JPH04264389A - Electroluminescent(el) panel and manufacture thereof - Google Patents

Electroluminescent(el) panel and manufacture thereof

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JPH04264389A
JPH04264389A JP3047641A JP4764191A JPH04264389A JP H04264389 A JPH04264389 A JP H04264389A JP 3047641 A JP3047641 A JP 3047641A JP 4764191 A JP4764191 A JP 4764191A JP H04264389 A JPH04264389 A JP H04264389A
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JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
panel
emitting substrate
thin film
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP3047641A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akito Kishi
岸 明人
Yoshinori Shimizu
義則 清水
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Nichia Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Nichia Chemical Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP3047641A priority Critical patent/JPH04264389A/en
Publication of JPH04264389A publication Critical patent/JPH04264389A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain EL panel, of which luminance deviation with aged change to be caused by moisture is improved remarkably, by raising moisture-proofing property thereof without hindering conventional flexibility, and obtain manufacture of EL panel formed with glassy transparent thin film by low temperature drying treatment at a temperature less than 100 deg.C without hindering organic material. CONSTITUTION:In EL panel, metal alkoxide solution is adhered to the surface of a light emitting substrate 2, and it is dried at a temperature less than 100 deg.C, and thereafter, low temperature plasma treatment is performed to form transparent thin film 4 on the whole surface of the light emitting substrate 2. In manufacture, a light emitting substrate 2 is coated with metal alkoxide solution, and it is dried at a temperature less than 100 deg.C, and thereafter, low temperature plasma treatment is performed, and the transparent thin film 4 is thereby formed over the whole surface of the light emitting substrate 2.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、EL(エレクトロルミ
ネッセンス)パネルの製造方法に係り、特に新規な方法
で防湿層を強化したELパネルの製造方法に関する.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an EL (electroluminescent) panel, and more particularly to a method for manufacturing an EL panel with a strengthened moisture barrier layer using a novel method.


0002】
[
0002

【従来の技術】一般に、分散形ELパネルは、アルミニ
ウム箔等の背面電極上に、シアノエチルセルロース等の
高誘電率有機溶液中にBaTiO3 等の白色高誘電率
粉末を分散させて塗布した後、乾燥させて反射絶縁層を
形成し、その上にシアノエチルセルロース等の高誘電率
有機物溶液中にZnS:Cu等の蛍光体粉末を分散させ
て塗布、乾燥させて発光層を形成し、ポリエステルフィ
ルム等のベースの片面にIn2O3等の透明導電材料を
積層した透明電極を発光層上に積層し、透明電極の周縁
上に集電帯を形成し、この集電帯と背面電極から電圧印
加用のリードを引き出した後、ナイロン樹脂等からなる
一対の捕水層を重ね合わせさらに、三フッ化塩化エチレ
ンフィルムと変性ポリオレフィン系樹脂フィルムとを積
層してなる防湿層で包囲してその周縁をシールすること
により密封されている。
[Prior Art] Generally, a dispersed EL panel is manufactured by coating a back electrode such as aluminum foil with a white high dielectric constant powder such as BaTiO3 dispersed in a high dielectric constant organic solution such as cyanoethyl cellulose, and then drying it. A reflective insulating layer is formed on the reflective insulating layer, and a luminescent layer is formed by dispersing a phosphor powder such as ZnS:Cu in a solution of a high dielectric constant organic material such as cyanoethyl cellulose and drying. A transparent electrode made by laminating a transparent conductive material such as In2O3 on one side of the base is laminated on the light emitting layer, a current collection band is formed on the periphery of the transparent electrode, and a voltage application lead is connected from this current collection band and the back electrode. After pulling it out, a pair of water-trapping layers made of nylon resin or the like are superimposed, and the periphery is sealed by surrounding it with a moisture-proof layer made of a laminated layer of trifluorochloroethylene film and modified polyolefin resin film. Sealed.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな製造方法で作成されたELパネルでは、防湿層の防
湿機能が完全でなく、点灯せずに6カ月以上の長期間の
間放置したとしても、湿度による発光層の輝度劣化が大
きく、防湿層の根本的な改善が望まれており、例えば、
実公昭63−14393号公報に示されるように、厚み
を200μm以下とするガラス板を透明電極と防湿フィ
ルムとの間に介在せしめることが開示されているが、ガ
ラス板では、どうしても、破損の危険があり、また、厚
くすると、フレキシビリティを損なうという問題がある
[Problems to be Solved by the Invention] However, in EL panels manufactured using this manufacturing method, the moisture-proof function of the moisture-proof layer is not perfect, and even if left unlit for a long period of six months or more, , the brightness of the light-emitting layer deteriorates significantly due to humidity, and fundamental improvements to the moisture-proof layer are desired. For example,
As shown in Japanese Utility Model Publication No. 63-14393, it is disclosed that a glass plate with a thickness of 200 μm or less is interposed between a transparent electrode and a moisture-proof film, but a glass plate inevitably has the risk of breakage. There is also the problem that if the thickness is increased, flexibility will be impaired.

