JPH042796B2 - - Google Patents
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- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 51
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 20
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N iminotitanium Chemical compound [Ti]=N KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001000 nickel titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910017535 Cu-Al-Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003446 memory effect Effects 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は形状記憶合金を利用したアクチユエー
ターの改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to improvements in actuators using shape memory alloys.
(従来の技術とその問題点)
Ni−Ti合金の形状記憶効果を利用したアクチ
ユエーターは種々のものが公知である。これらの
多くのものは形状記憶合金自体に二方向特性を持
たせると高、低温側それぞれの形状を正確に設定
できないことから、一方向特性を有する形状記憶
合金を利用している。一方向性形状記憶合金を使
つて二方向の特性を得る方法としては、バイアス
法と差動式二方向素子がある。これらの方法とし
ては低温で軟かく高温で硬い性質を利用したもの
で例えばバイアス法としては第4図に示すものが
ある。(Prior art and its problems) Various actuators are known that utilize the shape memory effect of Ni-Ti alloys. In many of these, shape memory alloys having unidirectional properties are used because if the shape memory alloy itself has two-way properties, it is not possible to accurately set the shapes on the high and low temperature sides. Methods for obtaining bidirectional characteristics using a unidirectional shape memory alloy include a bias method and a differential bidirectional element. These methods utilize the properties of being soft at low temperatures and hard at high temperatures, such as the bias method shown in FIG. 4.
すなわち形状記憶合金コイル5とコイルばね6
をストツパー7を介して中心軸8に並列して配置
したもので低温のときはコイルばねのバイアス力
により形状記憶コイルは収縮した形状となつてい
るが、形状記憶コイルを加熱して高温になるとコ
イルばねのバイアス力に打勝つて形状記憶コイル
が伸びストツパーを図面上右方に押し、中心軸が
右方に移動する。加熱を止めて低温になるとコイ
ルばねのバイアス力が強くなり、形状記憶コイル
を押戻し、ストツパー、中心軸を左方に移動させ
る。このような動作を繰り返して中心軸に二方向
の駆動力を付与するものである。また差動式は第
4図のコイルばね6に代えて、これも形状記憶コ
イルとし、左右2個の形状記憶コイルを交互に加
熱して上記と同様に二方向の駆動力を得るもので
ある。 That is, the shape memory alloy coil 5 and the coil spring 6
are arranged in parallel to the central axis 8 via the stopper 7.When the temperature is low, the shape memory coil is in a contracted shape due to the bias force of the coil spring, but when the shape memory coil is heated and becomes high temperature, The shape memory coil expands by overcoming the bias force of the coil spring, pushing the stopper to the right in the drawing, and the central axis moves to the right. When the heating is stopped and the temperature becomes low, the bias force of the coil spring becomes stronger, pushing back the shape memory coil and moving the stopper and central axis to the left. By repeating such operations, driving forces in two directions are applied to the central shaft. In addition, in the differential type, a shape memory coil is used instead of the coil spring 6 shown in Fig. 4, and the two left and right shape memory coils are alternately heated to obtain driving force in two directions in the same way as above. .
しかしこのようなバイアス式、差動式において
はいずれも加熱時に記憶された形状へ復帰する性
質を利用しているため低温になると元の位置に戻
つてしまう。移動させた位置に維持する場合は形
状記憶を維持するに必要な期間は常にその温度を
保持する必要がある。すなわち上記の第4図のバ
イアス式においてストツパーを右方に移動し、そ
のまま一定時間を維持したい場合は形状記憶コイ
ルに一定時間継続して一定の温度に保持する必要
があつた。通常形状記憶コイルの加熱方法として
はコイルに直接通電し加熱する方法、熱風による
加熱などが考えられているが、電流制御装置、タ
イマーなどの調整装置、熱風加熱装置などが必要
とされ、したがつてコスト高となり、また設置場
所などの制約もあつてこの種の駆動装置の利用面
に大きな障害となつていた。 However, both the bias type and the differential type use the property of returning to the memorized shape when heated, so they return to the original position when the temperature becomes low. When maintaining the moved position, it is necessary to maintain that temperature for the period necessary to maintain shape memory. That is, in the bias type shown in FIG. 4, if the stopper is moved to the right and the temperature is to be maintained for a certain period of time, it is necessary to maintain the shape memory coil at a certain temperature for a certain period of time. Normally, methods for heating shape memory coils include heating the coil by directly applying electricity to the coil, heating with hot air, etc. However, current control devices, adjustment devices such as timers, and hot air heating devices are required. However, the cost is high, and there are also restrictions on the installation location, which pose major obstacles to the use of this type of drive device.
本発明者は、上記の問題を検討し、この改良を
行い、「アクチユエーター」とし昭和62年1月31
日に特許出願した。この発明は第2図に示すよう
に形状記憶合金の短冊状の板を第2図aのように
弓状に形状記憶させ、これを同図bの1のように
記憶形と対称形に反転させたものを1枚と弓状に
形状記憶させたもの2と並列してストツパー3を
介してシヤフト4に挿通したもので、形状記憶合
金板の上下端は固定され、夫々の形状記憶合金板
は交互に加熱できるようになつている。そしてこ
の状態で低温において安定であるとき形状記憶合
金板1を所定の温度に加熱すると第2図cに示す
ように形状記憶合金板1は記憶された元の形状に
戻る。この際形状記憶合金板2もbの記憶形状か
らcのように飛び移り座屈して反転し、シヤフト
4は右方に駆動して加熱を止め冷却されても、こ
の状態において安定静止する。次にこの状態のと
き形状記憶合金板2を加熱すると第1図bのよう
に形状記憶合金板2は記憶された元の形状に戻
り、形状記憶合金板1も飛び移り座屈して反転
し、シヤフト4は左方に駆動し、この状態で安定
静止する。上記の作動を繰り返し行うことにより
シヤフトに二方向の断続、または連続した駆動を
付与することが可能となる。 The inventor studied the above problems, made this improvement, and created it as an "actuator" on January 31, 1986.
A patent application was filed on the same day. As shown in Fig. 2, this invention allows a rectangular plate of shape memory alloy to memorize the shape of a rectangular shape as shown in Fig. 2 a, and then inverts this into a shape symmetrical to the memorized shape as shown in Fig. 2 b. The shape memory alloy plates are inserted into the shaft 4 through the stopper 3 in parallel with the shape memory alloy plate 2, and the upper and lower ends of the shape memory alloy plates are fixed. can be heated alternately. When the shape memory alloy plate 1 is heated to a predetermined temperature when it is stable at low temperatures in this state, the shape memory alloy plate 1 returns to its original memorized shape as shown in FIG. 2c. At this time, the shape memory alloy plate 2 also jumps from the memory shape of b to buckle and reverse as shown in c, and even if the shaft 4 is driven to the right and stops heating and is cooled, it remains stable in this state. Next, when the shape memory alloy plate 2 is heated in this state, the shape memory alloy plate 2 returns to the memorized original shape as shown in FIG. 1b, and the shape memory alloy plate 1 also jumps and buckles and reverses. The shaft 4 is driven to the left and remains stable in this state. By repeating the above operations, it becomes possible to provide intermittent or continuous drive in two directions to the shaft.
すなわち形状記憶合金板の少くとも1個を記憶
形状から反転させて組合せてあるため、これが作
動時に飛び移り反転し座屈状態となるため冷却時
にも安定静止状態が維持できるものである。 That is, since at least one of the shape memory alloy plates is inverted from its memorized shape and combined, it jumps and inverts during operation and becomes a buckled state, so that a stable stationary state can be maintained even during cooling.
(発明が解決しようとする問題点)
上記の発明においては所期の目的は達成した
が、新たに別の問題が生じることが判つた。すな
わち微視的に見ると低温においては第3図の点線
で示すように応力分布に応じて長さbだけ円弧が
つぶれたようになり、その分だけ変位が減少する
ことになる。このため、アクチユエーター自体に
若干の遊びが生じ、この結果バツクラツシユが起
る。(Problems to be Solved by the Invention) Although the above invention achieved the intended purpose, it was found that another problem arose. That is, when viewed microscopically, at low temperatures, the arc appears to be collapsed by a length b according to the stress distribution, as shown by the dotted line in FIG. 3, and the displacement decreases by that amount. This causes some play in the actuator itself, resulting in backlash.
これを防止するための低温時の応力分布に応じ
た形状に記憶させることは板厚変動、熱処理誤差
などにより非常に困難なことである。上記のバツ
クラツシユを防止するには点線に示す位置より更
に手前でシヤフトにストツパーをかけねばならな
いが、これは合金板に大きな歪を与えることにな
り、合金板に疲労が生じ動作回数の減少、すなわ
ち繰り返し寿命の低下の原因となることが判つ
た。本発明は上記の問題について検討した結果バ
ツクラツシユを防止し長寿命のアクチユエーター
を開発したものである。 To prevent this, it is extremely difficult to memorize a shape that corresponds to the stress distribution at low temperatures due to changes in plate thickness, heat treatment errors, etc. In order to prevent the above crash, it is necessary to apply a stopper to the shaft further before the position indicated by the dotted line, but this causes large strain on the alloy plate, causing fatigue to the alloy plate and reducing the number of operations. It was found that repeated use caused a decrease in service life. The present invention has been developed as a result of studying the above-mentioned problems, and has developed an actuator that prevents backlash and has a long life.
