JPH04323517A - 移動子の移動量計測方法 - Google Patents
移動子の移動量計測方法Info
- Publication number
- JPH04323517A JPH04323517A JP9200991A JP9200991A JPH04323517A JP H04323517 A JPH04323517 A JP H04323517A JP 9200991 A JP9200991 A JP 9200991A JP 9200991 A JP9200991 A JP 9200991A JP H04323517 A JPH04323517 A JP H04323517A
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- JP
- Japan
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- line sensor
- graduation
- scale
- pitch
- movement
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は移動子の移動量計測装置
に係り、高速度且つ高精度で移動子の移動量や停止位置
を計測できるようにしたものである。
に係り、高速度且つ高精度で移動子の移動量や停止位置
を計測できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップとリードフレームなどの基
板を接続するワイヤボンダーは、キャピラリツールをＸ
Ｙ方向に高速度で移動させながら、半導体チップの電極
と基板の電極をワイヤで接続するものであるが、この場
合、移動量計測装置により、キャピラリツールのＸＹ方
向移動量若しくは停止位置が計測される。
板を接続するワイヤボンダーは、キャピラリツールをＸ
Ｙ方向に高速度で移動させながら、半導体チップの電極
と基板の電極をワイヤで接続するものであるが、この場
合、移動量計測装置により、キャピラリツールのＸＹ方
向移動量若しくは停止位置が計測される。
【０００３】図５は、従来の移動量計測装置を示すもの
であって、１０１は移動子、１０２はこの移動子１０１
と一体的に移動するラインセンサ、１０３はリニヤスケ
ール、１０４はリニヤスケール１０３にピッチをおいて
形成された目盛である。
であって、１０１は移動子、１０２はこの移動子１０１
と一体的に移動するラインセンサ、１０３はリニヤスケ
ール、１０４はリニヤスケール１０３にピッチをおいて
形成された目盛である。
【０００４】このものは、ラインセンサ１０２が移動子
１０１と一体的に移動しながら、目盛１０４を読み取っ
て、移動子１０１の移動量や停止位置を計測するもので
ある。
１０１と一体的に移動しながら、目盛１０４を読み取っ
て、移動子１０１の移動量や停止位置を計測するもので
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤボンダーにおい
て、作業速度をアップするためには、移動子１０１の移
動速度を高速化し、ラインセンサ１０２により目盛１０
４を高速度で読み取らねばならない。
て、作業速度をアップするためには、移動子１０１の移
動速度を高速化し、ラインセンサ１０２により目盛１０
４を高速度で読み取らねばならない。
【０００６】しかしながらラインセンサ１０２が高速度
で移動すると、ラインセンサ１０２による目盛１０４の
読み取りや、ラインセンサ１０２からの読み取り信号の
出力がこの高速度に追随できないこととなる。このため
には、目盛１０４のピッチ△Ｘを大きくし、ラインセン
サ１０２の目盛１０４の読み取りや信号出力の頻度を少
なくすることが考えられる。
で移動すると、ラインセンサ１０２による目盛１０４の
読み取りや、ラインセンサ１０２からの読み取り信号の
出力がこの高速度に追随できないこととなる。このため
には、目盛１０４のピッチ△Ｘを大きくし、ラインセン
サ１０２の目盛１０４の読み取りや信号出力の頻度を少
なくすることが考えられる。
【０００７】ところがこのようにピッチ△Ｘを大きくす
ると、ラインセンサ１０２は図５鎖線で示すように目盛
１０４上で停止するとは限らず、図５破線で示すように
、目盛１０４と目盛１０４の間で停止する確率が高くな
り、このように目盛１０４と目盛１０４の間で停止する
と、移動子１０１の移動量や停止位置を正確に計測でき
ないこととなる。
ると、ラインセンサ１０２は図５鎖線で示すように目盛
１０４上で停止するとは限らず、図５破線で示すように
、目盛１０４と目盛１０４の間で停止する確率が高くな
り、このように目盛１０４と目盛１０４の間で停止する
と、移動子１０１の移動量や停止位置を正確に計測でき
ないこととなる。
【０００８】そこで本発明は上記従来手段の問題点を解
消し、高速度で且つ正確に、移動子の移動量や停止位置
を計測できる手段を提供することを目的とする。
消し、高速度で且つ正確に、移動子の移動量や停止位置
を計測できる手段を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、リ
ニヤスケールと、駆動手段に駆動されて移動子と一体的
に移動しながら、このリニヤスケールにピッチをおいて
形成された目盛を読み取るラインセンサとから成る移動
量計測装置において、上記ラインセンサと上記目盛を相
