JPH04284635A - ボンディング装置 - Google Patents
ボンディング装置Info
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- JPH04284635A JPH04284635A JP3048194A JP4819491A JPH04284635A JP H04284635 A JPH04284635 A JP H04284635A JP 3048194 A JP3048194 A JP 3048194A JP 4819491 A JP4819491 A JP 4819491A JP H04284635 A JPH04284635 A JP H04284635A
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- air tension
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- H10W72/071—Connecting or disconnecting
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- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はボンディング装置に関
し、リード線をエアーテンション装置に挿入する作業に
おいて、その作業性の向上に関するものである。
し、リード線をエアーテンション装置に挿入する作業に
おいて、その作業性の向上に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板上などで電子部品の電極にリード線
を結線する場合にはボンディング装置が用いられている
。図６に従来のボンディング装置の概略構成部分を示す
。リード線２は、エアーテンション装置１と保持装置３
を貫通している。リード線先端部には、ボール４が形成
されている。エアーテンション装置１には、流量制御弁
５を介して、Ｎ２発生装置６が結合されている。流量制
御弁５は、Ｎ２発生装置６から供給されるＮ２ガスの流
量を調整するためのものである。
を結線する場合にはボンディング装置が用いられている
。図６に従来のボンディング装置の概略構成部分を示す
。リード線２は、エアーテンション装置１と保持装置３
を貫通している。リード線先端部には、ボール４が形成
されている。エアーテンション装置１には、流量制御弁
５を介して、Ｎ２発生装置６が結合されている。流量制
御弁５は、Ｎ２発生装置６から供給されるＮ２ガスの流
量を調整するためのものである。
【０００３】エアーテンション装置１の内部構造を図２
に示す。通路２０からＮ２ガスが給気されると、上流路
８および下流路９の方向にＮ２ガスが分岐する。上流路
８の下部７の直径は、下流路９より小さく形成されてい
る。したがって、上流路８の下部７の流速が、下流路９
の流速より速くなる。このため、リード線２には送り方
向Ｅと逆方向Ａの力が加えられる。リード線２の先端に
は、図５に示すようにボール４が形成されているので、
保持装置３によって保持され、張力が加えられた状態と
なる。ボンディング動作は、以上のようにエアーテンシ
ョン装置１によってリード線２に張力を加えた状態で行
われる。
に示す。通路２０からＮ２ガスが給気されると、上流路
８および下流路９の方向にＮ２ガスが分岐する。上流路
８の下部７の直径は、下流路９より小さく形成されてい
る。したがって、上流路８の下部７の流速が、下流路９
の流速より速くなる。このため、リード線２には送り方
向Ｅと逆方向Ａの力が加えられる。リード線２の先端に
は、図５に示すようにボール４が形成されているので、
保持装置３によって保持され、張力が加えられた状態と
なる。ボンディング動作は、以上のようにエアーテンシ
ョン装置１によってリード線２に張力を加えた状態で行
われる。
【０００４】ところで、リード線２が切れた場合などに
は、エアーテンション装置１からリード線２が抜けてし
まう。このような場合には、再度、エアーテンション装
置１にリード線２を挿入する作業を行っていた。
は、エアーテンション装置１からリード線２が抜けてし
まう。このような場合には、再度、エアーテンション装
置１にリード線２を挿入する作業を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置には次のような問題点があった。エアーテンション
装置１の上流路８の下部７の直径は極めて小さい（たと
えば０．１２８φ）。このため、曲りやすい極細のリー
ド線２をこの上流路８の下部７中に通すのは困難であっ
た。従って、リード線の再挿入が容易ではなく手間と時
間がかかりすぎ生産工程上問題になっていた。
装置には次のような問題点があった。エアーテンション
装置１の上流路８の下部７の直径は極めて小さい（たと
えば０．１２８φ）。このため、曲りやすい極細のリー
ド線２をこの上流路８の下部７中に通すのは困難であっ
た。従って、リード線の再挿入が容易ではなく手間と時
間がかかりすぎ生産工程上問題になっていた。
【０００６】この発明は、上記の問題点を解決して、リ
ード線の再挿入が容易なボンディング装置を提供するこ
とを目的とする。
ード線の再挿入が容易なボンディング装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係わるボンデ
ィング装置においては、切換装置によりエアーテンショ
ン装置の張力方向を切換えるようにし、リード線をエア
ーテンション装置に挿入する際には、挿入方向と同方向
にエアーテンションを加えるようにした。
ィング装置においては、切換装置によりエアーテンショ
ン装置の張力方向を切換えるようにし、リード線をエア
ーテンション装置に挿入する際には、挿入方向と同方向
にエアーテンションを加えるようにした。
【０００８】
【作用】リード線をエアーテンション装置に挿入する際
には、挿入方向と同方向にエアーテンションが加えられ
るので、リード線の挿入が容易となる。
には、挿入方向と同方向にエアーテンションが加えられ
るので、リード線の挿入が容易となる。
【０００９】
【実施例】図１に、この発明の一実施例であるボンディ
ング装置の中のエアーテンション装置の構成図を示す。 リード線２は、エアーテンション装置１と保持装置３を
貫通している。リード線２の先端部には、ボール４が形
成されている。エアーテンション装置１には、切換装置
１０を介して、流量制御弁であるスピードコントローラ
５、Ｎ２発生装置６が接続されている。さらに、真空発
生装置１１も接続されている。切換装置１０は、真空発
生装置１１をエアーテンション装置１に接続するか、Ｎ
２発生装置６をエアーテンション装置１に接続するかを
切換えるためのものである。
ング装置の中のエアーテンション装置の構成図を示す。 リード線２は、エアーテンション装置１と保持装置３を
貫通している。リード線２の先端部には、ボール４が形
成されている。エアーテンション装置１には、切換装置
１０を介して、流量制御弁であるスピードコントローラ
５、Ｎ２発生装置６が接続されている。さらに、真空発
生装置１１も接続されている。切換装置１０は、真空発
生装置１１をエアーテンション装置１に接続するか、Ｎ
２発生装置６をエアーテンション装置１に接続するかを
切換えるためのものである。
【００１０】まず、図１の装置によって、ボンディング
を行う場合の動作を説明する。ボンディング動作を行う
場合には、制御信号ＣＮによって、切換装置１０がＮ２
発生装置６側に切換えられる。したがって、図２に示す
ように、エアーテンション装置１の通路２０にＮ２ガス
が給気される。このＮ２ガスは、上流路８と下流路９に
分岐する。上流路８の下部７の直径は、下流路９より小
さく形成されている。このため上流路８の下部７の流速
が下流路９より速くなり、リード線２には送り方向Ｅと
逆方向Ａの力が加えられる。リード線２の先端には、図
１に示すようにボール４が形成されているので、保持装
置であるキャピラリー３によって保持され、張力が加え
られた状態となる。なお、リード線２に加えられる張力
は、スピードコントローラ５によって調整される。この
状態において、図５Ａに示すように、キャピラリー３の
先端のボール４を電極３２にボンディングする。次に、
図５Ｂに示すようにキャピラリー３を移動し、図５Ｃの
ように電極３４にボンディングを行う。このようにして
、電極３２と電極３４の間のワイヤボンディングが行わ
れ、両電極３２，３４がリード線２によって接続される
。ところで、リード線２が切れた場合などには、エアー
テンション装置１からリード線２が抜けてしまう。この
ような場合には、再度エアーテンション装置１にリード
線２を挿入する必要がある。リード線２をエアーテンシ
ョン装置１に挿入する際には、制御信号ＣＮによって、
切換装置１０が真空発生装置であるコンバム１１側に切
換えられる（図１参照）。したがって、図３に示すよう
に、エアーテンション装置１の通路２０から排気が行わ
れる。これに応じて、Ｃ，Ｄに示すように、上流路８、
下流路９から給気が行われる。上流路８の下部７の直径
は、下流路９より小さく形成されている。このため、上
流路８の下部７の流速が下流路９より速くなり、リード
線２には送り方向Ｅと同方向Ｃの力が加えられる。した
がって、リード線２を容易に挿入することができる。
を行う場合の動作を説明する。ボンディング動作を行う
場合には、制御信号ＣＮによって、切換装置１０がＮ２
発生装置６側に切換えられる。したがって、図２に示す
ように、エアーテンション装置１の通路２０にＮ２ガス
が給気される。このＮ２ガスは、上流路８と下流路９に
分岐する。上流路８の下部７の直径は、下流路９より小
さく形成されている。このため上流路８の下部７の流速
が下流路９より速くなり、リード線２には送り方向Ｅと
逆方向Ａの力が加えられる。リード線２の先端には、図
１に示すようにボール４が形成されているので、保持装
置であるキャピラリー３によって保持され、張力が加え
られた状態となる。なお、リード線２に加えられる張力
は、スピードコントローラ５によって調整される。この
状態において、図５Ａに示すように、キャピラリー３の
先端のボール４を電極３２にボンディングする。次に、
図５Ｂに示すようにキャピラリー３を移動し、図５Ｃの
ように電極３４にボンディングを行う。このようにして
、電極３２と電極３４の間のワイヤボンディングが行わ
れ、両電極３２，３４がリード線２によって接続される
。ところで、リード線２が切れた場合などには、エアー
テンション装置１からリード線２が抜けてしまう。この
ような場合には、再度エアーテンション装置１にリード
線２を挿入する必要がある。リード線２をエアーテンシ
ョン装置１に挿入する際には、制御信号ＣＮによって、
切換装置１０が真空発生装置であるコンバム１１側に切
換えられる（図１参照）。したがって、図３に示すよう
に、エアーテンション装置１の通路２０から排気が行わ
れる。これに応じて、Ｃ，Ｄに示すように、上流路８、
下流路９から給気が行われる。上流路８の下部７の直径
は、下流路９より小さく形成されている。このため、上
流路８の下部７の流速が下流路９より速くなり、リード
線２には送り方向Ｅと同方向Ｃの力が加えられる。した
がって、リード線２を容易に挿入することができる。
【００１１】再挿入が終了すると、リード線２の先端部
にボール４を形成した後、切換装置１０をＮ２発生装置
６側に切換える。そして、再びボンディング動作を行う
。図１の構成をより具体的に示したのが図４である。 図４においては、電磁弁１３，１４、流体管路の継手１
２によって切換装置１０が構成されている。ボンディン
グ動作時には、電磁弁１３がオフ、電磁弁１４がオンと
なるように制御回路１５から制御信号が与えられる。ま
た、リード線２挿入時には、電磁弁１３がオン、電磁弁
１４がオフとなるように制御信号が与えられる。
にボール４を形成した後、切換装置１０をＮ２発生装置
６側に切換える。そして、再びボンディング動作を行う
。図１の構成をより具体的に示したのが図４である。 図４においては、電磁弁１３，１４、流体管路の継手１
２によって切換装置１０が構成されている。ボンディン
グ動作時には、電磁弁１３がオフ、電磁弁１４がオンと
なるように制御回路１５から制御信号が与えられる。ま
た、リード線２挿入時には、電磁弁１３がオン、電磁弁
１４がオフとなるように制御信号が与えられる。
【００１２】上記実施例では、切換装置１０には電磁弁
１３，１４を使用しているが、エアー制御弁を用いても
良い。また、真空発生装置１１としてコンバムを使用し
ているが、真空ポンプを使用しても良い。
１３，１４を使用しているが、エアー制御弁を用いても
良い。また、真空発生装置１１としてコンバムを使用し
ているが、真空ポンプを使用しても良い。
【００１３】
【発明の効果】この発明に係わるボンディング装置は、
切換装置によりエアーテンション装置の張力方向を切換
えるようにし、リード線をエアーテンション装置に挿入
する際には、挿入方向と同方向にエアーテンションを加
えるようにしている。したがって、リード線の再挿入が
容易となる。
切換装置によりエアーテンション装置の張力方向を切換
えるようにし、リード線をエアーテンション装置に挿入
する際には、挿入方向と同方向にエアーテンションを加
えるようにしている。したがって、リード線の再挿入が
容易となる。
【図１】この発明の一実施例であるボンディング装置の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
【図２】エアーテンション装置の断面を示す図である。
【図３】エアーテンション装置の断面を示す図である。
【図４】図１の装置のより具体的な構成を示す図である
。
。
【図５】ボンディング動作を示す図である。
【図６】従来のエアーテンション装置の構成を示す図で
ある。
ある。
１ …エアーテンション装置
２ …リード線
３ …キャピラリー
４ …ボール
５ …スピードコントローラ
６ …Ｎ２発生装置
１０ …切換装置
１１ …コンバム
Claims (1)
- 【請求項１】ボンディング動作時に、リード線に対し送
り方向と逆方向の張力を加えるエアーテンション装置と
、送り方向と逆方向に張力の加えられたリード線をリー
ド線先端部のボールによって保持する保持装置を備えた
ボンディング装置において、切換装置によってエアーテ
ンション装置の張力方向を切換えるようにし、リード線
をエアーテンション装置に挿入する際には、挿入方向と
同方向にエアーテンションを加えるようにしたことを特
徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048194A JP2559539B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048194A JP2559539B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04284635A true JPH04284635A (ja) | 1992-10-09 |
| JP2559539B2 JP2559539B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=12796578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3048194A Expired - Fee Related JP2559539B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2559539B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146501A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-22 | 株式会社 鈴江農機製作所 | 歩行形農耕車における耕うん部の傾斜駆動装置 |
| JPH01302736A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-12-06 | Emhart Deutsche Gmbh Dynabeltderfotec Division | ボンデイングワイヤをボンディグヘッドのウエッジ・毛管チューブに供給するための制御装置及びその制御方法 |
| JPH02303040A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | Nec Corp | エアテンション装置 |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP3048194A patent/JP2559539B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146501A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-22 | 株式会社 鈴江農機製作所 | 歩行形農耕車における耕うん部の傾斜駆動装置 |
| JPH01302736A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-12-06 | Emhart Deutsche Gmbh Dynabeltderfotec Division | ボンデイングワイヤをボンディグヘッドのウエッジ・毛管チューブに供給するための制御装置及びその制御方法 |
| JPH02303040A (ja) * | 1989-05-17 | 1990-12-17 | Nec Corp | エアテンション装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2559539B2 (ja) | 1996-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |