JPH04291223A - 圧電効果によって制御された、ブラッグ格子を備えた2次元空間光変調器 - Google Patents

圧電効果によって制御された、ブラッグ格子を備えた2次元空間光変調器

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JPH04291223A
JPH04291223A JP32399691A JP32399691A JPH04291223A JP H04291223 A JPH04291223 A JP H04291223A JP 32399691 A JP32399691 A JP 32399691A JP 32399691 A JP32399691 A JP 32399691A JP H04291223 A JPH04291223 A JP H04291223A
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bragg grating
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grating
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JP32399691A
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English (en)
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Broussoux Dominique
ドミニク  ブロッソー
Robin Philippe
ロビン フィリップ
Brigitte Loiseaux
ロワスロー ブリジット
Schnell Jean-Philippe
ジャン−フィリップ シェネル
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Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/18Diffraction gratings
    • G02B5/1828Diffraction gratings having means for producing variable diffraction

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、画像、信号処理分野あ
るいは光偏向器に応用可能な光変調器に関する。
【0002】
【発明の概要】本発明では、逆圧電効果を利用すること
を特徴とするブラッグ格子からなる光変調器を提案する
。逆圧電効果とは、特定の材料に電圧を印加したときに
生じる機械的ひずみである。また、ブラッグ格子は、屈
折率が異なる層を交互に規則正しく積み重ねた積層物で
ある。
【0003】ブラッグ格子の基本的特性は、層数が増え
る、あるいは隣り合う層の距離が短くなるにしたがって
、より選択的な反射特性で光を反射することである。 反射がピークとなる波長は、層の厚さ、屈折率および反
射される入射光ビームの入射角に依存する。あるいは、
逆に、波長が与えられた場合には、反射係数は層の厚さ
と屈折率に依存する。本発明では、層中に逆圧電効果を
生じさせるために電気信号を用い、その逆圧電効果によ
り層の厚さが変化して反射波が変調される。
【0004】さらに詳しくは、本発明では、少なくとも
片方は圧電性材料である屈折率が異なる層(I)および
層(II)を交互に規則正しく積み重ねた積層物からな
るブラッグ格子を含む光変調器を提案する。
【0005】その変調器は、逆圧電効果によって、積層
物の層の周期的間隔を変える方向に機械的ひずみを生じ
させる手段を備えている。したがって、ブラッグ格子の
反射率は、ひずみが生じた場所で変化する。
【0006】逆圧電効果は、積層方向に垂直な方向に電
界を加えることによって、簡単に生ぜしめることができ
る。この電界印加は、積層物のいずれかの面に電極を設
け、電極間の電位差を調整することによって行なえる。
【0007】しかしながら、光変調器は、音響光学効果
によっても制御可能である。この場合、電気信号によっ
て制御され、ブラッグ格子と同一基板に配置された(2
個の櫛状電極の形をした)電気音響トランスデューサは
、規則的に繰返したパターンで、反射係数が変化した層
に垂直な方向の圧縮を生じさせる。音響波は、ブラッグ
格子の層と平行に伝搬する。圧縮点で反射されたすべて
の光線は、同位相で強め合う形で干渉し、その結果、反
射光ビームは、トランスデューサに加えられた制御信号
の周期で決る角度で偏向される。
【0008】ブラッグ格子の層は、使用する物質が圧電
効果を示す限り、いかなる材料でも良い。III−V族
化合物半導体およびその関連(GaAs,GaAlAs
,InP)は適している。また、LiNbO3 、Bi
12SiO20、Bi12GeO20の様な化合物も適
している。さらに、圧電性ポリマーも、ブラッグ格子と
して用いる場合には非常に適している。
【0009】これらのポリマーを利用すると、ブラッグ
格子は、屈折率が異なる異種ポリマー層を重ねる、ある
いは、ポリマーの屈折率を変化させる染色分子を同一の
ポリマーの異なった層に添加し、添加層と非添加層を交
互に繰返すことによって得ることができる。
【0010】一般的には、圧電材料は、異種材料の連続
した層に付着させられる。しかしながら、それらは、ま
た、使用する材料がフォトリフラクティブ効果を有して
いれば、単一材料の厚い層にも付着させて用いることが
できる。この場合、十分に強力な光源による作用で発生
する屈折率の局所的変化、すなわち材料のフォトリフラ
クティブ特性によって、単一の厚い層の中に交互に屈折
率が異なる層を形成することが可能になる。これを行な
うために、光エネルギーは、一定の間隔で配置された、
屈折率を変化させたい層に集光する。前述のリチウムナ
イオベートおよび酸化ビスマスは、圧電材料であるばか
りでなくフォトリフラクティブ材料でもある。
【0011】応用によっては、ある波長の受光エネルギ
ー量によって層の透過率が変化する様に、層の一部(好
ましくは、被変調入射光側の層の上の層)に染色分子を
添加している方が有利となる。これは、特に、フラッシ
ュ効果を防いだり、また、入射光が強すぎる場合に損傷
を回避するのに有効である。
【0012】本発明の光変調器は、入射光ビームの反射
係数を変調できるが、単一の電気的に制御された要素に
よって構成できる。しかしながら、多くの応用では、5
−6の要素からなる光変調器、特に独立に制御された光
変調器から構成される2次元マトリックス構造の光変調
器が有用であろう。
【0013】本発明の一実施例では、光変調器は、2組
の交差した電極アレイ間に圧電性層のブラッグ格子を備
えた2次元光変調器である。電界は、第1のアレイ電極
と第2のアレイ電極間に加えられ、それによって電極が
交差する点の反射係数が局所的に変化させられる。
【0014】本発明の他の実施例では、圧電性ブラッグ
格子は、光導電層の上に配置され、その全体が電極対に
挾まれている。そして、高電圧が電極間に印加される。 光導電層を局所的に照射することにより、電極間の電位
差のすべてもしくは一部が、圧電性格子に移される。
【0015】本発明の光変調器は、いくつかの異なった
形態で動作させ得る。例えば、既知波長の入射光ビーム
は、入射角が与えられると、そのビーム波長に同調させ
た圧電性ブラッグ格子の要素に方向付けすることができ
る。電気的制御機構を用いれば、反射係数を変化させら
れ、したがって入射光の反射もしくは透過の割合をきめ
ることができる。このシステムは、透過型あるいは反射
型として動作する。
【0016】また、既知波長の光ビームによって照射さ
れた2次元格子を用いることにより、全体画像を変調す
ることも可能である。
【0017】電気的制御機構を用いれば、他の波長を反
射させることなく、所定の波長を選択して反射させるこ
とも可能である。
【0018】本発明の主な特長の一つは、多くの現存の
光変調器のように入射光の偏光成分の一つのみを変調す
るのではなく、入射光の偏光に依存せずそのエネルギー
全体を変調できることである。
【0019】本発明は、圧電効果を用いて固体材料中に
ブラッグ格子を形成することに関するのではなく、圧電
材料の層からなる従来のブラッグ格子に制御された圧縮
を加えることに関するものである。
【0020】
【実施例】図1に示した実施例においては、層に垂直に
印加された電界は、逆圧電効果によって層の中に機械的
ひずみを発生し、その結果格子の周期的間隔Pに変化を
生じさせる。ここで、P=e1 +e2 であり、e1
 は層(I)の厚さ、e2 は層(II)の厚さである
。したがって、P0 を電界がない場合の格子の周期的
間隔、hを変化係数とすると、P=P0 (1+h)と
なる。
【0021】ブラッグ条件、すなわち、格子の平均屈折
率がn、ブラッグ格子の周期的間隔がPの時にcos 
A=L/(2nP)の条件をほぼ満たすような入射光波
長L、層に垂直に測定される入射角Aに対しては、反射
率は、電界がある場合には、(非電界印加時のブラッグ
条件が満足されない)小さな値から大きな値に変化した
り、あるいは、逆に、すべての中間値を取る。ブラッグ
条件は、電界を加えない時に満足できるように設定でき
るし、あるいは、所定に値の電界を印加時に満たされる
ようにも設定できる。同様にして、(反射がゼロになる
)光波干渉条件も特定の電界値を選ぶことにより可能で
ある。
【0022】ブラッグ格子の反射率Rは、格子のそれぞ
れの層で反射される基本光線の相対的位相を考慮するこ
とによって計算できる。したがって、非常に小さなひず
みによって与えられるブラッグ条件からの逸脱効果は強
調され、格子内での光波結合現象のために反射率に大き
な変化を生じさせる。
【0023】この種の空間光変調器に用いられている原
理は、入射光の偏光状態に依存しないので、入射光ビー
ムのエネルギーを変調することが可能である。本発明の
光変調器のさらなる特長は、格子の周期的間隔を変える
ことができ、このためブラッグ反射条件が満たされる角
度が決められるので、動作波長を選択できることである
【0024】ブラッグ格子に用いられる圧電材料は、好
ましくは、半導体、フォトリフラクティブ材料あるいは
圧電性ポリマーである。より詳しくは、好ましい半導体
は、GaAs、Gax Al1−x As、InPであ
る。ブラッグ格子を作るには、MBE、MOCVDによ
って層厚を非常に精密に制御することによって得られる
。例えば、層(I)および(II)は、屈折率が異なる
2つの層となるGaAsとGax Al1−x Asの
2種類の半導体を連続的に成長することによって得られ
る。
【0025】これらの材料は、赤外光に対して透明なの
で、波長10μm程度までは応用できる。LiNbO3
 あるいはBi12SiO20の様なビスマス酸化シリ
コン、あるいはBi12GeO20の様なビスマス酸化
ゲルマニウムなどのフォトリフラクティブ材料は、同様
な特性を有している。もしこの種の材料を使うならば、
ブラッグ格子は、ある与えられた波長の入射光によって
屈折率が変化する効果を利用するので、光照射によって
製作できる。異種材料を交互に積層する代わりに、一つ
の厚い材料を用い、屈折率変化が、光誘起によって形成
される。 これは、2つの平面波の干渉パターンに基づくホログラ
ム技術によって実現でき、恒久的な屈折率変化が光学的
に形成される。
【0026】圧電性ポリマーは、実施が容易で低価格で
あるという特長がある。その理由は、以下の2つの方法
によって簡単に広い表面に作製できるからである。第1
の方法は、トーネット方法として知られており、ポリマ
ー溶液をスピンコートした後に溶媒を消散させてポリマ
ー薄膜を塗布するという方法である。第2方法は、ポリ
マーの単分子層を連続的に付着させるラングミュア・ブ
ロイット方法である。圧電性ポリマーの他の特長は、そ
れらが非常に大きな圧電係数を有していることであり、
所定のひずみ量を生じさせるために必要な電圧が半導体
の場合に比べて低くて良いという点である。
【0027】これらのポリマー材料は、種類や添加量に
よって格子の平均屈折率を精密に調整できる染色分子を
添加することができる。したがって、入射光波の波長に
よって所要の透明度を確保できる。また、ポリマーの種
類によっては、フォトリフラクティブ効果を示すので、
前述の光誘起によってブラッグ格子を形成できる。
【0028】応用によっては、過剰に光が照射された場
合にフラッシュ効果を避けたり、また素子の損傷を防ぐ
目的で、透過率が光強度によって変化する光染色分子を
ブラッグ格子の第1の層に添加することも可能である。
【0029】ポリマーとして好ましいものは、(A)、
(B)、(C)、(D)である。これらのポリマーから
作製されるブラッグ格子は、メチルメタクリレートと混
合することにより光学的特性が向上する。
【0030】以上述べた材料のうちのひとつからブラッ
グ格子を作製すると、圧電効果を生じさせるための電気
制御素子は、種々の方法で作製できる。
【0031】図1に示した第1の例では、網目状電極が
、一方向の一群の平行電極Eiと、それと直角な方向の
一群の平行電極Ejによって構成されている。ブラッグ
格子をこれらの電極Ei、Ejの間に配置することによ
り、ブラッグ格子の層に垂直方向に電界を生じさせるこ
とができる。被変調光ビームが入射する側の面では、網
目状電極は、入射光の波長で透明である。反対の面の電
極は、透明であっても吸収してもよい。この種の素子は
、電極が交差する点で電界の局所的制御が可能で、純粋
に電気的に制御できる。
【0032】図2に示した第2の例では、ブラッグ格子
のそれぞれの面に、入射光ビーム波長に対して透明な電
極Eと、制御信号光波長に対して透明な電極Fが付けら
れた光導電性の薄膜(III)が設けられている。圧電
効果は、所定のスポットで制御光を局所的に光導電体に
照射することにより、光学的に制御されている。光導電
体材料の抵抗率は、光照射時と非照射時ではかなり異な
る。 光照射によって抵抗率が下がると、電極EとFの間の印
加電圧は、制御光が照射されたスポットのところのみブ
ラッグ格子の両先端に直接作用し、その他の非照射部分
には作用しない。この光学的制御の特長は、電気的制御
に必要な技術よりも簡単に実施できるということである
。この方法では、1000ボルト程度以上の高圧を容易
に制御できるが、これは電極が交差する場所に局所的に
薄膜トランジスタ等の素子を作る方式では非常に困難で
ある。制御光は、必須条件ではないが、被変調光波が入
射される側とは反対側からブラッグ格子に照射される方
が好ましい。液晶マトリックスは、光導電層の裏側に配
置することができる。そして、その液晶マトリックスは
、それ自身光源によって照射され、ビデオ信号もしくは
XY印加電圧によって電気的に制御される。これらの信
号によってできた画像は、光導電体(II)に移り、各
々の点のブラッグ格子を制御するために使用される。し
たがって、この格子に照射される、ブラッグ条件を満足
する光波は、2次元的に変調される。
【0033】以下では、本発明による光変調器の一例に
ついて述べ、期待される特性について議論する。
【0034】ブラッグ格子は、ポリマーの屈折率を大幅
に大きくする染色分子が添加された同一種のポリマーか
ら成る層(I)と層(II)から形成されている。染色
分子は、以下の様な化学式で表される。
【0035】
【化1】
【0036】波長1.06μmでの格子の特性は、以下
の様になっている。 層(I)の屈折率                 
           n1 =1.45 染色分子が50%添加された層(II)の屈折率  n
2 =1.75 層(I)の厚さ    e1 =0.185μm層(I
I)の厚さ    e2 =0.185μm格子全体の
厚さ    d=80(e1 +e2 )=29.6μ
【0037】染色分子が50%添加されたポリマーの圧
電係数は、分極後にはd33=15pm/Vである。
【0038】1/1000のひずみ量を生じる為に要求
される印加電圧は、次の様に計算される。 d/d=d33V/d
【0039】これより、V=1973V、すなわち印加
電界は666kV/cmとなる。この値は、材料のco
ercive電界(材料が疲労し、初期状態に戻らない
電界値)よりも十分に低い。
【0040】図3は、この種の格子においては、反射が
最小になる入射角があることを示す。図4は、反射率が
最小となる入射角(25度)における、誘起されたひず
みの反射係数への影響を図示する。また、図5は、1/
1000のひずみが80%以上の反射率変化を生じるこ
とを示す。
【0041】図6は、本発明を用いた画像プロジェクタ
ーの一般的構造を表す。このモデルは、前述の様に、光
導電体を用いることによって制御されている。
【0042】基本コンポーネント(圧電層と積層周期可
変なブラッグ格子)は、要素10として表されている。 ブラッグ格子の前面は、光源14から発生した映写光ビ
ーム12によって照射されている。この光ビームは、ブ
ラッグ格子10によって各点各点で変調され、その変調
光は、拡大用光デバイス16に向って反射され、スクリ
ーン18上に投写されている。
【0043】この例では、ブラッグ格子10は、図2に
示したような光導電体によって制御されている。液晶マ
トリックス20のような2次元変調器が、光導電体が感
知する波長の光源22と光導電層の間に設置されている
。また、光デバイス24は、光変調器20によってでき
た画像をブラッグ格子の光導電層の上に焦点を結ばせる
ために用いられている。
【0044】本発明は、光源14から放射されたすべて
のエネルギーを変調してスクリーン上に投写できるので
、映写への応用に適している。
【0045】カラー投写器とするためには、要素10と
同種の3つの独立した要素が必要である。そして、それ
ぞれの要素は、たとえば、青、赤、緑のそれぞれの画像
を作れるように同調される。
【0046】図1では、2次元ブラッグ格子が、2次元
の画像を作るために用いられている。
【0047】しかしながら、収束された光ビームの反射
率や透過率を変調する基本的な変調器にも応用可能であ
る。その時、変調光ビームは、従来のビデオラインやフ
レームスキャナーの例に見られるビデオ信号の様に偏向
される。
【0048】ラインスキャナー偏向器を作製するために
は、偏向器の偏向角が音響信号によって制御される音響
光学偏向器を用いることができる。フレームスキャナー
偏向器を作製するためには、簡単な電流によって制御さ
れた反射鏡を用いることができる。
【0049】本発明の圧電材料を用いたブラッグ格子は
、電気的にスキャンされる受信アンテナと同様に、光ビ
ーム偏向器としても用いることができる。周期的間隔の
電極もしくは光導電体を利用した光学的制御方式によっ
て、反射の最大および最小が規則的に繰返したパターン
がブラッグ格子内に作られる。したがって、入射波は、
一定の周期間隔の回折構造を見ることになり、その構造
の周期間隔(層に平行な方向に測定される周期)に依存
した所望の方向に回折される。この周期間隔は、要求に
応じて変えられる。
【0050】この発明の圧電性層からなるブラッグ格子
は、以前に説明したように、積層した面のいずれかに設
けた電極によって直接制御できる。
【0051】しかしながら、ブラッグ格子を間接的に制
御することも可能である。これは、電気音響トランスデ
ューサに電気信号を印加して、層に平行な方向に伝搬す
ることによって積層方向(層に垂直な方向)に圧縮を生
む音響波を発生することによって可能である。
【0052】図7に示したモデルでは、電気音響トラン
スデューサは、表面を伝搬する音響波を放射する。
【0053】屈折率n1 ,n2 と厚さを交互に変え
て積層した圧電性層21,22が、例えばGaAsなど
の基板30の上に作製されている。
【0054】2つの櫛状電極の例のような表面音響波ト
ランスデューサ34が、基板の一端に設けられ、電気的
に励起された時、表面に沿って伝搬する音響波を発生す
る。
【0055】この波は、格子32内に圧縮パターンを作
り、ある与えられた波長と入射角に対して、格子の反射
係数を変調する。表面に沿った音響波の周期間隔(これ
は、ブラッグ格子内の積層の周期間隔e1 +e2 と
は何等関係がない。)は、ブラッグ格子内で圧縮が最大
と最小になる距離を表す。
【0056】したがって、反射は圧縮状態に依存するの
で、音響波の伝搬は、表面に沿って生じる周期的反射の
最大と最小を有する回折パターンを引き起こす。
【0057】入射光ビームは、表面に沿って測定される
回折パターンの周期的間隔に依存する所望の回折角で回
折される。
【0058】トランスデューサに印加される電気信号の
周波数を変えると、表面に沿って測定される回折パター
ンの周期的間隔が変わる。これは、透過あるいは反射さ
れる入射光ビームの反射角の調整を可能にする。
【0059】トランスデューサに印加される電気信号は
、好ましくは、図8に示す様な鋸歯状波形の高周波交流
信号であることが望まれる。回折パターンの周期的間隔
Pは、鋸歯状波形の周期と関係している。
【0060】この波形の長所は、2次回折を最小にする
ことである。入射光の全体としての反射係数は、鋸歯状
波の山と谷での反射係数間の違いに依存する。
【0061】図9に示したその他の例では、電気音響ト
ランスデューサ40は、棒状素子42に対して設けられ
ており、音響波は、図7のように表面ではなく、棒状素
子の内部に発生して伝搬する。
【0062】棒状素子は、例えば、十分なエネルギーの
2平面波を素子内部で干渉させるホログラム技術を用い
た光誘起方式によって生成されたブラッグ格子44を含
む。
【0063】格子は、トランスデューサ40によって生
じる音響波の伝搬方向に平行な層からなる。音響波は、
格子の周期的間隔を変えるように作用する。
【0064】トランスデューサに印加される電気信号が
周期的であれば、周期的間隔の変化は、それ自体が音響
波の伝搬方向について周期的である。周期的間隔の変化
の周期は、電気信号の周波数と音響波の伝搬速度によっ
て決まる。
【0065】図7に示した光変調器の場合のように、入
射光の周波数がブラッグ条件を満たすと、その入射光は
、一定の周期的間隔の反射の最大と最小を有する回折構
造を感じる。そして、それは、音響波の伝搬方向のパタ
ーンの周期的間隔に直接関係した所望の方向に回折され
る。
【0066】最後に、本発明は、音響光学効果によって
相関関数を求めるような応用にも用いることができる。
【0067】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光変調器の第1の実施例であり、電気
的制御は、電極EiとEjによって成されている。
【図2】本発明の光変調器の第2の実施例であり、制御
電圧は、光導電性層III および電極対EとFによっ
て印加されている。
【図3】静状態のポリマー材料からなるブラッグ格子を
用いた時に得られた、反射角に対する反射率変化(%で
表示)である。
【図4】上述のポリマー材料からなる同じブラッグ格子
を用い、反射角を静状態時の最小値に対応する25度に
した時に得られた、逆圧電効果によって生じた機械的ひ
ずみ量に対する屈折率変化(%で表示)である。
【図5】上述のポリマー材料からなる同じブラッグ格子
を用い、機械的ひずみ量が1/1000の時に得られた
、入射角に対する屈折率変化(%で表示)である。
【図6】光導電体を用いて制御された本発明の光変調器
を使用した画像プロジェクターの一般的構造である。
【図7】本発明の光変調器と表面電気音響トランスデュ
ーサとを用いた光偏向器である。
【図8】光ビームを偏向するために本発明の光変調器を
用いた場合に、電気音響トランスデューサに印加された
電気信号波形である。
【図9】本発明の光変調器と通常の電気音響トランスデ
ューサとを用いた光偏向器であり、光変調器は、ブラッ
グ格子が既に光誘起された材料からなっている。

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  少なくとも片方は圧電性材料である異
    なった屈折率の層(I)および(II)を交互に規則正
    しく積層して成るブラッグ格子と、この格子の周期性を
    機械的に変えるための制御素子とを備えたことを特徴と
    する光変調器。
  2. 【請求項2】  圧電性材料が、圧電性ポリマーであり
    、このポリマーにその屈折率を変えられる染色分子が添
    加されている場合があることを特徴とする請求項1記載
    の光変調器。
  3. 【請求項3】  圧電性ポリマーが、(A)あるいは(
    B)あるいは(C)あるいは(D)であることを特徴と
    する請求項2記載の光変調器。
  4. 【請求項4】  層(I)あるいは層(II)のいずれ
    かが、メチルポリメタクリレートと(A)あるいは(B
    )あるいは(C)型ポリマーとの混合物からなることを
    特徴とする請求項1−3記載の光変調器。
  5. 【請求項5】  圧電性材料が、半導体であることを特
    徴とする請求項1記載の光変調器。
  6. 【請求項6】  半導体が、GaAsもしくはGaAl
    AsもしくはInPであることを特徴とする請求項5記
    載の光変調器。
  7. 【請求項7】  圧電性材料が、フォトリフラクティブ
    材料であることを特徴とする請求項1記載の光変調器。
  8. 【請求項8】  フォトリフラクティブ材料が、LiN
    bO3 あるいはBi12SiO20の様なビスマス酸
    化シリコン、あるいはBi12GeO20の様なビスマ
    ス酸化ゲルマニウムであることを特徴とする請求項7記
    載の光変調器。
  9. 【請求項9】  層と並行に設けられた電極を用いるこ
    とによって、入射光ビームが電気的に変調あるいは遮断
    されることを特徴とする請求項1−8記載の光変調器。
  10. 【請求項10】  網目状に配置された、層と並行で被
    変調光波長に対して透明な電極EiとEjを用いること
    によって、入射光ビームが電気的に変調されることを特
    徴とする請求項1−8記載の光変調器。
  11. 【請求項11】  ブラッグ格子の層に平行に音響波を
    伝搬させることができる電気音響トランスデューサを用
    いて、入射光ビームが変調されることを特徴とする請求
    項1−8記載の光変調器。
  12. 【請求項12】  電気音響トランスデューサが、ブラ
    ッグ格子の層に平行に設けられ、表面音響波を発生する
    櫛状電極であることを特徴とする請求項11記載の光変
    調器。
  13. 【請求項13】  ブラッグ格子の第1の層に、光染色
    体分子が添加されていることを特徴とする請求項10記
    載の光変調器。
JP32399691A 1990-11-13 1991-11-13 圧電効果によって制御された、ブラッグ格子を備えた2次元空間光変調器 Withdrawn JPH04291223A (ja)

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