JPH04319628A - 感震器 - Google Patents
感震器Info
- Publication number
- JPH04319628A JPH04319628A JP11557291A JP11557291A JPH04319628A JP H04319628 A JPH04319628 A JP H04319628A JP 11557291 A JP11557291 A JP 11557291A JP 11557291 A JP11557291 A JP 11557291A JP H04319628 A JPH04319628 A JP H04319628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- electrodes
- vibration
- vibration sensor
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、振動センサを用いて地
震の発生を検知する感震器に関する。
震の発生を検知する感震器に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来例による感震器の概略構成を
示すブロック図である。従来の感震器51は容量変化型
の振動センサ52と信号処理回路53とからなり、振動
センサ52は振動を検知し、電極間の容量変化として信
号処理回路53へセンサ出力を出力している。信号処理
回路53では、振動センサ52のセンサ出力から振動波
形をとり出し、ICカードやメモリ等に記憶している地
震波データと比較してその振動波形を解析し、検知され
た振動が地震か、地震以外の振動かを判断している。
示すブロック図である。従来の感震器51は容量変化型
の振動センサ52と信号処理回路53とからなり、振動
センサ52は振動を検知し、電極間の容量変化として信
号処理回路53へセンサ出力を出力している。信号処理
回路53では、振動センサ52のセンサ出力から振動波
形をとり出し、ICカードやメモリ等に記憶している地
震波データと比較してその振動波形を解析し、検知され
た振動が地震か、地震以外の振動かを判断している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、感震器
に用いられている振動センサは、細いビームによって支
持されたマス部に設けられた可動電極と、可動電極に対
向して設けられた固定電極とを有しており、振動を感じ
るとビームが撓んでマス部が変位し、可動電極と固定電
極との間の電極間容量の変化がセンサ出力として出力さ
れるものである(図2参照)。
に用いられている振動センサは、細いビームによって支
持されたマス部に設けられた可動電極と、可動電極に対
向して設けられた固定電極とを有しており、振動を感じ
るとビームが撓んでマス部が変位し、可動電極と固定電
極との間の電極間容量の変化がセンサ出力として出力さ
れるものである(図2参照)。
【0004】振動センサはビーム部分が非常に弱い構造
となっており、振動が発生する度にビームに大きなスト
レスが発生する。このため、長時間使用した場合や限度
以上の衝撃が加わった場合には、ビーム部分が壊れたり
、センサとしての特性が変化することがあった。この結
果、感震器が誤動作し、地震が発生しても地震出力が出
力されず、重大な被害を引き起こす恐れがあった。
となっており、振動が発生する度にビームに大きなスト
レスが発生する。このため、長時間使用した場合や限度
以上の衝撃が加わった場合には、ビーム部分が壊れたり
、センサとしての特性が変化することがあった。この結
果、感震器が誤動作し、地震が発生しても地震出力が出
力されず、重大な被害を引き起こす恐れがあった。
【0005】また、従来の感震器の出荷時テストにおい
ては、感震器に機械的振動を与え、正常に動作している
かどうかをチェックしており、振動を加えるための設備
が必要でテスト費用が高くつくという問題があった。
ては、感震器に機械的振動を与え、正常に動作している
かどうかをチェックしており、振動を加えるための設備
が必要でテスト費用が高くつくという問題があった。
【0006】本発明は、叙上の従来例の欠点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、振動セン
サに診断用電圧を印加するだけで故障の有無を自動的に
診断できるようにすることにある。
されたものであり、その目的とするところは、振動セン
サに診断用電圧を印加するだけで故障の有無を自動的に
診断できるようにすることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の感震器は、振動
を検知し、電極間の容量変化として出力する容量変化型
振動センサと、振動センサの出力から振動波形をとり出
し、地震の発生を判定する信号処理手段と、振動センサ
の電極間に診断用電圧を印加し、振動センサから出力さ
れる容量変化のようすから故障発生の有無を判断する自
己診断手段と、からなることを特徴としている。
を検知し、電極間の容量変化として出力する容量変化型
振動センサと、振動センサの出力から振動波形をとり出
し、地震の発生を判定する信号処理手段と、振動センサ
の電極間に診断用電圧を印加し、振動センサから出力さ
れる容量変化のようすから故障発生の有無を判断する自
己診断手段と、からなることを特徴としている。
【0008】
【作用】振動センサの電極間に診断用電圧を印加すると
、電極間に発生する電界のために電極間距離が変化する
。このとき、電極を支持しているビームが破損している
と、電極間距離の変化が正常時とは異なる。この電極間
距離の変化は、電極間の容量変化として距離センサから
出力されるので、振動センサの電極間に診断用電圧を印
加しながら、振動センサのセンサ出力を検出することに
より、振動センサが故障していないかどうか検査するこ
とができる。
、電極間に発生する電界のために電極間距離が変化する
。このとき、電極を支持しているビームが破損している
と、電極間距離の変化が正常時とは異なる。この電極間
距離の変化は、電極間の容量変化として距離センサから
出力されるので、振動センサの電極間に診断用電圧を印
加しながら、振動センサのセンサ出力を検出することに
より、振動センサが故障していないかどうか検査するこ
とができる。
【0009】したがって、感震器に振動を与えることな
く、感震器の異常を診断することができ、簡単に感震器
の検査を行うことができる。
く、感震器の異常を診断することができ、簡単に感震器
の検査を行うことができる。
【0010】
【実施例】図2は感震器に用いられている振動センサ2
の断面図を示す。振動板7は、フレーム8内の中心部に
おいてマス部10を細いビーム9によって片持ち状に支
持させたものであり、マス部10の下面には可動電極1
1が設けられている。この振動板7はベース12の上に
載置され、フレーム8の下面をベース12の上面に接着
されており、ベース12の上面には可動電極11と対向
させて固定電極13が設けられており、可動電極11と
固定電極13との間には小さなギャップが形成されてい
る。また、振動板7の上面にはスペーサ14を介してカ
バー15が取り付けられており、ビーム9及びマス部1
0がフレーム8、ベース12及びカバー15によって密
閉された構造となっている。16は固定電極13に導通
させられたリード、17は可動電極11に導通させられ
たリードであり、両リード16,17からセンサ出力が
出力される。
の断面図を示す。振動板7は、フレーム8内の中心部に
おいてマス部10を細いビーム9によって片持ち状に支
持させたものであり、マス部10の下面には可動電極1
1が設けられている。この振動板7はベース12の上に
載置され、フレーム8の下面をベース12の上面に接着
されており、ベース12の上面には可動電極11と対向
させて固定電極13が設けられており、可動電極11と
固定電極13との間には小さなギャップが形成されてい
る。また、振動板7の上面にはスペーサ14を介してカ
バー15が取り付けられており、ビーム9及びマス部1
0がフレーム8、ベース12及びカバー15によって密
閉された構造となっている。16は固定電極13に導通
させられたリード、17は可動電極11に導通させられ
たリードであり、両リード16,17からセンサ出力が
出力される。
【0011】しかして、この振動センサ2に振動(また
は加速度)が加わると、ビーム9を撓ませてマス部10
が厚み方向(矢印の方向)に振動するので、可動電極1
1と固定電極13との間の電極間距離が変化し、両電極
11,13間の容量が変化する。したがって、この容量
変化ΔCをセンサ出力としてリード16,17から取り
出すことにより、機械的振動を電気信号に変換すること
ができる。
は加速度)が加わると、ビーム9を撓ませてマス部10
が厚み方向(矢印の方向)に振動するので、可動電極1
1と固定電極13との間の電極間距離が変化し、両電極
11,13間の容量が変化する。したがって、この容量
変化ΔCをセンサ出力としてリード16,17から取り
出すことにより、機械的振動を電気信号に変換すること
ができる。
【0012】図1は上記振動センサ2を用いた感震器1
の概略構成を示す。3は信号処理回路であって、振動セ
ンサ2から出力されるセンサ出力をとり込み、センサ出
力から振動波形をとり出す。この信号処理回路3は、メ
モリやICカード等によって、例えばその地域の地理や
特性に応じた地震波データを保持しており、振動センサ
2のセンサ出力から得た振動波形と地震波データとを比
較し、振動波形を解析することにより、検知している振
動が地震であるか地震以外の振動であるかを判別し、地
震であると判断した場合には地震出力を外部へ出力する
。
の概略構成を示す。3は信号処理回路であって、振動セ
ンサ2から出力されるセンサ出力をとり込み、センサ出
力から振動波形をとり出す。この信号処理回路3は、メ
モリやICカード等によって、例えばその地域の地理や
特性に応じた地震波データを保持しており、振動センサ
2のセンサ出力から得た振動波形と地震波データとを比
較し、振動波形を解析することにより、検知している振
動が地震であるか地震以外の振動であるかを判別し、地
震であると判断した場合には地震出力を外部へ出力する
。
【0013】振動センサ2の故障を検出するための自己
診断回路4は、昇圧回路5とセンサ故障検知回路6とか
らなる。昇圧回路5は、リード16,17を通して振動
センサ2の電極11,13間に数レベルの高電圧を印加
することができ、センサ故障検知回路6は診断用の高電
圧を印加されたときの電極間容量の変化ΔCをセンサ出
力から読み取り、当該容量変化ΔCのようすが正常時の
容量変化であるか否かを判断し、異常であると判断した
場合には故障出力を外部へ出力する。
診断回路4は、昇圧回路5とセンサ故障検知回路6とか
らなる。昇圧回路5は、リード16,17を通して振動
センサ2の電極11,13間に数レベルの高電圧を印加
することができ、センサ故障検知回路6は診断用の高電
圧を印加されたときの電極間容量の変化ΔCをセンサ出
力から読み取り、当該容量変化ΔCのようすが正常時の
容量変化であるか否かを判断し、異常であると判断した
場合には故障出力を外部へ出力する。
【0014】図3は昇圧回路5から振動センサ2の電極
11,13間に電圧を印加した場合の容量変化ΔCのよ
うすを示す。図3に示されているように、電極11,1
3間に一定電圧(Vs)以上の電圧Vを印加すると、電
極11,13間に電界による力が働いて電極11,13
間の距離が変化し、このため電極11,13間の容量が
変化する。したがって、図4(a)に示すように、昇圧
回路5から両電極11,13間に2つのレベルの高電圧
を連続して印加させると、それに応じて図3(b)に実
線αで示すように、大きく電極間容量が変化する。しか
しながら、振動センサ2のビーム9が破損していて動き
にくくなっていたりすると、昇圧回路5により電極11
,13間に高電圧を印加しても電極11,13間の距離
が変化しにくく、容量変化ΔCも図4(b)に破線βで
示すように正常時に比べて異常なレベルとなる。よって
、この容量変化ΔCのようすをセンサ故障検知回路6に
よって検出し評価することにより、振動センサ2が正常
であるか異常であるかの判断を行なうことができる。
11,13間に電圧を印加した場合の容量変化ΔCのよ
うすを示す。図3に示されているように、電極11,1
3間に一定電圧(Vs)以上の電圧Vを印加すると、電
極11,13間に電界による力が働いて電極11,13
間の距離が変化し、このため電極11,13間の容量が
変化する。したがって、図4(a)に示すように、昇圧
回路5から両電極11,13間に2つのレベルの高電圧
を連続して印加させると、それに応じて図3(b)に実
線αで示すように、大きく電極間容量が変化する。しか
しながら、振動センサ2のビーム9が破損していて動き
にくくなっていたりすると、昇圧回路5により電極11
,13間に高電圧を印加しても電極11,13間の距離
が変化しにくく、容量変化ΔCも図4(b)に破線βで
示すように正常時に比べて異常なレベルとなる。よって
、この容量変化ΔCのようすをセンサ故障検知回路6に
よって検出し評価することにより、振動センサ2が正常
であるか異常であるかの判断を行なうことができる。
【0015】自己診断回路4による自己診断動作は、例
えば感震器1の電源を投入した直後に行なわせるように
してもよく、あるいはタイマによって感震器の動作中定
期的に(例えば、1日に1回)自動的に行なわせるよう
にしてもよく、これによって感震器1の故障を予防でき
る。また、自己診断回路4は、感震器1を製造した直後
あるいは感震器1の出荷時に感震器1の良品と不良品と
を選別するために用いることもでき、不良品の出荷によ
る地震被害の拡大を防止できる。
えば感震器1の電源を投入した直後に行なわせるように
してもよく、あるいはタイマによって感震器の動作中定
期的に(例えば、1日に1回)自動的に行なわせるよう
にしてもよく、これによって感震器1の故障を予防でき
る。また、自己診断回路4は、感震器1を製造した直後
あるいは感震器1の出荷時に感震器1の良品と不良品と
を選別するために用いることもでき、不良品の出荷によ
る地震被害の拡大を防止できる。
【0016】自己診断回路4によって感震器1の故障が
検出された場合には、アラーム等によって感震器1の故
障を外部へ知らせることができる。あるいは、感震器1
をガスメータ等に設けてある場合には、自己診断回路4
から故障出力が出力された場合には、ガス供給用の電磁
弁を自動的に閉じるようにすることもできる。
検出された場合には、アラーム等によって感震器1の故
障を外部へ知らせることができる。あるいは、感震器1
をガスメータ等に設けてある場合には、自己診断回路4
から故障出力が出力された場合には、ガス供給用の電磁
弁を自動的に閉じるようにすることもできる。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、感震器に機械的振動を
与えることなく、故障の有無を検査することができ、容
易に自己診断を行なわせることができる。したがって、
構造的に弱いが敏感な振動センサを用いても、信頼性の
高い感震器を製作することができ、感震器の故障によっ
て発生する被害を未然に防ぐことができる。また、定期
的に自己診断させることにより、故障発生を予知するこ
とも可能になる。さらに、向上出荷時の製品テストも簡
単に行なえるようになり、簡易かつ安価に感震器の不良
品チェックも行なえるようになり、不良品の出荷による
地震被害の拡大も防止できる。
与えることなく、故障の有無を検査することができ、容
易に自己診断を行なわせることができる。したがって、
構造的に弱いが敏感な振動センサを用いても、信頼性の
高い感震器を製作することができ、感震器の故障によっ
て発生する被害を未然に防ぐことができる。また、定期
的に自己診断させることにより、故障発生を予知するこ
とも可能になる。さらに、向上出荷時の製品テストも簡
単に行なえるようになり、簡易かつ安価に感震器の不良
品チェックも行なえるようになり、不良品の出荷による
地震被害の拡大も防止できる。
【図1】本発明の一実施例による感震器の概略構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図2】同上の振動センサの具体的な構造を示す断面図
である。
である。
【図3】同上の振動センサにおける電極間の印加電圧と
電極間容量の変化量との関係を示す図である。
電極間容量の変化量との関係を示す図である。
【図4】(a)は自己診断回路によって電極間に印加さ
れる診断用電圧の波形を示す図、(b)はその印加電圧
に応答して発生する正常時及び異常時の電極間容量の変
化を示す図である。
れる診断用電圧の波形を示す図、(b)はその印加電圧
に応答して発生する正常時及び異常時の電極間容量の変
化を示す図である。
【図5】従来例による感震器の概略構成を示すブロック
図である。
図である。
2 振動センサ
3 信号処理回路
4 自己診断回路
Claims (1)
- 【請求項1】 振動を検知し、電極間の容量変化とし
て出力する容量変化型振動センサと、振動センサの出力
から振動波形をとり出し、地震の発生を判定する信号処
理手段と、振動センサの電極間に診断用電圧を印加し、
振動センサから出力される容量変化のようすから故障発
生の有無を判断する自己診断手段と、からなることを特
徴とする感震器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03115572A JP3097173B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 感震器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03115572A JP3097173B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 感震器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04319628A true JPH04319628A (ja) | 1992-11-10 |
JP3097173B2 JP3097173B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=14665889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03115572A Expired - Fee Related JP3097173B2 (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 感震器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3097173B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08263771A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Omron Corp | 地震警報装置 |
JP2000009526A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動検出装置 |
JP2004245725A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Serendi:Kk | 地震検出装置とそれを用いる遮断弁装置 |
JP2018159636A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 日東工業株式会社 | 感震器 |
JP2021032018A (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-01 | 株式会社東海理化電機製作所 | 異常検出装置及び電子キー |
-
1991
- 1991-04-18 JP JP03115572A patent/JP3097173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08263771A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Omron Corp | 地震警報装置 |
JP2000009526A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動検出装置 |
JP2004245725A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Serendi:Kk | 地震検出装置とそれを用いる遮断弁装置 |
JP2018159636A (ja) * | 2017-03-23 | 2018-10-11 | 日東工業株式会社 | 感震器 |
JP2021032018A (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-01 | 株式会社東海理化電機製作所 | 異常検出装置及び電子キー |
WO2021039910A1 (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | 株式会社東海理化電機製作所 | 異常検出装置及び電子キー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3097173B2 (ja) | 2000-10-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7284437B2 (en) | Device and method for the status monitoring of a pressure measuring unit | |
US5114664A (en) | Method for in situ evaluation of capacitive type pressure transducers in a nuclear power plant | |
US10048156B2 (en) | Pressure transducer and method for operating the pressure transducer | |
US6412131B1 (en) | Microelectromechanical mechanisms for real-time mechanical vibration signature monitoring and analysis | |
JP2005043309A (ja) | スティッキング検査機能を有する静電容量式センサ装置及び検査方法並びにエアバッグシステム | |
EP0205609A4 (en) | ACCELERATION-SENSITIVE TRANSDUCERS. | |
USRE29896E (en) | Intrusion detection system | |
JP3097173B2 (ja) | 感震器 | |
KR0166430B1 (ko) | 박막트랜지스터의 검사장치 | |
JP2005114440A (ja) | 故障診断可能な静電容量検出型加速度センサ | |
JPS61155931A (ja) | 電気的な圧力発生器 | |
US20180170749A1 (en) | Mems device | |
JP2007051952A (ja) | 音響センサ装置,音響解析診断装置および音響センサの製造方法 | |
JP2002520607A (ja) | 複数のセンサ群を備えた装置およびこれらの完全性を突き止める方法 | |
JPH09257617A (ja) | 圧力センサ及びこれを用いたガス異常監視装置 | |
KR200144765Y1 (ko) | 진동 및 온도 온라인 측정시스템 | |
CN101278193A (zh) | 电化学疲劳传感器系统和方法 | |
RU2176396C1 (ru) | Способ дистанционного периодического контроля коэффициента преобразования пьезоэлектрического акселерометра | |
US8969102B2 (en) | Testing an electrical connection of a device cap | |
EP3627574B1 (en) | Method and apparatus for detecting an open circuit state in a piezoelectric element connection | |
EP4279897A2 (en) | Micro-electro-mechanical sensor for monitoring a mechanical power transmission device and corresponding sensorized mechanical power transmission device | |
US11965923B2 (en) | Self-test for electrostatic charge variation sensors | |
JP2753896B2 (ja) | 圧力振動検出素子 | |
US20220332569A1 (en) | Microelectromechanical systems ("mems") device having a built-in self-test ("bist") and a method of application of a bist to measure mems health | |
JP2006126095A (ja) | センサの異状検出装置及びセンサの異状検出方法並びに加速度測定装置と加速度測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |