JPH04269846A - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
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- JPH04269846A JPH04269846A JP3054031A JP5403191A JPH04269846A JP H04269846 A JPH04269846 A JP H04269846A JP 3054031 A JP3054031 A JP 3054031A JP 5403191 A JP5403191 A JP 5403191A JP H04269846 A JPH04269846 A JP H04269846A
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- Japan
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- circuit
- output
- optical microscope
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Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 7
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、欠陥検出装置、特に被
欠陥検出体のパターンの輪郭を明確に認識し、欠陥を確
実に検出することのできる欠陥検出装置に関する。
欠陥検出体のパターンの輪郭を明確に認識し、欠陥を確
実に検出することのできる欠陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置表面部の欠陥を検出する欠陥
検出装置として光学顕微鏡にＴＶカメラを組み合せたも
のがある。そして、従来のこの種の欠陥検出装置は単に
ＴＶカメラの出力をモニター画面に表示するようになっ
ていたに過ぎなかった。
検出装置として光学顕微鏡にＴＶカメラを組み合せたも
のがある。そして、従来のこの種の欠陥検出装置は単に
ＴＶカメラの出力をモニター画面に表示するようになっ
ていたに過ぎなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の欠陥
検出装置によれば単にＴＶカメラの出力をモニター画面
に表示するようになっているに過ぎないので、パターン
の輪郭が充分に明確でなかった。従って、欠陥を見逃し
たり、欠陥の形状、大きさを明確に検出できないという
問題があった。
検出装置によれば単にＴＶカメラの出力をモニター画面
に表示するようになっているに過ぎないので、パターン
の輪郭が充分に明確でなかった。従って、欠陥を見逃し
たり、欠陥の形状、大きさを明確に検出できないという
問題があった。
【０００４】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、パターンの輪郭をはっきりさせ、欠
陥の形状、大きさを明確に検出できるようにすることを
目的とする。
されたものであり、パターンの輪郭をはっきりさせ、欠
陥の形状、大きさを明確に検出できるようにすることを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明欠陥検出装置は、
撮像手段から出力された画像信号を輪郭強調する輪郭強
調回路を有することを特徴とする。
撮像手段から出力された画像信号を輪郭強調する輪郭強
調回路を有することを特徴とする。
【０００６】
【実施例】以下、本発明欠陥検出装置を図示実施例に従
って詳細に説明する。図１は本発明欠陥検出装置の一つ
の実施例を示す構成図である。図面において、１はステ
ージ２上に置かれた半導体装置、３は該半導体装置１の
表面部を拡大する光学顕微鏡、４は該光学顕微鏡３によ
り拡大された半導体装置１の表面部を撮像するハイビジ
ョンＴＶカメラで、きわめて高解像度を有する。５はハ
イビジョンＴＶカメラ４から出力された画像信号の輝度
信号を輪郭強調する輪郭強調回路、６は輪郭強調回路５
の出力信号を処理する画像処理回路、７は該画像処理回
路６の出力信号を再生するテレビモニター、８は画面に
現われた映像を紙に記録するハードコピー機である。
って詳細に説明する。図１は本発明欠陥検出装置の一つ
の実施例を示す構成図である。図面において、１はステ
ージ２上に置かれた半導体装置、３は該半導体装置１の
表面部を拡大する光学顕微鏡、４は該光学顕微鏡３によ
り拡大された半導体装置１の表面部を撮像するハイビジ
ョンＴＶカメラで、きわめて高解像度を有する。５はハ
イビジョンＴＶカメラ４から出力された画像信号の輝度
信号を輪郭強調する輪郭強調回路、６は輪郭強調回路５
の出力信号を処理する画像処理回路、７は該画像処理回
路６の出力信号を再生するテレビモニター、８は画面に
現われた映像を紙に記録するハードコピー機である。
【０００７】本欠陥検出装置はステージ２上に置かれた
半導体装置１の表面部を光学顕微鏡３により拡大し、拡
大された像をハイビジョン対応の高解像度ＴＶカメラ４
により撮像し、該ＴＶカメラ４から出力された画像信号
を輪郭強調回路５により輪郭強調したうえで画像処理回
路６により画像処理するようになっている。
半導体装置１の表面部を光学顕微鏡３により拡大し、拡
大された像をハイビジョン対応の高解像度ＴＶカメラ４
により撮像し、該ＴＶカメラ４から出力された画像信号
を輪郭強調回路５により輪郭強調したうえで画像処理回
路６により画像処理するようになっている。
【０００８】図２は輪郭強調回路５の一例を示す回路ブ
ロック図である。９は入力信号ａを遅延させる遅延回路
、１０は該遅延回路９の出力信号ｂを遅延させる遅延回
路、１１は入力信号ａを２分の１倍して反転するアンプ
、１２は遅延回路１０の出力信号ｃを２分の１倍して反
転するアンプ、１３はアンプ１１、１２及び遅延回路９
の出力信号を加算する加算回路である。１４は加算回路
１３の出力信号ｄ（＝−１／２ａ＋ｂ−１／２ｃ）と所
定値ｋを乗算する掛算回路、１５は該掛算回路１４と遅
延回路９の出力信号どうしを加算する加算回路である。
ロック図である。９は入力信号ａを遅延させる遅延回路
、１０は該遅延回路９の出力信号ｂを遅延させる遅延回
路、１１は入力信号ａを２分の１倍して反転するアンプ
、１２は遅延回路１０の出力信号ｃを２分の１倍して反
転するアンプ、１３はアンプ１１、１２及び遅延回路９
の出力信号を加算する加算回路である。１４は加算回路
１３の出力信号ｄ（＝−１／２ａ＋ｂ−１／２ｃ）と所
定値ｋを乗算する掛算回路、１５は該掛算回路１４と遅
延回路９の出力信号どうしを加算する加算回路である。
【０００９】図３は図１に示す欠陥検出装置の画像信号
を示す波形図である。１６は半導体装置表面部の配線膜
、１７は配線膜１６の側縁に生じたボイドであり、■は
配線膜１６から逸れたところを走査した場合の輪郭強調
回路５の出力信号の波形図であり、■は配線膜１６のボ
イド１７がある部分を走査した場合の輪郭強調回路５の
出力信号の波形図であり、■は配線膜１６のボイド１７
のないところを走査した場合の輪郭強調回路５の出力信
号の波形図である。
を示す波形図である。１６は半導体装置表面部の配線膜
、１７は配線膜１６の側縁に生じたボイドであり、■は
配線膜１６から逸れたところを走査した場合の輪郭強調
回路５の出力信号の波形図であり、■は配線膜１６のボ
イド１７がある部分を走査した場合の輪郭強調回路５の
出力信号の波形図であり、■は配線膜１６のボイド１７
のないところを走査した場合の輪郭強調回路５の出力信
号の波形図である。
【００１０】このような欠陥検出装置によれば、光によ
り観察するのでパシベーション膜、絶縁膜下の配線膜１
６を撮像でき、非破壊による検出ができる。そして、Ｔ
Ｖカメラがハイビジョンなので微細な欠陥を検出するこ
とができる。そして、パターンの輪郭を強調した画像信
号が得られるので、ボイドがある場合図３の■に示すよ
うにボイドの輪郭が強調して現われる。従って、ボイド
を明確に検出することができる。そして、輪郭を示すパ
ルスのパルス間隔ｄからボイドの大きさを判断すること
ができる。
り観察するのでパシベーション膜、絶縁膜下の配線膜１
６を撮像でき、非破壊による検出ができる。そして、Ｔ
Ｖカメラがハイビジョンなので微細な欠陥を検出するこ
とができる。そして、パターンの輪郭を強調した画像信
号が得られるので、ボイドがある場合図３の■に示すよ
うにボイドの輪郭が強調して現われる。従って、ボイド
を明確に検出することができる。そして、輪郭を示すパ
ルスのパルス間隔ｄからボイドの大きさを判断すること
ができる。
【００１１】そして、走査線の方向（Ｘ方向）における
間隔ｄの値をそれと直角方向（Ｙ方向）で積分すること
によりボイドの面積を求めることができる。また、ボイ
ド１７を通るＸ方向の走査線数からボイド１７のＸ方向
における幅を検出することができる。従って、検査する
配線膜の幅に対する欠陥の幅の比あるいは面積の比等が
算出でき、これ等のデータ及び欠陥の数から検査エリア
における信頼性テストの良否を判定することができる。
間隔ｄの値をそれと直角方向（Ｙ方向）で積分すること
によりボイドの面積を求めることができる。また、ボイ
