JPH04254488A - 単結晶引上装置用湯面温度測定装置 - Google Patents
単結晶引上装置用湯面温度測定装置Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
育成装置に用いられる湯面温度測定装置に関する。
の概略構成を示す。
れている。この黒鉛坩堝10はヒータ14で囲繞され、
ヒータ14はさらに黒鉛断熱材16で囲繞されている。 これら構成要素は、各中心軸を同心にして、メインチャ
ンバ18内に配置されている。石英坩堝12内に多結晶
金属片を入れ、ヒータ14に電力を供給することにより
、この多結晶が融液20となる。融液20の湯面22の
温度は結晶育成速度及び結晶の乱れに影響するので、湯
面22の温度を検出してヒータ14へ供給する電力を調
節する必要がある。そこで、従来では、メインチャンバ
18の肩部に覗き窓24を設け、この覗き窓24に放射
温度計26を固定していた。
た石英坩堝12の内壁からの放射光が湯面22で反射さ
れて放射温度計26に入射したり、湯面22以外からの
放射光が放射温度計26に入射するので、湯面22の温
度を正確に測定することができなかった。この測定誤差
は10℃を越えることもあった。検出温度に対するこの
放射光の影響の程度は、ヒータ14に対し昇降自在な石
英坩堝12のレベル、石英坩堝12内の融液20の量、
融液20の温度及びヒータ14への供給電力等により異
なるので、放射温度計26で検出された温度を正確に補
正することは困難である。
m、長さ10cm程度の、種結晶に延設されるネッキン
グと称されている絞り部育成の成功率を高めるには、湯
面22の温度を正確に測定することが要求される。絞り
部育成においては、結晶が熔断したり、或は急激に直径
が増大したりして、安定した直径制御や絞り部育成続行
が困難となる場合が多々あり、従来では、絞り部育成の
成功率は通常50%以下であったが、上記湯面温度の測
定誤差がこの原因に大きく影響していると考えられる。
て放射温度計を配置する構成が提案されている(特開平
1−126295号公報)。
ていたので、放射温度計全体が輻射熱を受け、放射温度
計の寿命が低下するという問題があった。また、放射温
度計をチャンバ外天井部に配置しようとすると、引上げ
ワイヤ巻上げ・回転装置との関係から充分な配置スペー
スがとれなかった。
、輻射熱による放射温度計の寿命低下を防止することが
でき、放射温度計の充分な配置スペースを確保でき、し
かも、湯面温度を正確に測定することが可能な単結晶引
上装置用湯面温度測定装置を提供することにある。
達成するために、本発明に係る単結晶引上装置用湯面温
度測定装置では、プルチャンバ内において、融液面から
略垂直上方に進行する放射光が入射するように配置され
る反射器、好ましくは全反射プリズムと、該プルチャン
バ外かつ該プルチャンバ側方において、該反射器で全反
射された該放射光が入射するように配置される放射温度
計とを有している。該プルチャンバは、融液の入った坩
堝を収容するメインチャンバの上端に続く、メインチャ
ンバより小径の筒状物(断面形状は任意)である。
直上方に進行する放射光を放射温度計に入射させて融液
面の温度を測定するので、融液の入った坩堝の内壁から
の放射光は放射温度計に殆ど入射せず、融液面の温度を
より正確に測定することができる。これにより、単結晶
育成自動制御が特に難しい直径3mm、長さ10cm程
度の絞り部育成の成功率を高めることができる。
するので、輻射熱による放射温度計の寿命低下を防止す
ることができる。
配置するので、放射温度計の充分な配置スペースを確保
することができる。
に、入射立体角を制限するための制限筒を取り付ければ
、融液面の温度をさらに正確に測定することができる。
略構成を示す。図3と同一構成要素には同一符号を付し
てその説明を省略する。
のプルチャンバ28の上部に、放射温度計30が取り付
けられている。図2はこの取り付け状態の詳細を示す。 図中、中心軸Cはプルチャンバ28の中心軸である。
、このプルチャンバ28に穴が穿設され、この穴の部分
に外筒32の一端部が固着されている。外筒32内には
内筒34が嵌入されている。この内筒34の一端には、
フランジ36が固着され、フランジ36と外筒32との
間にシールリング38が嵌められ、このシールリング3
8を覆うようにカバーリング40がねじ42でフランジ
36に固着されている。フランジ36の端面には、中間
板44を介してベースプレート46が固着されている。 このベースプレート46に、放射温度計30がねじ48
で固着されている。また、ベースプレート46にブラケ
ット50がねじ52で固着され、このブラケット50に
より放射温度計30の対物レンズ側筒部が支持されてい
る。放射温度計30の前方には、ベースプレート46に
ブラケット54が固着され、このブラケット54に保持
板56を介してミラー58が固着されている。
部には、中央部に放射光通過用穴が形成された蓋60が
ねじ62で固着され、この蓋60の前面に、放射光通過
用穴が形成されたL字型保持板64の一面が固着され、
保持板64に全反射プリズム66が固着されている。ま
た、保持板64の他面には中心軸Cに平行に制限筒68
の一端が固着されている。したがって、制限筒68の中
心軸は、図1に示す如く、湯面22に垂直になっている
。
は、制限筒68内を通り、全反射プリズム66で全反射
され、さらにミラー58で反射されて放射温度計30に
入射し、湯面22の温度が測定される。
内壁面からの放射光が放射温度計30に入射しないので
、湯面22の温度をより正確に測定することができ、結
晶育直径をより正確に制御することができる。これによ
り、単結晶育成自動制御が特に難しい直径3mm、長さ
10cm程度の絞り部育成の成功率を90%以上に高め
ることができた。
て、入射光角度を充分制限することにより、より正確に
湯面22の温度を測定する場合を説明したが、制限筒6
8を除去してもよい。この場合、内筒34の内径を小さ
くすれば、内筒34の黒色内壁面で、湯面22以外から
の斜め入射放射光が吸収されて、本発明の効果が得られ
る。しかし、入射光量が低下するので、検出信号増幅率
を増大させなければならず、このためSN比が低下し、
制限筒68を設けた場合よりも測定精度が低下する。
体をコンパクトにするのに役だっているが、本発明は、
全反射プリズム66からの全反射光を直接、放射温度計
30に導く構成であってもよい。
ーを用いてもよい。しかし、この場合、銀等の蒸着金属
膜の熱膨張率とガラス基板の熱膨張率との差に基づき両
者間に熱応力が働いて、金属膜が劣化するので、このよ
うな問題が生じない全反射プリズム66の方が好ましい
。
引上装置用湯面温度測定装置によれば、融液面から略垂
直上方に進行する放射光を放射温度計に入射させて融液
面の温度を測定するので、融液の入った坩堝の内壁から
の放射光は放射温度計に殆ど入射せず、融液面の温度を
より正確に測定することができ、また、プルチャンバ外
に放射温度計を配置するので、輻射熱による放射温度計
の寿命低下を防止することができ、しかも、プルチャン
バ側方に放射温度計を配置するので、放射温度計の充分
な配置スペースを確保することができるという効果を奏
する。
の放射光入射面に、入射立体角を制限するための制限筒
を取付ければ、融液面の温度をさらに正確に測定するこ
とができるという効果を奏する。
単結晶育成装置の概略構成図である。
面図である。
単結晶育成装置の概略構成図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 融液の入った坩堝(12)を収容する
メインチャンバ(18)の上端に続く、該メインチャン
バよりも小径の筒状物であるプルチャンバ(28)内に
おいて、融液面(22)から略垂直上方に進行する放射
光が入射するように配置される反射器(66)と、該プ
ルチャンバ外かつ該プルチャンバ側方において、該反射
器で全反射された該放射光が入射するように配置される
放射温度計(30)と、を有することを特徴とする単結
晶引上装置用湯面温度測定装置。 - 【請求項2】 前記反射器(66)の放射光入射面に
、入射立体角を制限するための制限筒(68)を取付け
たことを特徴とする請求項1記載の単結晶引上装置用湯
面温度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3152991A JP2619986B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 単結晶引上装置用湯面温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3152991A JP2619986B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 単結晶引上装置用湯面温度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04254488A true JPH04254488A (ja) | 1992-09-09 |
JP2619986B2 JP2619986B2 (ja) | 1997-06-11 |
Family
ID=12333727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3152991A Expired - Lifetime JP2619986B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 単結晶引上装置用湯面温度測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2619986B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002001170A1 (fr) * | 2000-06-26 | 2002-01-03 | Nec Corporation | Procede et appareil de mesure de la temperature |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP3152991A patent/JP2619986B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002001170A1 (fr) * | 2000-06-26 | 2002-01-03 | Nec Corporation | Procede et appareil de mesure de la temperature |
US7033070B2 (en) | 2000-06-26 | 2006-04-25 | Nec Corporation | Method and apparatus for measuring temperature |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2619986B2 (ja) | 1997-06-11 |
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