JPH04278423A - 温度測定計を兼ねる熱式空気流量計 - Google Patents
温度測定計を兼ねる熱式空気流量計Info
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Abstract
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Description
る熱線式空気流量計に関する。
される熱線式空気流量計は、空気流中に熱線抵抗を配置
し、この熱線抵抗と空気間の熱伝達現象を応用している
。
を流して発熱させた場合、通過する空気流量が多いほど
奪われる熱が多いため、熱線抵抗の温度上昇は小さくな
る。従って、抵抗温度係数が正である熱線抵抗の加熱温
度Th(抵抗Rh)を一定に保つように熱線抵抗に流れ
る加熱電流を制御すると、その制御電流が空気流量に対
応した値となる。
受けるため、温度補償が必要である。そこで、空気の温
度を温度補償用の感温抵抗で感知して、熱線抵抗の温度
と空気温度の差が一定になるように加熱温度(熱線抵抗
の抵抗値)を制御する。この時の加熱電流Ihを検出し
て空気流量信号(電圧)に変換後に増幅回路で増幅し、
外部へ空気流量信号として出力する。
、例えば、吸入空気の重量流量を計算するために、吸入
空気流量を測定するほかに吸入空気の温度を測定する必
要がある。
として、専用の温度センサを用いることなく、熱線式空
気流量計の温度補償用の感温抵抗を用いたものが提案さ
れている(例えば特開平1−100423号号公報に記
載のもの)。これは、温度補償用の感温抵抗の値が吸入
空気温度によって変化することを利用して、例えば、温
度補償用の感温抵抗の両端電圧、或いは感温抵抗と直列
に接続された抵抗(通常は固定抵抗)に生じる電圧を検
出して吸入空気温度を演算している。
気流量計が温度測定計を兼ねる場合には、製品コストの
低減を図り得る。
直列に接続された抵抗に誘起される電圧は、感温抵抗と
直列に接続された抵抗にばらつきがあるためその影響を
受ける。ここでいうばらつきは、製造過程で生じるばら
つきのほかに使用時に抵抗値が温度により変動してしま
う現象も含む。
力調整などで調整可能であるが、後者のばらつきは調整
によって補正することが難しい。
出部と演算をおこなうエンジン制御装置(一般にマイク
ロコンピュータで構成される)とは数メートルの電線に
よって接続されているが、温度検出に用いる感温抵抗や
固定抵抗から取り出す電圧変化は、微小レベルである。 従って、上記のように信号検出部と演算装置との伝送距
離が比較的離れていると、演算に使用する入力信号が電
磁波等による影響を受け、ノイズの多い信号となり、測
定精度に悪影響を及ぼす。
、その目的とするところは、熱線式空気流量計を用いて
空気温度測定を行う場合、その温度測定に用いる抵抗(
感温抵抗と直列接続された抵抗素子)の抵抗値が温度に
より変動しても、その変動の影響をほとんど受けず温度
測定精度を高めることにある。
に加えて外部電磁波などのノイズの影響を受けにくくし
た温度測定計を提供することにある。
するために、基本的には次のような課題解決手段を提案
する。
測定用の熱線抵抗及びその温度補償用の感温抵抗と、前
記熱線抵抗に直列接続された熱線電流検出抵抗に生じる
電圧と前記感温抵抗に直列接続された抵抗に生じる電圧
とを入力して前記熱線抵抗の加熱温度が空気温度に対し
所定の温度差を保つよう前記熱線抵抗の通電量を制御す
る差動増幅回路とを備え、前記熱線抵抗への通電量から
空気流量を求める熱線式空気流量計において、前記差動
増幅回路の出力電圧Vaと前記感温抵抗に直列接続され
た抵抗に生じる電圧Vbとを割算してそのVa,Vbの
比を求める割算回路(換言すれば、前記差動増幅器の増
幅率の変化を検知する手段)を設け、この割算回路の出
力(差動増幅器の増幅率の変化)を空気温度測定信号と
して出力させる回路構成とした。
課題解決手段)を前提として、次のような課題解決手段
を提案する。
路及びこの割算回路の出力を増幅する増幅回路を空気流
量測定用の増幅回路と共に1つのモノリシックICによ
り構成する(これを第2の課題解決手段とする)。
算回路の出力をその出力に応じた周波数のパルス信号に
変換した後に各種制御装置(例えばエンジン制御装置)
に伝送するよう設定する(これを第3の課題解決手段と
する)。
電流(印加電圧)制御用の差動増幅器には、熱線抵抗と
直列接続された熱線電流検出抵抗に生じる電圧と、温度
補償用の感温抵抗と直列接続された抵抗に生じる電圧と
が入力される。
加熱温度が空気温度に対し所定の温度差を保つような熱
線抵抗印加電圧Vaが出力され、それに対応する加熱電
流(温度補償を伴う加熱電流)が熱線抵抗に流れる。
線電流検出抵抗に生じる電圧から検出される。この検出
電圧は空気流量測定信号として用いられ、例えばエンジ
ン制御の燃料量演算式の変数として使用されたり、或い
は各種測定分野において空気流量値としてディジタル演
算された後にメータ表示されたりする。
して抵抗値が変化すると、前記差動増幅器の増幅率を調
節するように作用する。これにより、差動増幅器からは
熱線抵抗の加熱温度が空気温度と一定の温度差を保持す
るような差動増幅器の出力電圧Vaが生じて温度補償機
能が働く。
幅率の変化を検知する手段〔例えばVaとVbとの比(
Va/Vb)を求める割算回路〕を付加することにより
空気温度を測定することができる。
実施例の項で図1の温度測定兼吸気流量計に基づき述べ
た数3式のように温度補償用の感温抵抗2と直列に接続
される抵抗R8とR7とが分子,分母に配されるので、
抵抗R8とR7の温度変化に伴う抵抗値変動分が互いに
相殺され、感温抵抗2の抵抗値Rcの変化を抵抗R8,
R7の温度変動の影響を受けることなくとらえることが
できる。なお、数3式のVtは加熱電流制御用(熱線抵
抗通電量制御用)の差動増幅器の増幅率で、Va/Vb
で表される。VT(Va/Vb)が温度測定信号として
出力される。
定信号と共に例えばエンジン制御の燃料量演算の変数と
して用いられたり、或いは各種計測分野においてディジ
タル演算されて具体的数値として表示される。
に用いる割算回路及びこの割算回路の出力を増幅する増
幅回路を1つのモノリシックICで構成すれば、割算回
路からの出力が接近した位置で増幅された後にエンジン
制御ユニットやその他種々の温度演算装置等に伝送され
る。したがって、温度測定信号の伝送経路でノイズの影
響を大幅に減らすことができる。
に用いる割算回路の出力は、その出力に応じた周波数の
パルス信号に変換した後にエンジン制御ユニットやその
他種々の温度演算装置等に伝送されるため、信号伝送過
程で外部からの電磁波などの影響を受けない。
す説明図、図2は第1実施例に用いる割算回路、図3は
第3実施例に用いる増幅回路である。
る電流を制御する回路である。熱線電流制御回路100
は、熱線抵抗1,抵抗R1,感温抵抗2,抵抗R8,抵
抗7のブリッジ回路よりなる検出部と、差動増幅器Z1
などで構成される。
とが直列に接続され、その中間点が差動増幅器Z1の非
反転入力端子に接続され、抵抗R1の他端がアースされ
る。
直列に接続され、抵抗R8とR7の中間点が差動増幅器
Z1の反転入力端子に接続され、抵抗R7の他端がアー
スされている。差動増幅器Z1の出力端子3は、熱線抵
抗1と感温抵抗2に接続してある。
、差動増幅器Z1の出力端子3は、割算回路A1の入力
端子にそれぞれ接続され、割算回路A1の出力端子5は
増幅器A2の入力端子に接続され、増幅器A2の出力端
子6が空気温度検出部の出力端子となって、図示されて
いない制御ユニット(ここではエンジン制御ユニットで
マイクロコンピュータよりなる)と接続されている。 割算回路A1,増幅器A2は温度測定のために使用され
る。
、抵抗R1に生じる端子電圧V2は空気流量測定信号と
してエンジン制御ユニットに増幅器を介して入力される
。
で、吸入空気流量に応じて熱伝達現象により温度が変化
し、このため抵抗値が吸入空気流量に応じて変化する。
から奪われる熱量が増加し、数1式に示す回路の平衡条
件がくずれる。ここで、熱線の抵抗値をRh,感温抵抗
の抵抗値Rc、固定抵抗R1,R7,R8の抵抗値をそ
のままR1,R7,R8とする。
衡条件を満足するように、差動増幅器Z1から電圧Va
を出力し、この電圧Vaが熱線抵抗1を含むブリッジ回
路に印加され、熱線抵抗1に奪われた熱量を補うだけの
加熱電流Ihが供給され、熱線の抵抗値Rhが一定とな
るように制御する。熱線抵抗1の加熱電流をIh,空気
流量をQ,熱線温度をTh,空気温度をTaとすると、
熱線抵抗1の抵抗値Rhと空気流量Q間には、数2式の
関係がある。
熱電流Ihを抵抗R1によって電圧信号(空気流量測定
信号)V2に変換して出力している。
配置され、正の温度係数を有し、吸入空気温度に応じて
抵抗値が変化する。
て変化することにより、数1式および数2式の平衡式に
よって、出力電圧V2が温度補償を受け、熱線抵抗1に
は空気温度に対し一定の温度差を保つように加熱電流I
hが流れる。
気流量測定のほかに、差動増幅器Z1の入力電圧Vb(
固定抵抗R7に生じる電圧)と、差動増幅器Z1の出力
電圧Vaが空気温度測定系の割算回路A1に入力され、
割算回路A1によってVa,Vbの比(Va/Vb)を
とることによって、つまり増幅率をもとめることによっ
て吸入空気温度に比例した信号が得られる。
の出力電圧V2と同じであり、また増幅器Z1の出力電
圧Vaは、数3式のようになる。
するZ1の出力電圧Vaの比つまり増幅率をVtとする
と、数4式のように表わせる。
化することにより、割算回路A1の出力電圧Vtが変化
し、これを増幅器A2によって増幅し、空気温度変化に
対応した出力電圧信号Vtoを得ることができる。出力
電圧信号Vtoは、温度測定信号としてエンジン制御ユ
ニットに送られる。
図2のような回路構成によって実現できる。
7のドレインと抵抗R101が接続され、抵抗R101
の他端は抵抗R102とFET7のゲートに接続され、
FET7のソースは差動増幅器Z7の反転入力端子と抵
抗R103に接続され、抵抗R103の他端が差動増幅
器Z7の出力端子5に接続され、差動増幅器Z7の非反
転入力端子がアースされている。
レインと抵抗R104が接続され、抵抗R104の他端
は抵抗R105とFET8のゲートに接続され、FET
8のソースは差動増幅器Z8の反転入力端子に接続され
、定電圧VSが抵抗R106を介して差動増幅器Z8の
反転入力端子に接続され、差動増幅器Z8の非反転入力
端子がアースされ、差動増幅器Z8の出力端子が抵抗R
102と抵抗R105に接続されている。
圧をVb、抵抗R101〜R106の抵抗値をそれぞれ
R101〜R106,抵抗R106を流れる電流をI1
,定電圧VSは1Vとした場合、まず差動増幅器Z8の
出力は、その入力端子間がイマジナルショートが成り立
つように動いて、FET8のゲート電圧を調節する。
間の抵抗値をRt8とすると、差動増幅器の入力が0V
という条件から、抵抗R106を流れる電流I1は数5
式になる。
ET8のソースとドレイン間の抵抗値Rt8は数6式の
ように表わせる。
とき、FET7もRt8とほぼ同じ抵抗値Rt7になっ
ているとすると、入力電圧Vaに対して差動増幅器Z7
の出力は数7式のように表わせる。
8がほぼ等しく、抵抗R103と抵抗R106の抵抗値
が等しいとき、数6式および数7式より出力電圧Vtは
数8式のようになる。
に比例する電圧信号Vtが得られる。
ば図3のような回路構成により実現できる。
器Z9の非反転入力端子に接続され、定電圧VEが抵抗
R107に接続され、抵抗R107の他端がR108に
接続されてアースされており、抵抗R107と抵抗R1
08の接点が抵抗R109に接続されて増幅器Z9の反
転入力端子に接続され、反転入力端子が抵抗R110を
介して増幅器Z9の出力端子6に接続されている。
R107と抵抗R108を調整することによって基準点
となる電圧を調整し、抵抗R109と抵抗R110を調
整することによって、所定の電圧幅に変換できる。
、割算回路A1を使うことによって2点間の電圧比から
温度測定を行うことができ、しかも、数4式のように温
度補償用の感温抵抗2と直列に接続される抵抗R8とR
7とが分子,分母に配されるので、抵抗R8とR7の温
度変化に伴う抵抗値変動分が互いに相殺され、感温抵抗
2の抵抗値Rcの変化を抵抗R8,R7の温度変動の影
響を受けることなくとらえることができる。その結果、
簡単な回路構成で高精度な空気温度測定回路を実現でき
、またBi−CMOS技術を使うことによって、1つの
モノリシックICで実現できる。
更することなく、1つのモジュールで空気温度の測定と
空気流量の測定ができるという効果がある。更に割算回
路(アナログ回路)A1により演算をおこない、この空
気温度測定信号をエンジン制御ユニットに出力するため
、制御ユニット内で演算をおこなわせる方式に比べ、電
磁波などによるノイズの影響を小さく抑えることができ
るという効果がある。
図である。
1実施例と異なる構成としてある。
ている。熱線抵抗1の両端間に抵抗R2と抵抗R3とが
互いに直列に接続され、抵抗R2と抵抗R3との接続点
が、差動増幅器Z2の反転入力端子に接続され、差動増
幅器Z2の出力端子は、熱線1と抵抗R2に接続されて
いる。
幅器Z3の非反転入力端子に接続され、差動増幅器Z3
の反転入力端子は抵抗R7を介してアースされ、差動増
幅器Z3の反転入力端子と出力端子間に、抵抗R8と空
気温度を検出する感温抵抗2が直列に接続され、差動増
幅器Z3の出力端子は差動増幅器Z2の非反転入力端子
に接続されている。
が、空気流量計の出力端子となっている。
て熱線抵抗1の抵抗値をRh,感温抵抗2の抵抗値をR
c,抵抗R1,R2,R3,R7及びR8の抵抗値を、
そのままR1,R2,R3,R7及びR8とすると、こ
の場合数9式が成立するように熱線抵抗1が制御される
。
つ。つまり、熱線1の電流Ihを抵抗R1で検出して得
られるアナログ電圧信号V2が、空気流量測定信号とな
る。
も、差動増幅器Z3の反転入力端子の電圧をVbとし、
差動増幅器Z3の出力端子の電圧をVaとした場合、図
1と同様に両電圧を割算器A1で割算し比をとることに
よって、出力電圧Vtを得、これを増幅器A2で増幅し
、空気温度に対応した出力電圧Vtoを得ることができ
る。
ことができる。
示した回路と全く同様に熱線制御回路100の電圧Va
と電圧Vbを割算器A1によって比をとり増幅器A2に
よって増幅する。この増幅後の信号Vtoを電圧−周波
数変換回路A3によって周波数信号に変換され出力され
る。
うな回路構成によって実現できる。図6において、電圧
−周波数変換回路A3は、増幅器A2の出力端子6に接
続されて構成され、出力端子6とアース間に抵抗R11
5と抵抗R116とが互いに直列に接続され、抵抗R1
15と抵抗R116との接続点が差動増幅器Z4の非反
転入力端子に接続され、差動増幅器Z4の反転入力端子
と出力端子6間に抵抗R117が接続されている。
力端子間にコンデンサC1が接続され、差動増幅器Z4
の反転入力端子と反転器Z6の出力端子間に、抵抗R1
18が接続されている。
圧1/2Veが印加され、反転器Z6の反転入力端子は
抵抗R121を介して、比較器Z5の非反転入力端子に
接続され、比較器Z5の非反転入力端子は抵抗R120
を介してアースされている。
抵抗R119を介して電圧Veが印加され、反転器Z6
の反転入力端子には比較器Z5の出力端子が接続されて
いる。そして、差動増幅器Z4の出力端子が比較器Z5
の反転入力端子に接続され、比較器Z5の出力端子が電
圧−周波数変換回路A3の出力端子12となっている。
作を次に説明する。
ナログ電圧信号Vtoに基づいて、数10式で与えられ
る電流がコンデンサC1と差動増幅器Z4とで積分され
る。
れる積分値が、比較器Z5で検出されて比較器Z5の出
力信号が、反転器Z6の反転入力端子に与えられて、反
転器Z6が制御される。
増幅器Z4の積分出力信号の傾斜が制御される。
がパルス電圧信号ftoに変換される。
果を奏するほかに、さらにエンジン制御ユニットに伝送
される上記温度測定信号をディジタル信号ftoに変換
するので、他機器が発生するノイズによる誤動作を小さ
く抑えることができる。
は、熱線流量測定計を用いて空気温度測定を可能とし、
しかも空気温度測定に用いる感温抵抗と直列に接続され
た抵抗の温度変化によるばらつき(変動)の影響を極力
なくして温度測定を行い得るので、測定誤差の少ない高
精度な温度測定を可能にする。
信号処理を1モジュールにより行い出力させるため、さ
らに第3の課題解決手段では温度測定信号をパルス周波
数に変換して出力させるため、信号測定部からエンジン
制御ユニットなどの各種制御ユニットまでの信号伝送過
程で測定信号がノイズの影響を小さく抑えることができ
、さらに一層測定精度を高めることができる。
図。
器 100…熱線電流制御回路 A1…割算回路(差動増幅器の増幅率検出手段)A2…
増幅器
Claims (4)
- 【請求項1】空気流路に設置された空気流量測定用の熱
線抵抗及びその温度補償用の感温抵抗と、前記熱線抵抗
に直列接続された熱線電流検出抵抗に生じる電圧と前記
感温抵抗に直列接続された抵抗に生じる電圧とを入力し
て前記熱線抵抗の加熱温度が空気温度に対し所定の温度
差を保つよう前記熱線抵抗の通電量を制御する差動増幅
回路とを備え、前記熱線抵抗の通電量から空気流量を求
める熱線式空気流量計において、前記差動増幅回路の出
力電圧Vaと前記感温抵抗に直列接続された抵抗に生じ
る電圧Vbとを割算してそのVa,Vbの比を求める割
算回路を設け、この割算回路の出力を空気温度測定信号
として出力させる回路構成としたことを特徴とする温度
測定計を兼ねる熱線式空気流量計。 - 【請求項2】請求項1において、前記空気温度測定に用
いる前記割算回路及びこの割算回路の出力を増幅する増
幅回路を空気流量測定用の増幅回路と共に1つのモノリ
シックICにより構成したことを特徴とする温度測定計
を兼ねる熱線式空気流量計。 - 【請求項3】請求項1又は請求項2において、前記割算
回路の出力は、その出力に応じた周波数のパルス信号に
変換して伝送するよう設定したことを特徴とする温度測
定計を兼ねる熱線式空気流量計。 - 【請求項4】空気流路に設置された空気流量測定用の熱
線抵抗及びその温度補償用の感温抵抗と、前記熱線抵抗
に直列接続された熱線電流検出抵抗に生じる電圧と前記
感温抵抗に直列接続された抵抗に生じる電圧とを入力し
て前記熱線抵抗の加熱温度が空気温度に対し所定の温度
差を保つよう前記熱線抵抗の通電量を制御する差動増幅
回路とを備え、前記熱線抵抗の通電量から空気流量を求
める熱線式空気流量計において、前記差動増幅回路の増
幅率の変化を検出する手段を設け、この増幅率の変化か
ら空気温度を測定するよう設定したことを特徴とする温
度測定計を兼ねる熱線式空気流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3041666A JP2656669B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 温度測定計を兼ねる熱式空気流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP3041666A JP2656669B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 温度測定計を兼ねる熱式空気流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04278423A true JPH04278423A (ja) | 1992-10-05 |
JP2656669B2 JP2656669B2 (ja) | 1997-09-24 |
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ID=12614713
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3041666A Expired - Fee Related JP2656669B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 温度測定計を兼ねる熱式空気流量計 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2656669B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08203832A (ja) * | 1993-12-30 | 1996-08-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
KR100442895B1 (ko) * | 1995-10-07 | 2004-09-24 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유통매체장입량검출용측정저항온도제어장치및온도제어방법 |
US20110035959A1 (en) * | 2009-08-13 | 2011-02-17 | Maguire Products, Inc. | Gas flow rate determination method and apparatus and granular material dryer and method for control thereof |
US10539366B2 (en) | 2014-04-30 | 2020-01-21 | Stephen B. Maguire | Method and apparatus for vacuum drying granular resin material |
US11203133B2 (en) | 2018-04-04 | 2021-12-21 | Novatec, Inc. | Method and apparatus for polymer drying using inert gas |
US11364657B2 (en) | 2018-04-04 | 2022-06-21 | Novatec, Inc. | Reducing moisture in granular resin material using inert gas |
-
1991
- 1991-03-07 JP JP3041666A patent/JP2656669B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08203832A (ja) * | 1993-12-30 | 1996-08-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
KR100442895B1 (ko) * | 1995-10-07 | 2004-09-24 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유통매체장입량검출용측정저항온도제어장치및온도제어방법 |
US20110035959A1 (en) * | 2009-08-13 | 2011-02-17 | Maguire Products, Inc. | Gas flow rate determination method and apparatus and granular material dryer and method for control thereof |
US8141270B2 (en) * | 2009-08-13 | 2012-03-27 | Maguire Products, Inc. | Gas flow rate determination method and apparatus and granular material dryer and method for control thereof |
US10539366B2 (en) | 2014-04-30 | 2020-01-21 | Stephen B. Maguire | Method and apparatus for vacuum drying granular resin material |
US11203133B2 (en) | 2018-04-04 | 2021-12-21 | Novatec, Inc. | Method and apparatus for polymer drying using inert gas |
US11364657B2 (en) | 2018-04-04 | 2022-06-21 | Novatec, Inc. | Reducing moisture in granular resin material using inert gas |
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