JPH04321215A - コンデンサレンズの設計法及び自動補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば縮小投影露光装
置など種々の露光照明光学系などに好適なコンデンサレ
ンズの設計法及び自動補正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】縮小投影露光装置等に使用される露光照
明光学系は、光源から出射される光線を、多数のロッド
レンズの集合体よりなるフライアイレンズ及びコンデン
サレンズを通して被照射物（例えばレティクル）に照射
させている。

【０００３】このような光学系を設計する場合には、被
照射面の照度分布が均一となるようにコンデンサレンズ
のパラメータを最適化することが要求される。最近では
、コンピュータに光源に関するデータを入力し、計算ア
ルゴリズムにより光源からレティクルまでの多数の光線
を追跡し被照射面の照度分布を算出している。そして、
この照度分布データを用いてコンデンサレンズの最適パ
ラメータを求める工程をカット＆トライで繰り返して光
学設計を行っていた。

【０００４】図１０に従来のコンデンサレンズ設計に際
し行われる照度分布の求め方を示す。この例は光源，楕
円面鏡，フライアイレンズ（ロッドレンズ集合群），コ
ンデンサレンズ，レティクルなどを備えた露光光学系に
関する。

【０００５】すなわち従来は、光源に関する所定のデー
タを入力すると、コンピュータが計算アルゴリズムによ
り、まず光源を図１０の（ａ），（ｂ）に示すように多
数の点光源（例えば数万個）に離散化して各点光源ｉの
輝度Ｗ（ｉ）を求め（ｉは番数である）、さらに被被照
射面（ここではレティクル面）を縦ｌ，横ｍの微小サイ
ズに分割する。

【０００６】そして、各点光源ｉから多数の方向に出射
される光線の方向余弦指定を行って、それらの多数の光
線につき計算アルゴリズムを用いて逐次、点光源からレ
ティクルまでの光線追跡を行い、そのレティクルの各々
の分割領域（ｌ，ｍ）への光通過量を光線追跡ごとに加
算し〔式で表せばＰｉ（ｌ，ｍ）＝Ｐｉ−１（ｌ，ｍ）
＋Ｗ（ｉ）となる〕て各分割領域の照度Ｐｉ（ｌ，ｍ）
の分布を求めていた。

【０００７】なお、露光装置などの照明光学系に関する
従来技術としては、特開昭６０−４１２２４号，特開昭
６１−１６９８１５号，特開昭６２−１２３４２３号，
特開平１−２３２１６号，特開平１−１１４０３５号公
報などに開示されたものがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のコンデ
ンサレンズ設計法によれば、照度分布算出を行う過程で
厳密計算アルゴリズムによって光源からレティクル（被
照射面）まで非常に多くの光線追跡を必要とするため、
コンデンサレンズ・パラメータの最適化に多大な時間を
要し、高精度の設計を短期間で終了させることが不可能
であった。

【０００９】また、非常に多数の光線追跡を必要とする
ため、照度分布が自動設計の評価関数となり得ず、コン
デンサレンズを自動的に最適化することは困難であった
。

【００１０】さらに、この種のコンデンサ・レンズ系を
設計した後の問題としては、光源の輝度やレンズエレメ
ント間隔が経時的に変化することもあり得る。このよう
な事態に対処するには照明系内部の光学エレメントの間
隔を変更して照度分布を補正する必要がある。しかし従
来は、どのエレメントをどの位動かせばよいかリアルタ
イムに知ることができなかった。

【００１１】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
、その第１の目的は、この種コンデンサレンズのパラメ
ータ設計の大幅な時間短縮，高精度化，自動化を図り、
第２の目的は、設計後のコンデンサレンズエレメント間
隔の自動補正を可能にすることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために基本的には次のような課題解決手段を提案す
る。

【００１３】第１の課題解決手段は、上記第１の目的達
成のために次のようなコンデンサレンズの設計法を提案
する。

【００１４】すなわち、光源，フライアイレンズ，コン
デンサレンズなどを備えた光学系のコンデンサレンズパ
ラメータを最適化する場合に、■光源からフライアイレ
ンズ（ロッドレンズ集合体）の射出面に至るまでの多数
の光線経路を追跡し（ここで光線追跡とは計算アルゴリ
ズムによって行われる追跡を意味する）、その中からフ
ライアイレンズの射出面全面から所定の方向（θｉ，φ
ｉ）に出る光量Ｉ（θｉ，φｉ）を求める工程と（ｉは
番数である）、■コンデンサレンズの光線追跡により、
被照射面の各点での照度Ｐｉを求める計算式を光量Ｉ（
θｉ，φｉ）とｓｉｎθｉ／（ｒｉ・ｄｒｉ／ｄθｉ）
との積により成立させ〔ここで、ｒｉは前記フライアイ
レンズの中心から所定方向（θｉ，φｉ）に向けて発す
る光線が被照射面を通過した点Ｑ（ｘｉ，ｙｉ）から光
軸までの距離ｒｉ、（ｄｒｉ／ｄθｉ）はｒｉ／θｉの
微分である〕、この照度計算式を照度分布の予想に必要
な数だけの被測定点について所定方向（θｉ，φｉ）の
角度を変えながら行う工程とを含み、前記照度計算式で
求める各被測定点の照度Ｐｉの偏差が所定値以下となる
ような自動設計アルゴリズムを用いてコンデンサレンズ
パラメータを最適化する。

【００１５】第２の課題解決手段は、第２の目的達成の
ための自動補正装置に係り、光源から出射される光線を
、フライアイレンズ（ロッドレンズ集合体）及びコンデ
ンサレンズを通して被照射物に照射させる光学系におい
て、前記フライアイレンズのロッドレンズ射出面全面か
ら出る光量を、光線の射出方向（θｉ，φｉ）ごとの光
量Ｉ（θｉ，φｉ）に分けて検出する光モニタ手段と、
前記コンデンサレンズのエレメント間隔を電気信号に基
づき微動調整するレンズ駆動手段と、被照射面上の各被
測定点での照度ＰｉをＩ（θｉ，φｉ）とｓｉｎθｉ／
（ｒｉ・ｄｒｉ／ｄθｉ）の積でとらえて、この積の差
が最小となるようなコンデンサレンズのエレメント間隔
を計算アルゴリズムにより算出して、そのレンズエレメ
ント間隔調整の制御信号を前記レンズ駆動手段に送る制
御手段とを備える。

【００１６】

【作用】第１の課題解決手段の作用…まず■の工程によ
る計算式、すなわち光量Ｉ（θｉ，φｉ）とｓｉｎθｉ
／（ｒｉ・ｄｒｉ／ｄθｉ）との積により各被測定点Ｏ
（ｘｉ，ｙｉ）の照度Ｐｉが求まる理由を図１から図３
を用いて説明する。

【００１７】まず、フライアイレンズから出射される光
線の方向θ，φについて定義すると、図３に示すように
θは光軸（ｚ軸）とのなす角度、φは光軸と垂直の面（
ｘ，ｙ面）においてとらえた角度である。

【００１８】図２の（ａ）はフライアイレンズの各ロッ
ドレンズから出射される光の一部として所定方向（θｉ
，φｉ）の平行光束のみを取り出した図である。図２（
ｂ）は（θｉ，φｉ）のうち接近しあう二つの異なる所
定角度（θ１，φ１），（θ２，φ２）の各平行光束が
コンデンサレンズを経て被照射面（例えばレティクル）
上の通過点で形成する微小照射領域△１，△２及びその
照度（光強度）を模式的に示した図である。△１の中の
Ｑ（ｘ１，ｙ１）はフライアイレンズの中心Ａ〔図２（
ａ）に示す〕から（θ１，φ１）の角度で出射された光
線がレティクル面を通過する点で、△２の中のＱ（ｘ２
，ｙ２）が同様に中心Ａから（θ２，φ２）の角度で出
射された光線がレティクル面を通過する点を示す。

【００１９】また、被測定点Ｏ（ｘｉ，ｙｉ）が△１の
中で上記Ｑ（ｘ１，Ｙ１）に対し所定距離の位置関係に
あるものとする。このような位置関係を想定したとき、
被測定点Ｏ（ｘｉ，ｙｉ）は（θ１，φ１）の平行光束
が作る微小照射領域△１のほかに、（θ２，φ２）の平
行光束がつくる微小照射領域△２の一部が重なり合って
その影響を受ける（図では部分的に重なる微小照射領域
を△１，△２の２つにしてあるが、実際はそれ以上のも
のが重なり合い、この数をｎとする）。

【００２０】この場合の被測定点Ｏ（ｘｉ，ｙｉ）の照
度Ｐｉは、図２（ｂ）に示すように重なりあう位置の各
領域△１，△２…△ｎの照度ψ（ｘｉ，ｙｉ）総和であ
り、式で表せば、

【００２１】

【数１】 　　Ｐｉ＝ψ（ｘ１，ｙ１）＋ψ（ｘ２，ｙ２）…＋ψ
（ｘｎ，ｙｎ）となる。以上のことは、被照射面のいず
れの位置おいても成立する。

【００２２】そして、上記数１式の近似式として、上記
課題解決手段の■の工程の計算式（数２式）が成立する
。

【００２３】

【数２】

【００２４】本課題解決手段では、この数２式を用いて
予め設定した各被測定点Ｏｉ（ｘｉ，ｙｉ）の照度を計
算するため、その前に■の工程を行う。

【００２５】■の工程の光量Ｉ（θｉ，φｉ）は、光源
からフライアイレンズ（ロッドレンズ）射出面までの多
数の光線追跡により予め求められるが、コンデンサレン
ズのパラメータとは無関係なので、１度行えば、コンデ
ンサパラメータを変更して照度分布を計算する場合でも
そのまま用いることができる。

【００２６】その後の■の工程に用いる照度計算式は、
一つの被測定点につき２本の光線追跡のみ〔すなわち図
１の（ａ）に示すように（θｉ）及びこれより微小にず
らした（ｄθｉ）の角度の光線追跡〕を行えばよく、極
めて少数の光線追跡で足りる。

【００２７】上記■■の計算アルゴリズムは図１（ｂ）
のフローにおけるＳ１〜Ｓ３となる。

【００２８】そして、以上のような一連の工程を所定の
方向（θｉ，φｉ）の角度を変えながら行うことで、各
被測定点Ｏ（θｉ，φｉ）の照度Ｐｉが求まりこれらの
Ｐｉを比較することで被照射面の照度分布が予想される
。

【００２９】このような計算式は、コンデンサの光線追
跡が極めて少ないので短時間で照度分布予想が可能とな
る。その結果、この照度計算式で求める各被測定点Ｏ（
θｉ，φｉ）のＰｉから自動設計の評価関数を導くこと
ができる。従って、コンデンサレンズ系の自動設計アル
ゴリズムから、照度分布がほゞ均一となるようなコンデ
ンサレンズの最適パラメータが求まる。図１（ｂ）のス
テップＳ４は評価関数の一例を示し、これについては実
施例で述べる。

【００３０】第２の課題解決手段の作用…上記第１の課
題解決手段は、コンデンサパラメータを設計する際に用
いられるが、その設計後に光源やエレメント間隔の経時
的な変化により照度分布に変化をきたす場合があり得る
。

【００３１】このような場合には、既に設計済（構成済
）のコンデンサエレメントの一部パラメータ（エレメン
ト間隔）を調整することで、照度分布の均一性を保ち得
る。

【００３２】そのため本課題解決手段では、例えば定期
的に、露光照明に際して光モニタ手段により実際の光線
の所定の射出方向（θｉ，φｉ）ごとの光量Ｉ（θｉ，
φｉ）を検出する。そして、この検出値よりレンズ駆動
制御手段が前記の数２式を利用して各被測定点のＰｉを
とらえ、各Ｐｉ差が最小（予め設定した許容値内）とな
るような計算アルゴリズムにより最適なコンデンサレン
ズのエレメント間隔を算出する。この算出値はレンズ駆
動信号に変換されてレンズ駆動手段に送られ、コンデン
サレンズのエレメント間隔が自動調整（補正）される。

【００３３】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づき説明する。

【００３４】始めに請求項１，２に係るコンデンサレン
ズ設計法の実施例（第１実施例とする）を図４〜図６及
び図１により説明する。

【００３５】図４は第１実施例として縮小投影露光装置
の露光照明系を示す。

【００３６】図４において、光源１は水銀ランプを用い
、水銀ランプ１から出射された光は、楕円面鏡２により
集光され、フライアイレンズ（ロッドレンズ集合群）３
に入射する。フライアイレンズ３から出射された光はコ
ンデンサレンズのエレメント４〜８を通過し、レティク
ル９を透過照明すると同時に縮小レンズの入射瞳位置１
０にフライアイレンズ３の射出面を結象する。

【００３７】コンデンサレンズのパラメータが図４のＡ
欄に示すようであれば、レティクル９上の照度分布が図
５のＡのようになり、中央部に比して周辺部は約１３％
程照度が低下しているものとする。一方、図４のＢ欄に
示すようであれば、図５のＢのようにほゞ均一な照度分
布が得られるものとする。

【００３８】このＢ欄に示すコンデンサパラメータは、
以下の設計法により自動的に最適化したものである。こ
れを図１のフローチャート（ステップＳ１〜Ｓ４）を参
照しつつ説明する。

【００３９】まず、フライアイレンズ３の各ロッドレン
ズの射出面から所定方向（θｉ，φｉ）に出る光の光量
Ｉ（θｉ，φｉ）を、照度分布予想に必要な被測定点の
数だけ（θｉ，φｉ）を少しずつ変えながら光源（輝点
）１からフライアイレンズ３の各ロッドレンズの射出面
までの多数の光線追跡を行うことにより予め求めておく
（ステップＳ１）。この結果を図６に示す。ここでは、
光線の所定の射出方向（θｉ，φｉ）を約１°ずつ変化
させてある。

【００４０】次に、各（θｉ，φｉ）のうちフライアイ
レンズ３の中心Ａ（図１参照）から射出した光線をコン
デンサレンズ４〜８を経てレティクル９上に至るまで追
跡して、各被測定点Ｏ（ｘｉ，ｙｉ）の照度Ｐｉの計算
式を成立させる（Ｓ２，Ｓ３）。

【００４１】この照度計算式は、発明の作用の項でも述
べた数２式、すなわち光量Ｉ（θｉ，φｉ）とｓｉｎθ
ｉ／（ｒｉ・ｄｒｉ／ｄθｉ）との積により成立する。 ｒｉは、図１（ａ）に示すようにフライアイレンズ３の
中心Ａから所定方向（θｉ，φｉ）に向けて発する光線
が被照射面を通過した点Ｑ（ｘｉ，ｙｉ）から光軸まで
の距離ｒｉ、（ｄｒｉ／ｄθｉ）はｒｉ／θｉの微分で
ある。

【００４２】そして、上記照度計算式により求められる
各被測定点における照度Ｐｉの偏差が所定値以下（ほゞ
均一値）を保つようなコンデンサパラメータを求める自
動設計アルゴリズムを用いてコンデンサレンズの最適化
の設計を行う。

【００４３】上記のコンデンサレンズ系の自動設計を行
うには、まず、上記各Ｐｉ値を比較することで照度分布
の評価関数Ｐｈｎを得る。

【００４４】照度分布の評価関数としては、例えば数３
式により求めている（ステップＳ４）。

【００４５】

【数３】

【００４６】すなわち、各被測定点の照度Ｐｉのトータ
ルの平均照度ＰＡＶとＰｉの最大差のものを照度分布の
評価関数とする。

【００４７】ここで用いた自動設計の計算アルゴリズム
は多数考えられ、実施例では鈴木−米澤の方法を例示す
る。すなわち、少数の光線追跡によって得られる任意の
量Ｅ（評価関数）について、上限をα，下限をβとする
と、

【００４８】

【数４】α≦Ｅ≦β なる不等式（一般に連立不等式）を解き、条件を満足す
るレンズパラメータ（レンズデータ）を求める。

【００４９】本実施例における自動設計の条件としては
、■　　　　０≦Ｐｈｎ≦１．５　　（すなわち照度分
布１．５％以下） ■　　　　フライアイレンズ３の射出面の像が入射瞳１
０から±１ｍｍ以内にできることとした。