【0004】このため、ゾル−ゲル法による金属アルコ
キシド溶液でガラス薄膜を防湿層又は捕水層に設けるこ
とが考えられるが、この方法では、塗布したゲルを約6
00℃〜900℃の乾燥温度で加熱してガラスとしなけ
ればならず、発光層及び反射絶縁層の有機バインダ、発
光防湿層及び捕水層の有機フィルム等の融点の低い物質
の変質が避けられず、有機物質を損なうことのない10
0℃以下の低温乾燥処理でガラス質透明薄膜を形成する
新規な製造方法が切望されていた。
[0004] For this reason, it is conceivable to provide a thin glass film on the moisture-proof layer or water-trapping layer using a metal alkoxide solution using the sol-gel method, but in this method, the applied gel
Glass must be formed by heating at a drying temperature of 00°C to 900°C to avoid deterioration of materials with low melting points, such as the organic binder of the light emitting layer and reflective insulating layer, and the organic film of the light emitting moisture barrier layer and water trapping layer. 10 without damaging organic substances
There has been a strong desire for a new manufacturing method that forms a glassy transparent thin film using low-temperature drying treatment at temperatures below 0°C.

【0005】従って、本発明の目的は、従来のフレキシ
ビリティを損なうことなく防湿性をより高めて水分によ
る経時変化に伴う輝度劣化を大幅に改善したELパネル
を提供し、且つ有機物質を損なうことのない100℃以
下の低温乾燥処理でガラス質透明薄膜を形成するELパ
ネルの製造方法を提供することにある。
[0005] Therefore, an object of the present invention is to provide an EL panel that has improved moisture resistance without sacrificing conventional flexibility and that has significantly improved brightness deterioration due to changes over time due to moisture, and that also does not damage organic substances. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an EL panel in which a glassy transparent thin film is formed by a low-temperature drying process of 100° C. or lower without any drying.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明のELパネルは、
背面電極と透明電極との間に、有機バインダに蛍光体粉
末を分散した発光層と、反射絶縁層とを有し、透明電極
の周縁上に形成された集電帯と背面電極とから各々引き
出された一対のリード端子を形成した発光体基板を設け
てなるELパネルにおいて、発光基板表面に金属アルコ
キシド溶液を付着させて100℃以下の乾燥温度で乾燥
させた後、低温プラズマ処理されることによって、透明
薄膜が発光基板上に全面にわたって形成されてなるとを
特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The EL panel of the present invention includes:
A light-emitting layer in which phosphor powder is dispersed in an organic binder and a reflective insulating layer are provided between the back electrode and the transparent electrode. In an EL panel equipped with a light-emitting substrate on which a pair of lead terminals are formed, a metal alkoxide solution is attached to the surface of the light-emitting substrate, dried at a drying temperature of 100°C or less, and then subjected to low-temperature plasma treatment. , a transparent thin film is formed over the entire surface of the light emitting substrate.

【0007】また、本発明のELパネルは、発光基板の
背面電極及び透明電極上に、さらに、一対の捕水層が形
成されており、前記透明薄膜が捕水層上全面にわたって
形成されている。
Further, in the EL panel of the present invention, a pair of water-trapping layers are further formed on the back electrode and the transparent electrode of the light-emitting substrate, and the transparent thin film is formed over the entire surface of the water-trapping layer. .

【0008】さらに、本発明のELパネルでは、透明薄
膜の膜厚を10μm以下としている。
Furthermore, in the EL panel of the present invention, the thickness of the transparent thin film is 10 μm or less.