(問題点を解決するための手段および作用)
本発明は複数の形状記憶合金板を頂板に平坦部
を有する弓状もしくは円錐形状に記憶させ、この
内の単数または複数の形状記憶合金板を記憶形状
と対称形に反転させてシヤフトに並列して組合
せ、加熱により反転させた形状記憶合金板を記憶
形状に復帰させると共にもう一方の形状記憶合金
板を反転させてシヤフトを二方向に駆動させるこ
とを特徴とするアクチユエーターである。(Means and effects for solving the problem) The present invention stores a plurality of shape memory alloy plates in an arcuate or conical shape having a flat portion on the top plate, and stores one or more shape memory alloy plates among them. The shape memory alloy plate is reversed symmetrically with the shape and combined in parallel with the shaft, and the reversed shape memory alloy plate is returned to the memorized shape by heating, and the other shape memory alloy plate is reversed to drive the shaft in two directions. It is an actuator characterized by:
すなわち本発明は第1図に示すようにNi−Ti
などからなる形状記憶合金の短冊状の板を同図a
に示すように頂部に平坦部を有する弓状に記憶さ
せる。この内の1枚を同図bの1のように常温に
おいて記憶形状と対称形に反転させたものと、記
憶したままの形状記憶合金板2を並列してストツ
パー3を介してシヤフト4に挿通したものであ
る。形状記憶合金板1,2の上下端は固定され、
また夫々が別個に加熱できるようになつており、
電気的、熱的に絶縁してアクチユエーターとした
ものである。この作動について説明すると第1図
bの状態において形状記憶合金板1および2が低
温で安定であるとき形状記憶合金板1を所定の温
度に加熱すると第1図cに示すように形状記憶合
金板1は記憶された元の形状に戻る。この際形状
記憶合金板2はbの記憶形状からcのように飛び
移り座屈して反転し、シヤフト4は右方に駆動し
て加熱を止めて冷却されても、この状態において
安定静止する。次にこの状態のとき形状記憶合金
板2を通電加熱すると第1図bのように形状記憶
合金板2は記憶された元の形状に戻り、形状記憶
合金板1は飛び移り座屈して反転し、シヤフト4
は左方に駆動し、この状態で安定静止する。上記
の作動を繰り返し行うことによりシヤフトに二方
向の断続、または連続した駆動を付与することが
可能となる。 That is, as shown in FIG.
A rectangular plate of shape memory alloy made of
It is memorized in an arcuate shape with a flat part at the top as shown in . One of these sheets is inverted to be symmetrical to the memorized shape at room temperature as shown in 1 in Figure b, and the shape memory alloy sheet 2 with the same memorized shape is placed in parallel and inserted into the shaft 4 via the stopper 3. This is what I did. The upper and lower ends of the shape memory alloy plates 1 and 2 are fixed,
In addition, each can be heated separately,
The actuator is electrically and thermally insulated. To explain this operation, when the shape memory alloy plates 1 and 2 are stable at low temperatures in the state shown in Fig. 1b, when the shape memory alloy plate 1 is heated to a predetermined temperature, the shape memory alloy plates 1 and 2 change as shown in Fig. 1c. 1 returns to the memorized original shape. At this time, the shape memory alloy plate 2 jumps from the memorized shape of b to the shape of c, buckles and reverses, and even if the shaft 4 is driven to the right, stops heating, and is cooled, it remains stable in this state. Next, in this state, when the shape memory alloy plate 2 is heated with electricity, the shape memory alloy plate 2 returns to its original memorized shape as shown in Fig. 1b, and the shape memory alloy plate 1 jumps, buckles, and reverses itself. , shaft 4
is driven to the left and remains stable in this state. By repeating the above operations, it becomes possible to provide intermittent or continuous drive in two directions to the shaft.
しかして本発明は形状記憶合金板の少くとも1
個を記憶形状から反転させて組合せてあり、これ
が作動時に飛び移り反転し座屈状態となるため冷
却時に安定静止状態が維持できるものである。 However, the present invention provides at least one shape memory alloy plate.
The pieces are inverted from the memorized shape and combined, and this jumps and inverts during operation, resulting in a buckled state, so that a stable stationary state can be maintained during cooling.
また本発明においては形状記憶合金板を頂部に
平坦部を有する弓状もしくは円錐形に記憶させて
あるので第1図aに示す如く高温時には実線の形
状を保持しているが、低温時では分布応力により
略点線に示す形状となる。即ち長さaだけアクチ
ユエーターの変位が増大することになる。 In addition, in the present invention, since the shape memory alloy plate is memorized in an arcuate or conical shape with a flat portion at the top, it maintains the shape of a solid line at high temperatures as shown in Fig. Due to the stress, it takes on the shape approximately shown by the dotted line. That is, the displacement of the actuator increases by the length a.
しかるに、本アクチユエーターにおいてシヤフ
トの移動点が記憶形状の位置までしか移動出来な
い構造として置くと、このシヤフトには歪aによ
り発生する応力が背圧となつてシヤフトに働いて
来る。 However, if this actuator is constructed so that the moving point of the shaft can only move up to the position of the memorized shape, the stress generated by the strain a acts on the shaft as back pressure.
このためバツクラツシユのないアクチユエータ
ーを製作することが可能となる。また反転する際
反転のキツカケの作用をなすものである。 Therefore, it is possible to manufacture an actuator without crushing. It also acts as a key to the reversal when it is reversed.
本発明において使用する形状記憶合金板の数は
2枚以上の複数枚が使用でき、この内の半数枚を
記憶形状から反転させて組合せたものとした方が
作動時の力のバランス上好ましい。短冊状でなく
円板を円錐形状にしたものを使用してもよい。 The number of shape memory alloy plates used in the present invention can be two or more, and it is preferable in terms of force balance during operation that half of these plates are inverted from the memory shape and combined. Instead of a rectangular shape, a disc shaped like a cone may be used.
形状記憶合金としてはNi−Ti合金の他これに
Fe、Coなど第3元素を添加したNi−Ti系合金、
およびCu−Al−Ni、Cu−Au−ZuなどのCu系合
金の他通常使用される形状記憶合金が適用でき
る。さらに形状記憶合金の加熱方法としては通電
加熱の他、熱風、ガス炎などの通常の加熱方法が
利用できる。 In addition to Ni-Ti alloys, shape memory alloys include
Ni-Ti alloys with added tertiary elements such as Fe and Co,
In addition to Cu-based alloys such as Cu-Al-Ni and Cu-Au-Zu, commonly used shape memory alloys can be used. Further, as a heating method for the shape memory alloy, in addition to current heating, ordinary heating methods such as hot air and gas flame can be used.
(実施例) 以下に本発明の一実施例について説明する。(Example) An embodiment of the present invention will be described below.
Ni−Ti合金からなる短冊状の板を第1図aに
示すようにその頂部に平坦部Lを有する弓状の形
状とした状態で形状記憶熱処理を施した。 A rectangular plate made of a Ni-Ti alloy was shaped into an arcuate shape having a flat portion L at the top as shown in FIG. 1a, and then subjected to shape memory heat treatment.
次にこの板を常温において反転させて同図bの
1に示すように、記憶形状のままの合金板2と共
にストツパー3と共にシヤフト4を貫通させてア
クチユエーターとした。なお形状記憶合金板1,
2は通電またはガス炎加熱などにより別個に加熱
できるようになつている。上記のアクチユエータ
ーは常温において第1図bの状態を保ち安定静止
しているが、形状記憶合金板1を加熱すると、こ
の合金板は記憶した形状に復帰する。この際形状
記憶合金板2もbの記憶形状からcのように飛び
移り反転して座屈し、シヤフト4は右方に駆動し
て加熱を止めて冷却されてもこの状態において安
定静止する。次にこの状態のとき形状記憶合金板
2を加熱すると同図bのように形状記憶合金板2
は記憶された元の形状に戻り、形状記憶合金板1
も飛び移り反転座屈してシヤフト4は左方に駆動
し、この状態で安定静止する。上記の作動を繰り
返し行うことによりシヤフトを断続または連続さ
せて駆動することが可能である。 Next, this plate was turned over at room temperature, and as shown in FIG. 1B, the shaft 4 was passed through the alloy plate 2 and the stopper 3 together with the alloy plate 2 in the memorized shape to form an actuator. Note that shape memory alloy plate 1,
2 can be heated separately by electricity or gas flame heating. The above-mentioned actuator remains stable and stationary in the state shown in FIG. 1b at room temperature, but when the shape memory alloy plate 1 is heated, this alloy plate returns to its memorized shape. At this time, the shape memory alloy plate 2 also jumps from the memorized shape of b as shown in c, reverses, and buckles, and the shaft 4 is driven rightward, stops heating, and remains stable in this state even after cooling. Next, when the shape memory alloy plate 2 is heated in this state, the shape memory alloy plate 2 is heated as shown in FIG.
returns to its original memorized shape, and the shape memory alloy plate 1
The shaft 4 also jumps, reverses and buckles, and the shaft 4 is driven to the left and comes to a stable standstill in this state. By repeating the above operations, it is possible to drive the shaft intermittently or continuously.
上記においては形状記憶合金板1を記憶させた
形状から反転させて組合せた例について説明した
が、反転させる合金板は1,2のいずれでもよ
く、最初の加熱は反転させた合金に付与すれば、
その合金が元の形状に戻るため、その力により別
の合金が反転した座屈状態となり、以後交互に加
熱することにより二方向の駆動が得られるもので
ある。 In the above, an example was explained in which the shape memory alloy plate 1 is inverted from the memorized shape and combined, but the alloy plate to be inverted may be either 1 or 2, and the initial heating may be applied to the inverted alloy. ,
As that alloy returns to its original shape, the force causes another alloy to go into an inverted buckled state, and then by alternately heating it, drive in two directions can be obtained.
(効 果)
以上に説明したように本発明によれば複数の形
状記憶合金板を交互に加熱することにより形状を
反転させてシヤフトを移動し二方向の往復運動を
付与することができると共に加熱を止めて低温に
なつてもその位置を維持することができる。また
必要な二位置に選択して維持することができ、か
つバツクラツシユがなく、作動の精度が高く、繰
り返しの寿命が長いなど極めて顕著な効果を奏す
るものである。(Effects) As explained above, according to the present invention, by alternately heating a plurality of shape memory alloy plates, the shape can be reversed and the shaft can be moved, giving reciprocating motion in two directions, and the heating can be stopped and maintain its position even in low temperatures. Moreover, it can select and maintain two required positions, has no backlash, has high accuracy of operation, and has a long cycle life, which is extremely effective.
第1図は本発明のアクチユエーターの作動状態
を示す模式図、第2図は先行技術のアクチユエー
ターの作動状態を示す模式図、第3図は従来の先
行技術のアクチユエーターの作動状態を示す模式
図、第4図は従来のアクチユエーターの作動状態
を示す模式図である。
1…反転して組合せた形状記憶合金板、2…形
状記憶合金板、3…ストツパー、4…シヤフト、
5…形状記憶コイル、6…コイルばね、7…スト
ツパー、8…中心軸。
Fig. 1 is a schematic diagram showing the operating state of the actuator of the present invention, Fig. 2 is a schematic diagram showing the operating state of the actuator of the prior art, and Fig. 3 is a schematic diagram showing the operating state of the actuator of the prior art. FIG. 4 is a schematic diagram showing the operating state of a conventional actuator. 1... Shape memory alloy plate combined inverted, 2... Shape memory alloy plate, 3... Stopper, 4... Shaft,
5...Shape memory coil, 6...Coil spring, 7...Stopper, 8...Center shaft.
Claims (1)
る弓状もしくは円錐形状に記憶させ、この内の単
数または複数の形状記憶合金を記憶形状と対称形
に反転させてシヤフトに並列して組合せ、加熱に
より反転させた形状記憶合金板を記憶形状に復帰
させると共にもう一方の形状記憶合金板を反転さ
せてシヤフトを二方向に駆動させることを特徴と
するアクチユエーター。1. A plurality of shape memory alloy plates are memorized into an arcuate or conical shape having a flat portion at the top, and one or more of the shape memory alloy plates are inverted symmetrically with the memorized shape and combined in parallel on a shaft, An actuator characterized by returning a shape memory alloy plate that has been inverted by heating to a memorized shape and inverting the other shape memory alloy plate to drive a shaft in two directions.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5078687A JPS63215882A (en) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | Actuator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5078687A JPS63215882A (en) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | Actuator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63215882A JPS63215882A (en) | 1988-09-08 |
JPH042796B2 true JPH042796B2 (en) | 1992-01-20 |
Family
ID=12868498
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5078687A Granted JPS63215882A (en) | 1987-03-05 | 1987-03-05 | Actuator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63215882A (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4737281B2 (en) * | 2008-12-04 | 2011-07-27 | パナソニック電工株式会社 | Shape memory alloy actuator |
-
1987
- 1987-03-05 JP JP5078687A patent/JPS63215882A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63215882A (en) | 1988-09-08 |
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