対的に傾斜させて、互いに交差させたものである。
ニヤスケールと、駆動手段に駆動されて移動子と一体的
に移動しながら、このリニヤスケールにピッチをおいて
形成された目盛を読み取るラインセンサとから成る移動
量計測装置において、上記ラインセンサと上記目盛を相
対的に傾斜させて、互いに交差させたものである。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、ラインセンサと目盛が交差
する範囲内で、目盛のピッチを大きくできることから、
移動子の移動量の高速計測が可能となる。またラインセ
ンサと目盛のピッチの交点から、移動子の移動量や停止
位置を正確に計測できる。
する範囲内で、目盛のピッチを大きくできることから、
移動子の移動量の高速計測が可能となる。またラインセ
ンサと目盛のピッチの交点から、移動子の移動量や停止
位置を正確に計測できる。
【００１１】
（実施例１）次に、図面を参照しながら本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１２】図１は移動装置の平面図である。１は台板
であり、その上部に移動子２が配設されている。この移
動子２は、モータ３に駆動されるボールねじ４に沿って
移動する。５はガイドレールである。なお移動子２は、
ボールねじ４に替えて、リニヤモータ等の他の駆動手段
により移動するものでもよい。
であり、その上部に移動子２が配設されている。この移
動子２は、モータ３に駆動されるボールねじ４に沿って
移動する。５はガイドレールである。なお移動子２は、
ボールねじ４に替えて、リニヤモータ等の他の駆動手段
により移動するものでもよい。
【００１３】移動子２にはブラケット６が設けられてお
り、このブラケット６には、ラインセンサ７が設けられ
ている。このラインセンサ７は、移動子２と一体的に、
リニヤスケール８に沿って移動する。
り、このブラケット６には、ラインセンサ７が設けられ
ている。このラインセンサ７は、移動子２と一体的に、
リニヤスケール８に沿って移動する。
【００１４】図２は、上記ラインセンサ７とリニヤスケ
ール８から成る移動量計測装置の拡大図である。リニヤ
スケール８には、線状の目盛９がピッチ△Ｘをおいて、
角度θ傾斜して形成されている。またラインセンサ７は
、光学素子７ａが多数個並設されている。、目盛９のピ
ッチ△Ｘと角度θは、ラインセンサ７がどの位置で停止
しても、ラインセンサ７が目盛９に交差するように設定
されている。
ール８から成る移動量計測装置の拡大図である。リニヤ
スケール８には、線状の目盛９がピッチ△Ｘをおいて、
角度θ傾斜して形成されている。またラインセンサ７は
、光学素子７ａが多数個並設されている。、目盛９のピ
ッチ△Ｘと角度θは、ラインセンサ７がどの位置で停止
しても、ラインセンサ７が目盛９に交差するように設定
されている。
【００１５】図２は、ラインセンサ７が実線位置から鎖
線位置まで移動した場合を示している。図中、ｘはライ
ンセンサ７の停止位置、Ｘはこのラインセンサ７に最も
近い目盛９の位置、Ｌはリニヤスケール８の有効巾、ｌ
はラインセンサ７と目盛９の交点までの距離、ｘ１は
ラインセンサ７の当初の位置である。
線位置まで移動した場合を示している。図中、ｘはライ
ンセンサ７の停止位置、Ｘはこのラインセンサ７に最も
近い目盛９の位置、Ｌはリニヤスケール８の有効巾、ｌ
はラインセンサ７と目盛９の交点までの距離、ｘ１は
ラインセンサ７の当初の位置である。
【００１６】図３に示すように、目盛９は複数個の光学
素子７ａと交差している。図中、ａは光学素子７ａのレ
ート、ｎ１，ｎ２は原点Ｏから目盛９と交差する左端と
右端の光学素子７ａまでの個数である。したがって上記
距離ｌ ＝（ａ・ｎ１＋ａ・ｎ２）／２であり、また上
記停止位置ｘ＝Ｘ＋△Ｘ・ｌ ／Ｌである。また移動量
は、ｘ１−ｘとなる。このように本手段によれば、移動
子２の停止位置ｘや移動量ｘ１−ｘを簡単且つ正確に求
めることができる。
素子７ａと交差している。図中、ａは光学素子７ａのレ
ート、ｎ１，ｎ２は原点Ｏから目盛９と交差する左端と
右端の光学素子７ａまでの個数である。したがって上記
距離ｌ ＝（ａ・ｎ１＋ａ・ｎ２）／２であり、また上
記停止位置ｘ＝Ｘ＋△Ｘ・ｌ ／Ｌである。また移動量
は、ｘ１−ｘとなる。このように本手段によれば、移動
子２の停止位置ｘや移動量ｘ１−ｘを簡単且つ正確に求
めることができる。
【００１７】上記装置によれば、ラインセンサ７と目盛
９が交差する範囲内において、ピッチ△Ｘを大きくでき
るので、それだけラインセンサ７の目盛９の読み取りや
、ラインセンサ７からの読み取り信号の出力の頻度は少
なくなり、したがって移動子２の高速移動が可能となる
。またラインセンサ７と目盛９の交点から、移動子２の
移動量や停止位置を正確に計測できる。
９が交差する範囲内において、ピッチ△Ｘを大きくでき
るので、それだけラインセンサ７の目盛９の読み取りや
、ラインセンサ７からの読み取り信号の出力の頻度は少
なくなり、したがって移動子２の高速移動が可能となる
。またラインセンサ７と目盛９の交点から、移動子２の
移動量や停止位置を正確に計測できる。
【００１８】（実施例２）図４に示すものは、リニヤス
ケール８の目盛９は水平に形成されているのに対し、ラ
インセンサ７が傾斜して設けらており、このものも、実
施例１と同様の作用効果が得られる。勿論、ラインセン
サ７と目盛９を両方共傾斜させてもよく、要はラインセ
ンサ７がどの位置で停止しても、ラインセンサ７と目盛
９が交差するように、互いに相対的に傾斜させればよい
。
ケール８の目盛９は水平に形成されているのに対し、ラ
インセンサ７が傾斜して設けらており、このものも、実
施例１と同様の作用効果が得られる。勿論、ラインセン
サ７と目盛９を両方共傾斜させてもよく、要はラインセ
ンサ７がどの位置で停止しても、ラインセンサ７と目盛
９が交差するように、互いに相対的に傾斜させればよい
。
【００１９】なお、本装置は、ワイヤボンダーに限らず
、他の装置の移動子の移動量計測装置にも適用できる。
、他の装置の移動子の移動量計測装置にも適用できる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、リニヤス
ケールと、駆動手段に駆動されて移動子と一体的に移動
しながら、このリニヤスケールにピッチをおいて形成さ
れた目盛を読み取るラインセンサとから成り、上記ライ
ンセンサと上記目盛とを相対的に傾斜させて、互いに交
差させているので、リニヤスケールの目盛のピッチを大
きくして、高速度の読み取りを可能とし、ひいては移動
子の高速移動が可能となるとともに、移動子の移動量や
停止位置を正確に計測することができる。
ケールと、駆動手段に駆動されて移動子と一体的に移動
しながら、このリニヤスケールにピッチをおいて形成さ
れた目盛を読み取るラインセンサとから成り、上記ライ
ンセンサと上記目盛とを相対的に傾斜させて、互いに交
差させているので、リニヤスケールの目盛のピッチを大
きくして、高速度の読み取りを可能とし、ひいては移動
子の高速移動が可能となるとともに、移動子の移動量や
停止位置を正確に計測することができる。
【図１】本発明に係る移動装置の平面図
【図２】本発明
に係る計測装置の平面図
に係る計測装置の平面図
【図３】本発明に係る計測装置
の部分拡大図
の部分拡大図
【図４】本発明の他の実施例に係る計測装
置の平面図
置の平面図
【図５】従来手段の計測装置の平面図
２ 移動子
３ 駆動手段
４ 駆動手段
７ リニヤセンサ
７ａ 光学素子
８ リニヤスケール
９ 目盛
Claims (1)
- 【請求項１】リニヤスケールと、駆動手段に駆動されて
移動子と一体的に移動しながら、このリニヤスケールに
ピッチをおいて形成された目盛を読み取るラインセンサ
とから成り、上記ラインセンサと上記目盛を相対的に傾
斜させて、互いに交差させたことを特徴とする移動子の
移動量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9200991A JPH04323517A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 移動子の移動量計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9200991A JPH04323517A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 移動子の移動量計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04323517A true JPH04323517A (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=14042474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9200991A Pending JPH04323517A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 移動子の移動量計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04323517A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9313834B2 (en) | 2004-06-03 | 2016-04-12 | GrafTech Institute Holdings Inc. | Electrode joint locking system |
| CN110031060A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-19 | 武汉大学 | 投影放大水位测量精度的方法及应用 |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP9200991A patent/JPH04323517A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9313834B2 (en) | 2004-06-03 | 2016-04-12 | GrafTech Institute Holdings Inc. | Electrode joint locking system |
| CN110031060A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-19 | 武汉大学 | 投影放大水位测量精度的方法及应用 |
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