【0009】本発明のELパネルの製造方法は、背面電
極上に反射絶縁層を形成し、この反射絶縁層上に高誘電
率の有機バインダに蛍光体粉末を分散した発光層を塗布
し、この発光層上に透明電極層を積層し、この透明電極
の周縁上に集電帯を形成し、この集電帯と前記背面電極
からそれぞれ電圧印加用のリードを引き出すことにより
発光体基板を形成するELパネルの製造方法において、
発光基板を金属アルコキシド溶液に塗布し、100℃以
下で乾燥させた後、低温プラズマ処理し、これにより、
発光基板の全面に覆って透明薄膜を形成するとを特徴と
する。
The method for producing an EL panel of the present invention involves forming a reflective insulating layer on the back electrode, coating the reflective insulating layer with a light-emitting layer in which phosphor powder is dispersed in an organic binder with a high dielectric constant, and A light-emitting substrate is formed by laminating a transparent electrode layer on the light-emitting layer, forming a current collection band on the periphery of this transparent electrode, and pulling out leads for voltage application from this current collection band and the back electrode, respectively. In the method for manufacturing an EL panel,
The light emitting substrate is coated with a metal alkoxide solution, dried at 100°C or less, and then subjected to low-temperature plasma treatment.
It is characterized in that a transparent thin film is formed covering the entire surface of the light emitting substrate.

【0010】また、本発明のELパネルの製造方法は、
発光基板作成工程に、さらに、一対の捕水層をその周縁
を互いに接合して背面電極及び透明電極上にそれぞれ積
層する工程が含まれ、前記金属アルコキシド溶液を捕水
層に浸漬する。
[0010] Furthermore, the method for manufacturing an EL panel of the present invention includes:
The light emitting substrate manufacturing step further includes a step of laminating a pair of water trapping layers on the back electrode and the transparent electrode with their peripheral edges joined to each other, and immersing the metal alkoxide solution in the water trapping layers.

【0011】上記金属アルコキシド溶液の金属としては
、Al、Si、Ti、Zr、Sn、Ce等種々なものが
使用できるが、Al、Si、Ti、Snが好ましく、特
にSiからの金属アルコキシド溶液が好ましい。
[0011] Various metals such as Al, Si, Ti, Zr, Sn, and Ce can be used as the metal in the metal alkoxide solution, but Al, Si, Ti, and Sn are preferable, and a metal alkoxide solution made from Si is particularly preferable. preferable.

【0012】0012

【作用】透明電極及び背面電極の上、又は捕水層の上に
形成された透明薄膜により、耐湿性の良好なELパネル
となる。好適には、透明薄膜の上に、三フッ化塩化エチ
レンフィルムと変性ポリエチレン樹脂フィルムとからな
る防湿層を形成することにより、外的要因による損傷に
対する保護ができる。
[Operation] The transparent thin film formed on the transparent electrode and the back electrode or on the water trapping layer provides an EL panel with good moisture resistance. Preferably, a moisture-proof layer made of a trifluorochlorinated ethylene film and a modified polyethylene resin film is formed on the transparent thin film to protect it from damage caused by external factors.

【0013】また、透明薄膜の膜厚を10μm以下とす
ることにより、ELパネルのフレキシビリティを損なう
ことがない。
Furthermore, by setting the thickness of the transparent thin film to 10 μm or less, the flexibility of the EL panel is not impaired.

【0014】100℃以下で乾燥させた後、プラズマ処
理された透明薄膜を発光基板の全面に覆うことにより、
発光層及び反射絶縁層の有機バインダ、発光防湿層及び
捕水層の有機フィルム等の融点の低い有機物質に対して
変質を伴うことなく、従来にない低温の乾燥処理を行な
得る。
[0014] After drying at 100°C or less, a plasma-treated transparent thin film is covered over the entire surface of the light emitting substrate.
An unprecedented low-temperature drying process can be performed on organic substances with low melting points, such as the organic binder of the light-emitting layer and the reflective insulating layer, and the organic film of the light-emitting moisture-proof layer and the water-trapping layer, without causing any deterioration.

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について説明する。
Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0016】(実施例1)図1には、本発明の一実施例
に係るELパネルの模式図が断面にして示されている。
(Embodiment 1) FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of an EL panel according to an embodiment of the present invention.

【0017】本実施例のELパネルは、発光基板2と、
この発光基板2の表面を覆うと共に厚さ約3μmの珪素
化合物からなる透明薄膜4と、この透明薄膜4を包囲し
て周縁部を密封した防湿層6とからなっている。
The EL panel of this embodiment includes a light emitting substrate 2,
It consists of a transparent thin film 4 made of a silicon compound that covers the surface of the light emitting substrate 2 and has a thickness of about 3 μm, and a moisture-proof layer 6 that surrounds the transparent thin film 4 and seals the peripheral edge.

