JPH0430946A - ワーク検査装置および該装置を有するワーク装着装置 - Google Patents

ワーク検査装置および該装置を有するワーク装着装置

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JPH0430946A
JPH0430946A JP13705390A JP13705390A JPH0430946A JP H0430946 A JPH0430946 A JP H0430946A JP 13705390 A JP13705390 A JP 13705390A JP 13705390 A JP13705390 A JP 13705390A JP H0430946 A JPH0430946 A JP H0430946A
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JP
Japan
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workpiece
main body
jig
distance
inspection device
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JP13705390A
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Takeshi Yakou
猛 谷古宇
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は、被装着部材に装着されたワークの装着状態を
検出するためのワーク検査装置および該装置を有するワ
ーク装着装置に関するものである。
[従来の技術] 従来、径の異なる円筒形または円柱形のワークの中心を
同一にして該ワークの側面を把持しながら被装着部材で
ある工作機械のステージに該ワークを装置するワーク装
着装置としては、たとえば、実開昭60−74986号
公報に記載されているものがある。
第4図は、ワークの装着状態を検出するためのワーク検
査装置を有するワーク装着装置の従来例の一つを示す図
である。
このワーク装着装置+00は、連結バー102を介して
ロボット101に取付けられている。
また、このワーク装着装置100では、円板状の本体1
03の中央部に設けられた取付穴に、3本の把持爪10
41〜1043を有する公知の求心動作装置105が取
付けられている。さらに、前記本体103の前記ロボッ
トlO1と反対側には第1の支持棒106が突設されて
おり、該第1の支持棒106の先端付近に突設された第
2の支持棒107には、公知のレーザセンサーからなる
距離センサー109が取付けられている。
装着開始の信号が入力されると不図示の制御装置はロボ
ット+01を起動して、ワーク装着装置100をワーク
+12が置かれている位置まで移動させたのち、求心動
作装置105の3本の把持爪1041〜104.により
前記ワーク112の側面を把持させる。その後、前記制
御装置は再び前記ロボット101を起動して、工作機械
のステージ110に設けられている被装着部材であるコ
レットチャック111の位置まで前記ワーク装着装置1
00を移動させたのち、該ワーク装着装置100を前記
コレットチャック111に向って前記制御装置に予め設
定されている前記本体103の停止位置(以下、「ティ
ーチング位置」と称する。)まで移動させることにより
、前記ワーク112を前記コレットチャック111に嵌
合させる。
ここで、ワーク112の装着状態の検出(すなわち、ワ
ーク+12が正しく装着されたか否かの検査)は、該ワ
ーク+12の先端面に向けて距離センサー109からレ
ーザ光を発し、該レーザ光の反射光が戻るまでの時間よ
り前記ワーク112の先端面と前記距離センサー109
との間の距離△Sを測定して、該測定した距離ΔSが所
定の範囲内にあるか否かを不図示の判定装置で判定する
ことにより行われる。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記した従来のワーク装着装置100で
は、距離センサー109は第1の支持棒106および第
2の支持棒107を介して不動の状態で本体+03に取
付けられているため、ワーク112の先端面と前記距離
センサー+09との間の距離△Sを正確に測定するため
には、前記ワーク+12をコレットチャック111に嵌
合するときの前記ティーチング位置(すなわち、前記コ
レットチャック111の先端面から前記本体103まで
の距離L)が常に一定でなければならない。したがって
、前記距離ΔSの測定精度は、ロボット101が本体+
03を停止させる停止精度に依存するため、該停止精度
の高いロボット101を使用する必要がある。これに加
えて、装着するワーク112の高さが変わるごとに、前
記ティーチング位置の変更を高精度に行う必要があると
いう欠点がある。
本発明の目的は、停止精度の高いロボットを使用する必
要がなく、しかも高さの異なるワークごとにティーチン
グ位置の変更を高精度に行う必要がないワーク検査装置
および該装置を有するワーク装着装置を提供することに
ある。
[課題を解決するための手段] 本発明のワーク装着検査装置は、 被装着部材に装着されたワークの装着状態を検出するた
めのワーク検査装置であって、板状の本体に穿設された
ガイド孔に遊嵌された、抜け止め用のストッパーを一端
に有する治具接触子と、 該治具接触子の反前記ストッパー側の端から前記装着さ
れたワークの高さよりも長さの長い位置に突設された支
持棒と、 該支持棒の先端に取付けられた距離センサーと、 前記支持棒と前記本体との間に配設された、前記支持棒
を介して前記治具接触子を前記被装着部材側に常時付勢
するための圧縮ばねとを具備する。
また、前記治具接触子と前記支持棒と前記圧縮ばねと前
記距離センサーとが周方向等間隔に3組設けられていて
もよい。
本発明のワーク装着装置は、請求項第1項または第2項
記載のワーク検査装置の本体に、複数の把持爪を有する
求心動作装置を取付けている。
[作 用コ 本発明のワーク検査装置では、抜け止め用のストッパー
を一端に有する治具接触子の反前記ストッパー側の端が
被装着部材に当接するまでは、圧縮ばねにより支持棒を
介して前記治具接触子が前記被装着部材側に常時付勢さ
れているため、前記ストッパーが本体に当接した状態と
なっている。
一方、前記治具接触子の反前記ストッパー側の端が前記
被装着部材に当接したのちは、前記治具接触子は移動し
ないが、前記本体は前記被装着部材に向って予め設定さ
れたティーチング位置まで引き続き移動させられるため
、圧縮ばねは前記支持棒と前記本体との間で圧縮された
状態となる。
したがって、前記支持棒に取付けられている距離センサ
ーの停止位置は、前記治具接触子の反前記ストッパー側
の端が前記被装着部材に当接したときの位置に定まり、
前記本体が停止する位置とは無関係に前記距離センサー
の停止位置を定めることができるため、装着後の前記ワ
ークまでの距離を前記距離センサーにより測定すれば、
前記ワークが正しく装着されたか否かを前記本体の停止
位置とは無関係に判定することができる。
また、前記治具接触子と前記支持棒と前記圧縮ばねと前
記距離センサーとを周方向等間隔に3組設けることによ
り、ワークが斜めに装着された場合においても、3個の
距離センサーで測定した前記ワークまでの3つの距離の
うち2つは正規の距離とはならないので、前記ワークが
正しく装着されたか否かを本体の停止位置とは無関係に
判定することができる。
本発明のワーク装着装置は、請求項第1項または第2項
記載のワーク検査装置の本体に、複数の把持爪を有する
求心動作装置を取付けているため、ワークが正しく装着
されたか否かを本体の停止位置とは無関係に判定する機
能のほか、前記ワークを被装着部材に装着する機能も有
する。
C実施例j 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
本発明のワーク装着装置の一実施例について、第1図〜
第3図を用いて説明する。
本実施例のワーク装着装置11は連結バー2を介してロ
ボットlに取付けられており、また、円板状の本体3の
中央部に設けられた取付穴に、3本の把持爪41〜43
を有する求心動作装置5が取付けられている。この求心
動作装置5は公知のものでよいので、その説明は省略す
る。以上の構成は第4図に示した従来のものと同様であ
るが、次に説明する点で従来のものと異なる。
周方向等間隔にかつ前記3本の把持爪4.〜43よりも
径方向外側に、3個のガイド孔31〜3、(第3図(A
)e照)が前記本体3に穿設されており、該3個のガイ
ド孔31〜3.には、前記各把持爪4.〜43よりも長
い、抜け止め用のストッパー8.〜8.を一端に有する
3本の治具接触子6□〜63がそれぞれ遊嵌されている
。また、該各治具接触子61〜6.の反ストッパー8、
〜83側の端から、工作機械のステージ20に設けられ
ている被装着部材であるコレットチャック21に嵌合さ
れたワーク22の高さよりも長さの長い位置に、3本の
支持棒10 +〜103がそれぞれ突設されており、該
各支持棒10、〜103の先端には、3個の距離センサ
ー9、〜93がそれぞれ取付けられている。さらに、前
記各支持棒101〜10.と前記本体3との間には、3
本の圧縮ばね71〜73が前記各冶具接触子61〜63
に嵌挿された状態でそれぞれ配設されており、前記各治
具接触子61〜63を前記支持棒101〜103を介し
て前記コレットチャック21側に常時付勢している。な
お、本実施例のワーク装着装置11では、前記3個の距
離センサー9.〜93の各出力信号が、第2図に示す判
定装置30にそれぞれ入力されて、前記ワーク22が正
しく装着されたか否かが判定される。
ここで、前記3個の距離センサー9.〜9゜は、第4図
に示した距離センサー109と同様に、公知のレーザセ
ンサーからなる。また、前記3個の距離センサー91〜
93の向きおよび前記3本の支持棒10.〜103の長
さは、前記求心動作装置5の前記3本の把持爪4I〜4
3で前記ワーク22の側面を把持して前記コレットチャ
ック21に嵌合したときに、前記各距離センサー91〜
93から発せられたレーザ光が円筒を2段重ねた形状を
有する前記ワーク22の上段の円筒の上面(以下、「ワ
ーク22の上面」と称する。)に当るように調整されて
いる。
また、第2図に示す判定装置30は、前記3個の距離セ
ンサー91〜9sより入力される、該各距離センサー9
.〜9.から前記ワーク22の上面までの各距離△S1
.ΔS2.ΔS、を示すアナログ信号をそれぞれ増幅す
る3個のセンサーアンプ31、〜313と、該増幅され
た前記各距離△S+、 △32.△S、を示すアナログ
信号を順次デジタル信号に変換するアナログ/デジタル
変換回路(以下、rA/D変換回路」と称する。)32
と、前記ワーク22が正しくコレットチャック21に嵌
合されたときの各距離(以下、[距離基準値」と称する
。)ΔS1゜、ΔS2゜、ΔSsoを示すデジタル信号
が予め格納されているとともに、前記変換された各距離
ΔS+、ΔS2.ΔS3を示すデジタル信号が格納され
るRAM33と、前記変換された各距離△St、 ΔS
2.ΔS3を示すデジタル信号と前記各距離基準値△S
1゜、ΔS2゜、△S3゜を示すデジタル信号とを前記
RAM33から読出して、この両者を比較して前記ワー
ク22が正しくコレットチャック21に嵌合されたか否
かを判定するマイクロプロセッサ(以下、rcPUJと
称する。)34とを有する。
次に、前記ワーク22をコレットチャック21に嵌合す
るとともに、前記ワーク22が正しく装着されたか否か
を検査するときの本実施例のワーク装着装置11の動作
について説明する。
ワーク22をコレットチャック21に嵌合するときの本
実施例のワーク装着装置11の動作は、第4図に示した
従来のものと同様である。すなわち、装着開始の信号が
入力されると不図示の制御装置は、ロボット1を起動し
てワーク22が置かれている位置までワーク装着装置1
1を移動させたのち、求心動作装置5の3本の把持爪4
.〜43を求心動作させることにより、前記ワーク22
の側面を把持させる。その後、前記制御装置は、再び前
記ロボット1を起動して工作機械のステージ20に設け
られているコレットチャック21の位置まで前記ワーク
装着検査装置11を移動させたのち、前記ワーク22が
前記コレットチャック21に嵌合するまで前記ワーク装
着検査装置11を前記コレクトチャック21に向けて移
動させる。このとき、前記ワーク22が前記コレットチ
ャック21に完全に嵌合する前に3本の治具接触子6.
〜6.は該コレットチャック21の上面に当接してそれ
以上は移動できなくなるため、それ以降は前記本体3お
よび前記3本の把持爪41〜4.のみが前記コレットチ
ャック21に向って予め設定されたティーチング位置ま
で引き続き移動させられ、前記各圧縮ばわ7.〜7、が
それぞれ前記本体3および前記各支持棒101〜103
の間で圧縮された状態となる。
また、本実施例のワーク装着装置11におけるワーク2
2が正しく装置されたか否かの検査は、次のようにして
行われる。
コレットチャック21に嵌合されたワーク22の上面に
向けて3個の距離センサー9.〜93からそれぞれレー
ザ光を発し、該各レーザ光の反射光が戻るまでの時間よ
り前記ワーク22の上面と前記各距離センサー91〜9
3との間の距離ΔS1.△S2.△S、を測定して、該
測定した各距離ΔS+、 △S2.△S3が所定の範囲
内にあるか否かを第2図に示す判定装置30で判定する
ことにより行われる。
すなわち、該判定装置30では、前記各距離センサー9
1〜9.から入力される前記測定された各距離△St、
 ΔS2.ΔS3を示すアナログ信号は、3個のセンサ
ーアンプ31+〜31.でそれぞれ増幅されたのち、A
/D変換回路32で順次デジタル信号に変換されてRA
M33に格納される。
CPU34は、前記各距離ΔSt、ΔS2.ΔS3およ
び前記各距離基準値△S+o+△S2゜、△S、。を示
すデジタル信号を前記RAM33から読出し、前記各距
離ΔSt、 ΔS2.△S3と前記各距離基準値ΔSI
O△S20△S30との差(△S1−ΔS+a、ΔS2
−ΔS2゜ΔS、−ΔS、。)を求め、該各差がすべて
所定の範囲内にあるときにのみ、前記ワーク22が正し
く前記コレットチャック21に嵌合されたものと判定す
る。
したがって、たとえば前記3本の把持爪4.〜4、で前
記ワーク22の側面を把持する際、該3本の把持爪4I
〜43がすべってしまい前記ワーク22の側面を正確に
把持できず、前記ワーク22を前記コレットチャック2
1に完全に嵌合させることができなかった場合には、前
記3本の距離センサー9.〜93と前記ワーク22の上
面との各距離ΔSl、△S2.ΔS3は、すべて正規の
値とならないため、前記差(ΔS、−△SIO,ΔS2
−△S2゜、ΔS、−△S3.)はすべて所定の範囲内
には入らないので、該差を求めることにより前記ワーク
22が正しく装着されなかったことがわかる。
また、前記ワーク22を装着する際に、前記コレットチ
ャック21の着座面の一部に切り粉などを挟んでしまい
、前記ワーク22が斜めに装着されてしまった場合でも
、前記測定した3つの距離ΔS3.ΔSz、ΔS3のう
ち2つの距離(たとえば、距離△S1と距離ΔS2)が
正規の値とならず、前記差のうち2つ(△S1−ΔSI
Oと△S2−△S2゜)は所定の範囲内に入らないので
、前記差を求めることにより前記ワーク22が正しく装
着されなかったことがわかる。
さらに、第4図に示した従来のもので問題となっていた
、ワーク22をコレットチャック21に嵌合するときの
本体3の停止位置がずれた場合でも、本実施例では前記
ワーク22が正しく装着されたか否かを判定できること
について、第3図(A)、(B)を用いて説明する。な
お、第3図(A)、(B)では簡単のため距離センサー
91の場合のみを図示するとともに、3本の把持爪4、
〜4.を省略している。
前記本体3を停止させる停止精度が高くないロボット1
を使用した場合、第3図(B)で示すように前記本体3
の停止位置(コレットチャック21の上面から本体3ま
での距離L2)が、第3図(A)に示す正規の停止位置
(コレットチャック21の上面から本体3までの距離り
、)よりもずれてしまっても、同図(A)および(B)
で示すように前記本体3が停止したときの各圧縮ばね7
1〜73の圧縮量が変わるだけで、このときの各距離セ
ンサー91〜9.の停止位置は常に同じであるため、該
各距離センサー9.〜93で測定した前記ワーク22の
上面までの各距離△S1.ΔSz、ΔS、は、同図(A
)と(B)とで同じとなるので、前記各距離ΔSt、△
S2.△S、の測定精度が前記ロボット1の前記本体3
を停止させる停止精度に依存することがない。
以上の説明において、3個の距離センサー91〜93を
用いたが、第1図に示した2つの治具接触子6□、63
と、2個の圧縮ばね7□7、と、2個のストッパー8□
、83と、2本の支持棒l○2.103と、2個の距離
センサー9□、9.と、第2図に示す2個のセンサーア
ンプ31□、313とを取り除いても、前記ワーク22
が斜めに装着されてしまった場合以外については、同様
にして前記ワーク22が正しく装着されたか否かを判定
することができる。
また、第2図に示した判定装置30の代わりにアナログ
信号の比較器で構成した判定装置を用いて、3個の距離
センサー9.〜9.から出力されている各距離△S1.
△S2.△S3を示すアナログ信号が各距離基準値△S
1゜、△S2゜、△S30よりも大きいか否かを前記比
較器で判定することにより、判定装置のコスト低減を図
ってもよい。
さらに、3本の治具接触子61〜6.の長さを変えるこ
とにより、高さが異なる各種のワークに対応させること
もできる。
第1図に示した求心動作装置5としては、旋盤などで用
いられている公知の渦巻き状のカム円板により求心動作
を行うもの、あるいはボール盤などで用いられている公
知の円すい形のテーバの前後進により求心動作を行うも
のなどを使用してもよい。また、本体3の形状は円板状
としたが、それ以外の形状を有する板状のものであって
もよい。さらに、各距離センサー91〜93は、うず電
流センサーや静電センサーなどの他の非接触式のもので
あってもよいし、電気マイクロメータなどの接触式のも
のであってもよい。
以上の説明では、ワークを被装着部材に装着する機能と
該ワークが正しく装着されたか否かを検査する機能とを
有する本発明のワーク装着装置について述べたが、同様
にして、前記ワークが正しく装着されたか否かを検査す
る機能のみを有するワーク検査装置を構成することがで
きる。
すなわち、第1図に示したワーク装着装置11において
、3本の把持爪4.〜43を有する求心動作装置5を取
り除くことにより、ワーク22が被装着部材である工作
機械のステージ20に正しく装着されたか否かを検査す
る機能のみを有するワーク検査装置を構成することがで
きる。該ワーク検査装置は、同図に示すワーク装着装置
と同様の効果を有する。
[発明の効果] 本発明は、以上説明したとおり構成されているので、以
下に記載するような効果を奏する。
本発明のワーク検査装置は、治具接触子の反ストッパー
側の端が被装着部材に当接したのちは、支持棒は移動し
ないが、本体は被装着部材に向って予め設定されたティ
ーチング位置までロボットにより引き続き移動させられ
るため、圧縮ばねは前記支持棒と前記本体との間で圧縮
された状態となるが、前記支持棒に取付けられている距
離センサーの停止位置は前記治具接触子の反前記ストッ
パー側の端が前記被装着部材に当接したときの位置に定
まるため、前記本体が停止する位置とは無関係に前記距
離センサーの停止位置を定めることができるので、停止
精度の高いロボットを使用する必要がなく、しかも高さ
の異なるワークごとにティーチング位置の変更を高精度
に行う必要がないという効果がある。
本発明のワーク装着装置は、請求項第1項または第2項
記載のワーク検査装置の本体に、複数の把持爪を有する
求心動作装置を取付けているため、ワークを被装着部材
に装着する機能を有するとともに、前記ワークが正しく
装着されたか否かを本体の停止位置とは無関係に判定す
る機能も有するので、停止精度の高いロボットを使用す
る必要がなく、しかも高さの異なるワークごとにティー
チング位置の変更を高精度に行う必要がないという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のワーク装着装置の一実施例を示す概略
構成図、第2図はワークが工作機械のステージに正しく
装着されたか否かを判定する判定装置の構成を示すブロ
ック図、第3図は本体の停止位置がずれたときの第1図
に示したワーク装着装置の動作を示す図であり、(A)
はコレットチャックと本体との間の距離がLlのときの
動作を示す図、(B)はコレットチャックと本体との間
の距離がLlのときの動作を示す図、第4図は、ワーク
の装着状態を検出するためのワーク検査装置を有するワ
ーク装着装置の従来例の一つを示す図である。 1・・・ロボット、  2・・・連結バー3・・・本体
、   3.・・・ガイド孔、41〜43・・・把持爪
、 5・・・求心動作装置、 6、〜63・・・治具接触子、 71〜73・・・圧縮ばね、 81〜83・・・ストッパー 9、〜9.・・・距離センサー 10+〜10.・・・支持棒、 11・・・ワーク装着装置、 20・・・ステージ、21・・・コレットチャック、2
2・・・ワーク、  30・・・判定装置、31、〜3
1.・・・センサーアンプ、32・・・A/D変換回路
、 33・・・RAM、  34・・・cpu、Ll、Ll
、ΔS1・・・距離。 特許出願人  キャノン株式会社 代 理 人   若   林    忠第 図 第 第 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被装着部材に装着されたワークの装着状態を検出す
    るためのワーク検査装置において、板状の本体に穿設さ
    れたガイド孔に遊嵌された、抜け止め用のストッパーを
    一端に有する治具接触子と、 該治具接触子の反前記ストッパー側の端から前記装着さ
    れたワークの高さよりも長さの長い位置に突設された支
    持棒と、 該支持棒の先端に取付けられた距離センサーと、 前記支持棒と前記本体との間に配設された、前記支持棒
    を介して前記治具接触子を前記被装着部材側に常時付勢
    するための圧縮ばねとを具備したことを特徴とするワー
    ク検査装置。 2、治具接触子と支持棒と距離センサーと圧縮ばねとが
    周方向等間隔に3組設けられていることを特徴とする請
    求項第1項記載のワーク検査装置。 3、請求項第1項または第2項記載のワーク検査装置の
    本体に、複数の把持爪を有する求心動作装置を取付けた
    ことを特徴とするワーク装着装置。
JP13705390A 1990-05-29 1990-05-29 ワーク検査装置および該装置を有するワーク装着装置 Pending JPH0430946A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06226591A (ja) * 1993-01-29 1994-08-16 Kikuchi Seisakusho:Kk 加工物の姿勢判定方法
JPWO2020110184A1 (ja) * 2018-11-27 2021-09-27 株式会社Fuji ワーク把持判定システム

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06226591A (ja) * 1993-01-29 1994-08-16 Kikuchi Seisakusho:Kk 加工物の姿勢判定方法
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