JPH04325884A - 表面波モータ - Google Patents

表面波モータ

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Publication number
JPH04325884A
JPH04325884A JP3121844A JP12184491A JPH04325884A JP H04325884 A JPH04325884 A JP H04325884A JP 3121844 A JP3121844 A JP 3121844A JP 12184491 A JP12184491 A JP 12184491A JP H04325884 A JPH04325884 A JP H04325884A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
piezoelectric
piezoelectric bodies
phases
piezoelectric body
Prior art date
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Pending
Application number
JP3121844A
Other languages
English (en)
Inventor
Soichi Wakui
和久井 宗一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP3121844A priority Critical patent/JPH04325884A/ja
Publication of JPH04325884A publication Critical patent/JPH04325884A/ja
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、表面波モータに関し
、更に詳しくは出力トルクを容易に増大できる表面波モ
ータに関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の円環型表面波モータにおけ
る円環状弾性体に張り付けられてた圧電体およびその電
極を示す図である。この図において50は円環状の弾性
体である。51は第1の相を形成する圧電体であり斜線
で示す部分の表面は電極となっている。52は圧電体5
1の電極より引出された端子である。53は第2の相を
形成する圧電体であり斜線で示す部分の表面は電極とな
っている。54は圧電体53の電極より引出された端子
である。そして、これら圧電体51,53は円環型の弾
性体50の端面に張り付けられている。55,56は圧
電体が張り付けられていない間隙であり間隙55は周方
向の距離にしてλ/4(但しλは定在波の波長)、間隙
56は同様に3λ/4である。上述したように圧電体は
ある間隙で区切られた状態で弾性体に張り付けられてお
り、隣接する圧電体の分極方向は互いに逆である。
【0003】圧電体の端子52,54に電圧信号を印加
すると、圧電体51,53は交互に伸縮するので円環型
の弾性体表面には定在波が発生する。圧電体51,53
に印加された信号がそれぞれ90°位相差のある信号で
あると圧電体の振動により発生する定在数により円環型
の弾性体表面には進行波が形成され、図示していないロ
ータ部との間でトルクが発生する。この場合発生するト
ルクの大きさは弾性体に発生する進行波の振幅に比例す
る。このような表面波モータでは印加する電圧信号の振
幅あるいは周波数を変えることにより出力トルクを変化
させ、これにより速度制御を行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の表面波
モータでは次に述べるような問題点がある。すなわち、
定在波により形成される進行波の振幅は弾性体に張り付
けられた圧電体の構成から定在数の振幅と等しくなるの
で、発生するトルクの大きさは圧電体に印加する信号の
振幅値により決ってしまい、進行波の振幅の増大による
トルクの増大は期待できない。従って、トルクを増大さ
せるには圧電体に印加する信号の振幅値あるいは周波数
を変える外はない。
【0005】この発明は上記した課題を除去するために
なされたものであり、この発明の目的は進行波の振幅を
増大させ、この結果出力トルクを増大させることのでき
る表面波モータを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面波モ
ータにおいては、弾性体および該弾性体の表面に構成さ
れると共に一周にわたって所定の数に分割された圧電体
からなるステータ部と、分割された圧電体から引出され
た電極と、ステータ部と圧接するロータ部と、一周にわ
たってモータの相数Pに応じて前記分割された圧電体を
相編成すると共に相編成された相間に所定の間隙を形成
する相編成手段とが少なくとも構成されている。
【0007】
【作用】この発明では相数Pを変えることができる。ま
た相編成手段により編成された各々の相に各々2π/P
位相の異なる信号を印加することにより、定在波の振幅
値に対しP/2倍の振幅値の進行波が弾性体表面に形成
される。したがって、進行波の振幅の増大による出力ト
ルクの増大が可能となる。
【0008】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。
【0009】図1はこの実施例の表面波モータの弾性体
に張り付けられた圧電体およびその電極を示す図である
。この図において、1はステータの構成要素である円環
状の弾性体を示している。2,3,4,5,6,7,8
,9,10は弾性体1の端面に張り付けられた圧電体で
ある。また、11,12,13,14,15,16,1
7,18,19も弾性体1の端面に張り付けられた圧電
体である。これら圧電体の表面には電極が構成されてい
て必要に応じて端子を引出すことができる。また、各々
の圧電体は弾性体の端面の周方向に20等分したエリア
にそれぞれ貼りつけられている。圧電体2,3,4,5
はそれぞれ電気的に接続された状態にある。また圧電体
2,3と圧電体4,5とはそれぞれ分極方向が異なる向
きに貼り合わされていて、圧電体2,3は紙面表側がマ
イナスに分極し、圧電体4,5は紙面表側がプラスに分
極する。5aは圧電体5の電極より引出された端子であ
る。圧電体6,7,8,9,10は互に電気的に絶縁さ
れた状態でそれぞれ貼り付けられているが、圧電体7と
9は接続線J1により電気的に接続されている。そして
圧電体6,7は紙面表側がマイナスに分極し、圧電体8
,9,10は紙面表側がプラスに分極する。6aは圧電
体6の電極より引出された端子、8aは圧電体8の電極
より引出された端子、10aは圧電体10の電極より引
出された端子である。圧電体11,12,13,14,
15は互に電気的に絶縁された状態でそれぞれ貼り付け
られているが、圧電体12と14は接続線J2により電
気的に接続されている。そして圧電体11,12,13
は紙面表側がマイナスに分極し、圧電体14,15は紙
面表側がプラスに分極する。11aは圧電体11の電極
より引出された端子、12aは圧電体12の電極より引
出された端子、13aは圧電体13の電極より引出され
た端子、15aは圧電体15の電極より引出された端子
である。圧電体16,17,18,19はそれぞれ電気
的に接続された状態にある。また圧電体16,17と圧
電体18,19とはそれぞれ分極方向が異なる向きに貼
りつけられていて、圧電体16,17は紙面表側がマイ
ナスに分極し、圧電体18,19は紙面表側がプラスに
分極する。17aは圧電体17の電極より引出された端
子である。20,21は圧電体が貼り付けられていない
間隙である。間隙20,21の周方向の長さは定在波の
波長をλとするとλ/4である。
【0010】図2は表面波モータの低速モード用と高速
モード用の駆動回路を示す図である。(イ)は低速モー
ドを実現する駆動回路、(ロ)は高速モードを実現する
駆動回路である。低速モードが選択されると図2の(イ
)に示す回路がモータ側の端子5a,6a,8a,9a
,10a,11a,12a,13a,15aにそれぞれ
接続され、一方高速モードが選定されると図2の(ロ)
に示す回路がモータ側の端子にそれぞれ接続される。モ
ータ側の端子17aはこれらの回路に常に接続されてい
る。また、これらの回路では入力端子22にVoSin
ωtの電圧信号が、入力端子23にはVoCosωtの
電圧信号が図示していない電源回路より加えられている
。24はインバータであり入力端子22,23に加えら
れた電圧信号を反転しそれぞれ−VoSinωtと−V
oCosωtの電圧信号を作り出している。
【0011】図3は低速モードに切り換えられた場合の
圧電体の相編成を示す図である。相編成により第1相2
5と第2相26が形成された2相表面波モータが構成さ
れた状態を示している。
【0012】図4は高速モードに切り換えられた場合の
圧電体の相編成を示す図であり、第1の相27と第2の
相28と第3の相29と第4の相30が形成された4相
