JPH04310806A - リードピッチ測定装置 - Google Patents
リードピッチ測定装置Info
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- JPH04310806A JPH04310806A JP7667591A JP7667591A JPH04310806A JP H04310806 A JPH04310806 A JP H04310806A JP 7667591 A JP7667591 A JP 7667591A JP 7667591 A JP7667591 A JP 7667591A JP H04310806 A JPH04310806 A JP H04310806A
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- Japan
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- optical power
- lead pitch
- light power
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 68
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードピッチ測定装置、
特に、半導体ＩＣのリード形状のリードピッチ測定装置
に関する。
特に、半導体ＩＣのリード形状のリードピッチ測定装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のリードピッチ測定装置は、被検査
ＩＣのリードをレーザ変位計で走査して読みだした光パ
ワー信号を“０”、“１”の光パワー２値化信号に変換
する２値化回路と、前記光パワー２値化信号の一走査分
を記憶する光パワーラインメモリと、前記光パワーライ
ンメモリに記憶された光パワー２値化データからリード
ピッチを演算するリードピッチ演算回路とを含んで構成
されている。
ＩＣのリードをレーザ変位計で走査して読みだした光パ
ワー信号を“０”、“１”の光パワー２値化信号に変換
する２値化回路と、前記光パワー２値化信号の一走査分
を記憶する光パワーラインメモリと、前記光パワーライ
ンメモリに記憶された光パワー２値化データからリード
ピッチを演算するリードピッチ演算回路とを含んで構成
されている。
【０００３】次に従来のリードピッチ測定装置について
図面を参照して詳細に説明する。図３は従来の一例を示
すブロック図である。
図面を参照して詳細に説明する。図３は従来の一例を示
すブロック図である。
【０００４】図３に示すリードピッチ測定装置は、被検
査ＩＣのリードをレーザ変位計１で走査して読みだした
光パワー信号ａを“０”、“１”の光パワー２値化信号
ｂに変換する２値化回路２と、光パワー２値化信号ｂの
一走査分を記憶する光パワーラインメモリ３と、光パワ
ーラインメモリ３に記憶された光パワー２値化データｃ
からリードピッチを演算するリードピッチ演算回路６と
を含んで構成されている。
査ＩＣのリードをレーザ変位計１で走査して読みだした
光パワー信号ａを“０”、“１”の光パワー２値化信号
ｂに変換する２値化回路２と、光パワー２値化信号ｂの
一走査分を記憶する光パワーラインメモリ３と、光パワ
ーラインメモリ３に記憶された光パワー２値化データｃ
からリードピッチを演算するリードピッチ演算回路６と
を含んで構成されている。
【０００５】図４は被検査ＩＣが精度よく位置決めされ
ていない場合を示す模式図である。この場合、リードピ
ッチは測定不能である。
ていない場合を示す模式図である。この場合、リードピ
ッチは測定不能である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のリード
ピッチ測定装置は、被検査ＩＣのリードの任意の位置を
一ライン走査してリードピッチを測定する構成となって
いるので、被検査ＩＣが大きくなると、回転方向の位置
決め精度をあげなくては全てのリードのピッチを測定で
きないという欠点がある。
ピッチ測定装置は、被検査ＩＣのリードの任意の位置を
一ライン走査してリードピッチを測定する構成となって
いるので、被検査ＩＣが大きくなると、回転方向の位置
決め精度をあげなくては全てのリードのピッチを測定で
きないという欠点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のリードピッチ測
定装置は、被検査ＩＣのリードをレーザを変位計で走査
して読みだした光パワー信号を“０”、“１”の光パワ
ー２値化信号に変換する２値化回路と、前記光パワー２
値化信号の一走査分を記憶する光パワーラインメモリと
、前記光パワーラインメモリに記憶された光パワー２値
化データと光パワー投影メモリに記憶された光パワー投
影データの論理和演算をする論理演算回路と、前記論理
演算回路の演算結果データを記憶する光パワー投影メモ
リと、全走査を終了後の最終光パワー投影データからリ
ードピッチを演算するリードピッチ演算回路とを含んで
構成されている。
定装置は、被検査ＩＣのリードをレーザを変位計で走査
して読みだした光パワー信号を“０”、“１”の光パワ
ー２値化信号に変換する２値化回路と、前記光パワー２
値化信号の一走査分を記憶する光パワーラインメモリと
、前記光パワーラインメモリに記憶された光パワー２値
化データと光パワー投影メモリに記憶された光パワー投
影データの論理和演算をする論理演算回路と、前記論理
演算回路の演算結果データを記憶する光パワー投影メモ
リと、全走査を終了後の最終光パワー投影データからリ
ードピッチを演算するリードピッチ演算回路とを含んで
構成されている。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
して詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブ
ロック図である。
【０００９】図１に示すリードピッチ測定装置は、被検
査ＩＣのリードをレーザ変異計１で走査して読みだした
光パワー信号ａを“０”、“１”の光パワー２値化信号
ｂに変換する２値化回路２と、光パワー２値化信号ｂの
一走査分を記憶する光パワーラインメモリ３と、光パワ
ーラインメモリ３に記憶された光パワー２値化データｃ
と光パワー投影メモリ５に記憶された光パワー投影デー
タｄの論理和演算をする論理演算回路４と、論理演算回
路４の演算結果データｅを記憶する光パワー投影メモリ
５と、全走査を終了後の最終光パワー投影データｆから
リードピッチを演算するリードピッチ演算回路６とを含
んで構成されている。
査ＩＣのリードをレーザ変異計１で走査して読みだした
光パワー信号ａを“０”、“１”の光パワー２値化信号
ｂに変換する２値化回路２と、光パワー２値化信号ｂの
一走査分を記憶する光パワーラインメモリ３と、光パワ
ーラインメモリ３に記憶された光パワー２値化データｃ
と光パワー投影メモリ５に記憶された光パワー投影デー
タｄの論理和演算をする論理演算回路４と、論理演算回
路４の演算結果データｅを記憶する光パワー投影メモリ
５と、全走査を終了後の最終光パワー投影データｆから
リードピッチを演算するリードピッチ演算回路６とを含
んで構成されている。
【００１０】次に、図２（ａ），（ｂ）を用いて実施例
の動作を説明する。図２（ａ）はＩＣのリード１０とレ
ーザ変位計の走査位置１１を示す図であり、図２（ｂ）
はレーザ変位計により読み込まれた光パワー２値化デー
タプロファイルと光パワー投影データプロファイルの関
係を説明する図である。
の動作を説明する。図２（ａ）はＩＣのリード１０とレ
ーザ変位計の走査位置１１を示す図であり、図２（ｂ）
はレーザ変位計により読み込まれた光パワー２値化デー
タプロファイルと光パワー投影データプロファイルの関
係を説明する図である。
【００１１】レーザ変位計の走査位置を移動させながら
、光パワー２値化データ読み込んでいき、走査の移動の
終了した時の光パワー投影データの矩形の各端の距離が
ＩＣのリードピッチになる。ある位置でレーザ変位計か
ら光パワーデータを読み、２値化を行い光パワー２値化
データプロファイル１２を作成する。光パワー投影メモ
リに記憶されている光パワー投影データプロファイル１
４と光パワー２値化データプロファイル１２の論理和演
算を行ない、光パワー投影データプロファイルを更新す
る。この操作を繰り返して全測定が終わった時に、光パ
ワー投影メモリに記憶されている光パワー投影データプ
ロファイルの立ち上がり間隔が各リードのピッチになる
。
、光パワー２値化データ読み込んでいき、走査の移動の
終了した時の光パワー投影データの矩形の各端の距離が
ＩＣのリードピッチになる。ある位置でレーザ変位計か
ら光パワーデータを読み、２値化を行い光パワー２値化
データプロファイル１２を作成する。光パワー投影メモ
リに記憶されている光パワー投影データプロファイル１
４と光パワー２値化データプロファイル１２の論理和演
算を行ない、光パワー投影データプロファイルを更新す
る。この操作を繰り返して全測定が終わった時に、光パ
ワー投影メモリに記憶されている光パワー投影データプ
ロファイルの立ち上がり間隔が各リードのピッチになる
。
【００１２】本発明は、さきに説明したように光パワー
をあるレベルで２値化し、その２値化データプロファイ
ルを演算処理していくので、ＩＣのモールド等の光量の
弱い部分が２値化した時に“０”になるようにスレッシ
ュレベルを設定することにより精度よく位置決めされて
いない場合でもリードピッチの測定をすることができる
。
をあるレベルで２値化し、その２値化データプロファイ
ルを演算処理していくので、ＩＣのモールド等の光量の
弱い部分が２値化した時に“０”になるようにスレッシ
ュレベルを設定することにより精度よく位置決めされて
いない場合でもリードピッチの測定をすることができる
。
【００１３】
【発明の効果】本発明のリードピッチ測定装置は、被検
査ＩＣのリードの走査をレーザ変位計を移動させながら
行ない、一走査をおこなう毎に、光パワーデータを投影
メモリに投影させていく処理をおこなう構成にしたので
、被検査ＩＣが大きくなっても位置決め精度を上げる必
要がなくリードピッチを測定することができるという効
果がある。
査ＩＣのリードの走査をレーザ変位計を移動させながら
行ない、一走査をおこなう毎に、光パワーデータを投影
メモリに投影させていく処理をおこなう構成にしたので
、被検査ＩＣが大きくなっても位置決め精度を上げる必
要がなくリードピッチを測定することができるという効
果がある。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は図１の動作を説明するための
図である。
図である。
【図３】従来の一例を示すブロック図である。
【図４】図３の動作を説明するための図である。
１ レーザ変位計
２ ２値化回路
３ 光パワーラインメモリ
４ 論理演算回路
５ 光パワー投影メモリ
６ リードピッチ演算回路
１０ リード
１１ レーザ変位計走査位置
１２ 光パワー２値化データプロファイル１１３
光パワー２値化データプロファイル２１４
光パワー投影データプロファイル１１５ 光
パワー投影データプロファイル２１６ 光パワー
投影データプロファイル３ａ 光パワー信号 ｂ 光パワー２値化信号 ｃ 光パワー２値化データ ｄ 光パワー投影データ ｅ 演算結果データ ｆ 最終光パワー投影データ
光パワー２値化データプロファイル２１４
光パワー投影データプロファイル１１５ 光
パワー投影データプロファイル２１６ 光パワー
投影データプロファイル３ａ 光パワー信号 ｂ 光パワー２値化信号 ｃ 光パワー２値化データ ｄ 光パワー投影データ ｅ 演算結果データ ｆ 最終光パワー投影データ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査ＩＣのリードをレーザを変位計
で走査して読みだした光パワー信号を“０”、“１”の
光パワー２値化信号に変換する２値化回路と、前記光パ
ワー２値化信号の一走査分を記憶する光パワーラインメ
モリと、前記光パワーラインメモリに記憶された光パワ
ー２値化データと光パワー投影メモリに記憶された光パ
ワー投影データの論理和演算をする論理演算回路と、前
記論理演算回路の演算結果データを記憶する光パワー投
影メモリと、全走査を終了後の最終光パワー投影データ
からリードピッチを演算するリードピッチ演算回路とを
含むことを特徴とするリードピッチ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7667591A JPH04310806A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | リードピッチ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7667591A JPH04310806A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | リードピッチ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310806A true JPH04310806A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13612004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7667591A Pending JPH04310806A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | リードピッチ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04310806A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100665638B1 (ko) * | 2004-05-14 | 2007-01-10 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 용량차 검출 회로 및 ｍｅｍｓ 센서 |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP7667591A patent/JPH04310806A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100665638B1 (ko) * | 2004-05-14 | 2007-01-10 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 용량차 검출 회로 및 ｍｅｍｓ 센서 |
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