JPH04329377A - 電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ハンドラによって順次
搬送されてくるＩＣ（集積回路）デバイス等の電子部品
について動作試験をする電子部品検査装置に関し、特に
装置の占有スペースを小さくできると共に試験作業の安
全性を向上することができる電子部品検査装置に関する
。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の電子部品検査装置は、図
２に示すように、床面に設置される架台１と、この架台
１上に水平位と垂直位とで回動可能に取り付けられると
共に垂直位にて被測定電子部品が順次搬送されてくるハ
ンドラ２の測定部３に結合され、上記被測定電子部品に
ついて動作試験するテストヘッド４とから成っていた。 そして、図２において、架台１の上面に支点軸５で矢印
Ａ，Ｂのように回動可能に取り付けられたテストヘッド
４を、矢印Ａ方向に立ち上げて一点鎖線で示すように垂
直位とすると共に、矢印Ｃのように前進させてハンドラ
２の測定部３に結合させ、電子部品について動作試験を
するようになっていた。なお、図２において、符号６は
上記垂直位のテストヘッド４を矢印Ｃ方向に前進又は後
退させるため該テストヘッドの一側面に設けられたスラ
イドユニットを示し、符号７は上記スライドユニット６
と嵌合しテストヘッド４の移動を案内するスライドレー
ルを示している。また、符号８は上記テストヘッド４の
上面側に着脱可能にセットされ検査対象の電子部品を該
テストヘッド４内の電子回路基板に接続するためのパフ
ォーマンスボードを示し、符号９は垂直位にてハンドラ
２の測定部３に結合させるときのパフォーマンスボード
８の中心線を示している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の電子部品検査装置においては、架台１に対するテス
トヘッド４の取り付けが、上記架台１の上面に固定され
た支点軸５で上記テストヘッド４の一側面の下端部を回
動可能に支持する構造となっていたので、該テストヘッ
ド４を矢印Ａ方向に回動して立ち上げ垂直位とすると、
そのテストヘッド４の厚み分だけハンドラ２側に出っ張
ることとなるものであった。従って、その分だけ架台１
の幅を大きくしなければならないと共に、符号Ｌ′で示
すように、上記テストヘッド４の水平位における一方の
外側面から垂直位におけるパフォーマンスボード８のセ
ット面までの占有スペースが大きくなるものであった。 このことから、電子部品検査装置が大型化すると共に、
製造工程における装置の占有スペースが大きくなるもの
であった。

【０００４】これに対して、図３に示すように、架台１
に対するテストヘッド４の取り付けを次のようにしたも
のが提供されている。すなわち、上記架台１の上部に水
平方向のスライドレール７′を設け、このスライドレー
ル７′と下部で嵌合すると共に上部は上記テストヘッド
４の厚みの半分以上まで立ち上がるスライドユニット６
′を設け、このスライドユニット６′の上端部に設けら
れた支点軸５で上記テストヘッド４の中心付近を回動可
能に支持する構造となっている。この場合は、図３にお
いて、水平位にあるテストヘッド４をその中心付近に位
置する支点軸５の周りに矢印Ａ方向に回動して立ち上げ
垂直位とすると、該テストヘッド４はハンドラ２に対し
後退した状態となり、その位置から矢印Ｃ方向に前進さ
せてハンドラ２の測定部３に結合させることとなる。 従って、架台１は、水平位にあるテストヘッド４の長さ
以内の幅を有すればよく、また符号Ｌ″で示すように、
上記テストヘッド４の水平位における一方の外側面から
垂直位におけるパフォーマンスボード８のセット面まで
の占有スペースを小さくすることができる。

【０００５】しかし、この場合は、上記テストヘッド４
の垂直位においてハンドラ２の測定部３に結合させると
きのパフォーマンスボード８の中心線９と、上記支点軸
５の位置とが略同等の高さとなっていることから、上記
テストヘッド４の水平位においてその上面にセットされ
るパフォーマンスボード８の着脱位置の高さＨ″は、図
２に示す従来例のＨ′に比して大きくなってしまうもの
であった。従って、テストヘッド４の上面にパフォーマ
ンスボード８をセットしたり、該パフォーマンスボード
８を交換したりするのに、作業用踏台を使用しなければ
ならないことがあった。このことから、特に上記パフォ
ーマンスボード８の重量が大きいときは、不安定な作業
となり、試験作業の安全性が低下するものであった。

【０００６】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、装置の占有スペースを小さくできると共に試験作
業の安全性を向上することができる電子部品検査装置を
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による電子部品検査装置は、床面上に設置さ
れる架台と、この架台上に水平位と垂直位とで回動可能
に取り付けられると共に垂直位にて被測定電子部品が順
次搬送されてくるハンドラの測定部に結合され、上記被
測定電子部品について動作試験するテストヘッドとから
成る電子部品検査装置において、上記架台上面に対する
テストヘッドの取付構造を、架台に対しテストヘッドを
水平位から垂直位まで立ち上げる回動中心としての支点
軸を上記テストヘッドの一側面の下端部に位置させると
共に、その支点軸が該テストヘッドの立ち上げ動作に従
ってハンドラから離れる方向に後退しうるように構成し
たものである。

