JPH04283657A - ガスクロマトグラフ／質量分析装置 - Google Patents
ガスクロマトグラフ／質量分析装置Info
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- JPH04283657A JPH04283657A JP3048072A JP4807291A JPH04283657A JP H04283657 A JPH04283657 A JP H04283657A JP 3048072 A JP3048072 A JP 3048072A JP 4807291 A JP4807291 A JP 4807291A JP H04283657 A JPH04283657 A JP H04283657A
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- Japan
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- vacuum housing
- mass
- gas chromatograph
- gas
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- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 21
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフ／
質量分析装置に係り、特には、質量分析計の真空ハウジ
ングのベーキングと電源部の発熱素子の放熱の技術に関
する。
質量分析装置に係り、特には、質量分析計の真空ハウジ
ングのベーキングと電源部の発熱素子の放熱の技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスクロマトグラフ／質量分析装
置は、図２に示す構成のものがある。同図において、符
号１は試料ガスを成分分離するガスクロマトグラフ、２
はガスクロマトグラフ１で分離された各成分ガスのイオ
ンを質量分離する質量分析計、４はガスクロマトグラフ
１と質量分析計とを結ぶインターフェイス、６はＰＦＴ
ＢＡ等の標準試料を導入するための標準試料導入部であ
る。
置は、図２に示す構成のものがある。同図において、符
号１は試料ガスを成分分離するガスクロマトグラフ、２
はガスクロマトグラフ１で分離された各成分ガスのイオ
ンを質量分離する質量分析計、４はガスクロマトグラフ
１と質量分析計とを結ぶインターフェイス、６はＰＦＴ
ＢＡ等の標準試料を導入するための標準試料導入部であ
る。
【０００３】上記の質量分析計２は、真空ハウジング８
を有し、この真空ハウジング８内に、成分ガスをイオン
化するイオン源１０、このイオン源１０からの各成分の
イオンを質量分離する質量分離部１２、およびこの質量
分離部１２で質量分離されたイオンを検出する二次電子
増倍管等の検出器がともに配置される一方、真空ハウジ
ング８の外部には、上記のイオン源１０、質量分離部１
２、検出器１４にそれぞれ電力を供給する電源部１６，
１８，２０が設けられており、さらに、真空ハウジング
８の外壁には、この真空ハウジング８をベーキングする
ためのヒータ２２が密着して取り付けられ、このヒータ
２２に専用の電源２４が接続されている。
を有し、この真空ハウジング８内に、成分ガスをイオン
化するイオン源１０、このイオン源１０からの各成分の
イオンを質量分離する質量分離部１２、およびこの質量
分離部１２で質量分離されたイオンを検出する二次電子
増倍管等の検出器がともに配置される一方、真空ハウジ
ング８の外部には、上記のイオン源１０、質量分離部１
２、検出器１４にそれぞれ電力を供給する電源部１６，
１８，２０が設けられており、さらに、真空ハウジング
８の外壁には、この真空ハウジング８をベーキングする
ためのヒータ２２が密着して取り付けられ、このヒータ
２２に専用の電源２４が接続されている。
【０００４】真空ハウジング８に対してヒータ２２を設
けてベーキングをしているのは、次の理由による。
けてベーキングをしているのは、次の理由による。
【０００５】真空ハウジング８の内壁には、分析前に測
定系の調整をするために導入される標準試料や、ガスク
ロマトグラフから流入される溶媒、あるいは、試料ガス
の残りが吸着し易く、これらが存在すると、分析の際の
バックグラウンドとなって、検出感度を劣化させる。そ
のため、真空ハウジング８をヒータ２２で常時ベーキン
グしてガス成分の吸着を防止する。この場合のベーキン
グ温度は、真空シールのＯリングの耐熱性を考慮して１
００℃以下に設定されている。
定系の調整をするために導入される標準試料や、ガスク
ロマトグラフから流入される溶媒、あるいは、試料ガス
の残りが吸着し易く、これらが存在すると、分析の際の
バックグラウンドとなって、検出感度を劣化させる。そ
のため、真空ハウジング８をヒータ２２で常時ベーキン
グしてガス成分の吸着を防止する。この場合のベーキン
グ温度は、真空シールのＯリングの耐熱性を考慮して１
００℃以下に設定されている。
【０００６】一方、各電源部１６，１８，２０は、パワ
ートランジスタ等の回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａを
有しており、これらの回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａ
からは熱が発生するので、各回路素子１６ａ，１８ａ，
２０ａに近接してラジエタ１６ｂ，１８ｂ，２０ｂを設
けて熱を放散させている。
ートランジスタ等の回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａを
有しており、これらの回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａ
からは熱が発生するので、各回路素子１６ａ，１８ａ，
２０ａに近接してラジエタ１６ｂ，１８ｂ，２０ｂを設
けて熱を放散させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来装置
では、真空ハウジング８のベーキングのためのヒータ２
２およびその電源２４と、質量分析計２の電源部１６，
１８，２０の回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａの放熱の
ためのラジエタ１６ｂ，１８ｂ，２０ｂとがそれぞれ別
個独立して設けられており、そのため、装置全体の部品
点数が多くなってコストアップとなるばかりか、消費電
力が多く、さらに、装置の小型化が図れない等の不具合
があった。
では、真空ハウジング８のベーキングのためのヒータ２
２およびその電源２４と、質量分析計２の電源部１６，
１８，２０の回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａの放熱の
ためのラジエタ１６ｂ，１８ｂ，２０ｂとがそれぞれ別
個独立して設けられており、そのため、装置全体の部品
点数が多くなってコストアップとなるばかりか、消費電
力が多く、さらに、装置の小型化が図れない等の不具合
があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するためになされたものであって、従来のように専
用のヒータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジ
ングのベーキングを行えるようにして、装置の部品点数
を減らし、無駄な消費電力を削減し、装置の小型化が図
れるようにするものである。
解決するためになされたものであって、従来のように専
用のヒータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジ
ングのベーキングを行えるようにして、装置の部品点数
を減らし、無駄な消費電力を削減し、装置の小型化が図
れるようにするものである。
【０００９】そのため、本発明では、試料ガスを成分分
離するガスクロマトグラフと、このガスクロマトグラフ
で分離された各成分ガスのイオンを質量分離する質量分
析計とを備え、この質量分析計は、真空ハウジングを有
し、この真空ハウジング内に、成分ガスをイオン化する
イオン源、イオン源からの各成分ガスのイオンを質量分
離する質量分離部、および質量分離部で質量分離された
イオンを検出する検出器がともに配置される一方、前記
真空ハウジングの外部には、前記イオン源、質量分離部
、検出器にそれぞれ電力を供給する電源部が設けられて
いるガスクロマトグラフ／質量分析装置において、次の
構成を採る。
離するガスクロマトグラフと、このガスクロマトグラフ
で分離された各成分ガスのイオンを質量分離する質量分
析計とを備え、この質量分析計は、真空ハウジングを有
し、この真空ハウジング内に、成分ガスをイオン化する
イオン源、イオン源からの各成分ガスのイオンを質量分
離する質量分離部、および質量分離部で質量分離された
イオンを検出する検出器がともに配置される一方、前記
真空ハウジングの外部には、前記イオン源、質量分離部
、検出器にそれぞれ電力を供給する電源部が設けられて
いるガスクロマトグラフ／質量分析装置において、次の
構成を採る。
【００１０】すなわち、本発明では、真空ハウジングを
アルミ合金、銅合金などの熱伝導性に優れた材料で形成
する一方、この真空ハウジングの外壁に、電源部を構成
しかつ発熱源となる回路素子を密着して取り付けている
。
アルミ合金、銅合金などの熱伝導性に優れた材料で形成
する一方、この真空ハウジングの外壁に、電源部を構成
しかつ発熱源となる回路素子を密着して取り付けている
。
【００１１】
【作用】上記構成において、真空ハウジングに対しては
、電源部を構成する回路素子がベーキングのための発熱
源として作用する。
、電源部を構成する回路素子がベーキングのための発熱
源として作用する。
【００１２】一方、上記の回路素子にとっては、真空ハ
ウジングが放熱のためのラジエタとして作用する。
ウジングが放熱のためのラジエタとして作用する。
【００１３】したがって、従来のヒータやその電源が不
要となる。
要となる。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明の実施例に係るガスクロマト
グラフ／質量分析装置の全体構成を示すブロック図であ
り、図２に示した従来例に対応する部分には同一の符号
を付す。
グラフ／質量分析装置の全体構成を示すブロック図であ
り、図２に示した従来例に対応する部分には同一の符号
を付す。
【００１５】図１において、１はガスクロマトグラフ、
２は質量分析計、４はインターフェイス、６は標準試料
導入部、８は真空ハウジング、１０はイオン源、１２は
質量分離部、１４は検出器、１６，１８，２０は各電源
であり、これらの基本的な構成は従来例の場合と同じで
ある。
２は質量分析計、４はインターフェイス、６は標準試料
導入部、８は真空ハウジング、１０はイオン源、１２は
質量分離部、１４は検出器、１６，１８，２０は各電源
であり、これらの基本的な構成は従来例の場合と同じで
ある。
【００１６】この実施例の特徴は、真空ハウジング８が
アルミ合金、銅合金などの熱伝導性に優れた材料で形成
されており、この真空ハウジング８の外壁に、電源部１
６，１８，２０を構成しかつ発熱源となるパワートラン
ジスタなどの回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａが密着し
て取り付けられており、この各回路素子１６ａ，１８ａ
，２０ａと電源部１６，１８，２０の残りの回路素子（
図示省略）とがケーブル２２で互いに接続されているこ
とである。
アルミ合金、銅合金などの熱伝導性に優れた材料で形成
されており、この真空ハウジング８の外壁に、電源部１
６，１８，２０を構成しかつ発熱源となるパワートラン
ジスタなどの回路素子１６ａ，１８ａ，２０ａが密着し
て取り付けられており、この各回路素子１６ａ，１８ａ
，２０ａと電源部１６，１８，２０の残りの回路素子（
図示省略）とがケーブル２２で互いに接続されているこ
とである。
【００１７】上記構成において、真空ハウジング８に対
しては、電源部１６，１８，２０を構成する各回路素子
１６ａ，１８ａ，２０ａがベーキングのための発熱源と
して作用する。
しては、電源部１６，１８，２０を構成する各回路素子
１６ａ，１８ａ，２０ａがベーキングのための発熱源と
して作用する。
【００１８】一方、上記の回路素子１６ａ，１８ａ，２
０ａにとっては、真空ハウジング８が放熱のためのラジ
エタとして作用する。
０ａにとっては、真空ハウジング８が放熱のためのラジ
エタとして作用する。
【００１９】したがって、従来のヒータやその電源は不
要となる。
要となる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、従来のように専用のヒ
ータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジングの
ベーキングを行うことができるので、装置の部品点数が
減り、また、無駄な電力消費が削減されるとともに、装
置からの発熱量も減らすことができる。しかも、装置の
小型化が図れる等の実用上の優れた効果を奏する。
ータやその電源を特に設けなくても、真空ハウジングの
ベーキングを行うことができるので、装置の部品点数が
減り、また、無駄な電力消費が削減されるとともに、装
置からの発熱量も減らすことができる。しかも、装置の
小型化が図れる等の実用上の優れた効果を奏する。
【図１】本発明の実施例に係るガスクロマトグラフ／質
量分析装置の全体構成を示すブロック図である。
量分析装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】従来のガスクロマトグラフ／質量分析装置の全
体構成を示すブロック図である。
体構成を示すブロック図である。
１…ガスクロマトグラフ、２…質量分析計、８…真空ハ
ウジング、１０…イオン源、１２…質量分離部、１４…
検出器、１６，１８，２０…電源部、１６ａ，１８ａ，
２０ａ…回路素子。
ウジング、１０…イオン源、１２…質量分離部、１４…
検出器、１６，１８，２０…電源部、１６ａ，１８ａ，
２０ａ…回路素子。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ガスを成分分離するガスクロマト
グラフ（１）と、このガスクロマトグラフ（１）で分離
された各成分ガスのイオンを質量分離する質量分析計（
２）とを備え、この質量分析計（２）は、真空ハウジン
グ（８）を有し、この真空ハウジング（８）内に、成分
ガスをイオン化するイオン源（１０）、このイオン源（
１０）からの各成分ガスのイオンを質量分離する質量分
離部（１２）、および質量分離部（１２）で質量分離さ
れたイオンを検出する検出器（１４）がともに配置され
る一方、前記真空ハウジング（８）の外部には、前記イ
オン源（１０）、質量分離部（１２）、および検出器（
１４）にそれぞれ電力を供給する電源部（１６），（１
８），（２０）が設けられているガスクロマトグラフ／
質量分析装置において、前記真空ハウジング（８）は、
アルミ合金、銅合金などの熱伝導性に優れた材料で形成
する一方、この真空ハウジング（８）の外壁に、前記電
源部（１６），（１８），（２０）を構成しかつ発熱源
となる回路素子（１６ａ），（１８ａ），（２０ａ）を
密着して取り付けたことを特徴とするガスクロマトグラ
フ／質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048072A JP3055190B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ガスクロマトグラフ／質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3048072A JP3055190B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ガスクロマトグラフ／質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283657A true JPH04283657A (ja) | 1992-10-08 |
| JP3055190B2 JP3055190B2 (ja) | 2000-06-26 |
Family
ID=12793146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3048072A Expired - Fee Related JP3055190B2 (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | ガスクロマトグラフ／質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3055190B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999067763A1 (fr) * | 1998-06-23 | 1999-12-29 | Yukio Ito | Systeme de transmission d'odeurs dans un environnement multimedia |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP3048072A patent/JP3055190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999067763A1 (fr) * | 1998-06-23 | 1999-12-29 | Yukio Ito | Systeme de transmission d'odeurs dans un environnement multimedia |
| US6628204B1 (en) | 1998-06-23 | 2003-09-30 | Ito Engineering Inc. | Odor communication system in multimedia |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3055190B2 (ja) | 2000-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080414 Year of fee payment: 8 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |