JPH04309877A - 半導体装置の測定装置 - Google Patents
半導体装置の測定装置Info
- Publication number
- JPH04309877A JPH04309877A JP3072848A JP7284891A JPH04309877A JP H04309877 A JPH04309877 A JP H04309877A JP 3072848 A JP3072848 A JP 3072848A JP 7284891 A JP7284891 A JP 7284891A JP H04309877 A JPH04309877 A JP H04309877A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory
- test
- semiconductor device
- self
- diagnosis
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000004092 self-diagnosis Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000006870 function Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 230000006386 memory function Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置の測定装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体装置の測定装置では、半導
体装置のテストを行うときに使用するメモリの機能の正
常動作を確認する場合、書き込みまたは読み出しの期待
値をメモリの最小アドレスから最大アドレスまで記述し
たテストベクタを使用して、メモリに期待値を書き込み
、その後で書き込まれた値を読み出して期待値と比較す
るという操作を最小アドレスから最大アドレスまで逐次
行うことにより、正常動作の確認を行っていた。
体装置のテストを行うときに使用するメモリの機能の正
常動作を確認する場合、書き込みまたは読み出しの期待
値をメモリの最小アドレスから最大アドレスまで記述し
たテストベクタを使用して、メモリに期待値を書き込み
、その後で書き込まれた値を読み出して期待値と比較す
るという操作を最小アドレスから最大アドレスまで逐次
行うことにより、正常動作の確認を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、半導体装置のテストを行うときに使用する
メモリの容量の増加量に比例してテストベクタサイズお
よび使用するメモリの機能の正常動作を確認する自己診
断時間が増加するため、半導体装置のテストを行うとき
に使用するメモリの容量が大きな半導体装置の測定装置
の場合、テストを行うときに使用するメモリの機能の正
常動作の確認（自己診断）に時間がかかりすぎるという
問題があった。
の構成では、半導体装置のテストを行うときに使用する
メモリの容量の増加量に比例してテストベクタサイズお
よび使用するメモリの機能の正常動作を確認する自己診
断時間が増加するため、半導体装置のテストを行うとき
に使用するメモリの容量が大きな半導体装置の測定装置
の場合、テストを行うときに使用するメモリの機能の正
常動作の確認（自己診断）に時間がかかりすぎるという
問題があった。
【０００４】この発明の目的は、半導体装置のテストを
行うときに使用するメモリの自己診断を高速・短時間で
行うことのできる半導体装置の測定装置を提供すること
である。
行うときに使用するメモリの自己診断を高速・短時間で
行うことのできる半導体装置の測定装置を提供すること
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の半導体装置の
測定装置はテスト用メモリと小容量の自己診断用メモリ
とを備えている。テスト用メモリは半導体装置のテスト
を行うときに使用し、自己診断用メモリはテスト用メモ
リの機能を診断するときに使用するようにしている。
測定装置はテスト用メモリと小容量の自己診断用メモリ
とを備えている。テスト用メモリは半導体装置のテスト
を行うときに使用し、自己診断用メモリはテスト用メモ
リの機能を診断するときに使用するようにしている。
【０００６】
【作用】この発明の構成によれば、まず、小容量の自己
診断用メモリの正常動作を確認し、つぎに、小容量の自
己診断用メモリを用いてテスト用メモリの機能を診断す
るため、高速・短時間で半導体装置のテストを行うとき
に使用するテスト用メモリの正常動作を確認することが
できる。
診断用メモリの正常動作を確認し、つぎに、小容量の自
己診断用メモリを用いてテスト用メモリの機能を診断す
るため、高速・短時間で半導体装置のテストを行うとき
に使用するテスト用メモリの正常動作を確認することが
できる。
【０００７】
【実施例】この発明の一実施例について図面を参照しな
がら説明する。図１はこの発明の一実施例の半導体装置
の測定装置の要部構成図である。図１において、１は半
導体装置のテストを行うときに使用するテスト用メモリ
２を診断する小容量の自己診断用メモリ、３はデータ・
バスである。
がら説明する。図１はこの発明の一実施例の半導体装置
の測定装置の要部構成図である。図１において、１は半
導体装置のテストを行うときに使用するテスト用メモリ
２を診断する小容量の自己診断用メモリ、３はデータ・
バスである。
【０００８】以上のように構成された半導体装置の測定
装置について、以下その動作を説明する。まず、内蔵さ
れた小容量の自己診断用メモリ１を従来の診断方法によ
り正常動作の確認をする。小容量の自己診断用メモリ１
が正常に動作していることを確認した後、半導体装置の
テストを行うときに使用するテスト用メモリ２を診断す
るために必要な、Ｎビット単位の書き込み用テストベク
タと読み出し時に比較を行う期待値テストベクタとを自
己診断用メモリ１に書き込む。
装置について、以下その動作を説明する。まず、内蔵さ
れた小容量の自己診断用メモリ１を従来の診断方法によ
り正常動作の確認をする。小容量の自己診断用メモリ１
が正常に動作していることを確認した後、半導体装置の
テストを行うときに使用するテスト用メモリ２を診断す
るために必要な、Ｎビット単位の書き込み用テストベク
タと読み出し時に比較を行う期待値テストベクタとを自
己診断用メモリ１に書き込む。
【０００９】つぎに、小容量の自己診断用メモリ１から
テスト用メモリ２へＮビット単位でデータを書き込む。 その後、テスト用メモリ２からＮビット単位でデータを
読み出し、小容量の自己診断用メモリ１に書き込まれて
いる期待値と比較することにより、半導体装置のテスト
を行うときに使用するテスト用メモリ２が正常に動作し
ているかを確認する。
テスト用メモリ２へＮビット単位でデータを書き込む。 その後、テスト用メモリ２からＮビット単位でデータを
読み出し、小容量の自己診断用メモリ１に書き込まれて
いる期待値と比較することにより、半導体装置のテスト
を行うときに使用するテスト用メモリ２が正常に動作し
ているかを確認する。
【００１０】以上のようにこの実施例によれば、小容量
の自己診断用メモリ１を用いることにより、半導体装置
のテストを行うときに使用するテスト用メモリ２の自己
診断（正常動作の確認）を高速・短時間で行うことがで
きる。また、自己診断用メモリ１に書き込んだテストベ
クタを繰り返し使うことにより、テストベクタサイズも
小さくすることができる。
の自己診断用メモリ１を用いることにより、半導体装置
のテストを行うときに使用するテスト用メモリ２の自己
診断（正常動作の確認）を高速・短時間で行うことがで
きる。また、自己診断用メモリ１に書き込んだテストベ
クタを繰り返し使うことにより、テストベクタサイズも
小さくすることができる。
【００１１】
【発明の効果】この発明の半導体装置の測定装置は、小
容量の自己診断用メモリを用いてテスト用メモリの機能
を診断するため、高速・短時間で半導体装置のテストを
行うときに使用するテスト用メモリの正常動作を確認す
ることができる。
容量の自己診断用メモリを用いてテスト用メモリの機能
を診断するため、高速・短時間で半導体装置のテストを
行うときに使用するテスト用メモリの正常動作を確認す
ることができる。
【図１】この発明の一実施例の半導体装置の測定装置の
要部構成図である。
要部構成図である。
１ 自己診断用メモリ
２ テスト用メモリ
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体装置のテストを行うときに使用
するテスト用メモリと、このテスト用メモリの機能を診
断するときに使用する小容量の自己診断用メモリとを備
えた半導体装置の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3072848A JPH04309877A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 半導体装置の測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3072848A JPH04309877A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 半導体装置の測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04309877A true JPH04309877A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13501214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3072848A Pending JPH04309877A (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | 半導体装置の測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04309877A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156426A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびマルチチップモジュール |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP3072848A patent/JPH04309877A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002156426A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびマルチチップモジュール |
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