【００５０】その結果、コンデンサレンズ４〜８のレン
ズパラメータを図４（ｂ）のＢ欄に示すものが得られ、
照度分布を図５のＢのように１．２％にすることができ
た。

【００５１】なお、照度分布の評価は、従来から用いた
スポットダイアグラム方式のプログラムを使用した。こ
のプログラムの計算は実験とよく一致している。

【００５２】次に請求項３で述べたコンデンサレンズ自
動補正装置の実施例（第２の実施例とする）を図７〜図
９により説明する。

【００５３】図７は露光照明光学系に自動補正装置を組
み込んだ状態を示し、図４に用いた符号と同一のものは
同一部分を示す。

【００５４】本実施例の自動補正装置は、既にコンデン
サレンズのパラメータを設計した後、既に配置したコン
デンサレンズのエレメント間隔を調整して照度分布の経
時的補正を行うためのものである。

【００５５】ハーフミラー（全反射ミラーでもよい）１
０，集光レンズ１１，二次元ＣＣＤセンサ１２，コンデ
ンサレンズ駆動部制御装置１３，コンデンサレンズ駆動
部１４などで構成される。

【００５６】ハーフミラー１０は、例えば定期的な診断
時に限ってエレメント４，５間に配置される。

【００５７】水銀ランプ１から発した光は、楕円面鏡２
により集光されフライアイレンズ３に入射する。フライ
アイレンズ３の出射された光の一部がハーフミラー１０
により取り出され、集光レンズ１１により集光され、焦
点距離ｆだけ距離をおいた２次元ＣＣＤセンサ１２上に
集光される。

【００５８】この時の各々の光線の所定方向（θｉ，φ
ｉ）の平行光束により形成される光量Ｉ（θｉ，φｉ）
は、図８に示すようにＣＣＤセンサ１２上で光軸との交
点Ｏとｆｔａｎθだけ離れた点ａの強度から知ることが
できる。

【００５９】このＣＣＤセンサ１２上の出力から、制御
部１３が各Ｉ（θｉ，φｉ）を計算してその経時的変化
をモニタリングし、Ｉ（θｉ，φｉ）より再び第１実施
例同様の計算アルゴリズムを用いて、レティクル９面の
各被測定点の照度がほゞ均一となるようなコンデンサレ
ンズのエレメント間隔を算出し、レンズ移動量を計算す
る。

【００６０】例えば、Ｉ（θｉ，φｉ）が図６に示すよ
うな値であるときで、エレメント５〜８の厚さ，曲率が
図４のＢ欄の値、間隔が図９のＡである場合には、照度
分布の評価は±２．５％となるが、このうちエレメント
の７と８の間隔を４０ｍｍから５ｍｍにすれば±１．１
％にすることが可能で、このような値を制御部１３が算
出し、これを実現するための制御信号（レンズ移動量信
号）がコンデンサレンズ駆動部（駆動機構）１４に出力
されて所定のレンズエレメントが移動する。

【００６１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、第１の課
題解決手段たるコンデンサレンズ設計法では、コンデン
サレンズ系の光線追跡を少なくした照度分布計算式を成
立させるので、その計算時間ひいてはコンデンサレンズ
設計時間の大幅な短縮を図り、しかも照度分布に必要な
計算式をコンデンサレンズ系の自動設計アルゴリズムの
中に組み込んで照度分布を均一化させるためのコンデン
サレンズパラメータを自動設計を可能にする。

【００６２】具体的には、光線追跡により照度分布を計
算してレンズパラメータをカット＆トライの繰り返しで
光学設計を行う方式において、従来は照度分布の計算に
大型電子計算機で約２時間かかっていたものが、瞬時（
１秒足らず）のうちに計算することができ設計に要する
時間の大幅な短縮を図る。そして、その分、従来より多
数回のカット＆トライができるので、高精度の照明光学
系を実現させる。

【００６３】また、第２の課題解決手段に係る自動補正
装置によれば、コンデンサレンズ系の設計後に光源の経
時的な変化やエレメント間隔の変化があっても、これを
簡便な補正手段により自動調整して照明光学系の高精度
照度分布を経時的に保持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のコンデンサレンズの設計に適用する照
度分布計算式の原理図及びフローチャート。

【図２】コンデンサレンズを通して被照射面に照射され
る平行光束による照度の一例を示す説明図。

【図３】フライアイレンズの出射面から出る光の方向性
を定義した説明図。

【図４】本発明の第１実施例たるコンデンサレンズ設計
法の適用対象となる露光照明光学装置の構成図及びその
レンズパラメータを示す説明図。

【図５】図４に用いたレンズパラメータを用いた時の照
度分布を示す説明図。

【図６】フライアイレンズの出射面から所定方向（θｉ
）の角度を逐次変えたときのその方向における光量Ｉ（
θｉ）を示す説明図。

【図７】本発明の第２実施例に係るコンデンサレンズ自
動補正装置の構成図。

【図８】第２実施例に用いる２次元ＣＣＤセンサにおけ
る光検出の一例を示す説明図。

【図９】コンデンサレンズのエレメント間隔を２通り示
した説明図。

【図１０】従来のコンデンサ設計に用いる照度分布の原
理及びその厳密計算アルゴリズムを示す説明図。

【符号の説明】

１…水銀ランプ（光源）、２…楕円面鏡、３…フライア
イレンズ、４〜８…コンデンサレンズ、９…レティクル
（被照射物）、１０，１１，１２…光量モニタ手段（ハ
ーフミラー，集光レンズ，２次元ＣＣＤセンサ）、１３
…レンズ駆動制御手段、１４…レンズ駆動手段。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　光源，フライアイレンズ，コンデンサ
   レンズなどを備えた光学系のコンデンサレンズパラメー
   タを最適化する場合に、光源からフライアイレンズ（ロ
   ッドレンズ集合体）の射出面に至るまでの多数の光線経
   路を追跡し（ここで光線追跡とは計算アルゴリズムによ
   って行われる追跡を意味する）、その中からフライアイ
   レンズの射出面全面から所定の方向（θｉ，φｉ）に出
   る光量Ｉ（θｉ，φｉ）を求める工程と（ｉは番数であ
   る）、コンデンサレンズの光線追跡により、被照射面の
   各点での照度Ｐｉを求める計算式を光量Ｉ（θｉ，φｉ
   ）とｓｉｎθｉ／（ｒｉ・ｄｒｉ／ｄθｉ）の積により
   成立させ〔ここで、ｒｉは前記フライアイレンズの中心
   から所定方向（θｉ，φｉ）に向けて発する光線が被照
   射面を通過した点Ｑ（ｘｉ，ｙｉ）から光軸までの距離
   ｒｉ、（ｄｒｉ／ｄθｉ）はｒｉ／θｉの微分である〕
   、この照度計算式を照度分布の予想に必要な数だけの被
   測定点について所定方向（θｉ，φｉ）の角度を変えな
   がら行う工程とを含み、前記照度計算式で求める各被測
   定点の照度Ｐｉの偏差が所定値以下となるような自動設
   計アルゴリズムを用いてコンデンサレンズパラメータを
   求めることを特徴とするコンデンサレンズの設計法。
2. 【請求項２】　　請求項１において、前記照度計算式に
   より求める各被測定点の照度Ｐｉより照度分布の評価関
   数を導き、この評価関数をコンデンサレンズの自動設計
   アルゴリズムに組み入れて、照度Ｐｉの偏差が所定値以
   下になるようにコンデンサレンズパラメータを最適化す
   ることを特徴とするコンデンサレンズの設計法。
3. 【請求項３】　　光源から出射される光線を、フライア
   イレンズ（ロッドレンズ集合体）及びコンデンサレンズ
   を通して被照射物に照射させる光学系において、前記フ
   ライアイレンズのロッドレンズ射出面全面から出る光量
   を、光線の射出方向（θｉ，φｉ）ごとの光量Ｉ（θｉ
   ，φｉ）として検出する光モニタ手段と、前記コンデン
   サレンズのエレメント間隔を電気信号に基づき微動調整
   するレンズ駆動手段と、被照射面上の各被測定点での照
   度ＰｉをＩ（θｉ，φｉ）とｓｉｎθｉ／（ｒｉ・ｄｒ
   ｉ／ｄθｉ）の積でとらえて〔ここで、ｒｉはフライア
   イレンズの中心から所定方向（θｉ，φｉ）に向けて発
   する光線が被照射面を通過した点Ｑ（ｘｉ，ｙｉ）から
   光軸までの距離である〕、この積の差が最小となるよう
   なコンデンサレンズのエレメント間隔を計算アルゴリズ
   ムにより算出して、そのレンズエレメント間隔調整の制
   御信号を前記レンズ駆動手段に送る制御手段とを備えた
   ことを特徴とするコンデンサレンズの自動補正装置。