JPH04253148A - X線発生装置 - Google Patents

X線発生装置

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Publication number
JPH04253148A
JPH04253148A JP2805691A JP2805691A JPH04253148A JP H04253148 A JPH04253148 A JP H04253148A JP 2805691 A JP2805691 A JP 2805691A JP 2805691 A JP2805691 A JP 2805691A JP H04253148 A JPH04253148 A JP H04253148A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube wall
ray tube
ray
copper
vacuum
Prior art date
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Pending
Application number
JP2805691A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadayuki Takahashi
高橋 貞幸
Katsumi Tsukamoto
塚本 勝美
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
Original Assignee
Rigaku Denki Co Ltd
Rigaku Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Rigaku Denki Co Ltd, Rigaku Corp filed Critical Rigaku Denki Co Ltd
Priority to JP2805691A priority Critical patent/JPH04253148A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、X線回折装置等のX線
装置に用いられてX線を発生するX線発生装置に関する
【0002】
【従来の技術】一般にX線発生装置は、筒状に形成され
ていて内部空間を密閉するX線管壁と、X線管壁の一部
に設けられたX線取出し用窓と、X線管壁によって囲ま
れる空間内に設けられたX線源とを有している。そして
、X線管壁によって囲まれる空間内を真空に保持した状
態でX線源からX線を放射し、そのX線を上記X線取出
し用窓から外部へ取り出すようになっている。上記X線
源は、通常、コイル状のフィラメントによって形成され
た陰極と、銅(Cu)、モリブデン(Mo)等の金属に
よって形成されていてターゲット等と呼ばれる対陰極と
によって構成されている。そして、フィラメントを加熱
してそこから熱電子を放出させ、その熱電子をターゲッ
トに衝突させることにより、そのターゲットからX線を
発生させる。このX線発生装置を、例えば、X線回折装
置のX線源として用いる場合には、X線管の外部に取り
出されたX線を試料へ照射し、その試料で回折したX線
、すなわち回折X線の強度等をX線検出器によって検出
する。
【0003】上記のX線発生装置において要求される条
件の1つとして、X線管壁によって囲まれる空間の内部
、すなわちX線源のまわりを長期間にわたって高度の真
空状態に保持するということがある。これは、上記フィ
ラメントからの異常放電を防止したり、フィラメントが
酸化して劣下するのを防止するための措置である。従来
のX線発生装置においては、X線管壁によって囲まれる
空間の内部の真空度を長期間にわたって高く保持するた
めに、真空状態においてガスの放出量が少ない材料、例
えばステンレス等によってX線管壁を形成していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】X線管壁としてステン
レス等を用いれば、X線管壁によって囲まれる空間が真
空状態とされた場合にもガスの放出が比較的少ないので
、長期間にわたって高い真空度が保持される。しかしな
がら、次のような問題があった。X線源においては、フ
ィラメントが高温に加熱され、さらに熱電子の衝突によ
りターゲットが発熱して高温になる。さらに、一度ター
ゲットに衝突した熱電子の一部が反跳電子となってX線
管壁に衝突するためX線管壁の温度も上昇する。従って
、X線発生装置によるX線放射を継続して行うためには
、X線源はもとよりX線発生装置全体を冷却する必要が
ある。従来、X線発生装置を冷却するにあたっては、タ
ーゲット内に冷却液、例えば水を流したり、X線管壁に
複数の冷却液通路を形成して該通路に冷却液を流す等と
いった方法がとられている。しかしながらこの場合、従
来のようにX線管壁をステンレスによって形成しておく
と、ステンレスは熱伝導率が非常に悪いので、X線管壁
内に多数の冷却液通路を複雑に配回さなければ目標とす
る冷却効果が得られなかった。そのため、X線管壁を製
造するにあたって、非常に難しい加工工程が要求された
り、加工のために長時間を必要とするといった欠点があ
った。
【0005】本発明は、従来のX線発生装置における上
記の問題点に鑑みてなされたものであって、X線管壁に
関する冷却構造を非常に簡単に形成することができ、し
かもX線管壁に関して高い冷却効果を得ることができ、
さらに、X線管壁によって囲まれる空間内を長期間にわ
たって高度の真空状態に保持できるX線発生装置を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るX線発生装置は、筒状に形成されてい
て内部空間を密閉するX線管壁(1)と、X線管壁の一
部に設けられたX線取出し用窓(7)と、X線管壁によ
って囲まれる空間内に設けられたX線源(ターゲット2
,フィラメント4)とを有しており、X線管壁によって
囲まれる空間内を真空に保持した状態でX線源からX線
を放射し、そのX線を上記X線取出し用窓から外部へ取
り出すX線発生装置であって、X線管壁を銅又は銅合金
によって形成し、さらに、熱的に蒸気圧が低くかつ真空
状態下でガスの放出量の少ない金属(11)をX線管壁
の内面に設けたことを特徴としている。熱的に蒸気圧が
低く、かつ真空状態下でガスの放出量の少ない金属とし
ては、例えばニッケル(Ni)、クロム(Cr)、チタ
ン(Ti)、アルミニウム(Al)等が考えられる。 上記の金属をX線管壁の内面に薄膜状に設ける方法とし
ては、蒸着、CVD、あるいはその他種々の薄膜形成方
法を採用することができる。
【0007】
【作用】X線管壁(1)には冷却液通路(10)が形成
され、その冷却液通路を通って流れる冷却液、例えば水
によってX線管壁、ひいてはX線発生装置全体が冷却さ
れる。X線管壁は、熱伝導率の高い銅(Cu)又は銅合
金によって形成されているので、数少ない冷却液通路(
10)によって効率良く冷却される。よって、冷却液通
路を複雑に配回す必要もない。銅(Cu)は、熱伝導率
が高い一方で、真空状態下でガスを放出し易いという性
質を有している。従って、銅又はその合金をそのままの
状態でX線管壁として用いると、X線管壁によって囲ま
れる空間内、すなわちX線源(ターゲット2,フィラメ
ント4)のまわりの真空度が著しく低下し、異常放電、
フィラメント劣下等の原因となる。これに対し本発明で
は、ニッケル(Ni)等のように、熱的に蒸気圧が低く
かつ真空状態下でガスの放出量の少ない金属をX線管壁
の内面にコーティングしてあるので、X線管壁によって
囲まれる空間内へのガスの漏出が防止され、該空間内を
長期間にわたって高度の真空状態に保持できる。
【0008】
【実施例】図1は、本発明に係るX線発生装置の一実施
例を上方から見た場合を示している。同図において、紙
面垂直方向に延びる角筒状のX線管壁1によって囲まれ
る空間内に円柱状のターゲット2が配置されている。ま
た、X線管壁1の左側壁外周面にモータ3が固定して取
り付けられている。このモータ3は、ターゲット2を軸
線Lを中心として回転させる。ターゲット2の外周側面
に対向する位置には、コイル状のフィラメント4が固定
して設けられている。このフィラメント4には電流源5
が接続されており、その電流源5からフィラメント4に
電流が流される。この通電によりフィラメント4が加熱
され、該フィラメントから熱電子が放出される。フィラ
メント4とターゲット2との間には高圧源6が接続され
ており、この高圧源6により、両者間に高電圧が印加さ
れている。フィラメント4から放出された熱電子は、上
記の高電圧によって加速されてターゲット2の外周側面
に衝突し、そこからX線が放射される。
【0009】X線管壁1の右側壁下部に、X線を透過で
きる材料、例えばベリリウム(Be)によって形成され
たX線取出し用窓7が設けられている。ターゲット2か
ら放射されたX線の一部はX線取出し用窓7を介してX
線管壁1の外部へ取り出される。本X線発生装置が、例
えばX線回折装置に適用された場合には、X線取出し用
窓7を介して取り出されたX線によって試料8が照射さ
れ、そのX線と試料内の結晶格子面との間でX線回折条
件が満足されるときに、その試料8でX線が回折する。 この回折X線は、図示されていないX線検出器によって
その強度等が検出される。
【0010】X線管壁1の図面上側の側壁には、ロータ
リポンプ、ターボ分子ポンプ等によって形成された真空
排気装置9が接続されている。ターゲット2からX線が
放射される間、X線管壁1によって囲まれる空間内は上
記の真空排気装置9の働きによって真空に保持される。 上記の空間内を真空に保持することにより、フィラメン
ト4からの異常放電、フィラメント4の劣下等を防止し
ている。
【0011】ところで、フィラメント4は熱電子を放出
するに際して高温に発熱する。また、ターゲット2は、
熱電子の衝突により、これまた高温に発熱する。さらに
、一度ターゲットに衝突した熱電子の一部が反跳電子と
なってX線管壁に衝突するためX線管壁の温度も上昇す
る。従って、X線発生装置を長時間にわたって正常に稼
働させるためには、冷却のための手段を設ける必要があ
る。本実施例では、X線管壁1の適所に管壁1に沿って
延びる、すなわち紙面垂直方向に延びる断面円形状の3
本の冷却水通路10が設けてある。これらの冷却水通路
は、X線管壁1内を複雑に配回してあるわけではなく、
単に直線状に設けられている。また、X線管壁1それ自
体は、熱伝導率の高い銅(Cu)又は銅合金によって形
成されており、さらにX線取出し用窓7が設けられた部
分を除いて、X線管壁1の内周面全域に薄い膜状の金属
層11が蒸着されている。この金属層11を構成する金
属としては、熱的に蒸気圧が低くかつ真空状態下でガス
の放出量が少ない材料、例えばニッケル(Ni)が用い
られている。
【0012】上記のようにX線管壁1は、熱伝導率の高
い銅等によって形成されているので、数が少なくしかも
単なる直線状の冷却水通路10に冷却水を流すだけで、
十分にX線発生装置を冷却することができる。また、銅
それ自身は、真空状態下におけるガスの放出量が非常に
多いが、本実施例ではX線管壁1の内周面全域に、ガス
を放出しにくいニッケル等を蒸着してあるので、X線管
壁1によって囲まれる空間内にガスが放出されて、該空
間内の真空度が低下するといった不都合が発生しない。
【0013】以上、1つの実施例をあげて本発明を説明
したが、本発明はその実施例に限定されるものではない
。例えば、X線管壁1の形状は、角柱状に限らず他の任
意の形状とすることができる。X線管壁1に付設する冷
却水通路10の数も、3本に限らず、必要に応じてより
多くしたり、あるいは、より少なくすることもできる。 また、冷却水通路10の配設位置も、ターゲット2その
他の部材との関連で他の任意の位置とすることもできる
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、X線管壁を熱伝導率の
高い銅又は銅合金によって形成したので、X線管壁に関
して非常に簡単な冷却構造を採用しただけで、非常に高
い冷却効果を得ることができる。また、X線管壁の内周
面に、熱的に蒸気圧が低くかつ真空状態下でガスの放電
量の少ない金属を層状に設けたので、X線管壁を構成す
る銅等それ自体はガスを放出し易い材料であっても、そ
の金属層の作用により、X線管壁によって囲まれる空間
内にガスが漏出されることが防止される。よって、該空
間内を長期間にわたって高度の真空状態に保持すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るX線発生装置の一実施例を示す平
面断面図である。
【符号の説明】
1  X線管壁                  
2  ターゲット4  フィラメント        
      7  X線取出し用窓11  薄膜金属層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  筒状に形成されていて内部空間を密閉
    するX線管壁と、X線管壁の一部に設けられたX線取出
    し用窓と、X線管壁によって囲まれる空間内に設けられ
    たX線源とを有しており、X線管壁によって囲まれる空
    間内を真空に保持した状態でX線源からX線を放射し、
    そのX線を上記X線取出し用窓から外部へ取り出すX線
    発生装置において、X線管壁を銅又は銅合金によって形
    成し、さらに、熱的に蒸気圧が低くかつ真空状態下でガ
    スの放出量の少ない金属をX線管壁の内面に設けたこと
    を特徴とするX線発生装置。
JP2805691A 1991-01-29 1991-01-29 X線発生装置 Pending JPH04253148A (ja)

Priority Applications (1)

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JP2805691A JPH04253148A (ja) 1991-01-29 1991-01-29 X線発生装置

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JP2805691A JPH04253148A (ja) 1991-01-29 1991-01-29 X線発生装置

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JPH04253148A true JPH04253148A (ja) 1992-09-08

Family

ID=12238103

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2805691A Pending JPH04253148A (ja) 1991-01-29 1991-01-29 X線発生装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015523685A (ja) * 2012-06-14 2015-08-13 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft X線源、その使用およびx線生成方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015523685A (ja) * 2012-06-14 2015-08-13 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトSiemens Aktiengesellschaft X線源、その使用およびx線生成方法
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