微粒子工４の堆積量を自由にコントロール
することができるので、凹部５．６の深さＤが数μｍオ
ーダの各種形状のスライダ面４を極めて高精度に加工す
ることができる。
なお、第４図は上記のように加工した浮動ヘッドスライ
ダ１を用いたディスク記録再生装置の一例を示したもの
であり、上下一対の浮動ヘッドスライダ１がサスペンシ
ョン取付溝１１部分で上下一対のサスペンション２１の
先端に接着等にて固着されて、上下一対のスライダ面４
が上下から対向されている。そして、上下一対のサスペ
ンション２１の基部はヘッドキャリッジ２２に固着され
、ヘッドキャリッジ２２はシャーシ２３上のガイド基台
２４上に平行に固着された一対のガイド軸２５に複数の
ガイドプーリ２６を介して矢印ａ、 ｂ方向に摺動自在
に係合されている。そして、シャーシ２３上に固着され
たパルスモータ２７のモータ軸２８にプーリ２９が固着
され、このプーリ２９に固く巻きつけられたスチールヘ
ルド３０の両端３０ａ、３０ｂがヘッドキャリッジ２２
に固着されている。
ダ１を用いたディスク記録再生装置の一例を示したもの
であり、上下一対の浮動ヘッドスライダ１がサスペンシ
ョン取付溝１１部分で上下一対のサスペンション２１の
先端に接着等にて固着されて、上下一対のスライダ面４
が上下から対向されている。そして、上下一対のサスペ
ンション２１の基部はヘッドキャリッジ２２に固着され
、ヘッドキャリッジ２２はシャーシ２３上のガイド基台
２４上に平行に固着された一対のガイド軸２５に複数の
ガイドプーリ２６を介して矢印ａ、 ｂ方向に摺動自在
に係合されている。そして、シャーシ２３上に固着され
たパルスモータ２７のモータ軸２８にプーリ２９が固着
され、このプーリ２９に固く巻きつけられたスチールヘ
ルド３０の両端３０ａ、３０ｂがヘッドキャリッジ２２
に固着されている。
一方、ディスク状記録媒体３１が収納されたカートリッ
ジ３２がカートリッジ装着台３３に装着され、ディスク
状記録媒体３１がスピンドルモータのスピンドル３４に
装着されている。そして、上下一対の浮動ヘッドスライ
ダ１がカートリッジ３２の上下一対のヘッド挿入孔３５
内に挿入されて、これらのスライダ面４がディスク状記
録媒体３１の上下両面に接触されている。
ジ３２がカートリッジ装着台３３に装着され、ディスク
状記録媒体３１がスピンドルモータのスピンドル３４に
装着されている。そして、上下一対の浮動ヘッドスライ
ダ１がカートリッジ３２の上下一対のヘッド挿入孔３５
内に挿入されて、これらのスライダ面４がディスク状記
録媒体３１の上下両面に接触されている。
記録再生時には、ディスク状記録媒体３１をスピンドル
３４によって矢印Ｃ方向に例えば３．６０Ｏｒｐｍで回
転駆動する。すると、そのディスク状記録媒体３１の回
転によって誘起される空気流が、第３図に示す浮動ヘッ
ドスライダ１のスライダ面４とディスク状記録媒体３１
との間に矢印ｄ方向に流れる。
３４によって矢印Ｃ方向に例えば３．６０Ｏｒｐｍで回
転駆動する。すると、そのディスク状記録媒体３１の回
転によって誘起される空気流が、第３図に示す浮動ヘッ
ドスライダ１のスライダ面４とディスク状記録媒体３１
との間に矢印ｄ方向に流れる。
すると、浮動ヘッドスライダ１がスライダ面４によって
ディスク状記録媒体３１に対してサブミクロンオーダで
浮動するが、凹部５側が正圧となり、凹部６側が負圧と
なるために、その時の吸引効果によってヘッドチップ７
のヘッドギャップ８がディスク状記録媒体３１側に吸引
される。
ディスク状記録媒体３１に対してサブミクロンオーダで
浮動するが、凹部５側が正圧となり、凹部６側が負圧と
なるために、その時の吸引効果によってヘッドチップ７
のヘッドギャップ８がディスク状記録媒体３１側に吸引
される。
この状態で、パルスモータ２７のプーリ２９によってス
チールベルト３０を駆動すると、ヘッドキャリッジ２２
が一対のガイド軸２５によって案内されて矢印ａ、ｂ方
向にステッピング駆動され、浮動ヘッドスライダｌがデ
ィスク状記録媒体３１を半径方向に走査するので、所望
の記録及び又は再生を行うことができる。
チールベルト３０を駆動すると、ヘッドキャリッジ２２
が一対のガイド軸２５によって案内されて矢印ａ、ｂ方
向にステッピング駆動され、浮動ヘッドスライダｌがデ
ィスク状記録媒体３１を半径方向に走査するので、所望
の記録及び又は再生を行うことができる。
従って、この、浮動ヘッドスライダ１を用いディスク記
録再生装置によれば、Ｈ型形状のスライダ面４による吸
引効果によって、ヘッドチップ７のヘッドギャップ８を
ディスク状記録媒体３１側に吸引させることができるの
で、スペーシングロスが非常に小さくなり、エンベロー
プの良好な記録及び／又は再生を行うことができる。
録再生装置によれば、Ｈ型形状のスライダ面４による吸
引効果によって、ヘッドチップ７のヘッドギャップ８を
ディスク状記録媒体３１側に吸引させることができるの
で、スペーシングロスが非常に小さくなり、エンベロー
プの良好な記録及び／又は再生を行うことができる。
また、浮動ヘッドスライダ１は、ヘッド基板２に膨張係
数の小さいセラムガラス等を使用して加工性を向上させ
る一方、スライダ面４のみを低摩擦係数のアルミナ等の
微粒子１４の堆積によって形成して、スライダ面４の経
時変化を少なくすると共に、スライダ面４の摩擦係数を
小さくしたので、ディスク状記録媒体３１に対するスラ
イダ面４のはりつきもなく、ディスク状記録媒体３１の
回転開始と共に浮動ヘッドスライダ１が簡単に浮動でき
る。従って、浮動ヘッドスライダ１及びディスク状記録
媒体３１の寿命、信顧性が増大し、特に、Ｃ３Ｓ特性の
向上を図ることができる。
数の小さいセラムガラス等を使用して加工性を向上させ
る一方、スライダ面４のみを低摩擦係数のアルミナ等の
微粒子１４の堆積によって形成して、スライダ面４の経
時変化を少なくすると共に、スライダ面４の摩擦係数を