【０００８】

【作用】このように構成された電子部品検査装置は、架
台に対しテストヘッドを水平位から垂直位まで立ち上げ
る回動中心としての支点軸を上記テストヘッドの一側面
の下端部に位置させると共に、その支点軸が該テストヘ
ッドの立ち上げ動作に従ってハンドラから離れる方向に
後退しうるように構成したテストヘッドの取付構造によ
り、該テストヘッドが水平位から垂直位に回動して立ち
上がる際にそのテストヘッドの厚み分相当の距離だけ後
退するように動作すると共に、上記テストヘッドの上面
にセットされるパフォーマンスボードの着脱位置の高さ
が低くなる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による電子部品検査装置
の実施例を示す正面図である。この電子部品検査装置は
、搬送装置によって順次搬送されてくるＩＣデバイス等
の電子部品について動作試験をするもので、図１に示す
ように、架台１と、テストヘッド４とから成る。上記搬
送装置としてのハンドラ２は、図示外のローダ部のマガ
ジンに収納された被測定電子部品を測定部３へ供給する
適宜の傾斜角の分配シュート１０を有すると共に、上記
測定部３での試験結果により電子部品を図示外のアンロ
ーダ部のマガジンに分類収納する適宜の傾斜角の分類シ
ュート１１を有している。

【００１０】まず、上記架台１は、その上面にテストヘ
ッド４を設置するもので、上記テストヘッド４を載せう
る大きさの箱状に形成され、電子部品の製造工程の検査
ステーションにおいて前記ハンドラ２に隣接する床面上
に設置されるようになっている。

【００１１】上記架台１の上面には、テストヘッド４が
設置されている。このテストヘッド４は、製造されたＩ
Ｃデバイス等の被測定電子部品について高温又は低温の
雰囲気中で動作試験をするもので、上記架台１上に水平
位（実線で示す状態）と垂直位（一点鎖線で示す状態）
とで矢印Ａ，Ｂのように回動可能に取り付けられると共
に、垂直位にて被測定電子部品が順次搬送されてくるハ
ンドラ２の測定部３に結合されるようになっている。な
お、図１において、符号８は上記テストヘッド４の上面
側に着脱可能にセットされ検査対象の電子部品を該テス
トヘッド４内の電子回路基板に接続するためのパフォー
マンスボードを示している。

【００１２】ここで、本発明においては、上記架台１の
上面に対するテストヘッド４の取付構造は、図１に示す
ように構成されている。まず、架台１の上面には、前記
ハンドラ２側に向けて伸びる直線状の第一のスライドレ
ール１２が設けられており、この第一のスライドレール
１２にはベアリングでスライド可能とされた第一のスラ
イドユニット１３が跨乗されている。次に、水平位にお
けるテストヘッド４のハンドラ２側に面する一側面には
、上下方向の第二のスライドユニット１４が設けられて
おり、この第二のスライドユニット１４にベアリングで
スライド可能に嵌合された直線状の第二のスライドレー
ル１５が設けられている。そして、この第二のスライド
レール１５の部材の下端部と、上記第一のスライドユニ
ット１３の突出部とは互いに重なって交差しており、こ
の交差部は上記下端部と突出部とを互いに回動自在に支
持する支点軸１６で結合されている。さらに、上記第二
のスライドレール１５の上端部にて逆Ｌ字形に折れ曲が
った部分には、ピン１７で回動自在に結合されたスライ
ドシャフト１８が下向きに伸びており、このスライドシ
ャフト１８の下端部は、前記架台１のハンドラ２側の端
部に上下方向に設けられ例えば円筒状部材の内周面にベ
アリングを並べた第三のスライドユニット１９内に上昇
下降可能に挿入されている。

【００１３】次に、このように構成された電子部品検査
装置におけるテストヘッド４の回動動作について説明す
る。最初に、テストヘッド４は、図１において実線で示
すように水平位の状態にある。このときは、第一のスラ
イドユニット１３は、第一のスライドレール１２上で最
もハンドラ２側に接近した位置にある。また、スライド
シャフト１８は、最も上昇した位置にあり、その下端部
だけが第三のスライドユニット１９内に挿入されている
。この状態で、まず、対象となる電子部品の検査に必要
なパフォーマンスボード８を、上記テストヘッド４の上
面の所定箇所にセットする。

【００１４】次に、上記パフォーマンスボード８をハン
ドラ２の測定部３に結合するため、上記水平位のテスト
ヘッド４のハンドラ２と反対側の側端部を手動にて持ち
上げ、矢印Ａのように回動させる。すると、この回動動
作による回転力が、第二のスライドユニット１４及び第
二のスライドレール１５並びにピン１７を介してスライ
ドシャフト１８に伝達され、このスライドシャフト１８
が第三のスライドユニット１９の案内で真直ぐに下降す
ると共に、上記第二のスライドレール１５の下端部の支
点軸１６はハンドラ２から遠去かる方向に後退する。こ
れにより、上記支点軸１６が一端部に結合された第一の
スライドユニット１３は、第一のスライドレール１２の
案内で上記ハンドラ２から遠去かる方向に後退する。こ
の結果、上記テストヘッド４は、支点軸１６を回動中心
として水平位から一点鎖線で示す垂直位まで立ち上がる
と共に、この立ち上げ動作に従って該テストヘッド４の
厚み分だけ後退して架台１の上面に垂直位の状態に立ち
上がることとなる。

【００１５】その後、上記垂直位の状態のテストヘッド
４をハンドラ２側に押す。すると、第二のスライドユニ
ット１４が第二のスライドレール１５の案内で前進し、
テストヘッド４の全体が矢印Ｃ方向に前進する。そして
、パフォーマンスボード８がハンドラ２の測定部３に結
合する。この状態で、上記ハンドラ２で測定部３に順次
被測定電子部品を搬送し、動作試験をする。

【００１６】その後、所要の動作試験が終了したら、ま
ず、テストヘッド４を後退させて測定部３との結合を解
き、今度は垂直位の状態のテストヘッド４の上端部をハ
ンドラ２から遠去かる方向に手動にて引き下げ、矢印Ｂ
のように回動させる。すると、上記立ち上げ動作と逆の
動作により、上記テストヘッド４は、その厚み分だけ前
進すると共に、支点軸１６を回動中心として垂直位から
水平位まで倒れることとなる。そして、次なる被測定電
子部品の検査のために、テストヘッド４の上面のパフォ
ーマンスボード８を取り外し、別のパフォーマンスボー
ド８を取り付ける。

【００１７】このとき、図１に示すように、テストヘッ
ド４の垂直位においてハンドラ２の測定部３に結合させ
るときのパフォーマンスボード８の中心線９よりも上記
テストヘッド４の支点軸１６が下方に位置しているので
、該テストヘッド４の水平位においてその上面にセット
されるパフォーマンスボード８の着脱位置の高さＨは、
図３に示す従来例の高さＨ″よりも低く、図２に示す従
来例の高さＨ′と略同等に低くなる。また、上記テスト
ヘッド４は、水平位における横方向の長さの範囲内にお
いて水平位と垂直位との間で回動可能となるので、架台
１の幅は該テストヘッド４の長さと同程度に小さくでき
ると共に、符号Ｌで示す占有スペースは、図２に示す従
来例の占有スペースＬ′よりも小さくなる。

【００１８】なお、架台１の上面に対するテストヘッド
４の取付構造は、図１に示す実施例に限らず、架台１に
対しテストヘッド４を水平位から垂直位まで立ち上げる
回動中心としての支点軸１６を上記テストヘッド４の一
側面の下端部に位置させると共に、その支点軸１６が該
テストヘッド４の立ち上げ動作に従ってハンドラ２から
離れる方向に後退しうるものならば、どのような構成で
あってもよい。

【００１９】

【発明の効果】本発明は以上説明したように、架台１に
対しテストヘッド４を水平位から垂直位まで立ち上げる
回動中心としての支点軸１６を上記テストヘッド４の一
側面の下端部に位置させると共に、その支点軸１６が該
テストヘッド４の立ち上げ動作に従ってハンドラ２から
離れる方向に後退しうるように構成したテストヘッド４
の取付構造により、該テストヘッド４が水平位から垂直
位に回動して立ち上がる際にそのテストヘッド４の厚み
分相当の距離だけ後退するようにできると共に、上記テ
ストヘッド４の上面にセットされるパフォーマンスボー
ド８の着脱位置の高さを低くすることができる。従って
、架台１の幅を小さくして装置を小型化できると共に、
製造工程における装置の占有スペースＬを小さくするこ
とができる。また、パフォーマンスボード８の着脱作業
において、作業用踏台を使用することを要さず、試験作
業の安全性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明による電子部品検査装置の実施例を
示す正面図、

【図２】　　電子部品検査装置の第一の従来例を示す正
面図、

【図３】　　電子部品検査装置の第二の従来例を示す正
面図。

【符号の説明】

１…架台、　　２…ハンドラ、　　３…測定部、　　４
…テストヘッド、　　８…パフォーマンスボード、　　
１２…第一のスライドレール、　　１３…第一のスライ
ドユニット、　　１４…第二のスライドユニット、　　
１５…第二のスライドレール、１６…支点軸、　　１７
…ピン、　　１８…スライドシャフト、　　１９…第三
のスライドユニット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　床面上に設置される架台と、この架台
   上に水平位と垂直位とで回動可能に取り付けられると共
   に垂直位にて被測定電子部品が順次搬送されてくるハン
   ドラの測定部に結合され、上記被測定電子部品について
   動作試験するテストヘッドとから成る電子部品検査装置
   において、上記架台上面に対するテストヘッドの取付構
   造を、架台に対しテストヘッドを水平位から垂直位まで
   立ち上げる回動中心としての支点軸を上記テストヘッド
   の一側面の下端部に位置させると共に、その支点軸が該
   テストヘッドの立ち上げ動作に従ってハンドラから離れ
   る方向に後退しうるように構成したことを特徴とする電
   子部品検査装置。