JPH04330914A - 排ガス用気体吸着装置 - Google Patents

排ガス用気体吸着装置

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JPH04330914A
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    • B01D53/30—Controlling by gas-analysis apparatus

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体吸着装置に係り、
特に半導体工業や窯業等において排出される廃ガスをは
じめとして、主に有害ガスを含む廃ガスを吸着方式によ
り除害する処理システムに好適な吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程等からの有害廃ガスを吸
着方式により除害する際には、管理上次の要件を満たす
必要がある。１つには、吸着剤の破過点を正確に検知す
る手段を講じていることであり、もう一つは、破過検知
後も吸着剤を交換する迄のあいだに、吸着装置から有害
成分が漏出しないよう対策を講じていることである。こ
れらをある程度満たすものとして、大容量の処理剤を充
てんした本処理室と、本処理室の処理能力を指示するイ
ンディケーターから成る本処理部の下流側に、本処理室
の１／１０程度の容量の副処理室を直列に接続し、本処
理部から出る廃ガスを副処理室で補助的に処理するとい
う処理装置が提案されている（実開昭６２−１２３２３
４号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、以下の点で前記要件を完全には満たすこと
ができない。第１の要件である吸着剤の破過点の検知手
段として、インディケーターによる変色を採用している
が、この方法では常時監視していない限り破過を事後的
に知り得るだけであり、しかも変色に気がついた時点で
、本処理室から副処理室にどの程度の濃度の有害ガスが
どの程度の時間流入していたかを知ることは不可能であ
る。これでは後段の副処理室への負荷を把握することが
できず、場合によっては副処理室から有害ガスが漏出し
てしまうこともあり得、第２の要件が満たされないこと
になる。これを回避するためには、副処理室を大きくし
て処理能力に余裕をもたせるしかないが、単に装置が大
きくなるばかりで、副処理室に流入するガス濃度の管理
ができないことには変わりはなく、第２の要件を満たす
ことにはならない。また、余裕をもたせればもたせるほ
ど、副処理室を交換する際に未使用のまま交換される吸
着剤が増え、きわめて不経済である。
【０００４】また変色による検知では、共存成分によっ
てはいったん変色した後に、退色したり色のむらが起き
たりして破過点の判断が難しく、せっかく副処理室を設
けても、それが当初の目的を果し得ないことになってし
まう。さらに、本処理部と副処理室をバルブを介して別
個に設け、場合によっては本処理部をバイパスして副処
理部に廃ガスを流し、その間に本処理部を交換できるよ
うな構成となっているが、本構成では常時副処理室にガ
スが流れるようになっており、副処理室の交換は工場の
稼働停止時にしか行えない。しかるに先に述べたように
、副処理室にどの程度の量の有害ガスが流入したかを管
理できないのであるから、本来交換すべき状況にある副
処理室の処理剤を工場停止時まで交換せず、結果として
不完全な処理を行うという事態を招きかねない。そのう
え、本処理部をバイパスして副処理室のみで処理する場
合には、本処理部から漏出してくるわずかな量の有害ガ
スを処理すれば良いのではなく、高濃度の有害ガスを一
定期間以上処理しなければならず、廃ガスの流量や有害
成分の量によっては、本処理室の１／１０程度の処理剤
量では完全に処理できないことが起こり得る。
【０００５】以上のように上記従来技術では、本処理部
の破過の検知手段に信頼性がなく、また検知後の本処理
部からの漏出濃度の管理がなされないため、せっかく設
置した副処理室が所期の目的を果し得ず、そのうえ肝心
の副処理室の管理方法が考えられていないので、結果と
して吸着装置の下流側に有害成分を漏出することが起り
得る。そこで本発明は、主処理部の処理状況を確実に検
知し、かつ補助処理部からは有害ガスを恕限値以上は漏
出させず、しかもシステム全体をより安全かつ経済的に
管理し得る吸着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、排ガス用気体吸着装置において
、排ガス導入口を有する吸着剤を充てんした主処理部と
、処理ガス排出口を有する吸着剤を充てんした補助処理
部とを設け、該主処理部と補助処理部の間に空間部を設
けてこれらを一体に構成し、該空間部にはガス検知装置
を連絡するガス取出口とガス戻入口とを設けたことを特
徴とするものである。また、該空間部に設けたガス取出
口より主処理部を通過したガスを吸引ポンプで取出して
ガス検知装置に供給し検知後のガスを該空間部に設けた
ガス戻入口に返送することにより、主処理部の吸着剤の
破過を検知することができる。
【０００７】即ち、本発明では有害ガスを除害処理する
にあたって、主処理部・空間部・補助処理部を一体とし
、かつ空間部にガス取出口とガス戻入口を設けることに
より、主処理部の処理ガスの採取を可能とし、また主処
理部と補助処理部の交換を同時に行い得るようにしたも
のである。また、ガス取出口から吸引ポンプで主処理部
の処理ガスを取出し、これをガス検知装置に供給するこ
とにより主処理部の処理ガス濃度を常時モニターし、以
って主処理部並びに補助処理部の処理状況を管理できる
ようにしたものである。なお、検知後のガスについても
空間部のガス戻入口へ返送して補助処理部を通過させる
ことにより、処理及び検知を含む全システムにおいて外
部環境に支障のある物質を常時恕限値以下にできる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳述するが、本発明はこれらに限定されない。図１は気
体吸着装置の概略説明図である。図１において、吸着装
置１は主処理部２・空間部３・補助処理部４を一体とし
て構成されている。主処理部には排ガス導入口５が、補
助処理部には処理ガス排出口６が、また空間部にはガス
取出口７とガス戻入口８がそれぞれ設けてあり、ガス取
出口から吸引ポンプ９により取出された主処理部の処理
ガスはガス検知装置１０で濃度を検知された後ガス戻入
口８より吸着装置に返送される。排ガスはまず始めに主
処理部２に導入され、充てんされている吸着剤により有
害成分が吸着される。吸着剤は有害成分の種類に応じて
、物理吸着剤、化学吸着剤のなかから適切なものを選べ
ば良く、またその充てん量は当該プロセスからの排出ガ
ス量と必要処理期間によって決定される。
【０００９】空間部３にはガス取出口７とガス戻入口８
が設けてあるので、ここから主処理部の処理ガスを適宜
採取して分析することにより主処理部の処理状況を確認
することができる。また、本実施例に示すように吸引ポ
ンプ９を介してガス取出口７から主処理部２の処理ガス
の一部を連続的に吸引しガス検知装置１０に供給するこ
とにより常時ガス濃度をモニターするようにすれば、主
処理部の処理状況を正確に管理することができ、信頼度
の高い除害処理が可能となる。ガス検知装置１０として
は、電気化学的センサ・半導体センサ・熱伝導度センサ
等のガスセンサ方式によるものや試験紙によるもの等の
なかから、廃ガス組成と吸着剤の特性に応じて原則とし
て主処理部２から最も初めに漏出してくる有害成分を適
切に検知するものを選択する。なお、これらはいずれも
ガス濃度に応じて電気信号を出力できるので、破過した
時点で警報を出せば見落しがなく、また破過後の記録を
とることにより補助処理部に流入したガスの負荷量を求
めることもできる。なお、ガス検知装置１０を使う場合
には検知後のガスにも有害成分が残存することがあるの
で空間部３のガス戻入口８を経由して吸着装置１に返送
する。
【００１０】主処理部２の終点検知後に主処理部２から
空間部３に漏出した有害成分は、補助処理部４に充てん
された吸着剤により吸着するので、直ちに系外に有害成
分が漏出することはない。補助処理部４に充てんする吸
着剤は、原則として主処理部２から最も早く漏出する有
害成分を有効に処理できるものであれば良く、主処理部
に充てんされた吸着剤と全く同一である必要はない。ま
た、その充てん量は、主処理部２と補助処理部を同時に
交換するのでガス検知装置１０で主処理部２からの漏出
を検出してから当該プロセスでのガスの使用が停止し吸
着剤を交換できるまでの時間と、その間に補助処理部４
に流入する有害ガスの量を考慮して決定される。例えば
バッチ処理方式の低圧ＣＶＤ装置の場合、１回の操作が
３時間とすると実際にガスが流れるのはそのうちの約１
時間程度であり残りの２時間は温度の上昇等に費やされ
ている。従ってこの場合には、ガス検知装置１０で主処
理部２からの漏出を検知後少なくとも１時間以上のあい
だ補助処理部４で処理できれば良いことになる。実際に
は主処理部２からの漏出は徐々に増加するので、補助処
理部４で処理すべき有害ガスの絶対量は主処理部２で処
理すべき量と比較するとごくわずかであり、吸着剤量も
主処理部２の１／５０〜１／２５程度が現実的である。
【００１１】また、補助処理部４を主処理部２と一体に
構成することにより両者を同時に交換することになり、
それぞれを別個に管理する必要がなくなり、管理上のミ
スを防ぐこともできる。図２に本発明のもう一つの気体
吸着装置の概略説明図を示す。図２において各部材は図
１と同じであるが、図２においては、空間部３と補助処
理部４が、主処理部と比較して小さくなっており、この
ようにして一体に構成することもできる。また、ここで
は、導入口、排出口には、すべてバルブを設けている。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、吸着装置
の処理状況を把握しながら有害ガスを吸着装置の下流側
に漏出することなく、安全かつ有効に処理することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の気体吸着装置の一例を示す概略説明図
である。
【図２】本発明の気体吸着装置の他の例を示す概略説明
図である。
【符号の説明】
１　　吸着装置 ２　　主処理部 ３　　空間部 ４　　補助処理部 ５　　気体導入口 ６　　気体排出口 ７　　気体取出口 ８　　気体戻入口 ９　　吸引ポンプ １０　　ガス検知装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　排ガス導入口を有する吸着剤を充填し
    た主処理部と、処理ガス排出口を有する吸着剤を充填し
    た補助処理部とを設け、該主処理部と補助処理部の間に
    空間部を設けてこれらを一体に構成し、該空間部にはガ
    ス検知装置と連絡するガス取出口とガス戻入口とを設け
    たことを特徴とする排ガス用気体吸着装置。
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US07/813,693 US5169419A (en) 1991-01-18 1991-12-07 Gas adsorber for exhaust gas
KR1019920000117A KR100191673B1 (ko) 1991-01-18 1992-01-08 배기가스용 가스흡착기
EP92100265A EP0495393B1 (en) 1991-01-18 1992-01-09 Gas adsorber for exhaust gas
DE69215243T DE69215243T2 (de) 1991-01-18 1992-01-09 Gasadsorber für Abgase

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009028643A (ja) * 2007-07-26 2009-02-12 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法
JP2009291747A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器
JP2010201358A (ja) * 2009-03-04 2010-09-16 Ebara Corp 排ガス処理システム及びその運転方法
JP2012086215A (ja) * 2011-11-15 2012-05-10 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法
JP2017154094A (ja) * 2016-03-03 2017-09-07 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 脱硫システムと、それを備えた水素生成装置と、それを備えた燃料電池システムと、それらの運転方法

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2286135A (en) * 1994-01-26 1995-08-09 Boc Group Plc Pressure swing adsorption apparatus
US5685895A (en) * 1994-08-10 1997-11-11 Nikon Corporation Air cleaning apparatus used for an exposure apparatus
FR2735381B1 (fr) * 1995-06-15 1997-07-25 Air Liquide Installation de fourniture d'un gaz incorporant un dispositif de detection d'impuretes
DE69619942T2 (de) * 1995-12-14 2002-12-19 Suntec System Co Ltd Behandlungssystem für Abgas
KR100500083B1 (ko) * 1997-04-16 2005-07-14 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 배기가스중의 질소산화물의 제거방법
CA2288151A1 (en) * 1997-05-02 1998-11-12 Laurence C. Kelly Apparatus and method for handling mercury containing lamps
US6165067A (en) * 1998-05-04 2000-12-26 Mag Patent, Inc. Method for handling mercury containing lamps
US6273935B1 (en) * 1999-06-01 2001-08-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Apparatus and method for trapping a toxic gas
US6391385B1 (en) * 1999-10-18 2002-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Method of abating of effluents from chemical vapor deposition processes using organometallic source reagents
DE10030831B4 (de) * 2000-06-23 2009-05-28 Air Liquide Deutschland Gmbh Indikatorpatrone für die Gasreinigung
ATE333237T1 (de) * 2002-09-16 2006-08-15 Aerocrine Ab Gasreiniger
US7180363B2 (en) * 2004-07-28 2007-02-20 United Memories, Inc. Powergating method and apparatus
GB0710338D0 (en) * 2007-05-30 2007-07-11 Bioquell Uk Ltd Filters
KR101298723B1 (ko) * 2011-06-28 2013-08-21 현대제철 주식회사 배가스 처리 장치 및 방법
DE102013006544B4 (de) 2013-04-16 2017-04-27 Dräger Safety AG & Co. KGaA Messvorrichtung, Reaktionsträger und Messverfahren
US10179308B2 (en) * 2016-04-13 2019-01-15 Carleton Life Support Systems Inc. On-board inert gas generating system prognostic health monitoring
KR101727526B1 (ko) * 2016-05-30 2017-04-17 주식회사 한국가스기술공사 모듈화된 착탈식 가스 정제 장치
CN115382342A (zh) * 2022-08-25 2022-11-25 广东电网有限责任公司 吸附装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55134628A (en) * 1979-04-07 1980-10-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Control method for deodorizing device
JPS5836615A (ja) * 1981-08-28 1983-03-03 Toshiba Corp ガス吸着塔
JPH0227814U (ja) * 1988-08-10 1990-02-22

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL89211C (ja) * 1952-03-21
US3773044A (en) * 1971-03-10 1973-11-20 R Wallace Chemical breathing apparatus with alarm device
GB1431767A (en) * 1972-04-19 1976-04-14 Petrocarbon Dev Ltd Controlling the concentration of impurities in a gas stream
US3976050A (en) * 1974-11-18 1976-08-24 Nuclear Associates, Inc. Device for adsorbing exhaled radioactive gases and process
DE7527377U (de) * 1975-08-27 1976-06-10 Delbag-Luftfilter Gmbh, 1000 Berlin Adsorptions-filter zum reinigen von insbesondere toxische oder radioaktive verunreinigungen enthaltenden gas- oder luftstroemen
FR2333557A1 (fr) * 1975-12-04 1977-07-01 Favretto Henri Methode ponderale d'optimalisation de la performance des secheurs de gaz comprimes satures de vapeur d'eau, travaillant par adsorption physique sur dessiccant solide, et a regeneration par chauffage direct ou indirect
DE7602442U1 (de) * 1976-01-27 1976-10-28 Delbag-Luftfilter Gmbh, 1000 Berlin Drosselbare, rohrfoermige bypass-messstrecke mit wartungsschutz und kontinuierlicher stroemungsgeschwindigkeitsabtastung an schuettgutanlagen der kerntechnik
DE2718218A1 (de) * 1977-04-23 1978-11-02 Draegerwerk Ag Pruefverfahren zum nachweis von gasen, insbesondere giftigen gasen, in luft und eine pruefvorrichtung dazu
US4278453A (en) * 1980-02-25 1981-07-14 Mako Compressors Inc. Gas purification
DE3225674A1 (de) * 1982-07-09 1984-01-12 Fichtel & Sachs Ag, 8720 Schweinfurt Verfahren und vorrichtung zum feststellen der erschoepfung der adsorptionsfuellung eines adsorptionsfilters zum entzug von chlor aus trinkwasser
US4516988A (en) * 1983-08-25 1985-05-14 Rekuperator Kg Dr.-Ing. Schack & Co. Method and apparatus for purifying a gas stream in a sorption filter
JPS61239162A (ja) * 1985-04-16 1986-10-24 Ube Ind Ltd 気体吸着装置の塩素ガスによる破過を検知する方法
JPS62123234A (ja) * 1985-11-25 1987-06-04 Kajima Corp 蓄氷タンク
JPS6380830A (ja) * 1986-09-25 1988-04-11 Osaka Oxygen Ind Ltd 半導体工業における排ガス処理剤
US4999035A (en) * 1989-01-13 1991-03-12 American Dry Air Products Company, Inc. Indicator device for compressed air systems
WO1991006362A1 (en) * 1989-10-27 1991-05-16 Pall Corporation Apparatus and method for sorbing components from a gas

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55134628A (en) * 1979-04-07 1980-10-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Control method for deodorizing device
JPS5836615A (ja) * 1981-08-28 1983-03-03 Toshiba Corp ガス吸着塔
JPH0227814U (ja) * 1988-08-10 1990-02-22

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009028643A (ja) * 2007-07-26 2009-02-12 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法
JP2009291747A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器
JP2010201358A (ja) * 2009-03-04 2010-09-16 Ebara Corp 排ガス処理システム及びその運転方法
JP2012086215A (ja) * 2011-11-15 2012-05-10 Central Res Inst Of Electric Power Ind 固定床反応容器及び吸収剤の充填方法
JP2017154094A (ja) * 2016-03-03 2017-09-07 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 脱硫システムと、それを備えた水素生成装置と、それを備えた燃料電池システムと、それらの運転方法

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