JPH04306890A - 誘導型線形変位トランスジューサおよび温度補償信号プロセッサ - Google Patents
誘導型線形変位トランスジューサおよび温度補償信号プロセッサInfo
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- JPH04306890A JPH04306890A JP3322090A JP32209091A JPH04306890A JP H04306890 A JPH04306890 A JP H04306890A JP 3322090 A JP3322090 A JP 3322090A JP 32209091 A JP32209091 A JP 32209091A JP H04306890 A JPH04306890 A JP H04306890A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
- G01D3/0365—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一般に線形変位トランス
ジューサに関しとくに誘導型線形変位トランスジューサ
および前記トランスジューサと併用する信号プロセッサ
に関する。
ジューサに関しとくに誘導型線形変位トランスジューサ
および前記トランスジューサと併用する信号プロセッサ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】誘導型線形変位トランスジューサおよび
前記トランスジューサと併用する信号プロセッサは公知
の技術である。例えば１９８７年５月１９日発行のロバ
ートＷ．レドリッチ（Ｒｏｂｅｒｔ Ｗ． Ｒｅｄｌｉ
ｃｈ ）の米国特許第４，６６７，１５８号の「線形位
置トランスジューサと信号プロセッサ（Ｌｉｎｅａｒ
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ Ａｎｄ Ｓ
ｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ ）」では誘導型線形
トランスジューサとその関連信号プロセッサで対象物の
直線移動量を計測するようにしたプロセッサが開示され
ている。
前記トランスジューサと併用する信号プロセッサは公知
の技術である。例えば１９８７年５月１９日発行のロバ
ートＷ．レドリッチ（Ｒｏｂｅｒｔ Ｗ． Ｒｅｄｌｉ
ｃｈ ）の米国特許第４，６６７，１５８号の「線形位
置トランスジューサと信号プロセッサ（Ｌｉｎｅａｒ
Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ Ａｎｄ Ｓ
ｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ ）」では誘導型線形
トランスジューサとその関連信号プロセッサで対象物の
直線移動量を計測するようにしたプロセッサが開示され
ている。
【０００３】一般に米国特許第４，６６７，１５８号で
開示されたトランスジューサは中空筒状の電気絶縁材（
たとえばプラスチック）製の巻き枠と、該巻き枠の外面
につる巻状に巻いた電気的良導体（たとえば銅）のコイ
ルと、巻き枠内を軸方向に移動する低透磁率高導電率（
たとえば銅またはアルミニューム）の円筒状磁心と、該
磁心を計測対象物と結合する付属ロッドと、該トランス
ジューサの残部を囲繞し且つコイル電流による磁束をト
ランスジューサの内部に至るまで閉じ込めて該コイルを
漂遊磁界から遮蔽する高導電性高透磁率材（たとえば軟
鉄または低炭素鋼）から成る遮蔽筒と、それに該遮蔽筒
と該コイルとの間隙に挿入したこの間隙の磁気抵抗を軽
減する効果を与える高透磁率低導電率材（たとえばフェ
ライト粉末を分散させた硬化結合材）からなる薄肉円筒
とから成っている。
開示されたトランスジューサは中空筒状の電気絶縁材（
たとえばプラスチック）製の巻き枠と、該巻き枠の外面
につる巻状に巻いた電気的良導体（たとえば銅）のコイ
ルと、巻き枠内を軸方向に移動する低透磁率高導電率（
たとえば銅またはアルミニューム）の円筒状磁心と、該
磁心を計測対象物と結合する付属ロッドと、該トランス
ジューサの残部を囲繞し且つコイル電流による磁束をト
ランスジューサの内部に至るまで閉じ込めて該コイルを
漂遊磁界から遮蔽する高導電性高透磁率材（たとえば軟
鉄または低炭素鋼）から成る遮蔽筒と、それに該遮蔽筒
と該コイルとの間隙に挿入したこの間隙の磁気抵抗を軽
減する効果を与える高透磁率低導電率材（たとえばフェ
ライト粉末を分散させた硬化結合材）からなる薄肉円筒
とから成っている。
【０００４】なお、米国特許第４，６６７，１５８号で
開示された誘導型線形変位トランスジューサの構成に関
する細部のそのほかの点に付いては該特許文書に記載さ
れておりその内容はここでも参照文献として含まれる。
開示された誘導型線形変位トランスジューサの構成に関
する細部のそのほかの点に付いては該特許文書に記載さ
れておりその内容はここでも参照文献として含まれる。
【０００５】トランスジューサの付属ロッドの変位を計
測の対象とする対象物と結合しコイルに適宜通電すると
、対象物の位置が変るとコイルと相対的に磁心の位置が
変わる。このようなコイルに相対的な磁心の移動は更に
表皮効果のためにコイルのインダクタンスに変化を与え
る。インダクタンスの変化はどの様なものでも計測出来
、対象物の線形変位の値が分る。
測の対象とする対象物と結合しコイルに適宜通電すると
、対象物の位置が変るとコイルと相対的に磁心の位置が
変わる。このようなコイルに相対的な磁心の移動は更に
表皮効果のためにコイルのインダクタンスに変化を与え
る。インダクタンスの変化はどの様なものでも計測出来
、対象物の線形変位の値が分る。
【０００６】米国特許第４，６６７，１５８号ではその
様なインダクタンスの変化を計測して対象物の直線運動
の値を得る信号プロセッサ手段も開示されている。該信
号プロセッサ手段ではブリッジ回路を使い磁心の運動距
離に比例する出力電圧を得るようにしている（したがっ
て磁心と結合した対象物の移動距離に比例する）。とく
にトランスジューサコイルを枝路として含むブリッジ回
路が周波数領域が５０ないし２００キロヘルツの交流電
源で励磁されている。半波整流器を用いてブリッジ回路
からの交流出力信号を磁心の移動距離に比例する直流電
圧に変換する、あるいは比例とまで云えなければ移動距
離につれて変化すると云ってもよい。
様なインダクタンスの変化を計測して対象物の直線運動
の値を得る信号プロセッサ手段も開示されている。該信
号プロセッサ手段ではブリッジ回路を使い磁心の運動距
離に比例する出力電圧を得るようにしている（したがっ
て磁心と結合した対象物の移動距離に比例する）。とく
にトランスジューサコイルを枝路として含むブリッジ回
路が周波数領域が５０ないし２００キロヘルツの交流電
源で励磁されている。半波整流器を用いてブリッジ回路
からの交流出力信号を磁心の移動距離に比例する直流電
圧に変換する、あるいは比例とまで云えなければ移動距
離につれて変化すると云ってもよい。
【０００７】米国特許第４，６６７，１５８号に開示さ
れた信号プロセッサ手段の構成はこの説明より詳しい内
容が該特許に記載されており参考文献として本出願に含
まれている。
れた信号プロセッサ手段の構成はこの説明より詳しい内
容が該特許に記載されており参考文献として本出願に含
まれている。
【０００８】残念ながら米国特許第４，６６７，１５８
号に開示された線形変位トランスジューサと信号プロセ
ッサは温度の影響を受けやすいことは公知であって、そ
の程度はトランスジューサの温度変化のために本来磁心
位置の変化だけに関係すべき出力信号が変化してしまう
ほどである。云い換えればトランスジューサの温度変化
がトランスジューサの出力信号を変えるように働きその
結果磁心の移動距離に正確に比例しなくなるのである。
号に開示された線形変位トランスジューサと信号プロセ
ッサは温度の影響を受けやすいことは公知であって、そ
の程度はトランスジューサの温度変化のために本来磁心
位置の変化だけに関係すべき出力信号が変化してしまう
ほどである。云い換えればトランスジューサの温度変化
がトランスジューサの出力信号を変えるように働きその
結果磁心の移動距離に正確に比例しなくなるのである。
【０００９】とくに図１の曲線Ｃ１ は前記形式の典型
的な誘導型線形変位トランスジューサが温度Ｔ１ で磁
心が「アウト」の伸び状態位置に設定されている場合の
出力信号を模式的に描いたものであり、同じく曲線Ｃ２
は同一のトランスジューサが同じ温度Ｔ１ ではある
が磁心は「イン」即ち引き込み状態にある場合の出力信
号の模式的描である。図１の曲線Ｃ１ とＣ２ とを比
較すればトランスジューサの温度係数を一定にすればト
ランスジューサの磁心の位置を変えた場合トランスジュ
ーサの発する信号の振幅成分は変化してもその直流オフ
セット成分には実質的に影響しない事は明らかである。 したがってトランスジューサの温度が安定していさえす
ればトランスジューサの発する交流出力信号は半波整流
器を使って読み取り対応する直流電圧を供給することが
出来る。ここで直流電圧は磁心のストロークの限界に沿
った任意の点でのトランスジューサの磁心の位置を表わ
している。
的な誘導型線形変位トランスジューサが温度Ｔ１ で磁
心が「アウト」の伸び状態位置に設定されている場合の
出力信号を模式的に描いたものであり、同じく曲線Ｃ２
は同一のトランスジューサが同じ温度Ｔ１ ではある
が磁心は「イン」即ち引き込み状態にある場合の出力信
号の模式的描である。図１の曲線Ｃ１ とＣ２ とを比
較すればトランスジューサの温度係数を一定にすればト
ランスジューサの磁心の位置を変えた場合トランスジュ
ーサの発する信号の振幅成分は変化してもその直流オフ
セット成分には実質的に影響しない事は明らかである。 したがってトランスジューサの温度が安定していさえす
ればトランスジューサの発する交流出力信号は半波整流
器を使って読み取り対応する直流電圧を供給することが
出来る。ここで直流電圧は磁心のストロークの限界に沿
った任意の点でのトランスジューサの磁心の位置を表わ
している。
【００１０】いま述べたように図１の曲線Ｃ２ は典型
的な誘導型線形変位トランスジューサの出力信号を模式
的に描いている。該トランスジューサが任意の温度Ｔ１
にありその磁心が「アウト」位置に設定されている場
合、典型的な誘導型線形変位トランスジューサの出力信
号を模式的に描いている。該曲線Ｃ１ を図１から図２
に複製し図２の曲線Ｃ３ は同一トランスジューサの出
力信号であるが該トランスジューサが別の高さの温度Ｔ
２ にありその磁心が「アウト」位置に設定した場合を
模式的に描いている。念の為付け加えると曲線Ｃ１ と
Ｃ３ とは図２で分りやすくするためある程度誇張して
描いている。図２の曲線Ｃ１ とＣ３ とを比較してみ
ると磁心位置を一定に保ってもトランスジューサの温度
が変化するとその影響でトランスジューサの出力信号の
振幅成分が変わることが分る。
的な誘導型線形変位トランスジューサの出力信号を模式
的に描いている。該トランスジューサが任意の温度Ｔ１
にありその磁心が「アウト」位置に設定されている場
合、典型的な誘導型線形変位トランスジューサの出力信
号を模式的に描いている。該曲線Ｃ１ を図１から図２
に複製し図２の曲線Ｃ３ は同一トランスジューサの出
力信号であるが該トランスジューサが別の高さの温度Ｔ
２ にありその磁心が「アウト」位置に設定した場合を
模式的に描いている。念の為付け加えると曲線Ｃ１ と
Ｃ３ とは図２で分りやすくするためある程度誇張して
描いている。図２の曲線Ｃ１ とＣ３ とを比較してみ
ると磁心位置を一定に保ってもトランスジューサの温度
が変化するとその影響でトランスジューサの出力信号の
振幅成分が変わることが分る。
【００１１】やはり念のため付け加えると、トランスジ
ューサの温度の変化は該トランスジューサの出力信号の
直流オフセット成分の変化を生じもするが直流オフセッ
ト成分のそのような変化では米国特許第４，６６７，１
５８号の開示している形式の線形変位トランスジューサ
と信号プロセッサとの間での問題は起きない。その理由
は直流オフセットに於けるそのような変化はトランスジ
ューサの出力信号からフィルタリングで容易に取り除け
るからであり、したがって該システムの精度に否定的に
影響しないからである。この点トランスジューサへの温
度の影響に起因する直流オフセット成分に生じるどの様
な当該変化も問題の所在を明らかにするため図２から除
外し、トランスジューサの出力信号の交流成分に生じる
変化を補正することこそ当面の課題となっている作用で
あるから、そのことを強調するようにしていると云う点
も考慮さるべきである。
ューサの温度の変化は該トランスジューサの出力信号の
直流オフセット成分の変化を生じもするが直流オフセッ
ト成分のそのような変化では米国特許第４，６６７，１
５８号の開示している形式の線形変位トランスジューサ
と信号プロセッサとの間での問題は起きない。その理由
は直流オフセットに於けるそのような変化はトランスジ
ューサの出力信号からフィルタリングで容易に取り除け
るからであり、したがって該システムの精度に否定的に
影響しないからである。この点トランスジューサへの温
度の影響に起因する直流オフセット成分に生じるどの様
な当該変化も問題の所在を明らかにするため図２から除
外し、トランスジューサの出力信号の交流成分に生じる
変化を補正することこそ当面の課題となっている作用で
あるから、そのことを強調するようにしていると云う点
も考慮さるべきである。
【００１２】（ａ）トランスジューサの磁心位置の偏位
がトランスジューサ出力信号の交流成分の振幅を変化さ
せ、そして（ｂ）トランスジューサの温度の変化がトラ
ンスジューサの出力信号の交流成分の振幅を変化させる
点とに注目すると、トランスジューサの磁心位置の偏位
を示すトランスジューサ出力信号の振幅成分の変化を主
眼に分るようにした形式の信号処理手段ではトランスジ
ューサの温度が変化すると不正確になる性質があること
が分る。云い換えれば磁心位置とトランスジューサ温度
と両方変化する限りトランスジューサ出力信号の振幅は
変化するのであり一般にトランスジューサ出力信号の振
幅成分の変化を主眼として構成された信号処理手段では
振幅の変化をどんなに検知してもそれが磁心位置の偏位
なのかトランスジューサ温度の変化なのかを決定する決
め手がないことになる。したがってこのような温度変化
環境下で信号処理手段を併用した誘導型線形変位トラン
スジューサを用いても該システムは不正確で磁心位置変
化に関する信頼できる測定値は得られないのである。
がトランスジューサ出力信号の交流成分の振幅を変化さ
せ、そして（ｂ）トランスジューサの温度の変化がトラ
ンスジューサの出力信号の交流成分の振幅を変化させる
点とに注目すると、トランスジューサの磁心位置の偏位
を示すトランスジューサ出力信号の振幅成分の変化を主
眼に分るようにした形式の信号処理手段ではトランスジ
ューサの温度が変化すると不正確になる性質があること
が分る。云い換えれば磁心位置とトランスジューサ温度
と両方変化する限りトランスジューサ出力信号の振幅は
変化するのであり一般にトランスジューサ出力信号の振
幅成分の変化を主眼として構成された信号処理手段では
振幅の変化をどんなに検知してもそれが磁心位置の偏位
なのかトランスジューサ温度の変化なのかを決定する決
め手がないことになる。したがってこのような温度変化
環境下で信号処理手段を併用した誘導型線形変位トラン
スジューサを用いても該システムは不正確で磁心位置変
化に関する信頼できる測定値は得られないのである。
【００１３】一定の状況では誘導型線形変位トランスジ
ューサとその関連信号処理手段に対する前記温度の作用
が比較的少なく無視しても問題が無い場合もある。この
点もっとも分りやすいのは図２の曲線Ｃ１ とＣ３ と
がいま問題としている作用を効果的に説明するため互い
に誇張してあると云う点を思い出して貰えれば良い。事
実、典型的な誘導型線形変位トランスジューサの応用に
際して、トランスジューサ出力信号の振幅成分が約１０
０度Ｆの範囲にわたり約０．５ないし１．０％しか変化
しない。しかしある種の応用分野になるとこの程度の温
度作用でも重大な影響を及ぼしシステムがかなり不正確
になり目的によっては信頼出来ないほどになるのである
。
ューサとその関連信号処理手段に対する前記温度の作用
が比較的少なく無視しても問題が無い場合もある。この
点もっとも分りやすいのは図２の曲線Ｃ１ とＣ３ と
がいま問題としている作用を効果的に説明するため互い
に誇張してあると云う点を思い出して貰えれば良い。事
実、典型的な誘導型線形変位トランスジューサの応用に
際して、トランスジューサ出力信号の振幅成分が約１０
０度Ｆの範囲にわたり約０．５ないし１．０％しか変化
しない。しかしある種の応用分野になるとこの程度の温
度作用でも重大な影響を及ぼしシステムがかなり不正確
になり目的によっては信頼出来ないほどになるのである
。
【００１４】前記の見地からそのような温度の影響を誘
導型線形変位トランスジューサとその信号処理手段から
相殺することに努力が払われて来た。
導型線形変位トランスジューサとその信号処理手段から
相殺することに努力が払われて来た。
【００１５】その一例を挙げるとトランスジューサコイ
ルの抵抗の既知の温度係数（ＴＣ）を用いて温度変化を
検知して補償する例が在る。とくにトランスジューサ出
力信号の直流オフセットの変化はトランスジューサの温
度の変化に相関しており次いでこの情報を用いて温度変
化で生じるトランスジューサ出力信号を補正している。 しかし工合の悪いことにこのような問題解決手法では精
度が低くなる傾向が在りそれには幾つかの要因が挙げら
れる。先ずコイルの直流温度依存性がかなり低くなり易
いことである。とくに線形変位トランスジューサの典型
的な場合でほぼ２５ｍＡで作動し直流抵抗は約２オーム
であるとするとその場合トランスジューサの巻線は約５
０ｍＶの直流電圧の低下を生じる。近似的には＋３，９
００ｐｐｍ／℃の温度依存性では該トランスジューサ動
作レベルではせいぜい約＋１９５ｕＶ／℃のトランスジ
ューサ温度係数（ＴＣ）に相当する。更にこの技法では
トランスジューサの接続ケーブルの直流抵抗がトランス
ジューサ自体の巻線抵抗と合算されることになりしかも
トランスジューサ接続ケーブルの直流抵抗はかなりトラ
ンスジューサ自体の巻線の直流抵抗と近い値である。す
なわち典型的なトランスジューサの巻線は約２オームで
あり標準の接続ケーブルでは１０フイート当り約１オー
ムであるから、直流オフセットの変化は必ずしも該トラ
ンスジューサで生じる温度変化をただちに表わすとは限
らないことは明らかである。またこのことは接続ケーブ
ルでの温度変化にも反映する。この点、厳しく見てゆく
必要が在る。とくにトランスジューサの接続ケーブルは
典型的なもので約１０のフイートの長さがありしたがっ
て全くトランスジューサコイルとは違う温度状態に在り
得ることになるし、云い換えれば温度は一通りではない
と云う点を考慮しなければならないからである。今述べ
たことから明らかなようにトランスジューサコイルの直
流温度依存性を用いてトランスジューサの温度変化を補
正しようと云う試みはどちらかと云えば大した成果が得
られないことになる。
ルの抵抗の既知の温度係数（ＴＣ）を用いて温度変化を
検知して補償する例が在る。とくにトランスジューサ出
力信号の直流オフセットの変化はトランスジューサの温
度の変化に相関しており次いでこの情報を用いて温度変
化で生じるトランスジューサ出力信号を補正している。 しかし工合の悪いことにこのような問題解決手法では精
度が低くなる傾向が在りそれには幾つかの要因が挙げら
れる。先ずコイルの直流温度依存性がかなり低くなり易
いことである。とくに線形変位トランスジューサの典型
的な場合でほぼ２５ｍＡで作動し直流抵抗は約２オーム
であるとするとその場合トランスジューサの巻線は約５
０ｍＶの直流電圧の低下を生じる。近似的には＋３，９
００ｐｐｍ／℃の温度依存性では該トランスジューサ動
作レベルではせいぜい約＋１９５ｕＶ／℃のトランスジ
ューサ温度係数（ＴＣ）に相当する。更にこの技法では
トランスジューサの接続ケーブルの直流抵抗がトランス
ジューサ自体の巻線抵抗と合算されることになりしかも
トランスジューサ接続ケーブルの直流抵抗はかなりトラ
ンスジューサ自体の巻線の直流抵抗と近い値である。す
なわち典型的なトランスジューサの巻線は約２オームで
あり標準の接続ケーブルでは１０フイート当り約１オー
ムであるから、直流オフセットの変化は必ずしも該トラ
ンスジューサで生じる温度変化をただちに表わすとは限
らないことは明らかである。またこのことは接続ケーブ
ルでの温度変化にも反映する。この点、厳しく見てゆく
必要が在る。とくにトランスジューサの接続ケーブルは
典型的なもので約１０のフイートの長さがありしたがっ
て全くトランスジューサコイルとは違う温度状態に在り
得ることになるし、云い換えれば温度は一通りではない
と云う点を考慮しなければならないからである。今述べ
たことから明らかなようにトランスジューサコイルの直
流温度依存性を用いてトランスジューサの温度変化を補
正しようと云う試みはどちらかと云えば大した成果が得
られないことになる。
【００１６】別の構成の例を挙げると、通常のシリコン
ダイオードの既知の温度係数（ＴＣ）を用いてトランス
ジューサの温度変化を検知し補償しようと云うものがあ
る。トランスジューサのコイルは交流電源と共通ライン
との間を接続しており通常のシリコンダイオードは共通
ラインと第３の端子とを接続している。次いで温度補償
信号が第３の端子から読み込まれる。通常のシリコンダ
イオードの温度係数は典型的にはトランスジューサ動作
レベルでは約−２．０７ｍＶ／℃であるからシリコンダ
イオードの感度は温度の変化を検知する場合にトランス
ジューサの巻線よりほぼ１０倍高いのである。けれども
残念ながらこの技法は第３の線と云う設備を必要とする
。多くの制約のため線の数は２個までに制限する必要が
在る。
ダイオードの既知の温度係数（ＴＣ）を用いてトランス
ジューサの温度変化を検知し補償しようと云うものがあ
る。トランスジューサのコイルは交流電源と共通ライン
との間を接続しており通常のシリコンダイオードは共通
ラインと第３の端子とを接続している。次いで温度補償
信号が第３の端子から読み込まれる。通常のシリコンダ
イオードの温度係数は典型的にはトランスジューサ動作
レベルでは約−２．０７ｍＶ／℃であるからシリコンダ
イオードの感度は温度の変化を検知する場合にトランス
ジューサの巻線よりほぼ１０倍高いのである。けれども
残念ながらこの技法は第３の線と云う設備を必要とする
。多くの制約のため線の数は２個までに制限する必要が
在る。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の主
な目的はトランスジューサの温度変化と無関係に線形変
位を正確に測定出来る誘導型線形変位トランスジューサ
とその関連温度補償信号プロセッサとを提供することで
ある。
な目的はトランスジューサの温度変化と無関係に線形変
位を正確に測定出来る誘導型線形変位トランスジューサ
とその関連温度補償信号プロセッサとを提供することで
ある。
【００１８】本発明のつぎの目的はトランスジューサ集
成部分から出ている２個だけの線を用いて温度補償出力
信号を供給する誘導型線形トランスジューサと関連温度
補償信号プロセッサとを提供することである。
成部分から出ている２個だけの線を用いて温度補償出力
信号を供給する誘導型線形トランスジューサと関連温度
補償信号プロセッサとを提供することである。
【００１９】本発明の更につぎの目的は低コストでしか
も信頼性の高い誘導型線形変位トランスジューサと関連
温度補償信号プロセッサとを提供することである。
も信頼性の高い誘導型線形変位トランスジューサと関連
温度補償信号プロセッサとを提供することである。
【００２０】本発明の別の目的は各種の２線式誘導型線
形変位トランスジューサと協働可能な温度補償信号プロ
セッサとを提供することである。
形変位トランスジューサと協働可能な温度補償信号プロ
セッサとを提供することである。
【００２１】本発明の更に別の目的は対象物の線形変位
を測定するシステムであって、誘導型線形変位トランス
ジューサと、該トランスジューサと結合してトランスジ
ューサの温度変化を補償する線形変位の信号データを供
給する手段とを含むシステムを提供することである。
を測定するシステムであって、誘導型線形変位トランス
ジューサと、該トランスジューサと結合してトランスジ
ューサの温度変化を補償する線形変位の信号データを供
給する手段とを含むシステムを提供することである。
【００２２】
【課題を解決するための手段及び作用】これら本発明に
列挙した諸目的には上記の形式の誘導型線形変位トラン
スジューサと該誘導型線形変位トランスジューサと接続
した温度補償信号プロセッサとが含まれている。該温度
補償信号プロセッサには（ａ）直流電源と接続するため
の端子手段と、（ｂ）該端子手段をトランスジューサに
接続し電流をトランスジューサを介して供給する電流調
節器手段と、（ｃ）該電流調節器手段に接続され、それ
から供給された電流を印加入力信号に応じて変調する振
幅可変・周波数安定ドライバ手段と、（ｄ）該電流調節
器手段とトランスジューサとに直列に接続され実質的に
トランスジューサと同一の温度に置かれる感温手段と、
（ｅ）該感温手段と結合しトランスジューサの線形変位
の変化の温度補正出力信号データを供給する信号プロセ
ッサ手段とが含まれている。
列挙した諸目的には上記の形式の誘導型線形変位トラン
スジューサと該誘導型線形変位トランスジューサと接続
した温度補償信号プロセッサとが含まれている。該温度
補償信号プロセッサには（ａ）直流電源と接続するため
の端子手段と、（ｂ）該端子手段をトランスジューサに
接続し電流をトランスジューサを介して供給する電流調
節器手段と、（ｃ）該電流調節器手段に接続され、それ
から供給された電流を印加入力信号に応じて変調する振
幅可変・周波数安定ドライバ手段と、（ｄ）該電流調節
器手段とトランスジューサとに直列に接続され実質的に
トランスジューサと同一の温度に置かれる感温手段と、
（ｅ）該感温手段と結合しトランスジューサの線形変位
の変化の温度補正出力信号データを供給する信号プロセ
ッサ手段とが含まれている。
【００２３】該感温手段はトランスジューサと感温手段
とが影響される温度変化に応じ感温手段を介したトラン
スジューサの信号の直流オフセットに比較的大きな変化
を引き起こすことが可能である。しかし該トランスジュ
ーサと感温手段とが温度変化を蒙りその結果トランスジ
ューサの信号の直流オフセットが主に感温手段の温度変
化の作用に起因して変化しても、感温手段を介したトラ
ンスジューサの交流信号の振幅成分には変化が起らない
のである。本発明の実施例では該信号処理手段には（１
）該電流調節器手段と感温手段間に接続され該トランス
ジューサの発する信号の直流オフセットの変化を検知し
て対応する信号をドライバ手段に対する入力信号として
発生し該ドライバ手段が電流調節器手段によって供給さ
れた変調電流を補正してトランスジューサ温度の変化に
起因するトランスジューサの信号の振幅の変化を補償す
る第１手段と、（２）該トランスジューサの発する信号
の振幅成分を監視してトランスジューサの磁心位置を表
わす出力信号を供給する第２の手段とを含んでいる。
とが影響される温度変化に応じ感温手段を介したトラン
スジューサの信号の直流オフセットに比較的大きな変化
を引き起こすことが可能である。しかし該トランスジュ
ーサと感温手段とが温度変化を蒙りその結果トランスジ
ューサの信号の直流オフセットが主に感温手段の温度変
化の作用に起因して変化しても、感温手段を介したトラ
ンスジューサの交流信号の振幅成分には変化が起らない
のである。本発明の実施例では該信号処理手段には（１
）該電流調節器手段と感温手段間に接続され該トランス
ジューサの発する信号の直流オフセットの変化を検知し
て対応する信号をドライバ手段に対する入力信号として
発生し該ドライバ手段が電流調節器手段によって供給さ
れた変調電流を補正してトランスジューサ温度の変化に
起因するトランスジューサの信号の振幅の変化を補償す
る第１手段と、（２）該トランスジューサの発する信号
の振幅成分を監視してトランスジューサの磁心位置を表
わす出力信号を供給する第２の手段とを含んでいる。
【００２４】該感温手段には温度変化が該トランスジュ
ーサとダイオードとの組合せ器材の信号の直流オフセッ
トにかなり実質的に影響を及ぼす比較的高い温度係数（
ＴＣ）と、温度の変化がダイオードを介してトランスジ
ューサの信号の振幅に実質的に影響を及ぼさない比較的
低い動的抵抗と、その両端間での電圧降下が比較的低く
使用中の発熱がほとんど無いダイオードを含むことが望
ましく、本発明にはショットキーダイオードを用いるの
が望ましい。ショットキーダイオードを介することで電
流を一定に保つことが出来ダイオードの電圧／温度特性
が安定するからである。
ーサとダイオードとの組合せ器材の信号の直流オフセッ
トにかなり実質的に影響を及ぼす比較的高い温度係数（
ＴＣ）と、温度の変化がダイオードを介してトランスジ
ューサの信号の振幅に実質的に影響を及ぼさない比較的
低い動的抵抗と、その両端間での電圧降下が比較的低く
使用中の発熱がほとんど無いダイオードを含むことが望
ましく、本発明にはショットキーダイオードを用いるの
が望ましい。ショットキーダイオードを介することで電
流を一定に保つことが出来ダイオードの電圧／温度特性
が安定するからである。
【００２５】
【実施例】図１にはある温度Ｔ１での典型的な誘導型線
形変位トランスジューサの信号特性を図示する。ここに
曲線Ｃ１ は磁心が「アウト」位置に設定されたトラン
スジューサの出力信号の模式図であり、曲線Ｃ２ は磁
心が「イン」位置に設定されている同一温度のトランス
ジューサの出力信号の模式図である。
形変位トランスジューサの信号特性を図示する。ここに
曲線Ｃ１ は磁心が「アウト」位置に設定されたトラン
スジューサの出力信号の模式図であり、曲線Ｃ２ は磁
心が「イン」位置に設定されている同一温度のトランス
ジューサの出力信号の模式図である。
【００２６】図２は同じトランスジューサの信号の図示
であるがここではＣ１ はトランスジューサが一定の温
度Ｔ１ に在り磁心が「アウト」位置に在る場合の出力
信号の模式図であるが曲線Ｃ３ はトランスジューサが
或るもっと高い温度Ｔ２ に在り、この磁心はなおも「
アウト」位置に在る場合のトランスジューサの出力信号
の模式図（トランスジューサに及ぼす温度作用に起因す
る直流オフセットに生じる何等かの変化は図２からは除
外してある。それは問題点を明確化するためで温度に起
因するトランスジューサ信号の交流成分の振幅の変化を
強調するためである。後者の変化が本発明と関連する作
用であるからである）。
であるがここではＣ１ はトランスジューサが一定の温
度Ｔ１ に在り磁心が「アウト」位置に在る場合の出力
信号の模式図であるが曲線Ｃ３ はトランスジューサが
或るもっと高い温度Ｔ２ に在り、この磁心はなおも「
アウト」位置に在る場合のトランスジューサの出力信号
の模式図（トランスジューサに及ぼす温度作用に起因す
る直流オフセットに生じる何等かの変化は図２からは除
外してある。それは問題点を明確化するためで温度に起
因するトランスジューサ信号の交流成分の振幅の変化を
強調するためである。後者の変化が本発明と関連する作
用であるからである）。
【００２７】図３は線形変位トランスジューサを示す模
式図であって本発明を具体化した温度補償手段の望まし
い形態である。
式図であって本発明を具体化した温度補償手段の望まし
い形態である。
【００２８】つぎに図３を参照するとここには本発明の
実施例を含む誘導型線形変位トランスジューサ５とその
関連温度補償信号プロセッサ１０とが図示されている。
実施例を含む誘導型線形変位トランスジューサ５とその
関連温度補償信号プロセッサ１０とが図示されている。
【００２９】トランスジューサ５は対象物の直線運動を
測定出来るようにした誘導型線形変位トランスジューサ
である。この例に沿って説明すると、トランスジューサ
５は米国特許第４，６６７，１５８号に開示されている
トランスジューサと同型または類似のものであって当業
者には周知の誘導型線形変位トランスジューサと同等の
ものである。トランスジューサ５はコイル６と磁心７と
を備えておりコイル６の一端はライン２０を介して温度
補償信号プロセッサ１０のダイオード１５の陽極に接続
している。コイル６の他端はライン２５を介して接地さ
れている。ダイオード１５の陰極は直流電源に接続して
いる。このことについては後述する。ダイオード１５は
直接トランスジューサと密接しており望ましくはカプセ
ル入りであってライン２０が比較的短くたとえば１イン
チかそれ以下であると云う点に注目を要する。このよう
にすればダイオード１５とトランスジューサ５とは同一
温度に在ることは確実である。磁心７の一端は可動対象
物（図示せず）と接続され該対象物の動きは測定される
ことになる。前述のように該トランスジューサの該信号
はその可動磁心７の位置と共に変化する。（言い換えれ
ばコイル６に相対的な磁心７の動きはトランスジューサ
の有効インダクタンスに変化を与えしたがってトランス
ジューサの交流信号の振幅成分に変化を与える）のでト
ランスジューサの信号はトランスジューサ温度に応じて
変化する（言い換えればトランスジューサ温度の変化は
トランスジューサの信号の交流成分の振幅を変化させる
）。もちろんダイオード１５はトランスジューサと直列
に直流電源とトランスジューサとの間に置かれているの
でダイオードの信号はダイオードの温度から何等か影響
されていることにも注目する必要がある。トランスジュ
ーサ５の代表的なものは約２５ｍＡで動作しそのコイル
６が約２オームの抵抗であることにも配慮を要する点で
ある。コイル６はまた代表的なトランスジューサの動作
レベルで約＋１９５ｕＶ／℃の温度係数を有する。
測定出来るようにした誘導型線形変位トランスジューサ
である。この例に沿って説明すると、トランスジューサ
５は米国特許第４，６６７，１５８号に開示されている
トランスジューサと同型または類似のものであって当業
者には周知の誘導型線形変位トランスジューサと同等の
ものである。トランスジューサ５はコイル６と磁心７と
を備えておりコイル６の一端はライン２０を介して温度
補償信号プロセッサ１０のダイオード１５の陽極に接続
している。コイル６の他端はライン２５を介して接地さ
れている。ダイオード１５の陰極は直流電源に接続して
いる。このことについては後述する。ダイオード１５は
直接トランスジューサと密接しており望ましくはカプセ
ル入りであってライン２０が比較的短くたとえば１イン
チかそれ以下であると云う点に注目を要する。このよう
にすればダイオード１５とトランスジューサ５とは同一
温度に在ることは確実である。磁心７の一端は可動対象
物（図示せず）と接続され該対象物の動きは測定される
ことになる。前述のように該トランスジューサの該信号
はその可動磁心７の位置と共に変化する。（言い換えれ
ばコイル６に相対的な磁心７の動きはトランスジューサ
の有効インダクタンスに変化を与えしたがってトランス
ジューサの交流信号の振幅成分に変化を与える）のでト
ランスジューサの信号はトランスジューサ温度に応じて
変化する（言い換えればトランスジューサ温度の変化は
トランスジューサの信号の交流成分の振幅を変化させる
）。もちろんダイオード１５はトランスジューサと直列
に直流電源とトランスジューサとの間に置かれているの
でダイオードの信号はダイオードの温度から何等か影響
されていることにも注目する必要がある。トランスジュ
ーサ５の代表的なものは約２５ｍＡで動作しそのコイル
６が約２オームの抵抗であることにも配慮を要する点で
ある。コイル６はまた代表的なトランスジューサの動作
レベルで約＋１９５ｕＶ／℃の温度係数を有する。
【００３０】前記温度補償信号プロセッサ１０はダイオ
ード１５をライン５５と６０とを介して直流電源すなわ
ち直流電圧−Ｖｃｃの電源に接続してコイルに一定の直
流電流を流す役割をもつ電流調節器３０を含んでいる。 前記直流供給電圧−Ｖｃｃは約−１５ＤＣボルトに設定
されているのでコイル内の該直流電流は一定で約２５ｍ
Ａである。電流調節器３０には入力制御端子があってラ
イン４５とライン５０を介してドライバ４０の出力側と
接続している。ドライバ４０は一定の周波数出力信号を
発するように設定された形式の通常の発振器であって該
信号の振幅は入力制御信号に応じて変化する。ドライバ
４０の役割は電流調節器３０の出力を周波数１００ｋＨ
ｚに変調することである。電流調節器３０の出力端子は
正の信号検知器６５の入力端子にライン５５とライン７
０と１００ｋＨｚ帯域フィルタとライン７４とを介して
接続されまた低周波帯域フィルタ７５にライン５５とラ
イン８０とを介して接続されてもいる。帯域フィルタ７
３は必要な周波数の交流信号は通すが直流信号は遮断す
る特性をもっている。
ード１５をライン５５と６０とを介して直流電源すなわ
ち直流電圧−Ｖｃｃの電源に接続してコイルに一定の直
流電流を流す役割をもつ電流調節器３０を含んでいる。 前記直流供給電圧−Ｖｃｃは約−１５ＤＣボルトに設定
されているのでコイル内の該直流電流は一定で約２５ｍ
Ａである。電流調節器３０には入力制御端子があってラ
イン４５とライン５０を介してドライバ４０の出力側と
接続している。ドライバ４０は一定の周波数出力信号を
発するように設定された形式の通常の発振器であって該
信号の振幅は入力制御信号に応じて変化する。ドライバ
４０の役割は電流調節器３０の出力を周波数１００ｋＨ
ｚに変調することである。電流調節器３０の出力端子は
正の信号検知器６５の入力端子にライン５５とライン７
０と１００ｋＨｚ帯域フィルタとライン７４とを介して
接続されまた低周波帯域フィルタ７５にライン５５とラ
イン８０とを介して接続されてもいる。帯域フィルタ７
３は必要な周波数の交流信号は通すが直流信号は遮断す
る特性をもっている。
【００３１】ライン６０が一般にはトランスジューサの
接続ケーブルであることは注目に値する。つまり仮に１
０フイートの標準接続ケーブルを用いるとすると典型的
には約１オームの直流抵抗がありトランスジューサコイ
ル６の直流抵抗のほぼ半分に相当するのである。ダイオ
ード１５はコイルに密接して取り付けてあるからダイオ
ード１５とトランスジューサコイル６とを接続するライ
ン２０には問題になるほどの長さは無い（たとえば１イ
ンチかそれ以下である）。したがってコイル６とケーブ
ル６０との抵抗に較べれば問題に成らない。
接続ケーブルであることは注目に値する。つまり仮に１
０フイートの標準接続ケーブルを用いるとすると典型的
には約１オームの直流抵抗がありトランスジューサコイ
ル６の直流抵抗のほぼ半分に相当するのである。ダイオ
ード１５はコイルに密接して取り付けてあるからダイオ
ード１５とトランスジューサコイル６とを接続するライ
ン２０には問題になるほどの長さは無い（たとえば１イ
ンチかそれ以下である）。したがってコイル６とケーブ
ル６０との抵抗に較べれば問題に成らない。
【００３２】ダイオード１５は直列にトランスジューサ
５と電流調節器３０との間に在って感温手段の役割を果
している。この感温手段の特性は（１）ダイオードの温
度変化がトランスジューサの信号の直流オフセットに実
質的にかなり影響を及ぼす程度の比較的高い温度係数（
ＴＣ）と、（２）ダイオードの温度変化がトランスジュ
ーサの交流信号の振幅成分に何等の影響も及ぼさない程
度に低い動的抵抗とである。前述した通りダイオード１
５はトランスジューサ５に密接し望ましくはカプセル入
りであってダイオードがトランスジューサ５と同一温度
に置かれるようになっている。
５と電流調節器３０との間に在って感温手段の役割を果
している。この感温手段の特性は（１）ダイオードの温
度変化がトランスジューサの信号の直流オフセットに実
質的にかなり影響を及ぼす程度の比較的高い温度係数（
ＴＣ）と、（２）ダイオードの温度変化がトランスジュ
ーサの交流信号の振幅成分に何等の影響も及ぼさない程
度に低い動的抵抗とである。前述した通りダイオード１
５はトランスジューサ５に密接し望ましくはカプセル入
りであってダイオードがトランスジューサ５と同一温度
に置かれるようになっている。
【００３３】ダイオード１５は望ましくはショットキー
ダイオードであってたとえば約２５ｍＡの動作電流にあ
っては約１オームの動的抵抗と約−１．６ｍＶ／℃の温
度係数（ＴＣ）とを有する１アンペアの素子１Ｎ５８１
８である。このような態様ではトランスジューサ５が上
記のように約＋１９５ｕＶ／℃の温度係数である限りダ
イオード１５はトランスジューサコイル６の約８倍、典
型的な接続ケーブル６０の１０フイート分の約１６倍に
相当する温度係数をもつことは注目に値する。こうして
ダイオード１５はコイル６またはケーブル６０より遥か
に大きな温度依存性を有するのである。
ダイオードであってたとえば約２５ｍＡの動作電流にあ
っては約１オームの動的抵抗と約−１．６ｍＶ／℃の温
度係数（ＴＣ）とを有する１アンペアの素子１Ｎ５８１
８である。このような態様ではトランスジューサ５が上
記のように約＋１９５ｕＶ／℃の温度係数である限りダ
イオード１５はトランスジューサコイル６の約８倍、典
型的な接続ケーブル６０の１０フイート分の約１６倍に
相当する温度係数をもつことは注目に値する。こうして
ダイオード１５はコイル６またはケーブル６０より遥か
に大きな温度依存性を有するのである。
【００３４】結節点すなわち分岐点６９の信号はライン
８０を介して低周波帯域フィルタ７５に入る。フィルタ
７５は直流信号は通すが問題の周波数の交流信号は遮断
する特性を持っている。したがってフィルタ７５は対応
する直流出力信号をライン９０を介して温度係数平衡ユ
ニット８５に印加するよう供給する。低周波帯域フィル
タ７５を通りライン９０を経て温度係数平衡ユニット８
５に至る該直流信号は分岐点６９に生じる信号の直流オ
フセット成分である。このように見てくると注意を要す
る点はトランスジューサ５の信号の直流オフセット成分
が直流供給電圧−Ｖｃｃとケーブル６０，ダイオード１
５，それにコイル６の温度影響との関数だと云うことで
ありまたショットキーダイオード１５の温度係数がトラ
ンスジューサ５の約８倍、接続ケーブル６０の約１６倍
であるから温度影響に起因する分岐点６９の信号の直流
オフセット成分に生じる何等かの変化の大半は温度依存
性の高いショットキーダイオード１５への温度の影響が
引き起こす変化だと云うことである。
８０を介して低周波帯域フィルタ７５に入る。フィルタ
７５は直流信号は通すが問題の周波数の交流信号は遮断
する特性を持っている。したがってフィルタ７５は対応
する直流出力信号をライン９０を介して温度係数平衡ユ
ニット８５に印加するよう供給する。低周波帯域フィル
タ７５を通りライン９０を経て温度係数平衡ユニット８
５に至る該直流信号は分岐点６９に生じる信号の直流オ
フセット成分である。このように見てくると注意を要す
る点はトランスジューサ５の信号の直流オフセット成分
が直流供給電圧−Ｖｃｃとケーブル６０，ダイオード１
５，それにコイル６の温度影響との関数だと云うことで
ありまたショットキーダイオード１５の温度係数がトラ
ンスジューサ５の約８倍、接続ケーブル６０の約１６倍
であるから温度影響に起因する分岐点６９の信号の直流
オフセット成分に生じる何等かの変化の大半は温度依存
性の高いショットキーダイオード１５への温度の影響が
引き起こす変化だと云うことである。
【００３５】温度係数平衡ユニット８５は低周波帯域フ
ィルタ７５の直流信号出力に反応するようになっている
。温度係数平衡ユニット８５には演算増幅器９５が含ま
れ演算増幅器９５には一方に低周波帯域フィルタ７５の
出力ラインをライン９０を介して含む入力端子があるが
他方には電圧ライン１０５をを介して電圧分割器１００
に接続する入力端子が在る。この例に限らないがこの例
で言えば電圧分割器１００には−６．９ボルトの電源と
接地との間に接続された固定抵抗１１０と可変抵抗１１
５とを含み且つ抵抗１１０と１１５との分岐点には増幅
器の入力端子の一方が接続されている。増幅器９５のこ
ちらの入力端子への電圧入力は可変抵抗１１５の設定を
変更して調整することが出来る。増幅器９５の出力は温
度係数域調整ユニット１２０に出力ライン１２５とライ
ン１３０とを介して出力されライン１２５とライン１４
０とを経て温度係数零点調節ユニット１３５に印加され
る。
ィルタ７５の直流信号出力に反応するようになっている
。温度係数平衡ユニット８５には演算増幅器９５が含ま
れ演算増幅器９５には一方に低周波帯域フィルタ７５の
出力ラインをライン９０を介して含む入力端子があるが
他方には電圧ライン１０５をを介して電圧分割器１００
に接続する入力端子が在る。この例に限らないがこの例
で言えば電圧分割器１００には−６．９ボルトの電源と
接地との間に接続された固定抵抗１１０と可変抵抗１１
５とを含み且つ抵抗１１０と１１５との分岐点には増幅
器の入力端子の一方が接続されている。増幅器９５のこ
ちらの入力端子への電圧入力は可変抵抗１１５の設定を
変更して調整することが出来る。増幅器９５の出力は温
度係数域調整ユニット１２０に出力ライン１２５とライ
ン１３０とを介して出力されライン１２５とライン１４
０とを経て温度係数零点調節ユニット１３５に印加され
る。
【００３６】温度係数域調整ユニット１２０には増幅器
１４５とポテンションメータ１５０とが含まれポテンシ
ョンメータの抵抗素子は増幅器９５の出力端子と接地と
の間に接続されている。ポテンションメータ１５０のタ
ップは増幅器１４５の一方の入力端子にライン１５５を
介して接続されそのためライン１５５に入力された直流
電圧入力は調整することが出来る。増幅器１４５の他方
の入力端子は適当な電源例えば正の６．９ボルト電源に
ライン１５７を介して接続されている。増幅器１４５の
出力はドライバ４０の入力制御端子にライン１６０を介
して接続されている。
１４５とポテンションメータ１５０とが含まれポテンシ
ョンメータの抵抗素子は増幅器９５の出力端子と接地と
の間に接続されている。ポテンションメータ１５０のタ
ップは増幅器１４５の一方の入力端子にライン１５５を
介して接続されそのためライン１５５に入力された直流
電圧入力は調整することが出来る。増幅器１４５の他方
の入力端子は適当な電源例えば正の６．９ボルト電源に
ライン１５７を介して接続されている。増幅器１４５の
出力はドライバ４０の入力制御端子にライン１６０を介
して接続されている。
【００３７】上述の通りドライバ４０は通常の振幅可変
・周波数安定型発振器である。ライン５０上のドライバ
出力信号の振幅は温度係数域調整ユニット１２０のライ
ン１６０上の直流出力信号に応じて変化する。
・周波数安定型発振器である。ライン５０上のドライバ
出力信号の振幅は温度係数域調整ユニット１２０のライ
ン１６０上の直流出力信号に応じて変化する。
【００３８】温度係数域調整ユニット１２０によってド
ライバ４０に供給された直流入力信号はそれ自体低周波
帯域フィルタ７５と温度係数平衡ユニット８５を介して
分岐点６９に現れる信号の直流オフセット成分から得ら
れたものであるから、直流オフセット成分が直流供給電
圧−Ｖｃｃとケーブル６０とダイオード１５とコイル６
の温度の影響の関数である限り、そして温度変化に起因
する直流オフセット成分に生じる何等かの変化の大半が
高い温度依存性を持ちトランスジューサ自体に設けてあ
るショットキーダイオード１５の温度によって生じる変
化である限り、ドライバ出力信号の振幅がトランスジュ
ーサの温度変化に応じて調整されることは明らかである
し、しかもその結果、トランスジューサに置かれしたが
って正確にトランスジューサ温度の変化を反映するダイ
オード１５に主として生じる直流オフセット成分の変化
を利用しているのであるから、信号プロセッサ１０はト
ランスジューサ温度の変化に起因するトランスジューサ
の信号の振幅成分のどんな変化も補償することが出来る
ことは明らかである。
ライバ４０に供給された直流入力信号はそれ自体低周波
帯域フィルタ７５と温度係数平衡ユニット８５を介して
分岐点６９に現れる信号の直流オフセット成分から得ら
れたものであるから、直流オフセット成分が直流供給電
圧−Ｖｃｃとケーブル６０とダイオード１５とコイル６
の温度の影響の関数である限り、そして温度変化に起因
する直流オフセット成分に生じる何等かの変化の大半が
高い温度依存性を持ちトランスジューサ自体に設けてあ
るショットキーダイオード１５の温度によって生じる変
化である限り、ドライバ出力信号の振幅がトランスジュ
ーサの温度変化に応じて調整されることは明らかである
し、しかもその結果、トランスジューサに置かれしたが
って正確にトランスジューサ温度の変化を反映するダイ
オード１５に主として生じる直流オフセット成分の変化
を利用しているのであるから、信号プロセッサ１０はト
ランスジューサ温度の変化に起因するトランスジューサ
の信号の振幅成分のどんな変化も補償することが出来る
ことは明らかである。
【００３９】とくにトランスジューサ温度の変化がトラ
ンスジューサの信号の交流振幅成分を変化させる（図２
参照）場合、温度の該変化は高い温度依存性のショット
キーダイオードに該ダイオードを介するトランスジュー
サの信号の直流オフセット成分を比較的大きく変化させ
るように働きもするのである。低周波帯域フィルタ７５
と温度係数平衡ユニット８５と温度係数域調整ユニット
１２０とドライバ４０とは互いに協働してトランスジュ
ーサの温度変化の指標として結節点６９での直流オフセ
ット成分の変化を読み取り、次いでこれと対応してドラ
イバの出力信号の振幅を変化して分岐点６９での交流信
号の振幅成分を一定に保ちそれによってトランスジュー
サ温度の変化に起因するトランスジューサの信号の振幅
成分で起こるどんな変化をも相殺するのである。
ンスジューサの信号の交流振幅成分を変化させる（図２
参照）場合、温度の該変化は高い温度依存性のショット
キーダイオードに該ダイオードを介するトランスジュー
サの信号の直流オフセット成分を比較的大きく変化させ
るように働きもするのである。低周波帯域フィルタ７５
と温度係数平衡ユニット８５と温度係数域調整ユニット
１２０とドライバ４０とは互いに協働してトランスジュ
ーサの温度変化の指標として結節点６９での直流オフセ
ット成分の変化を読み取り、次いでこれと対応してドラ
イバの出力信号の振幅を変化して分岐点６９での交流信
号の振幅成分を一定に保ちそれによってトランスジュー
サ温度の変化に起因するトランスジューサの信号の振幅
成分で起こるどんな変化をも相殺するのである。
【００４０】ドライバ４０の出力端子はライン５０と１
７０とを介して零点調節ユニット１６５の入力側にも接
続されており、零点調節ユニット１６５はポテンション
メータ１７５を含むその抵抗成分の一端はライン１７０
に、他端は接地に接続されている。該ポテンションメー
タ１７５のタップはライン１９０を介して１００ｋＨｚ
の帯域フィルタ１９１の入力に接続され更にライン１９
２を介して負基準検知器１８５に接続されているので負
基準検知器１８５に供給される入力電圧はポテンショメ
ータ１７５の設定を変化させて調整することが出来る。
７０とを介して零点調節ユニット１６５の入力側にも接
続されており、零点調節ユニット１６５はポテンション
メータ１７５を含むその抵抗成分の一端はライン１７０
に、他端は接地に接続されている。該ポテンションメー
タ１７５のタップはライン１９０を介して１００ｋＨｚ
の帯域フィルタ１９１の入力に接続され更にライン１９
２を介して負基準検知器１８５に接続されているので負
基準検知器１８５に供給される入力電圧はポテンショメ
ータ１７５の設定を変化させて調整することが出来る。
【００４１】帯域フィルタ７３は分岐点６９の信号の振
幅成分だけを正信号検知器６５に通し分岐点６９の信号
のどんな直流成分も遮断する。正信号検知器６５には半
波整流器が含まれ帯域フィルタ７３の出力を対応する直
流信号に変換する。帯域フィルタ１９１はドライバ４０
の信号の振幅成分だけを負基準検知器１８５に通し負基
準検知器１８５は半波整流器であって帯域フィルタ１９
１の出力を対応する直流信号に変換する役割を果たして
いる。抵抗１９５と２０５とは同値であって互いに接続
され検知器６５と１８５の出力端子とも接続されている
。抵抗１９５と２０５の分岐点は総和器２１５の一方の
入力端子に接続されている。かくして正信号検知器６５
と負基準検知器１８５との直流出力が総和器２１５に印
加される以前に合算されることは明らかである。したが
って総和器２１５の負入力端子の印加信号は正信号検知
器６５と負基準検知器１８５の信号の大きさが等しけれ
ばゼロに成るはずである。
幅成分だけを正信号検知器６５に通し分岐点６９の信号
のどんな直流成分も遮断する。正信号検知器６５には半
波整流器が含まれ帯域フィルタ７３の出力を対応する直
流信号に変換する。帯域フィルタ１９１はドライバ４０
の信号の振幅成分だけを負基準検知器１８５に通し負基
準検知器１８５は半波整流器であって帯域フィルタ１９
１の出力を対応する直流信号に変換する役割を果たして
いる。抵抗１９５と２０５とは同値であって互いに接続
され検知器６５と１８５の出力端子とも接続されている
。抵抗１９５と２０５の分岐点は総和器２１５の一方の
入力端子に接続されている。かくして正信号検知器６５
と負基準検知器１８５との直流出力が総和器２１５に印
加される以前に合算されることは明らかである。したが
って総和器２１５の負入力端子の印加信号は正信号検知
器６５と負基準検知器１８５の信号の大きさが等しけれ
ばゼロに成るはずである。
【００４２】温度係数零点調節ユニット１３５にはポテ
ンションメータ２５３が含まれその抵抗成分は増幅器９
５の出力と接地の間を接続している。ポテンションメー
タ２３５のタップ２４０は固定接地抵抗２４５の一端に
接続され他端は総和器２１５の他方の入力端子にライン
２５５を介して接続されている。
ンションメータ２５３が含まれその抵抗成分は増幅器９
５の出力と接地の間を接続している。ポテンションメー
タ２３５のタップ２４０は固定接地抵抗２４５の一端に
接続され他端は総和器２１５の他方の入力端子にライン
２５５を介して接続されている。
【００４３】総和器２１５の出力は直流増幅器／フィル
タユニット２６０の入力に接続されこのユニットには温
度係数域調整ユニットとして作用して直流増幅器／フィ
ルタユニット２６０の利得を制御する可変抵抗フィード
バック回路網２６５を含んでいる。このユニット２６０
の出力は直流電圧であってコイル６内の磁心７の位置に
比例しトランスジューサ５へのいかなる温度作用も相殺
する。
タユニット２６０の入力に接続されこのユニットには温
度係数域調整ユニットとして作用して直流増幅器／フィ
ルタユニット２６０の利得を制御する可変抵抗フィード
バック回路網２６５を含んでいる。このユニット２６０
の出力は直流電圧であってコイル６内の磁心７の位置に
比例しトランスジューサ５へのいかなる温度作用も相殺
する。
【００４４】もちろん該トランスジューサ５と温度補償
信号プロセッサ１０とは使用前に初期較正されていなけ
ればならない。較正はポテンションメータ１７４を零点
調節ユニット１６５に、ポテンションメータ１５０を温
度係数域調整ユニット１２０に、ポテンションメータ２
３５を温度係数零点調節ユニット１３５に、そして温度
係数域調整ユニット２６５を直流増幅器／フィルタユニ
ット２６０に調整することによって完了するがこれらの
処理手順は当業者にとっては周知の処理手順である。
信号プロセッサ１０とは使用前に初期較正されていなけ
ればならない。較正はポテンションメータ１７４を零点
調節ユニット１６５に、ポテンションメータ１５０を温
度係数域調整ユニット１２０に、ポテンションメータ２
３５を温度係数零点調節ユニット１３５に、そして温度
係数域調整ユニット２６５を直流増幅器／フィルタユニ
ット２６０に調整することによって完了するがこれらの
処理手順は当業者にとっては周知の処理手順である。
【００４５】該機器が較正された後、周知の処理手順で
直線運動の測定データとなる電気信号が供給される。該
機器には温度補償信号プロセッサが含まれているので該
装置はさまざまな異なる温度環境で用いても信頼性の高
い結果が得られる。実施例の場合を取ってみれば事実が
示すように温度補償信号プロセッサ１０を付帯した誘導
型線形変位トランスジューサ５は米国特許第４，６６７
，１５８号で開示されている機器よりトランスジューサ
の置かれるあらゆる温度範囲に亘って４ないし５倍の精
度が得られている。
直線運動の測定データとなる電気信号が供給される。該
機器には温度補償信号プロセッサが含まれているので該
装置はさまざまな異なる温度環境で用いても信頼性の高
い結果が得られる。実施例の場合を取ってみれば事実が
示すように温度補償信号プロセッサ１０を付帯した誘導
型線形変位トランスジューサ５は米国特許第４，６６７
，１５８号で開示されている機器よりトランスジューサ
の置かれるあらゆる温度範囲に亘って４ないし５倍の精
度が得られている。
【００４６】上述のようにダイオード１５は望ましくは
ショットキーダイオードであってたとえば約２５ｍＡの
動作電流にあっては約１オームの動的抵抗と約−１．６
ｍＶ／℃の温度係数（ＴＣ）とをもつ１アンペアの素子
１Ｎ５８１８であってその温度依存性は典型的な接続ケ
ーブル６０の約１６倍、トランスジューサのコイルの約
８倍に相当する。
ショットキーダイオードであってたとえば約２５ｍＡの
動作電流にあっては約１オームの動的抵抗と約−１．６
ｍＶ／℃の温度係数（ＴＣ）とをもつ１アンペアの素子
１Ｎ５８１８であってその温度依存性は典型的な接続ケ
ーブル６０の約１６倍、トランスジューサのコイルの約
８倍に相当する。
【００４７】更にダイオード１５は動的電流約３０ｍＡ
で約２．８オームの動的抵抗をもつ種類の通常のシリコ
ンダイオードであってもよく、その場合には温度係数（
ＴＣ）は約−２．０７ｍＶ／℃となって近似的にはトラ
ンスジューサコイルの１０倍、典型的な接続ケーブル６
０の２０倍となる。またはダイオード１５が例えば約２
５ｍＡの動作電流での動的抵抗が約１．７オームの１Ｎ
４００５素子のようなかなり大型の１アンペアダイオー
ドであっても良い。だがこのようなダイオードの高い動
的抵抗では沢山の問題が生じる。これらの問題点のうち
あるもの（例えば線形性）では１０ｕＦのバイパス容量
（コンデンサ）を使ってなら解決できるがほかのもの（
例えば自己発熱性のもの）では無理である。こうしてシ
ョットキーダイオードの有する比較的低い動的抵抗と比
較的低い電圧降下性と比較的高い温度係数（ＴＣ）とは
本発明の使用目的には最適である。だが本発明ではほか
の種類のダイオードを同じように用いることも妨げるも
のではない。
で約２．８オームの動的抵抗をもつ種類の通常のシリコ
ンダイオードであってもよく、その場合には温度係数（
ＴＣ）は約−２．０７ｍＶ／℃となって近似的にはトラ
ンスジューサコイルの１０倍、典型的な接続ケーブル６
０の２０倍となる。またはダイオード１５が例えば約２
５ｍＡの動作電流での動的抵抗が約１．７オームの１Ｎ
４００５素子のようなかなり大型の１アンペアダイオー
ドであっても良い。だがこのようなダイオードの高い動
的抵抗では沢山の問題が生じる。これらの問題点のうち
あるもの（例えば線形性）では１０ｕＦのバイパス容量
（コンデンサ）を使ってなら解決できるがほかのもの（
例えば自己発熱性のもの）では無理である。こうしてシ
ョットキーダイオードの有する比較的低い動的抵抗と比
較的低い電圧降下性と比較的高い温度係数（ＴＣ）とは
本発明の使用目的には最適である。だが本発明ではほか
の種類のダイオードを同じように用いることも妨げるも
のではない。
【００４８】本発明の範囲を外れないで温度補償信号プ
ロセッサ１０を他に転用することも考えられる。とくに
上記の図３に描した信号プロセッサ１０では所望の温度
補償作用はつぎの点によって得られている。すなわち（
１）ダイオードの信号の直流オフセットの変化を第１に
読み取ってトランスジューサに生じる温度変化の指標と
しそれから（２）この直流オフセットの変化を用いてド
ライバ４０によって提供される変調を調整してトランス
ジューサへの温度影響に起因するトランスジューサの出
力信号の振幅成分に生じるどんな変化も相殺するように
用いられる制御信号を発生することである。だがダイオ
ードの信号の直流オフセットの変化を利用してドライバ
４０で提供された変調を調整せずに温度補償に作用して
も良い点をも期待できるのである。
ロセッサ１０を他に転用することも考えられる。とくに
上記の図３に描した信号プロセッサ１０では所望の温度
補償作用はつぎの点によって得られている。すなわち（
１）ダイオードの信号の直流オフセットの変化を第１に
読み取ってトランスジューサに生じる温度変化の指標と
しそれから（２）この直流オフセットの変化を用いてド
ライバ４０によって提供される変調を調整してトランス
ジューサへの温度影響に起因するトランスジューサの出
力信号の振幅成分に生じるどんな変化も相殺するように
用いられる制御信号を発生することである。だがダイオ
ードの信号の直流オフセットの変化を利用してドライバ
４０で提供された変調を調整せずに温度補償に作用して
も良い点をも期待できるのである。
【００４９】たとえばダイオードの信号の直流オフセッ
トの変化を用いて補正信号を発生し次いで補正信号を合
算した出力信号が補正された温度になるようにダイオー
ドの信号の交流成分を解析して回路成分の出力と合算し
てもよい。
トの変化を用いて補正信号を発生し次いで補正信号を合
算した出力信号が補正された温度になるようにダイオー
ドの信号の交流成分を解析して回路成分の出力と合算し
てもよい。
【００５０】またはダイオードの信号の直流オフセット
の変化を用いてトランスジューサに生じる温度変化の信
号データを発生し次いで該信号を温度−補償の参照用テ
ーブルと共にマイクロプロセッサに印加しトランスジュ
ーサの位置変化を示す温度補正の出力信号を発生しても
宣しいのである。
の変化を用いてトランスジューサに生じる温度変化の信
号データを発生し次いで該信号を温度−補償の参照用テ
ーブルと共にマイクロプロセッサに印加しトランスジュ
ーサの位置変化を示す温度補正の出力信号を発生しても
宣しいのである。
【００５１】最後に上述のように本発明は数多の形式の
誘導型線形変位トランスジューサに用いられるものであ
って前述の米国特許第４，６６７，１５８号で開示され
たトランスジューサや９０年３月２７日発行のレドリッ
チ等の米国特許第４，９１２，４０９号「無管的に外部
磁束を有するアクチュエータ型変位トランスジューサ（
Ａｃｔｕａｔｏｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ Ｔｒａ
ｎｓｄｕｃｅｒ Ｈａｖｉｎｇ Ｅｘｔｅｒｎａｌ Ｆ
ｌｕｘ Ｅｘｃｌｕｄｉｎｇ Ｔｕｂｅ）」に開示され
たトランスジューサにも限定されることなく包括的に使
用可能である。
誘導型線形変位トランスジューサに用いられるものであ
って前述の米国特許第４，６６７，１５８号で開示され
たトランスジューサや９０年３月２７日発行のレドリッ
チ等の米国特許第４，９１２，４０９号「無管的に外部
磁束を有するアクチュエータ型変位トランスジューサ（
Ａｃｔｕａｔｏｒ Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ Ｔｒａ
ｎｓｄｕｃｅｒ Ｈａｖｉｎｇ Ｅｘｔｅｒｎａｌ Ｆ
ｌｕｘ Ｅｘｃｌｕｄｉｎｇ Ｔｕｂｅ）」に開示され
たトランスジューサにも限定されることなく包括的に使
用可能である。
【００５２】
【発明の効果】本発明を用いると数多の効果が得られる
。
。
【００５３】本発明はまず第１にトランスジューサの温
度変化と無関係に線形変位を正確に測定出来る誘導型線
形変位トランスジューサとその関連温度補償信号プロセ
ッサとを提供する。
度変化と無関係に線形変位を正確に測定出来る誘導型線
形変位トランスジューサとその関連温度補償信号プロセ
ッサとを提供する。
【００５４】本発明はつぎにトランスジューサから出る
２個だけの線を用いて温度補償出力信号を供給する誘導
型線形変位トランスジューサと関連温度補償信号プロセ
ッサとを提供する。これに反し類似の先行技術による素
子では温度補償を正確に達成するのに３個もの線を要し
ているのである。
２個だけの線を用いて温度補償出力信号を供給する誘導
型線形変位トランスジューサと関連温度補償信号プロセ
ッサとを提供する。これに反し類似の先行技術による素
子では温度補償を正確に達成するのに３個もの線を要し
ているのである。
【００５５】本発明は更に低コストでしかも信頼性の高
い誘導型線形変位トランスジューサと関連温度補償信号
プロセッサとを提供する。
い誘導型線形変位トランスジューサと関連温度補償信号
プロセッサとを提供する。
【００５６】本発明は別に各種の２線式誘導型線形変位
トランスジューサと協働可能な温度補償信号プロセッサ
を提供する。
トランスジューサと協働可能な温度補償信号プロセッサ
を提供する。
【００５７】本発明はまた対象物の線形変位を測定する
システムが誘導型線形変位トランスジューサと該トラン
スジューサと結合してトランスジューサ温度変化を補償
する線形変位の信号データを供給する手段とを含むシス
テムを提供する。
システムが誘導型線形変位トランスジューサと該トラン
スジューサと結合してトランスジューサ温度変化を補償
する線形変位の信号データを供給する手段とを含むシス
テムを提供する。
【図１】図１にはある温度Ｔ１ での典型的な誘導型線
形変位トランスジューサの信号特性を図示する。ここに
曲線Ｃ１ は磁心が「アウト」位置に設定されたトラン
スジューサの出力信号の模式図であり、曲線Ｃ２ は磁
心が「イン」位置に設定されている同一温度のトランス
ジューサの出力信号を模式図である。
形変位トランスジューサの信号特性を図示する。ここに
曲線Ｃ１ は磁心が「アウト」位置に設定されたトラン
スジューサの出力信号の模式図であり、曲線Ｃ２ は磁
心が「イン」位置に設定されている同一温度のトランス
ジューサの出力信号を模式図である。
【図２】図２は同じトランスジューサの信号の図示であ
るがここではＣ１ はトランスジューサが一定の温度Ｔ
１ に在り磁心が「アウト」位置に在る場合出力信号の
模式図であるが曲線Ｃ３ はトランスジューサが或るも
っと高い温度Ｔ２ に在り、その磁心はなおも「アウト
」位置に在る場合のトランスジューサの出力信号の模式
図（トランスジューサに及ぼす温度作用に起因する直流
オフセットに生じる何等かの変化は図２からは除外して
ある。それは問題点を明確化するためで温度に起因する
トランスジューサ信号の交流成分の出力の変化を強調す
るためである。後者の変化が本発明と関連する作用であ
るからである）。
るがここではＣ１ はトランスジューサが一定の温度Ｔ
１ に在り磁心が「アウト」位置に在る場合出力信号の
模式図であるが曲線Ｃ３ はトランスジューサが或るも
っと高い温度Ｔ２ に在り、その磁心はなおも「アウト
」位置に在る場合のトランスジューサの出力信号の模式
図（トランスジューサに及ぼす温度作用に起因する直流
オフセットに生じる何等かの変化は図２からは除外して
ある。それは問題点を明確化するためで温度に起因する
トランスジューサ信号の交流成分の出力の変化を強調す
るためである。後者の変化が本発明と関連する作用であ
るからである）。
【図３】図３は線形変位トランスジューサを示す模式図
であって本発明を具体化した温度補償手段の望ましい形
態である。
であって本発明を具体化した温度補償手段の望ましい形
態である。
３０ 電流調節器
４０ １００ｋＨｚドライバ
６５ 正信号検知器
７３ 帯域フィルタ
７５ 低周波帯域フィルタ
８５ 温度係数平衡ユニット
１２０ 温度係数域調整ユニット
１３５ 温度係数零点調節ユニット
１６５ 零点調節ユニット
１８５ 負基準検知器
１９１ 帯域フィルタ
２６５ 温度係数域調整ユニット
Claims (15)
- 【請求項１】 対象物の線形変位を測定する温度補償
型トランスジューサシステムであって、誘導型線形変位
トランスジューサと前記トランスジューサに結合した温
度補償信号処理手段と、支持体に巻きつけたつる巻状の
導電性コイルと前記コイルと前記支持体に入れ子状には
め込まれて受容される導電性で非強磁性体の細長い部材
を含み、前記部材または前記コイルは測定の対象物に取
り付けられて前記対象物の直線運動が前記コイルに相対
的な前記部材の線形変位を生じるようにされた前記トラ
ンスジューサと、前記温度補償信号処理手段は（ａ）前
記コイルを直流電源に接続して電流を前記コイルに通じ
る電流調節器手段を含む手段と、（ｂ）前記コイルに通
じる電流を変調する交流用の前記電流調節器手段に接続
され入力制御端子を有し前記コイルを流れる電流の振幅
を前記入力端子に印加された直流信号に応じて変化させ
るように設定したドライバ手段と、（ｃ）前記コイルと
前記電流調節器手段と直列に接続された感温手段と、（
ｄ）前記感温手段と前記ドライバ手段に結合され前記コ
イルに相対的な前記部材の線形変位の温度補正出力信号
データを提供する信号プロセッサ手段を含む温度補償型
トランスジューサシステム。 - 【請求項２】 前記温度補償信号処理手段は、前記感
温手段と前記電流調節器手段とを接続し、前記感温手段
を介してコイルの信号の直流オフセットの変化を検知し
、出力が前記電流調節器手段によって供給された変調電
流の振幅を調整してトランスジューサの温度変化に起因
するコイルの信号の振幅にいかなる変化があっても補償
する性質をもつ前記ドライバ手段への入力制御信号とし
て信号を発生する手段と、コイルの信号の交流成分の振
幅を監視して出力信号を前記コイルに相対的な前記部材
の位置を表示する前記交流成分の関数として発生する手
段を備える前記請求項１記載のシステム。 - 【請求項３】 前記感温手段がダイオードである請求
項１記載のシステム。 - 【請求項４】 前記感温手段がショットキーダイオー
ドである請求項１記載のシステム。 - 【請求項５】 前記ダイオードが前記コイルに密接し
て取り付けてある請求項１記載のシステム。 - 【請求項６】 前記コイルが中空筒状の支持体の周囲
に取り付けらけており前記ダイオードが前記中空筒状の
支持体の一端に取り付けられている請求項１記載のシス
テム。 - 【請求項７】 前記信号処理手段が前記トランスジュ
ーサが発する信号に応じて変化する第１の直流信号を励
起する手段と、前記ドライバ手段に接続して前記ドライ
バ手段の出力の関数として変化する第２直流信号を励起
する手段と、前記第１および第２直流信号とを合算して
前記コイルに相対的な前記部材の位置の関数として変化
する合算された直流信号を提供する合算手段とを含む請
求項１記載のシステム。 - 【請求項８】 コイルの位置に相対的な部材の位置の
変化の関数として変化する出力を供給する合算増幅器と
、前記合算増幅器の信号出力の大きさを変化させる手段
とを含む請求項７記載のシステム。 - 【請求項９】 前記感温手段がダイオードであって前
記信号処理手段が前記ダイオードに結合して前記ダイオ
ードの温度依存性の関数として変化する直流信号を励起
する手段を含む請求項１記載のシステム。 - 【請求項１０】 前記感温手段がダイオードであって
前記信号処理手段が前記ダイオードと結合して交流信号
だけを通す高周波帯域フィルタと、更に前記フィルタに
結合して前記コイルに相対的な前記磁心の位置の関数と
して変化する前記交流信号に応じて直流信号を励起する
手段を含む請求項１記載のシステム。 - 【請求項１１】 前記ダイオードと結合して前記ダイ
オードの温度の関数として変化する対応する直流信号を
発生する低周波帯域フィルタと、前記対応する直流信号
を前記ドライバ手段の前記入力制御端子に出力する手段
とを更に備える手段も含む請求項１０記載のシステム。 - 【請求項１２】 前記列挙末尾手段が前記対応直流信
号に応じて前記ドライバ手段の前記入力制御端子に制御
信号を供給するように接続されている温度係数平衡回路
を含む請求項１１記載のシステム。 - 【請求項１３】 前記制御信号を前記ドライバ手段の
前記入力制御端子に印加し前記制御信号の大きさを変化
させる手段を備える温度係数域調節回路を更に含む請求
項１２記載のシステム。 - 【請求項１４】 コイル位置の相対的な部材の位置の
変化の関数として変化する出力を供給する合算増幅器と
、別に前記制御信号を前記合算増幅器に印加し前記制御
信号の大きさを変化させる手段を備える温度係数零点調
節ユニット回路とを含む請求項１２記載のシステム。 - 【請求項１５】 コイルと前記コイルに相対的に可動
で特定の交流周波数で変化する直流電流で前記コイルが
励磁された時前記コイルに相対的に線形変位して前記コ
イルのインダクタンスを変化させる部材とを含む形式の
線形変位トランスジューサと組み合わされて前記コイル
の温度の変化に応じて前記コイルを流れる前記変動直流
電流で励磁される出力電圧信号を変調する温度補償手段
であって、（ａ）前記コイルと前記電源とに直列に接続
され前記コイルに密接して置かれ前記コイルと共に同一
温度条件を与えられた感温ダイオードと、（ｂ）前記ダ
イオードと前記コイルが温度変化の影響を受けて前記ダ
イオードの一方の端子に生じる電圧を感知する第１手段
と、（ｃ）前記第１手段に応じて前記第１手段に感知さ
れた直流電圧に比例する第１直流信号を生じる第２手段
と、（ｄ）前記ダイオードと前記コイルとが温度変化の
影響を受けて前記ダイオードの前記一方の端子に生じる
電圧を感知する第３の手段と、（ｅ）前記第３の手段に
応じて前記コイル内の電流の交流成分に比例する第２直
流信号を生じる第４の手段と、（ｆ）前記コイルに結合
され前記第１直流信号に応じて前記コイル内の電流の前
記交流成分の振幅を変化させる手段と、（ｇ）前記第４
の手段に結合され温度変化に無関係に前記コイルに相対
的に前記部材の変位に応じて変化する前記第２直流信号
に応じる出力信号を生じる手段とを含む温度補償手段。
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