JPH04288510A - 光を反射させる埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路構成と埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路及びその製法 - Google Patents

光を反射させる埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路構成と埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路及びその製法

Info

Publication number
JPH04288510A
JPH04288510A JP2413740A JP41374090A JPH04288510A JP H04288510 A JPH04288510 A JP H04288510A JP 2413740 A JP2413740 A JP 2413740A JP 41374090 A JP41374090 A JP 41374090A JP H04288510 A JPH04288510 A JP H04288510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
grating
path
grating region
diffraction grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2413740A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2889379B2 (ja
Inventor
Gerald Meltz
ジェラルド　メルツ
William H Glenn
ウイリアム　ヘンリー　グレン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RTX Corp
Original Assignee
United Technologies Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Technologies Corp filed Critical United Technologies Corp
Publication of JPH04288510A publication Critical patent/JPH04288510A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2889379B2 publication Critical patent/JP2889379B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/02123—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
    • G02B6/02133—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating using beam interference
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/0208—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by their structure, wavelength response
    • G02B6/021—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by their structure, wavelength response characterised by the core or cladding or coating, e.g. materials, radial refractive index profiles, cladding shape
    • G02B6/02109—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by their structure, wavelength response characterised by the core or cladding or coating, e.g. materials, radial refractive index profiles, cladding shape having polarization sensitive features, e.g. reduced photo-induced birefringence
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/02—Optical fibres with cladding with or without a coating
    • G02B6/02057—Optical fibres with cladding with or without a coating comprising gratings
    • G02B6/02076—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings
    • G02B6/02123—Refractive index modulation gratings, e.g. Bragg gratings characterised by the method of manufacture of the grating
    • G02B6/02128—Internal inscription, i.e. grating written by light propagating within the fibre, e.g. "self-induced"

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は一般的に言って光導波路
に関連し、特に光の向きを変えるブラッグ回折格子を内
部に設けた光導波路、とりわけファイバー、このような
光導波路を利用した光学システム、およびこのような光
導波路を製造する方法に関連する。
【０００２】
【従来の技術】導波路の中間位置において光を導波路に
挿入したり、別の中間位置から光を取り出したりするた
めに、導波路の内部に回折格子加工を施した構成が光フ
ァイバーを含む種々の光導波路において知られている。 例えば、Ａｂｅｒｓｏｎ　Ｊｒ．らの特許で１９８８年
６月７日発行の米国特許第４，７４９，２４８号は、単
一モードの光ファイバーから放射を取り出したり、また
は単一モードの光ファイバーへ放射を送入するためのデ
バイスを開示している。この特許は、光ファイバーの少
なくともコア部分において適当な周期性の間隔を持つ回
折格子を形成することによって光ファイバー内の導波モ
ードをトンネリング漏洩モードに変換したり、またはこ
の逆の変換をすることが可能であること、及びガイドモ
ードを漏洩モードに変換することによってガイドモード
をファイバーのコア部分からクラッディングへ移動させ
て最終的にはファイバー全体から移動させるか、または
ファイバーの外部からの適当な波長の光を回折格子の方
へ向けてファイバーのクラッディング内で伝達させ回折
格子によってファイバーコア内の導波モードに変換する
ことによって、適当な波長の光をコア内に送入してここ
に導波モードを形成することが可能であることを開示し
ている。この発明では、回折格子は機械的に、若しくは
光弾性効果または光屈折効果を利用して形成することが
でき、いずれの場合にもこの回折格子は或る同一の光学
的性質を持ったファイバーのコア領域が光ファイバーの
縦方向の軸に対して垂直に配置するよう形成されること
が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような方式はある
種の応用に対しては満足のゆく結果が得られるが、光フ
ァイバーから取り出し、または送入する光のパワーに非
常に大きな損失を生じるという重大な欠点がある。この
理由は、少なくとも部分的には次の事実に帰することが
できる。すなわち、回折格子がコアの縦軸に垂直に配置
されているので導波モードから漏洩モードへの変換およ
び漏洩モードから導波路モードへの変換がファイバーの
軸の回りで一様な分布で起こり、このためファイバーか
ら光を取り出すのにこの方式を使用するときは漏洩モー
ドの主要部分は検出用装置によっては捕えられず、また
クラッディングモード及びこのモードの回折格子におけ
る導波コアモードへの変換によってコア内へ光を送入す
るのにこの方式を使用するときは、大部分の漏洩モード
はファイバーのコアをバイパスする。
【０００４】また同様に、例えば共有特許である１９８
８年２月１６日出願発行の米国特許第４，７２５，１１
０号より、ファイバーの軸に対する相対角が互いに１８
０度の補角である２つの角度となるようにして光ファイ
バーに向けられた２つのコヒーレントな紫外線ビームの
干渉縞を、クラッディングを通してファイバーのコアに
、照射することによって、周期的な回折格子を光ファイ
バーのコアに形成させうることが、既に知られている。 こうすると回折格子はファイバーの軸に垂直な方向を向
くため、この回折格子はファイバーコアの中を伝達方向
に向かって導かれて伝達されるように発せられた光のう
ちで非常にせまい範囲の波長を持つものだけをファイバ
ーの軸に沿って元々の伝達方向とは反対の方向に反射し
、このように反射された光はコアの中を元々の光がファ
イバー内へ発せられた位置へと導かれる。一方、この回
折格子は、前述の狭い帯域幅以外の波長の光に対しては
透明であり、このような光の進行方向への伝達に対して
は影響を与えない。このような方式は次の様な制限があ
ることがわかる。すなわちこのような方式は、ファイバ
ーの端部以外の任意の位置においてある程度以上の量の
光を取り出したり、またはファイバー内へ送ったりする
ことには適していない。
【０００５】したがって、本発明の一般的な目的は、従
来の技術の欠点を回避することである。
【０００６】特に、本発明の目的は、かかる埋込型のリ
ディレクトする構成を有する光導波路であって、この種
のタイプの周知の構成のものに伴う欠点のないものを提
供することである。
【０００７】さらに本発明の別の目的は、光導波路のコ
アとコアの外側に延び焦点または焦点領域を通過する空
間的に制限された経路との間の制限された範囲内におい
て、所定の波長の光の効率の高い転換を得るような方法
で、ここで考慮するタイプの、光の向きを変える構成を
開発することである。
【０００８】さらに本発明の別の目的は、上記のタイプ
の回折格子を埋め込んだ光導波路を利用した光学系を工
夫することであり、この光学系は光導波路へ送入する際
の、および導波路から取り出す際の光の転換を効率的に
するとともに、このような光の焦点合わせをするのに役
立つものとする。
【０００９】さらに本発明の他の目的は、構成が簡単で
製造コストが安く、使用が容易で、動作の信頼性が高く
なるように上述のタイプの光学系を設計することである
。
【００１０】本発明に付随する目的は、光導波路のコア
内に埋込型のタップを形成する、効率及び信頼性の高い
方法を開発することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】これらの目的、および以
下に明らかにする目的を達成するための、本発明の一つ
の特徴は光導波路の光をリディレクトする構成にある。 この構成には少なくとも２つの離れた端部が含まれ、所
定の軸に沿って延びている第１の経路内において端部間
で光を導くことができる固体材料の導波路部分を含んで
いる。本発明においては、少なくとも一つの回折格子領
域が、端部から離れた位置における導波路部分に埋め込
まれており、また多数の回折格子素子を有し、この回折
格子素子は、軸方向で見た場合に互いにある間隔で延在
するとともに、第１の経路と少なくとも一つの第２の経
路との間でリディレクトする軸に対して回折格子素子は
傾いており、この第２の経路は傾いた各度に依存する軸
に関連した角度で導波路の外側に延在している。さらに
第１の光学手段が設けられ、これは第１及び第２の経路
のうちの一方に光を導くとともに、回折格子素子によっ
て他方の経路の方に光の方向を同位相にして転換するた
めに光を回折格子領域に導く、この光は回折格子素子の
間隔の関係で決まるある波長を中心とする狭い範囲の波
長に限定される。そして第２の経路内を伝達する光を捕
捉するための第２の光学手段を有している。
【００１２】本発明のうちの他の一面は、回折格子領域
を形成する方法である。これは、導波路部分にコヒーレ
ントな２つの紫外線ビームの干渉縞を照射し、これらの
ビームの導波路部分の縦軸に対する角度を、干渉縞の縞
模様（例えば強度のピーク）が導波路の部分に上述の傾
きの角度で当たるように選び、縞模様の強度によって導
波路部分の屈折率に永久的な変異を起こさせ、これによ
って上述の回折格子素子を形成する。
【００１３】
【作用】本発明はまた新規な製品、すなわち、導波路、
特に光ファイバーへとつながり、これには少なくとも上
述の光をリディレクトする、上述の本発明の方法を用い
て製造された回折格子領域を持っている。
【００１４】
【実施例】本発明を以下の添付図面を参照しつつより詳
細に説明する。
【００１５】図１より分かるように、参照番号１０は光
導波路を特定する。光導波路１０は光ファイバーを構成
するものとして示されており、この中で相対的に短い縦
方向の部分だけが図示されており、ファイバーコア１１
とファイバーコアを囲むファイバークラッディング１２
とから成っている。
【００１６】このファイバーコア１１にはコア１１の縦
軸方向に対して同じ傾斜角αで並ぶ複数の回折格子素子
１４を備える回折格子領域１３がある。この複数の回折
格子素子１４は、それぞれ互いに、前記光ファイバー１
０軸方向に同じ距離間隔を置いて設けてある。
【００１７】前記コア１１の回折格子領域１３において
前記回折格子素子１４を形成する好ましい方法を、図２
を参照して説明する。
【００１８】本発明による方法とは、一部の修正を除き
、本発明の背景を理解しかつ本発明によりもたらされる
改良並びに効果を指摘するのに必要な内容を言及するた
めに組み入れた前述の米国特許第４，７２５，１１０号
明細書に開示された方法に基づいている。
【００１９】前記導波路のコア１１または、ファイバー
１０のコアは、一連の傾斜した埋め込み型ブラッグリデ
ィレクト回折格子素子１４を備えており、そのコアに書
き込んだり、刻印したり、他の方法を用いたり、埋め込
みしたりすることのできる回折格子素子１４を保持し得
る、ゲルマニウムをドープした石英ガラスまたは類似の
ガラスであることが望ましい。
【００２０】本発明による他の一面は、この埋め込み型
傾斜回折格子素子を２本の紫外線放射ビームの干渉縞を
適用することによって形成することである。このように
紫外線放射を照射することによりコア１１内に恒久的な
屈折率の小変化を起こし、周期的間隔にならんだ回折格
子素子が形成される。
【００２１】前記回折格子素子１３は、一時吸収プロセ
スを利用して、コア材料の紫外線吸収バンドの光をファ
イバー１０に照射することによって形成される。図２で
簡単に示すように、特定の回折格子素子間隔ａを持つ回
折格子領域１３は、クラッディング１２を介しかつその
クラッディングに影響することなく側面からコア１１を
照射することによって形成することが望ましい。さらに
、２つのコヒーレントな入射ビーム１５および１６が基
準面に対し入射角θ１およびθ２の状態で光ファイバー
１０に入射する。この入射角θ１およびθ２の状態は、
前述した角度αで光ファイバー１０へ入射しかつ通過す
る干渉入射ビーム１５および１６の干渉から生じる干渉
縞が最高強度に達するようになっている。前記間隔ａお
よび角度αは、選択された紫外線放射の波長に応じて入
射角θ１およびθ２を適切に変化させることによって選
定される。
【００２２】この照射が前記回折格子領域１３における
屈折率の永久的変化をもたらし回折格子領域に到達した
光をリディレクトさせる位相回折格子効果を生み出して
いる。
【００２３】ファイバー軸は、基準面と９０°−αで交
差している。この角度は、図２に示す通りであるが、基
準面あるいは一般的に言えば前述した交差線を含む他の
面に対してこの角度が設けられれば同様の効果が期待で
きる。
【００２４】さらに、またコア１１に横から傾斜紫外線
放射を照射することによりコア１１の回折格子領域１３
での周期的な小変化の生成あるいは回折格子素子１４を
形成するために本発明で駆使する配列を図２で詳細に説
明する。
【００２５】回折格子の間隔ａが入射干渉ビーム１５お
よび１６の入射角θ１およびθ２によって決定され、か
つ紫外線放射の波長に依存する。図２で示すように、前
記ビーム１５および１６の入射角θ１およびθ２は、基
準面に対して補角をなすものであり（すなわち、その合
計が１８０度に等しい）、このビーム１５および１６が
基準面に対し直角に左右対称に伝播するので、干渉縞の
強度ピークは光ファイバー１０を介して伸び、その結果
として、回折格子素子１４が、基準面に対して直交する
方向かつ光ファイバーコアに対して前記の角度αでコア
１１内に書き込まれる。
【００２６】前記一対の補角の入射ビーム１５および１
６は、紫外線放射源１８により発せられたシングルビー
ム１７が、ビームスプリッタ（分割器）２１によって図
式的に分割され、その一方は（ビーム成分１９として）
通過し、また、他方は（反射ビーム成分２０として）反
射する。この通過および反射ビーム成分１９および２０
が、さらに、入射ビーム１５および１６を構成するため
に平行に離設された反射器２２および２３によって反射
する。また、コア１１上での入射ビーム１５および１６
の入射角θ１およびθ２は、反射器２２と２３間の距離
の加減やビーム分割器２１でビーム１７の入射角を変化
させることにより調節できるようになっている。
【００２７】回折格子素子１４が、この方法で形成され
ると、連鎖した回折格子素子１４が回折格子領域１３に
わたって等間隔ａを置いて出現するが、ファイバーコア
１１における回折格子領域１３の両側の所では欠けてい
くようになっている。
【００２８】もちろん、これは、光線が導かれるかある
いは送入されることを意味し、コア１１は、回折格子領
域１３のところで光ファイバー１０の中または外へリデ
ィレクトし、全体的には回折格子領域１３内である、光
ファイバー１０の何拠ででもないので、不必要かつ所望
しない高い光エネルギーの消耗を回避する。
【００２９】一方ファイバーコア１１を通じて、あるい
はコア１１へ送入された光のごく少量は、回折格子素子
１４の存在に起因する屈折率変化の結果として各回折格
子素子１４によりリディレクトされる。したがって、ク
ラッディング１２を経て、光ファイバー１０を離れる光
、または軸方向からコア１１へ送入される光はそれぞれ
回折格子素子１４による集積効果により相当量の光量が
リディレクトされる。その波長は中心値λ付近のごく狭
い範囲であって図１の矢印Ｒλによって示されるように
リディレクトビーム２４の形で、回折格子素子１４の間
隔のａに所定比率をかけたものである。
【００３０】さらに、光ファイバー１０から回折格子素
子１４のいずれか一つでリディレクトする非常に狭い範
囲の光線は、回折格子素子１４の他のいずれかでリディ
レクトする光線と同じ位相関係にあり、この集積された
光線２４は、図１に破線２５で示すように本質的に平坦
な波面を有しているので、逃げ出すリディレクトした光
線は、破壊的な干渉や回折に対しても失われることはな
い。また、この逃げ出すリディレクト光線２４は、傾斜
角αによって決められた方向に沿って光ファイバー１０
の外側へ放射されるが、光ファイバー１０のまわりとい
うよりはむしろ円周方向へ送られる。これは、逃げ出す
光線の捕獲を容易にし、かつ実際に捕獲された光線の割
合を増加させる。
【００３１】コヒーレントな光線がコア１１へ送入され
ると、全回折格子領域１３からコア１１の軸方向と所要
の角度αをなす方向すなわちビーム２４の光路と合致す
る単一方向に沿って、全光量が指向され、光ファイバー
１０のまわりに光量は分配されない。これらの光量は、
波長中心値λの付近の狭い範囲内の波長を有する光線に
よって運ばれる。さらに、光線の少量は、各々の回折格
子素子１４にリディレクトされるけれども、大部分の指
向光線はコア１１にリディレクトする。この効果は、各
回折格子素子１４でリディレクトされる一部の光量と連
続した回折格子素子１４の両端での所でリディレクトさ
れる光量間の建設的干渉に起因すると考えられる。
【００３２】この建設的干渉は、波長中心値λの値には
限定されないが、建設的干渉の結果のビーム２４の経路
がなす角度αは、波長λに特有の値をとる。
【００３３】光発生装置２７によりレンズ２６を介して
光ファイバーコア１１へ送入された光線の捕獲を達成さ
せ、かつ光ファイバー１０から光線を発するための方法
を図３で説明する。
【００３４】この場合、光学装置２７とレンズ２６とで
放射送出光学系２８を構成する。さらに、コア１１にお
ける回折格子素子１４の出現の結果として、コア１１の
格子領域１３によりリディレクトされ、かつ光ファイバ
ー１０から逃げる実質的平行光線２４が、受光装置２７
’のレンズ２６’により集束されて、レンズ２６’と共
に受光領域２８’を構成する。
【００３５】前記光学装置は、逃げた光線を所望の方法
で処理するよう構成されており、これで例えば、受光装
置２７’が周知の構成を有する光検出装置である場合に
は、希望する方法で最終出力を得るために逃げた光線を
ある種、例えば電気や信号に変換する。しかし、受光装
置２７’は、別の光ファイバーあるいは他の光学導波路
からなり、逃げた放射は、入力点から遠く離れた場所へ
伝播されることもある。
【００３６】また、一方図３に示す光学系２８’は、光
ファイバー１０の送入に使用される時、光ファイバー１
０へ送入される光を導く別の光ファイバーからなる光学
系２７’は、光ファイバーの回折格子領域１３、発光ダ
イオードやレーザなどへ適切な角度でディレクトするよ
うになっている。
【００３７】このような状況においては、本来、受光系
として構成され動作していた光学系２８’と連繋して前
述したと同様の方法で動作し光学系２８は、受光系とし
て構成かつ動作する。
【００３８】さらに、前述した状況下でファイバー１０
へ出入するリディレクトさせるための光ファイバー１０
を使用の間、ファイバー１０あるいは光学装置２７’（
または２７）から発せられる光ビームの特性、光学装置
２７’（または２７）のタイプ、光ファイバー１０から
の距離によりレンズ２６’（または２６）が省略された
り、ミラーあるいは適切な形状と位置を与えられたレン
ズおよびまたはミラーで構成された光学トレーンに置き
換えられる。
【００３９】この波長選択の効果、一定方向のレディレ
クトは、回折格子領域１３が光をファイバーコア１１か
ら流すため用いられているとき、コア１１を通り回折格
子領域１３を越えて伝えられる、スペクトルから選ばれ
た波長λ付近の狭いバンドの光の少なくとも相当量を移
動し、または回折格子領域１３からファイバー１０へ光
を送入するように働いているとき、その光をコア１１に
送入するのみならず、より重要な可能性として、ファイ
バー１０のどちらか一端からある距離に置かれた回折格
子領域におけるファイバー１０から逃げ出た後の波長λ
付近の狭いバンドのリディレクト光を容易に捕捉できる
こと、またはかなり遠い所からファイバーコア１０へ光
を容易に挿入できることが挙げられる。かくして本発明
の傾斜回折格子素子１４を持つ回折格子領域１３は光フ
ァイバー１０における波長選択タップとして構成される
。
【００４０】前述した光ファイバー１０は、種々の目的
や様々な用途にも使用される。そこで、例えば、コア１
１において埋め込み型傾斜回折格子領域１３を備える光
ファイバー１０が、多モードファイバーである時、回折
格子領域１３によってタップされた光の少なくともある
異なるモードでの角度が、互いに異なるファイバー１０
の長手方向軸と関係する角度で光ファイバー１０から出
現し、このような異なるモードが、さまざまな状態下で
回折格子領域１３の回折格子素子１４と出会うことによ
って現れ、従ってそれによって異なった影響を受ける。
【００４１】この現象は、多モード光ファイバー１０か
らタップされた後、種々のモードに効果的に分割するの
に使用される。同様に、光ファイバー１０のコア１１へ
光を送入するのに回折格子領域１３を使用すると、光学
装置２７’およびまたはレンズ２６’、または類似の光
送入装置２８’により回折格子領域１３に対してディレ
クトされる光の入射角を適切に選択することによって、
ファイバー１０が多モードファイバーであっても一つの
選択されたモードにおいて光ファイバーコア１１に選択
的に独占的に伝達するように放射光を生じさせることが
可能となる。
【００４２】さらに、単一あるいは多モードの光ファイ
バー１０は、前述した一つだけではなく多くの回折格子
領域１３を備え得る。例えば、このような回折格子領域
１３の各々の周期ａ（および／もしくは角α）が異なる
ので、光ファイバーコア１１から出るかまたはコア１１
回折格子に入る領域１３の各々の所でリディレクトした
光線の波長λ（および／もしくは光ファイバー１０から
出る光の伝播角）は、それぞれ異なる。また、もし、光
ファイバー１０が偏光保持タイプ（楕円形状断面を有す
るコア１１を備える）である場合、各々の直角偏光は、
もし回折格子領域１３の角αが偏光面と一致する面に構
成されるならば、分割してコア１１からまたはコア１１
へ射出できる。
【００４３】この場合、各々の放出するリディレクトさ
れた（またはディレクトされた）ビーム２４が、お互い
に関連した光ファイバー軸に対して９０°角度が変えら
れる。いずれにしても、回折格子領域１３の各々の前述
した狭い波長範囲内のまたは一つの偏光の光だけに作用
する故に、すなわち他の回折格子領域またはいかなる他
の波長（または偏光）の光も実質的に通す回折格子領域
１３と異なる故に、その回折格子領域１３は互いに長手
方向に間隔を置く必要がなく、すなわち、この回折格子
領域１３は、互いに部分的に重なり合ったり、互いに共
存することができる。
【００４４】本発明による光導波路および関連装置の構
成の実施例について図示ならびに説明したが、本発明は
、この説明に限定されず、本発明の保護範囲は、添付請
求の範囲によってのみ決められる。
【００４５】
【発明の効果】以上先に述べたように、本発明によれば
、少なくとも、一つのリディレクトする回折格子領域を
備え、かつその回折格子領域が、前述した本発明の方法
を活用することによって形成するのに都合の良い光導波
路すなわち光ファイバーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づき、ファイバーコアの内および外
に光をリディレクトするための埋め込まれた回折格子領
域を備えた光ファイバーの軸方向の拡大断面図である。
【図２】図１に表した光ファイバーのコアにおいて回折
格子領域の埋め込まれた回折格子素子を形成するための
光学的配列の側面図である。
【図３】回折格子領域を通り光ファイバーのコアに入り
または出る、所定の波長範囲にある光をリディレクトさ
せるための構成を示す図１と同様の図である。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　２つの互いに距離をおいた端部を有す
    るとともに、所定の軸に沿って延在する第１の経路内で
    少なくとも前記両端部の間で光を導くことができる固体
    材料からなる導波路部分を含んでいる光導波路と、前記
    端部から離れた位置において前記導波路部分に埋設され
    た回折格子領域であって、前記軸方向に実質的に等間隔
    をおいて延在するとともに、前記第１の経路と少なくと
    も一つの第２の経路との間で回折格子素子に達する光を
    リディレクトするようにこの軸に対して傾いた角度とな
    っている多数の回折格子素子を有し、前記第２の経路は
    前記傾き角度による前記軸の角度にある前記導波路の外
    側に延在している少なくとも一つの回折格子領域と、光
    を前記第１及び第２の経路の一方へコヒーレントな光を
    ディレクトし、前記回折格子素子によってそれぞれ他方
    の経路である第２および前記回折格子素子間隔設定に際
    し前もって決められた関係にある中央波長に対し狭い範
    囲の波長の光の前記他の経路と同相の組み合わせである
    第１の経路へとリディレクトするために前記回折格子領
    域へディレクトする第１の光学手段と、前記他方の経路
    内で伝達される光を捕らえるための第２の光学手段と、
    からなる、光をリディレクトし焦点合わせをする構成の
    光導波路。
  2. 【請求項２】　　前記導波部に少なくとも一つの付加回
    折格子領域、すなわち前記回折格子領域と相似であるが
    、前記回折格子素子間に前記第１経路と付加第２経路間
    の前記回折格子領域によって影響をうけたのと違った性
    質のディレクトされた光のための前記回折格子領域と異
    なる少なくとも一つの前記傾き角度および前記間隔を前
    記回折格子素子間に持った付加回折格子領域を有する請
    求項１記載の光導波路。
  3. 【請求項３】　　前記付加回折格子領域が前記の一つの
    回折格子領域と少なくとも一部分同空間にわたるもので
    ある請求項２記載の光導波路。
  4. 【請求項４】　　前記光導波路は偏光面保存光ファイバ
    ーであり、前記回折格子領域が、前記第１経路および前
    記第２経路の異なるものとの間の前記偏光の異なるディ
    レクト光とめいめい同一に方向づけられ、それぞれ他の
    偏光を持つ光に対し実質的に透明である請求項２記載の
    光導波路。
  5. 【請求項５】　　２つの縦に間を置いた端部を持ち前も
    って決められた軸に添って延びる第１の経路の前記端部
    間に光を導くことができる固体の延ばされた導波部分と
    、前記端部から離れた場所の前記導波部に少なくとも一
    つの回折格子領域を埋設し、前記第１経路と前記回折格
    子素子の間隔と前もって決められた関係にある中央波長
    と狭い範囲内にある波長を持つ前記回折格子領域に対し
    、前記経路に導かれる光と同相に置かれる前記傾斜角に
    基づき、前記軸に関する角度にある前記導波部の外に延
    びている少なくとも一つの第２経路の間の前記回折格子
    素子に到達する光をリディレクトするため前記軸に対し
    斜めの角度を持つ前記軸の方向に実質的に当間隔で延び
    た複数の回折格子素子を持ち、また、前記回折格子素子
    でリディレクトを行った後、前記経路と別のものに導く
    、光リディレクト部を埋設した光導波路。
  6. 【請求項６】　　前記回折格子領域の一つに類似してい
    るが、前記第１経路と付加第２経路間の回折格子領域に
    よって影響を受けたものと性質の異なる光のリディレク
    トのための、前記の一つの回折格子領域と異なる前記回
    折格子素子間に少なくとも一つの前記傾斜角と前記間隔
    を持つ、前記導波部に少なくとも一つの付加回折格子領
    域を含む請求項５記載の光導波路。
  7. 【請求項７】　　前記付加回折格子領域が少なくとも一
    部分、前記回折格子領域と同一空間にわたっている請求
    項６記載の光導波路。
  8. 【請求項８】　　偏光面保存光ファイバーとして形成さ
    れ、前記回折格子領域がそれぞれ前記第１経路と前記第
    ２経路の異なる一つとの間の偏光の一つと異なるリディ
    レクト光と同一に方向づけられ、他の偏光をそれぞれ持
    つ光に対し実質的に透明である請求項６記載の光導波路
    。
  9. 【請求項９】　　２つの互いにコヒーレントな紫外線放
    射のビームを形成し、固体部分にこの２つのビームを横
    方向から固体部分の縦軸に対して傾いた角度で延在して
    いる面に対して対称となるように選んだ入射角度で導き
    、互いにコヒーレントに干渉させて付随的に前記回折格
    子領域内に前記傾いた角度で延びる強度ピークを持つ干
    渉縞を生成して、多数の永久的に埋設された回折格子素
    子を形成する、これらは回折格子領域を通じて実質的に
    軸方向に等間隔に、かつ傾いた角度であり、固体部分を
    通して、縦に延びた第１経路と導波部の外方にのびる少
    なくとも第２経路の一つの間を通り、縦軸に関連した角
    度でこれらに到達する光をリディレクトでき、上記縦軸
    は回折格子領域に対し、経路のひとつに導かれた光と同
    位相に随行する傾いた角度に依拠し、上記の回折格子領
    域は、回折格子素子間隔に所定の関係ある中央波長のま
    わりの狭い範囲の波長を有し、かつ回折格子素子からの
    リディレクト後上記経路の他の経路へ導くものである。 上記のステップからなる、光導波路の細長い固体部分に
    選定した回折格子領域内において、光をリディレクトす
    るために埋設された回折格子を形成する方法。
JP2413740A 1989-12-26 1990-12-25 光を反射させる埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路構成と埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路及びその製法 Expired - Lifetime JP2889379B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/456,450 US5042897A (en) 1989-12-26 1989-12-26 Optical waveguide embedded light redirecting Bragg grating arrangement
US456,450 1989-12-26

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04288510A true JPH04288510A (ja) 1992-10-13
JP2889379B2 JP2889379B2 (ja) 1999-05-10

Family

ID=23812813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2413740A Expired - Lifetime JP2889379B2 (ja) 1989-12-26 1990-12-25 光を反射させる埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路構成と埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路及びその製法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5042897A (ja)
EP (1) EP0438759B1 (ja)
JP (1) JP2889379B2 (ja)
DE (1) DE69021543T2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002539616A (ja) * 1999-03-08 2002-11-19 オプティゲイン インコーポレイテッド 側面ポンプ・ファイバ・レーザ
JP2004220008A (ja) * 2002-12-26 2004-08-05 Kyocera Corp 体積型位相格子とその製造方法及びそれを用いた光モジュール及び半導体レーザモジュール
JP2005538392A (ja) * 2002-08-02 2005-12-15 フェムトニックス・コーポレーション フェムト秒光パルスを有する光導波路デバイスのミクロ構造化
CN102620679A (zh) * 2012-03-29 2012-08-01 华中科技大学 一种光纤布拉格光栅矢量弯曲传感器及其制备方法
JP2015011203A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｂｕｓｉｎｅｓｓ Ｍａｃｈｉｎｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 光デバイス
WO2018150813A1 (ja) * 2017-02-14 2018-08-23 国立大学法人大阪大学 光結合器及び光結合方法

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5367588A (en) * 1992-10-29 1994-11-22 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Communications Method of fabricating Bragg gratings using a silica glass phase grating mask and mask used by same
US5104209A (en) * 1991-02-19 1992-04-14 Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of Communications Method of creating an index grating in an optical fiber and a mode converter using the index grating
GB9120925D0 (en) * 1991-10-01 1991-11-13 British Telecomm An optical amplifier
FR2683628B1 (fr) * 1991-11-12 1995-08-18 Gaz De France Capteur a fibre optique pour la mesure d'un parametre, procede d'evaluation d'un tel parametre, et application du capteur a la mesure d'un gaz.
US5280172A (en) * 1991-11-12 1994-01-18 Gaz De France Fiber optic sensor for measuring gas
GB9204493D0 (en) * 1992-03-02 1992-04-15 British Telecomm Optical communications
US5237576A (en) * 1992-05-05 1993-08-17 At&T Bell Laboratories Article comprising an optical fiber laser
US5337382A (en) * 1992-05-29 1994-08-09 At&T Bell Laboratories Article comprising an optical waveguide with in-line refractive index grating
US5712715A (en) * 1992-12-23 1998-01-27 Lucent Technologies Inc. Optical transmission system with spatially-varying Bragg reflector
US5327515A (en) * 1993-01-14 1994-07-05 At&T Laboratories Method for forming a Bragg grating in an optical medium
GB2275347A (en) * 1993-02-19 1994-08-24 Univ Southampton Optical waveguide grating formed by transverse optical exposure
US5475780A (en) * 1993-06-17 1995-12-12 At&T Corp. Optical waveguiding component comprising a band-pass filter
US5367589A (en) * 1993-10-22 1994-11-22 At&T Bell Laboratories Optical fiber package
US5388173A (en) * 1993-12-20 1995-02-07 United Technologies Corporation Method and apparatus for forming aperiodic gratings in optical fibers
GB9423105D0 (en) * 1994-11-16 1995-01-04 Northern Telecom Ltd Optical wave grating filter
US5615008A (en) * 1994-12-21 1997-03-25 Beckman Instruments, Inc. Optical waveguide integrated spectrometer
US5511083A (en) * 1995-03-02 1996-04-23 United Technologies Corporation Polarized fiber laser source
US5640472A (en) * 1995-06-07 1997-06-17 United Technologies Corporation Fiber optic sensor for magnetic bearings
US5838700A (en) * 1995-07-28 1998-11-17 Nauchny Tsentr Volokonnoi Optiki Pri Institute Obschei Fiziki Rossiiskoi Akademii Nauk Raman fibre laser, bragg fibre-optical grating and method for changing the refraction index in germanium silicate glass
US5823603A (en) * 1995-08-14 1998-10-20 Crotty Corporation Modular sun visor assembly and method of assembling a sun visor
DE19530461A1 (de) * 1995-08-20 1997-02-27 Oliver Hamann Verfahren zur Polarisation von in optischen Wellenleitern geführtem Licht
US5703978A (en) * 1995-10-04 1997-12-30 Lucent Technologies Inc. Temperature insensitive long-period fiber grating devices
JP3497298B2 (ja) * 1995-10-23 2004-02-16 株式会社フジクラ 光ファイバフィルタ
US5647039A (en) * 1995-12-14 1997-07-08 Lucent Technologies Inc. Optical switching system and devices using a long period grating
US5629998A (en) * 1996-01-29 1997-05-13 Corning Incorporated Method and apparatus for writing photosensitive grating using Lloyd's mirror
US5863449A (en) * 1996-03-29 1999-01-26 The Whitaker Corporation Method for forming optical interferometer
US5708739A (en) * 1996-09-09 1998-01-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method and apparatus for photobleaching patterns in irradiated optical waveguides
US5832156A (en) * 1996-10-31 1998-11-03 Lucent Technologies Inc. Article comprising an optical waveguide tap
US6010174A (en) 1997-04-14 2000-01-04 Lear Automotive Dearborn, Inc. Sliding visor
JPH10307228A (ja) * 1997-05-08 1998-11-17 Nec Corp ラインモニタとこれを用いた光増幅装置
DE19745323C2 (de) * 1997-10-14 1999-09-16 Deutsche Telekom Ag Verfahren und Vorrichtung zum spektralen Pegelableich in MDW Vielkanalsystemen
US6005999A (en) * 1997-11-21 1999-12-21 3M Innovative Properties Company Waveguide narrowband rejection filter
US6122422A (en) * 1998-06-08 2000-09-19 Lucent Technologies Inc. Article comprising a dispersive waveguide tap
US6522797B1 (en) 1998-09-01 2003-02-18 Input/Output, Inc. Seismic optical acoustic recursive sensor system
CN1092338C (zh) * 1999-03-12 2002-10-09 清华大学 采用莫尔条纹振幅模板制造光纤光栅的方法
US6512618B1 (en) 1999-06-18 2003-01-28 Trw Inc. Broadcast optical communication system employing waveguide having grating normal to sources and detectors
US6398778B1 (en) 1999-06-18 2002-06-04 Photonics Research Ontario Optical fiber diffuser
CA2375267A1 (en) * 1999-06-18 2000-12-28 Xijia Gu Optical fiber diffuser
EP1221186A1 (en) * 1999-10-15 2002-07-10 Tsunami Photonics Limited Optoelectronic device incorporating a tunable laser and method of characterisation thereof
US7167615B1 (en) 1999-11-05 2007-01-23 Board Of Regents, The University Of Texas System Resonant waveguide-grating filters and sensors and methods for making and using same
DE10004384C2 (de) 2000-02-02 2003-04-03 Daimler Chrysler Ag Anordnung und Verfahren zur Erfassung von Dehnungen und Temperaturen und deren Veränderungen einer auf einem Träger, insbesondere einem aus Metall, Kunststoff oder Keramik bestehenden Träger, applizierten Deckschicht
US6411755B1 (en) 2000-04-27 2002-06-25 University Of Rochester Cladding-assisted single-mode fiber coupler
US6510256B1 (en) 2000-06-29 2003-01-21 Proximion Fiber Optics Ab Method and arrangement in connection with optical bragg-reflectors
US6501879B1 (en) 2000-07-14 2002-12-31 Proximon Fiber Optics Ab Optical coupler with a new geometry
SE519224C2 (sv) * 2000-12-29 2003-02-04 Proximion Fiber Optics Ab Optiskt arrangemang
SE520909C2 (sv) * 2001-03-08 2003-09-09 Proximion Fiber Optics Ab Metod och anordning för fotoinducering av ett lutat gitter i en optisk fiber
SE520598C2 (sv) * 2001-03-08 2003-07-29 Proximion Fiber Optics Ab Metod och anordning för fotoinducering av ett gitter i en optisk fiber
US6904201B1 (en) * 2001-05-09 2005-06-07 Intel Corporation Phase-controlled fiber Bragg gratings and manufacturing methods
US6766080B2 (en) * 2001-07-10 2004-07-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Optical waveguide type defraction grating device and a method of manufacturing thereof
CA2354321A1 (en) * 2001-07-26 2003-01-26 Viamode Photonics Inc. Apparatus for writing features in or on photosensitive medium
US6748138B2 (en) * 2001-09-14 2004-06-08 Fibera, Inc. Optical grating fabrication
US6904200B2 (en) 2001-09-14 2005-06-07 Fibera, Inc. Multidimensional optical gratings
US6718092B2 (en) 2001-09-14 2004-04-06 Fibera, Inc. Frequency detection, tuning and stabilization system
US6807339B1 (en) 2001-09-14 2004-10-19 Fibera, Inc. Wavelength division multiplexing and de-multiplexing system
US20030121289A1 (en) * 2002-01-02 2003-07-03 Benda John A. Long period fiber Bragg gratings written with alternate side IR laser illumination
US7062126B2 (en) * 2002-06-07 2006-06-13 Kersey Alan D Tunable optical filter having large diameter optical waveguide with bragg grating and being configured for reducing the bulk modulus of compressibility thereof
AU2003273848A1 (en) * 2002-06-10 2003-12-22 Cidra Corporation Alignment and imaging system for writing bragg gratings
US6885792B2 (en) * 2002-09-24 2005-04-26 Furukawa Electric North America Inc. Wavelength monitoring optical fibers using detection in the near field
US7158552B2 (en) * 2004-02-13 2007-01-02 Lucent Technologies Inc. Low relative intensity noise fiber grating type laser diode
JP4216206B2 (ja) 2004-02-24 2009-01-28 富士通株式会社 光合波方法および光合波器、並びに、それを用いた光増幅器
CA2502266A1 (en) * 2004-03-26 2005-09-26 Kyocera Corporation External resonator and semiconductor laser module using the same
CA2526604C (en) * 2004-11-12 2014-01-07 Robert B. Walker Optical device incorporating a tilted bragg grating
US7412133B2 (en) * 2005-09-28 2008-08-12 Electronics And Telecommunications Research Institute Wavelength selective optical focusing device using optical fiber and optical module using the same
KR100799576B1 (ko) * 2006-08-18 2008-01-30 한국전자통신연구원 광신호 아웃-커플링 광섬유 및 그 광섬유를 이용한 광신호검출장치
KR100913366B1 (ko) * 2007-07-18 2009-08-20 성균관대학교산학협력단 ＳＰＲ（Ｓｕｒｆａｃｅ ＰｌａｓｏｍｏｎＲｅｓｏｎａｎｃｅ）현상을 이용한 광 바이오 센서
US9726536B2 (en) 2011-12-23 2017-08-08 Technion Research And Development Foundation Limited Fiber optical superconducting nanowire single photon detector
US10809591B2 (en) 2016-04-28 2020-10-20 Analog Photonics LLC Optical phase shifter device
US11360269B2 (en) * 2019-03-04 2022-06-14 Lumentum Operations Llc High-power all fiber telescope

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61144609A (ja) * 1984-12-18 1986-07-02 Omron Tateisi Electronics Co ２つの基板間の光結合装置
JPS62500052A (ja) * 1984-08-13 1987-01-08 ユナイテツド　テクノロジ−ズ　コ−ポレ−シヨン 光ファイバ内に格子を形成する方法
JPS62124510A (ja) * 1985-11-25 1987-06-05 Canon Inc グレ−テイング光結合器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61284705A (ja) * 1985-06-12 1986-12-15 Hitachi Ltd 光合分波装置
US4776661A (en) * 1985-11-25 1988-10-11 Canon Kabushiki Kaisha Integrated optical device
WO1988000716A1 (en) * 1986-07-22 1988-01-28 British Telecommunications Public Limited Company Wavelength sensitive optical devices
GB8723050D0 (en) * 1987-10-01 1987-11-04 British Telecomm Optical filters
JP2624279B2 (ja) * 1988-01-20 1997-06-25 キヤノン株式会社 スラブ導波光出射半導体レーザー

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62500052A (ja) * 1984-08-13 1987-01-08 ユナイテツド　テクノロジ−ズ　コ−ポレ−シヨン 光ファイバ内に格子を形成する方法
JPS61144609A (ja) * 1984-12-18 1986-07-02 Omron Tateisi Electronics Co ２つの基板間の光結合装置
JPS62124510A (ja) * 1985-11-25 1987-06-05 Canon Inc グレ−テイング光結合器

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002539616A (ja) * 1999-03-08 2002-11-19 オプティゲイン インコーポレイテッド 側面ポンプ・ファイバ・レーザ
JP2005538392A (ja) * 2002-08-02 2005-12-15 フェムトニックス・コーポレーション フェムト秒光パルスを有する光導波路デバイスのミクロ構造化
JP2004220008A (ja) * 2002-12-26 2004-08-05 Kyocera Corp 体積型位相格子とその製造方法及びそれを用いた光モジュール及び半導体レーザモジュール
JP4514448B2 (ja) * 2002-12-26 2010-07-28 京セラ株式会社 体積型位相格子とその製造方法及びそれを用いた光モジュール及び半導体レーザモジュール
CN102620679A (zh) * 2012-03-29 2012-08-01 华中科技大学 一种光纤布拉格光栅矢量弯曲传感器及其制备方法
JP2015011203A (ja) * 2013-06-28 2015-01-19 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｂｕｓｉｎｅｓｓ Ｍａｃｈｉｎｅｓ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 光デバイス
WO2018150813A1 (ja) * 2017-02-14 2018-08-23 国立大学法人大阪大学 光結合器及び光結合方法
JPWO2018150813A1 (ja) * 2017-02-14 2020-01-23 国立大学法人大阪大学 光結合器及び光結合方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0438759A2 (en) 1991-07-31
DE69021543D1 (de) 1995-09-14
EP0438759A3 (en) 1991-08-07
US5042897A (en) 1991-08-27
JP2889379B2 (ja) 1999-05-10
DE69021543T2 (de) 1996-01-18
EP0438759B1 (en) 1995-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04288510A (ja) 光を反射させる埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路構成と埋め込み型ブラッグ回折格子を有する光導波路及びその製法
JPH04298703A (ja) 光の方向転換をするとともに焦点合せするブラッグ回折格子加工を内部に施した光導波路構成、該導波路、及びその製造方法
US5016967A (en) Multi-core optical waveguide Bragg grating light redirecting arrangement
US4860172A (en) Lamp-based laser simulator
US20080069497A1 (en) Optical waveguide tap monitor
US6297894B1 (en) Optical scheme for holographic imaging of complex diffractive elements in materials
JP4616119B2 (ja) マルチビーム生成器、それを用いたマルチビーム光源および空間光伝送装置
WO2020075442A1 (ja) 広帯域伸張パルス光源、分光測定装置及び分光測定方法
JP2001521633A (ja) 多光路干渉フィルタ
US20010051021A1 (en) Phase mask consisting of an array of multiple diffractive elements for simultaneous accurate fabrication of large arrays of optical couplers and method for making same
US6263134B1 (en) Compact multiplexer
US20060159394A1 (en) Method of and apparatus for manufacturing fiber grating devices
EP1065535A3 (en) Apparatus for fabricating apodized fiber grating
Vaity et al. Exciting OAM modes in annular-core fibers via perfect OAM beams
US6016375A (en) Wavelength selective fiber to fiber optical tap
Adam et al. Experimental optical CDMA system based on spectral amplitude encoding of noncoherent broadband sources
TW202204970A (zh) 用於最佳化對比度以與模糊成像系統一起使用的方法及裝置
Brenner et al. Directional multiplexing for optical board-to-board interconnections
JP2019002964A (ja) 光路切替装置および光路切替方法
Safaai-Jazi et al. A tapered graded-index lens: analysis of transmission properties and applications in fiber-optic communication systems
KR20000032760A (ko) 위상-격자 구조를 이용한 집적형 광결합기
JP3876541B2 (ja) 光分岐素子
JP2002107585A (ja) 光分岐器とその光分岐素子の製造方法
JPH1062636A (ja) ブラッグ回折格子の形成方法
JPH0829631A (ja) チャープグレーティング作製装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080219

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090219

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100219

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100219

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110219

Year of fee payment: 12