ド１７を通るＸ方向の走査線数からボイド１７のＸ方向
における幅を検出することができる。従って、検査する
配線膜の幅に対する欠陥の幅の比あるいは面積の比等が
算出でき、これ等のデータ及び欠陥の数から検査エリア
における信頼性テストの良否を判定することができる。
【００１２】図４は輪郭強調原理を示す波形図で、ａは
ＴＶカメラ４から出力された画像信号（輝度信号）、ｂ
は該画像信号ａを遅延回路９により遅延させた信号、ｃ
は該信号ｂを遅延回路１０により更に遅延させた信号、
ｄは上記各信号ａ、ｂ、ｃをアンプ１１、１２及び加算
回路１３により演算処理（−１／２ａ＋ｂ−１／２ｃ）
して得た輪郭成分、ｅは上記信号ｂに、輪郭成分ｄと補
正調整値ｋを乗算した値ｋ・ｄを加算して得た輪郭強調
信号である。尚、輪郭強調回路には種々あり、図２に示
すものに限らない。そして、図２に示した輪郭強調回路
は水平方向（走査線方向）の輪郭強調を行ったものであ
るが、更に垂直方向の輪郭強調を行う輪郭強調回路も設
けて垂直方向の輪郭強調も行うようにすると完璧である
。
ＴＶカメラ４から出力された画像信号（輝度信号）、ｂ
は該画像信号ａを遅延回路９により遅延させた信号、ｃ
は該信号ｂを遅延回路１０により更に遅延させた信号、
ｄは上記各信号ａ、ｂ、ｃをアンプ１１、１２及び加算
回路１３により演算処理（−１／２ａ＋ｂ−１／２ｃ）
して得た輪郭成分、ｅは上記信号ｂに、輪郭成分ｄと補
正調整値ｋを乗算した値ｋ・ｄを加算して得た輪郭強調
信号である。尚、輪郭強調回路には種々あり、図２に示
すものに限らない。そして、図２に示した輪郭強調回路
は水平方向（走査線方向）の輪郭強調を行ったものであ
るが、更に垂直方向の輪郭強調を行う輪郭強調回路も設
けて垂直方向の輪郭強調も行うようにすると完璧である
。
【００１３】
【発明の効果】本発明欠陥検出装置は、被欠陥検出体を
拡大する光学顕微鏡と、該光学顕微鏡で拡大された像を
撮像する撮像手段と、上記撮像手段から出力された画像
信号を輪郭強調する輪郭強調回路と、を少なくとも有す
ることを特徴とするものである。従って、本欠陥検出装
置によれば、パターンの輪郭がハードウエアである輪郭
強調回路により強調されるので、欠陥の形状、大きさを
明確に検出することができ、ソフトウエアにより検出す
る場合に比較して高速検出が可能である。
拡大する光学顕微鏡と、該光学顕微鏡で拡大された像を
撮像する撮像手段と、上記撮像手段から出力された画像
信号を輪郭強調する輪郭強調回路と、を少なくとも有す
ることを特徴とするものである。従って、本欠陥検出装
置によれば、パターンの輪郭がハードウエアである輪郭
強調回路により強調されるので、欠陥の形状、大きさを
明確に検出することができ、ソフトウエアにより検出す
る場合に比較して高速検出が可能である。
【図１】実施例の構成を示すブロック図である。
【図２】輪郭強調回路の一例を示すブロック図である。
【図３】画像信号を示す波形図である。
【図４】輪郭強調原理を示す波形図である。
１ 半導体装置
３ 顕微鏡
４ 撮像手段（ＴＶカメラ）
５ 輪郭強調回路
Claims (1)
- 【請求項１】 被欠陥検出体を拡大する光学顕微鏡と
、該光学顕微鏡で拡大された像を撮像する撮像手段と、
上記撮像手段から出力された画像信号を輪郭強調する輪
郭強調回路と、を少なくとも有することを特徴とする欠
陥検出装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3054031A JPH04269846A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3054031A JPH04269846A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269846A true JPH04269846A (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=12959219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3054031A Pending JPH04269846A (ja) | 1991-02-25 | 1991-02-25 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04269846A (ja) |
-
1991
- 1991-02-25 JP JP3054031A patent/JPH04269846A/ja active Pending
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