表面波モータが構成された状態を示している。これらの
各相の間には間隙31,32,33,34が形成されて
いる。
【0013】次に図1,図2,図3,図4を参照して動
作について述べる。
【0014】まずこの表面波モータを図3に示す低速モ
ードの2相の表面波モータとして構成する場合について
説明する。モータに接続する駆動回路を図2の(イ)に
示す低速モードの駆動回路に切り変えると、図1におけ
る圧電体5の端子5a,圧電体6の端子6a,圧電体8
の端子8a,圧電体9の端子9aにVoCosωtの電
圧信号が印加される。圧電体2,3,4,5は電気的に
接続されていると共に圧電体2,3と4,5は分極方向
が逆である。したがって、これら2,3,4,5の圧電
体により定在波が一つ生じる。また、圧電体7と9は電
気的に接続されていると共に分極方向が逆であるので、
圧電体6,7,8,9により定在波が一つ生じる。この
定在波と前記定在波は同相なので、圧電体2,3,4,
5,6,7,8,9により図3に示す第1相25が形成
され、結局圧電体2,3,4,5,6,7,8,9によ
り波長λの第1の定在波が発生することになる。一方、
図1における圧電体12の端子12a,圧電体13の端
子13a,圧電体15の端子15a,圧電体17の端子
17a,にはVoSinωtの圧電信号が印加される。 圧電体12と14は電気的に接続されていると共に分極
方向が逆であるので、圧電体12,13,15,16に
より定在波が一つ生じる。また、圧電体16,17,1
8,19は電気的に接続されていると共に圧電体16,
17と18,19は分極方向が逆である。従って、16
,17,18,19の圧電体により定在波が一つ生じる
。この定在波と前記定在波は同相であるので、圧電体1
2,13,14,15,16,17,18,19により
図3に示す第2相26が形成され、結局圧電体12,1
3,14,15,16,17,18,19により波長λ
の第2の定在波が発生することになる。
【0015】上述した第1の定在波と第2の定在波とは
位相が90°異なっていると共に空間にもλ/4ずれて
いる。したがって、ステータのたわみ量を紙面垂直方向
にyとすると、
【0016】
【数1】
【0017】(ただしAoは定在波の振幅、kはk次振
幅定在波であり、k=2π/λ、ωは角速度)となり定
在波と同一振幅の進行波が形成される。この表面波モー
タは進行波と逆の方向に進行波の振幅Aoに比例したト
ルクで回転する。
【0018】つぎに、表面波モータを図4に示す高速モ
ードの4相の表面波モータとして構成する場合について
説明する。
【0019】図2の(ロ)に示す高速モードの駆動回路
に切り換えると、図1における圧電体5の端子5aの端
子5aには−VoCosωtの電圧信号が印加される。 圧電体2,3,4,5は電気的に接続されていると共に
圧電体2,3と4,5は分極方向が逆である。したがっ
て、これら2,3,4,5の圧電体による図4に示す第
1の相27が形成され、第1の定在波が生じる。
【0020】一方、圧電体8の端子8aにはvoSin
ωt,圧電体9の端子9aと圧電体10の端子10aに
は−VoSinωtの電圧信号が印加される。圧電体7
と9は電気的に接続されていると共に分極方向が逆であ
るので、圧電体7,8,9,10により図4に示す第2
の相28が形成され第2の定在波が生じる。また、図1
における圧電体11の端子11aと圧電体12の端子1
2aにはVoCosωt、圧電体13の端子13aには
−VoCosωtの電圧信号が印加される。圧電体12
と14は電気的に接続されていると共に分極方向に逆で
あるので、圧電体11,12,13,14により図4に
示す第3の相29が形成され第3の定在波が生じる。さ
らに、圧電体17の端子17aにはVoSinωtの電
圧信号が印加される。圧電体16,17,18,19は
電気的に接続されていると共に圧電体16,17と18
,19とは分極方向が逆である。したがって、これら1
6,17,18,19の圧電体により図4に示す第4の
相30が形成され第4の定在波が生じる。
【0021】この高速モードでは圧電体6と15には電
圧信号は印加されない。この結果図4に示す第1の相2
7,第2の相28,第3の相29,第4の相30の間に
はλ/4の間隙31,32,33,34が形成されてい
る。したがって、第1の定在波,第2の定在波,第3の
定在波,第4の定在波は位相が互いに90°異なってい
ると共に空間的にもλ/4ずれているので、ステータの
たわみ量を紙面垂直方向にyとすると、
【0022】
【数2】
【0023】(ただしAoは定在波の振幅、kはk次振
動定在波であり、k=2π/λ、ωは角速度)となり定
在波の2倍の振幅の進行波が形成される。この表面波モ
ータでは進行波と逆の方向に進行波の振幅2Aoに比例
したトルクで回転し、2相の表面波モータに比べて回転
速度が倍になる。(ただし周波数一定)
【0024】こ
の実施例では図2に示す低速モードの駆動回路あるいは
高速モードの駆動回路に切り換えることにより表面波モ
ータの相編成を瞬時に2相あるいは4相に切り変え出力
トルクを可変でき回転速度を変えることができる。した
がって入力される電圧信号の周波数あるいは振幅値を変
えることなく表面波モータの出力トルクを可変でき回転
速度を変えることができる。さらに、表面波モータの相
編成を2相あるいは4相に変えるとともに入力される電
圧信号の周波数あるいは振幅値を変えることにより表面
波モータの出力トルクをより一層広範囲に可変でき回転
速度の可変範囲も広がる。さらに、2相モードと4相モ
ードを組合せる時間的割合を連続的に変えることにより
速度制御域を従来よりも広くすることができる。また、
入力される電圧信号の振幅が同一で表面波モータの相編
成を4相にした場合は2相の場合に比べて倍の出力トル
クが得られるので、同一の出力トルクに対して電圧信号
の振幅を小さくすることができエネルギーを節約するこ
とができる。つまり、この発明によれば、相編成された
各々の相に各々2π/P位相の異なる信号を印加するこ
とにより、定在波の振幅値に対しP/2倍の振幅値の進
行波が弾性体表面に形成される。これはステータのたわ
み量をyとすると、
【0025】
【数3】
【0026】で示されるからであり、上記実施例ではP
=4としてある。相編成する相数Pの数は更に多くても
よく、この場合には分割する圧電体の数、ギャップの幅
、電極の数、電極の組合せは相数に応じて構成すればよ
い。
【0027】
【発明の効果】この発明によれば、入力される電圧信号
の周波数あるいは振幅値を変えることなく振幅の大きな
進行波を得ることができるので、表面波モータの出力ト
ルクを容易に増大することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による表面波モータのステ
ータ部の圧電体およびその電極を示す図である。
【図2】表面波モータの低速モード用と高速モード用の
駆動回路を示す図である。
【図3】低速モードに切り換えられた場合の圧電体の相
編成の状態を示す図である。
【図4】高速モードに切り換えられた場合の圧電体の相
編成の状態を示す図である。
【図5】従来の表面波モータのステータ部における圧電
体およびその電極を示す図である。
【符号の説明】
1  円環状の弾性体 2,3,4,5,6,7,8,9,10  圧電体11
,12,13,14,15,16,17,18,19 
 圧電体 5a,6a,8a,9a,10a  端子11a,12
a,13a,15a,17a  端子J1,J2  接
続線 20,21  間隙 22,23  入力端子 24  インバータ 25  第1相 26  第2相 27  第1の相 28  第2の相 29  第3の相 30  第4の相 31,32,33,34  間隙

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  弾性体および該弾性体の表面に構成さ
    れる共に一周にわたって所定の数に分割された圧電体か
    らなるステータ部と、分割された圧電体から引出された
    電極と、ステータ部と圧接するロータ部と、一周にわた
    ってモータの相数Pに応じて前記分割された圧電体を相
    編成すると共に相編成された相間に所定の間隙を形成す
    る相編成手段と、から少なくとも構成され、相編成手段
    により編成された各々の相に各々2π/P位相の異なる
    圧電体励振信号を印加し圧電体を振動させ、ステータ部
    と前記ロータ部との境界面における表面波によりロータ
    部を駆動する表面波モータ。
JP3121844A 1991-04-25 1991-04-25 表面波モータ Pending JPH04325884A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001258279A (ja) * 2000-03-10 2001-09-21 Nikon Corp 振動アクチュエータの駆動装置

Cited By (1)

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