【0018】発光基板2は、ポリエステルフィルム等の
ベースの片面にIn2O3等の透明導電材料を積層した
透明電極層8と、Al箔からなる背面電極層10と、こ
の背面電極層10上に積層された反射絶縁層12と、透
明電極層8及び反射絶縁層12に挟まれてZnS:Cu
等の電界発光螢光体粒子を高誘電率の有機バインダで分
散してなる発光層14と、透明電極8の周縁上に形成さ
れて銀ペーストからなる集電帯(図示しない)と、この
集電帯と背面電極10から外部の電源手段に接続するた
めの一対の電極リード(図示しない)と、集電帯、透明
電極層8及び背面電極層10を覆って吸湿ナイロンから
なる一対の捕水層16とからなっている。
The light emitting substrate 2 includes a transparent electrode layer 8 made of a transparent conductive material such as In2O3 laminated on one side of a base such as a polyester film, a back electrode layer 10 made of Al foil, and a back electrode layer 10 laminated on the back electrode layer 10. ZnS:Cu is sandwiched between the reflective insulating layer 12, the transparent electrode layer 8 and the reflective insulating layer 12
A light emitting layer 14 made of electroluminescent phosphor particles such as those dispersed in an organic binder with a high dielectric constant, a current collecting band (not shown) formed on the periphery of the transparent electrode 8 and made of silver paste, A pair of electrode leads (not shown) for connecting the charging band and the back electrode 10 to an external power supply means, and a pair of water-trapping cables made of moisture-absorbing nylon that cover the current collecting band, the transparent electrode layer 8, and the back electrode layer 10. It consists of a layer 16.

【0019】透明薄膜4は、後述する方法で捕水層16
上に形成され、電極リードの接続端を除いて発光基板2
を全面に覆っていると共に、前記珪素化合物が主として
酸化珪素からなる非晶質ガラスからなっている。
The transparent thin film 4 is coated with a water-trapping layer 16 by a method described later.
The light emitting substrate 2 is formed on the light emitting substrate 2 except for the connection ends of the electrode leads.
The silicon compound is made of amorphous glass mainly made of silicon oxide.

【0020】そして、防湿層16は、三フッ化塩化エチ
レンフィルムと変性ポリオレフィン系樹脂フィルムとか
ら積層されてなると共に、その周縁部を熱圧着によって
封止されている。
The moisture-proof layer 16 is formed by laminating a trifluorochloroethylene film and a modified polyolefin resin film, and its peripheral portion is sealed by thermocompression bonding.

【0021】次に、このように構成されたELパネルに
おいて、発光基板2上に非晶質ガラスの透明薄膜4を形
成する方法について説明する。
Next, a method for forming the transparent thin film 4 of amorphous glass on the light emitting substrate 2 in the EL panel constructed as described above will be explained.

【0022】まず、上述したように構成された発光基板
2の表面をイソプロピルアルコールで脱脂した後、この
発光基板2にプラズマ処理を施した。このプラズマ処理
は、高周波出力50Wのグロー放電反応容器内にアルゴ
ンガスをモノマー流量10c.c.(STP)/分の割
合で流し、3分間前処理を施した。
First, the surface of the light emitting substrate 2 constructed as described above was degreased with isopropyl alcohol, and then the light emitting substrate 2 was subjected to plasma treatment. In this plasma treatment, argon gas is introduced into a glow discharge reaction vessel with a high frequency output of 50 W at a monomer flow rate of 10 c. c. (STP)/min, and pretreatment was performed for 3 minutes.

【0023】次に、この発光基板2を金属アルコキシド
溶液に浸漬し、温度25℃、湿度40%RH下で5cm
/秒で引き上げ、その後、温度25℃、湿度40%RH
下で室温乾燥させた。次いで、温度70℃、30分間、
加熱乾燥した。
Next, this light-emitting substrate 2 is immersed in a metal alkoxide solution, and is heated to a depth of 5 cm at a temperature of 25° C. and a humidity of 40% RH.
/second, then temperature 25℃, humidity 40%RH
Dry under room temperature. Then, at a temperature of 70°C for 30 minutes,
It was heated and dried.

【0024】そして、発光基板2をグロー放電反応容器
に入れ、酸素雰囲気下で高周波出力100W、酸素のモ
ノマー流量8c.c./分を10分間流し、プラズマ反
応することにより、非晶質ガラスの透明薄膜4を得た。
Then, the light emitting substrate 2 was placed in a glow discharge reaction container, and under an oxygen atmosphere, the high frequency output was 100 W, and the oxygen monomer flow rate was 8 c. c. /min for 10 minutes to cause a plasma reaction, thereby obtaining a transparent thin film 4 of amorphous glass.

【0025】ここで、上述の透明薄膜4の形成方法で説
明した金属アルコキシド溶液について説明する。
The metal alkoxide solution described in the above-mentioned method for forming the transparent thin film 4 will now be explained.

【0026】有機金属化合物である金属アルコキシドと
してテトラエトキシシラン[Si(OC2H5)4) 
を20ml、エタノールを20mlおよび0.01酢酸
水溶液を5mlの各々を混合して均質なアルコール溶液
を調製する。このアルコール溶液を40℃に加熱しなが
ら24時間還流し、加水分解半負うおよび重縮反応によ
り高分子量化ゾルを生成する。この高分子量化ゾルエチ
レングリコールモノエチルエーテルを20ml加え、減
圧蒸留を行い、エタノール及び水を除去して溶媒置換を
行う。この溶媒置換した液にイソプロパノールを加え、
25℃における粘度が7.0cpになるように調製した
Tetraethoxysilane [Si(OC2H5)4] is used as a metal alkoxide which is an organometallic compound.
20 ml of ethanol, 20 ml of ethanol, and 5 ml of 0.01 acetic acid aqueous solution are mixed to prepare a homogeneous alcohol solution. This alcohol solution is heated to 40° C. and refluxed for 24 hours to produce a high molecular weight sol through hydrolysis and polycondensation reactions. Add 20 ml of this high molecular weight sol ethylene glycol monoethyl ether, perform vacuum distillation to remove ethanol and water, and perform solvent replacement. Add isopropanol to this solvent-substituted solution,
The viscosity at 25°C was adjusted to 7.0 cp.

【0027】次に、本実施例の効果について説明する。 このように構成されたELパネルでは、透明薄膜4の膜
厚が約3μmと極めて薄いので、透明薄膜4を形成しな
い従来のELパネルと比較して、何等フレキシビィティ
に遜色はなかった。
Next, the effects of this embodiment will be explained. In the EL panel configured in this manner, the thickness of the transparent thin film 4 is extremely thin, about 3 μm, so the flexibility is comparable to that of a conventional EL panel in which the transparent thin film 4 is not formed.

【0028】また、外部の水分が防湿層16の周縁部の
変性ポリオレフィン系樹脂フィルムのシール部分から浸
入してきたとしても、非晶質ガラスの透明薄膜4によっ
て水分がほぼ遮断される。たとえ、発光層14等の内部
に残存した水分があったとしても、残余の水分は捕水層
16に十分吸収されるので、水分による発光層14の輝
度劣化は極めて少ない。
Furthermore, even if external moisture enters through the sealed portion of the modified polyolefin resin film at the periphery of the moisture-proof layer 16, the transparent thin film 4 of amorphous glass substantially blocks out the moisture. Even if there is moisture remaining inside the light-emitting layer 14 and the like, the remaining moisture is sufficiently absorbed by the water absorption layer 16, so that deterioration in brightness of the light-emitting layer 14 due to moisture is extremely small.

【0029】50℃の温度で、95%RHの湿度におけ
る強制劣化試験では、駆動条件を電圧100V、周波数
400Hzとする同一条件で、本実施例の透明薄膜4を
形成しないこと以外同一構成の従来のELパネルで初期
輝度52ニト(nt)の半減期が約800時間であるの
に対し、本実施例の初期輝度49ニト(nt)の半減期
が約1800時間と、2倍以上にも改善された。
In a forced deterioration test at a temperature of 50° C. and a humidity of 95% RH, the driving conditions were the same as that of a voltage of 100 V and a frequency of 400 Hz. The half-life of the initial brightness of 52 nits (nt) in this EL panel is approximately 800 hours, whereas the half-life of this example's initial brightness of 49 nits (nt) is approximately 1,800 hours, which is more than twice as much. It was done.

【0030】(実施例2)上述の実施例1では、捕水層
16上に透明薄膜4を形成したが、本実施例では、捕水
層を設けずに作成したELパネルについて図2を参照し
ながら説明する。
(Example 2) In the above-mentioned Example 1, the transparent thin film 4 was formed on the water-trapping layer 16, but in this example, an EL panel was prepared without providing a water-trapping layer, as shown in FIG. I will explain while doing so.

【0031】図2に示されるように、実施例1の捕水層
16を集電帯、透明電極8及び背面電極10上に積層し
ないものを発光基板2’とし、実施例1と同様に、この
発光基板2’上に非晶質ガラスの透明薄膜4を形成し、
さらに、この透明薄膜4上に防湿層4を形成してELパ
ネルを作成した。
As shown in FIG. 2, the light-emitting substrate 2' is a light-emitting substrate 2' in which the water-trapping layer 16 of Example 1 is not laminated on the current collecting band, the transparent electrode 8, and the back electrode 10, and as in Example 1, A transparent thin film 4 of amorphous glass is formed on this light emitting substrate 2',
Further, a moisture-proof layer 4 was formed on this transparent thin film 4 to produce an EL panel.

【0032】このように構成されたELパネルでは、透
明薄膜4を形成しない従来のELパネルと比較して、何
等フレキシビィティに遜色はなく、また、外部の水分が
防湿層16の周縁部の変性ポリオレフィン系樹脂フィル
ムのシール部分から浸入してきたとしても、非晶質ガラ
スの透明薄膜4によって水分がほぼ遮断される。
The EL panel constructed in this way has no inferiority in flexibility compared to a conventional EL panel in which the transparent thin film 4 is not formed, and also prevents external moisture from forming on the periphery of the moisture-proof layer 16. Even if moisture enters through the sealed portion of the modified polyolefin resin film, the transparent thin film 4 of amorphous glass will substantially block moisture.

【0033】50℃の温度で、95%RHの湿度におけ
る強制劣化試験では、駆動条件を電圧100V、周波数
400Hzとする同一条件で、本実施例の透明薄膜4を
形成しないこと以外同一構成の従来のELパネルで初期
輝度52ニト(nt)の半減期が約500時間であるの
に対し、本実施例の初期輝度50ニト(nt)の半減期
が約1600時間と、3倍以上にも改善された。
A forced deterioration test at a temperature of 50° C. and a humidity of 95% RH was performed under the same driving conditions as a voltage of 100 V and a frequency of 400 Hz. The half-life of an initial brightness of 52 nits (nt) in this EL panel is approximately 500 hours, whereas the half-life of this example's initial brightness of 50 nits (nt) is approximately 1,600 hours, an improvement of more than three times. It was done.

【0034】上述の説明では、発光基板2又は2’を金
属アルコキシド溶液に浸漬するディップ法で説明したが
、この発明は、ディップ法に限ることなく、その他のス
プレー法、スピンコート法、スクリーン法等のいずれで
もよい。
In the above explanation, the dipping method in which the light emitting substrate 2 or 2' is immersed in a metal alkoxide solution has been explained, but the present invention is not limited to the dipping method, but can also be applied to other spray methods, spin coating methods, and screen methods. Any of the following is acceptable.

【0035】また、上述の説明では、防湿層6の材質と
して、三フッ化塩化エチレンを選定したが、この発明は
これに限ることなく、ポリエステル樹脂と、酢酸ビニル
を含むポリエチレン樹脂とから積層されたポリエステル
フィルム等のその他の表面保護フィルムを使用してもよ
いことは言うまでもない。
Further, in the above explanation, trifluorochloroethylene was selected as the material for the moisture-proof layer 6, but the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this, but can be made by laminating polyester resin and polyethylene resin containing vinyl acetate. It goes without saying that other surface protection films such as polyester films may also be used.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のフレキシビリティを損なうことなく防湿性をより
高めて水分による経時変化に伴う輝度劣化を大幅に改善
したELパネルを提供することができ、また、有機物質
を損なうことのない100℃以下の低温乾燥処理でガラ
ス質透明薄膜を形成するELパネルの製造方法を提供す
ることができる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
It is possible to provide an EL panel that has improved moisture resistance without sacrificing conventional flexibility and has significantly improved brightness deterioration due to changes over time due to moisture, and also has a low temperature of 100 degrees Celsius or less without damaging organic substances. It is possible to provide a method for manufacturing an EL panel in which a glassy transparent thin film is formed through drying treatment.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の一実施例に係るELパネルを模式的に
示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing an EL panel according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の別の実施例に係るELパネルを模式的
に示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an EL panel according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2、2’  発光基板 4        透明薄膜 6        防湿層 8        透明電極 10      背面電極 12      反射絶縁層 14      発光層 16      捕水層 2, 2’ Light emitting board 4 Transparent thin film 6 Moisture barrier layer 8 Transparent electrode 10      Back electrode 12 Reflective insulation layer 14 Luminescent layer 16 Water catchment layer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  背面電極と透明電極との間に、有機バ
インダに蛍光体粉末を分散した発光層と、反射絶縁層と
を有し、透明電極の周縁上に形成された集電帯と背面電
極とから各々引き出された一対のリード端子を形成した
発光体基板を設けてなるELパネルにおいて、前記発光
基板表面に金属アルコキシド溶液を付着させて100℃
以下の乾燥温度で乾燥させた後、低温プラズマ処理され
ることによって透明薄膜が前記発光基板上に全面にわた
って形成されてなることを特徴とするELパネル。
1. A light-emitting layer in which phosphor powder is dispersed in an organic binder and a reflective insulating layer are provided between the back electrode and the transparent electrode, and a current collecting band formed on the periphery of the transparent electrode and the back surface are provided. In an EL panel provided with a light emitting substrate on which a pair of lead terminals each drawn out from an electrode are formed, a metal alkoxide solution is adhered to the surface of the light emitting substrate and the temperature is increased to 100°C.
An EL panel characterized in that a transparent thin film is formed over the entire surface of the light emitting substrate by drying it at a drying temperature below and then subjecting it to low temperature plasma treatment.
【請求項2】  前記発光基板の背面電極及び透明電極
上には、さらに、一対の捕水層が形成されており、前記
透明薄膜が捕水層上全面にわたって形成されていること
を特徴とする請求項1項に記載のELパネル。
2. A pair of water trapping layers are further formed on the back electrode and the transparent electrode of the light emitting substrate, and the transparent thin film is formed over the entire surface of the water trapping layer. The EL panel according to claim 1.
【請求項3】  前記透明薄膜の膜厚が10μm以下で
あることを特徴とする請求項1項又は2項に記載のEL
パネル。
3. The EL according to claim 1 or 2, wherein the transparent thin film has a thickness of 10 μm or less.
panel.
【請求項4】  背面電極上に反射絶縁層を形成し、こ
の反射絶縁層上に有機バインダに蛍光体粉末を分散した
発光層を塗布し、この発光層上に透明電極層を積層し、
この透明電極の周縁上に集電帯を形成し、この集電帯と
前記背面電極からそれぞれ電圧印加用のリードを引き出
すことにより発光体基板を形成するELパネルの製造方
法において、前記発光基板を金属アルコキシド溶液に塗
布し、100℃以下で乾燥させた後、低温プラズマ処理
し、これにより、発光基板の全面に覆って透明薄膜を形
成することを特徴とするELパネルの製造方法。
4. A reflective insulating layer is formed on the back electrode, a light emitting layer in which phosphor powder is dispersed in an organic binder is coated on the reflective insulating layer, and a transparent electrode layer is laminated on the light emitting layer,
In the method for manufacturing an EL panel, a light-emitting substrate is formed by forming a current collecting band on the periphery of the transparent electrode, and pulling out voltage application leads from the current collecting band and the back electrode, respectively. A method for manufacturing an EL panel, which comprises applying a metal alkoxide solution, drying it at 100° C. or lower, and then subjecting it to low-temperature plasma treatment to form a transparent thin film covering the entire surface of a light emitting substrate.
【請求項5】  前記発光基板作成工程には、さらに、
一対の捕水層をその周縁を互いに接合して背面電極及び
透明電極上にそれぞれ積層する工程が含まれ、前記金属
アルコキシド溶液を捕水層に浸漬することを特徴とする
請求項4項に記載のELパネルの製造方法。
5. The light emitting substrate producing step further includes:
5. The method according to claim 4, further comprising the step of bonding the peripheral edges of a pair of water-trapping layers to each other and laminating them on the back electrode and the transparent electrode, respectively, and immersing the metal alkoxide solution in the water-trapping layers. A method for manufacturing an EL panel.
JP3047641A 1991-02-19 1991-02-19 Electroluminescent(el) panel and manufacture thereof Pending JPH04264389A (en)

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