小さくしたので、ディスク状記録媒体３１に対するスラ
イダ面４のはりつきもなく、ディスク状記録媒体３１の
回転開始と共に浮動ヘッドスライダ１が簡単に浮動でき
る。従って、浮動ヘッドスライダ１及びディスク状記録
媒体３１の寿命、信顧性が増大し、特に、Ｃ３Ｓ特性の
向上を図ることができる。
以上、本発明の実施例に付き述べたが、本発明は上記実
施例に限定されることなく、本発明の技術的思想に基づ
いて、各種の有効な変更が可能である。
施例に限定されることなく、本発明の技術的思想に基づ
いて、各種の有効な変更が可能である。
本発明は、上述のとおり、浮動ヘッドスライダのスライ
ダ面を微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐｏｗｅｒ−
Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）によって加工さ
せる方法であるから、スライダ面の形状に全く左右され
ることなく、各種形状のスライダ面を極めて短時間で加
工することができると共に、凹部の深さが数μ−ｍオー
ダの各種形状のスライダ面を極めて高精度に加工するこ
とができる。従って、スライダ面の形状が複雑であると
共に、凹部の深さが数μｍである負圧方式のスライダの
加工に最適なものである。
ダ面を微粒子の高速噴射による堆積方法（Ｐｏｗｅｒ−
Ｂｅａｍ−Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ方法）によって加工さ
せる方法であるから、スライダ面の形状に全く左右され
ることなく、各種形状のスライダ面を極めて短時間で加
工することができると共に、凹部の深さが数μ−ｍオー
ダの各種形状のスライダ面を極めて高精度に加工するこ
とができる。従って、スライダ面の形状が複雑であると
共に、凹部の深さが数μｍである負圧方式のスライダの
加工に最適なものである。
の加工方法を説明する斜視図、第３図は浮動ヘッドスラ
イダの斜視図、第４図はディスク記録再生装置の一部切
欠き平面図である。
イダの斜視図、第４図はディスク記録再生装置の一部切
欠き平面図である。
なお図面に用いた符号において、
１−−−−−一−−−−−−浮動ヘッドスライダ２−−
一一−−−−−−スライダ基板 ３・−一−−−・−−−−−一−−−−−一対向面４−
−−−−・−−−−−−−−−−スライダ面５ 、６−
−−−−−−−−−凹部 １４−−−−−−−−−一微粒子 １５−−−一−−−−−−−〜−−−−−固気混合２相
流１６−−−−−−−−−−・−噴射ノズル３１−−−
−−−−−−−−−ディスク状記録媒体である。
一一−−−−−−スライダ基板 ３・−一−−−・−−−−−一−−−−−一対向面４−
−−−−・−−−−−−−−−−スライダ面５ 、６−
−−−−−−−−−凹部 １４−−−−−−−−−一微粒子 １５−−−一−−−−−−−〜−−−−−固気混合２相
流１６−−−−−−−−−−・−噴射ノズル３１−−−
−−−−−−−−−ディスク状記録媒体である。
Claims (1)
- 浮動ヘッドスライダのディスク状記録媒体との対向面に
おける凹部形成領域をマスキングし、上記対向面におけ
るスライダ面形成領域に微粒子を高速噴射によって堆積
させるようにした浮動ヘッドスライダのスライダ面加工
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10453690A JPH043378A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 浮動ヘツドスライダのスライダ面加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10453690A JPH043378A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 浮動ヘツドスライダのスライダ面加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH043378A true JPH043378A (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=14383216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10453690A Pending JPH043378A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 浮動ヘツドスライダのスライダ面加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH043378A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07169034A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-04 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | スライダの製造方法 |
| US8741039B2 (en) | 2007-02-21 | 2014-06-03 | Sanford, L.P. | Permanent ink compositions and writing instruments containing same |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP10453690A patent/JPH043378A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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