JPH04252951A - 無電解めっき液の成分濃度測定方法 - Google Patents
無電解めっき液の成分濃度測定方法Info
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- JPH04252951A JPH04252951A JP3027996A JP2799691A JPH04252951A JP H04252951 A JPH04252951 A JP H04252951A JP 3027996 A JP3027996 A JP 3027996A JP 2799691 A JP2799691 A JP 2799691A JP H04252951 A JPH04252951 A JP H04252951A
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title abstract description 4
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 title abstract 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 title abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 20
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 abstract description 8
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 abstract description 8
- 150000001869 cobalt compounds Chemical class 0.000 abstract description 8
- RXNBDWQDJKUHNH-UHFFFAOYSA-L azane;cobalt(2+);dithiocyanate Chemical compound N.[Co+2].[S-]C#N.[S-]C#N RXNBDWQDJKUHNH-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonium chloride Substances [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 5
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004280 Sodium formate Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- -1 alkyl phosphate ester Chemical class 0.000 description 1
- SOIFLUNRINLCBN-UHFFFAOYSA-N ammonium thiocyanate Chemical compound [NH4+].[S-]C#N SOIFLUNRINLCBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVRSEHNKNVARQT-UHFFFAOYSA-N azane;cobalt;thiocyanic acid Chemical compound [NH4+].[Co].[S-]C#N SVRSEHNKNVARQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- UFMZWBIQTDUYBN-UHFFFAOYSA-N cobalt dinitrate Chemical compound [Co+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O UFMZWBIQTDUYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001981 cobalt nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- INDBQWVYFLTCFF-UHFFFAOYSA-L cobalt(2+);dithiocyanate Chemical compound [Co+2].[S-]C#N.[S-]C#N INDBQWVYFLTCFF-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- HLBBKKJFGFRGMU-UHFFFAOYSA-M sodium formate Chemical compound [Na+].[O-]C=O HLBBKKJFGFRGMU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000019254 sodium formate Nutrition 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は無電解めっき液の成分濃
度測定方法に関する。
度測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】無電解めっき液は、金属源や還元剤等の
主成分に、界面活性剤等を添加剤として用いた成分から
なる。界面活性剤は、例えばポリエチレングリコールや
その誘導体、アルキル型りん酸エステル等を用いていて
、通常、直接反応に関与するものではなく、無電解めっ
き液中においてその濃度は変化しない。しかし、無電解
めっき液をリサイクルして再利用する場合に活性炭処理
を行なうことが有効であることは知られているが、この
際、液中の界面活性剤が活性炭によって吸着・除去され
てしまい、再生液中の界面活性剤の量が減少する。界面
活性剤は、無電解めっき液から得られる金属の物理的特
性を左右する重要な因子であり、金属のこの特性を良好
にするためには、界面活性剤の濃度の管理が必要である
。従来、界面活性剤の濃度を一定に保つためには、無電
解めっき液の増加に応じて界面活性剤を加えている。 また、界面活性剤をより定量的に管理するため、無電解
めっき液の表面張力を測定し、その測定値から間接的に
行なう方法を採っていた。
主成分に、界面活性剤等を添加剤として用いた成分から
なる。界面活性剤は、例えばポリエチレングリコールや
その誘導体、アルキル型りん酸エステル等を用いていて
、通常、直接反応に関与するものではなく、無電解めっ
き液中においてその濃度は変化しない。しかし、無電解
めっき液をリサイクルして再利用する場合に活性炭処理
を行なうことが有効であることは知られているが、この
際、液中の界面活性剤が活性炭によって吸着・除去され
てしまい、再生液中の界面活性剤の量が減少する。界面
活性剤は、無電解めっき液から得られる金属の物理的特
性を左右する重要な因子であり、金属のこの特性を良好
にするためには、界面活性剤の濃度の管理が必要である
。従来、界面活性剤の濃度を一定に保つためには、無電
解めっき液の増加に応じて界面活性剤を加えている。 また、界面活性剤をより定量的に管理するため、無電解
めっき液の表面張力を測定し、その測定値から間接的に
行なう方法を採っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の管理方
法では、定量化が不十分であり、高品質の無電解めっき
液が得られない欠点がある。本発明の目的は、以上の欠
点を改良し、界面活性剤の定量化を十分に行なえ高品質
の無電解めっき液が得られる無電解めっき液の成分濃度
測定方法を提供するものである。
法では、定量化が不十分であり、高品質の無電解めっき
液が得られない欠点がある。本発明の目的は、以上の欠
点を改良し、界面活性剤の定量化を十分に行なえ高品質
の無電解めっき液が得られる無電解めっき液の成分濃度
測定方法を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、界面活性剤を含む無電解めっき液にコ
バルトを含む水溶液を加える処理と、この処理の後に溶
媒抽出によって界面活性剤を抽出しその量を測定する処
理を行なう無電解めっき液中の成分濃度測定方法を提供
するものである。
達成するために、界面活性剤を含む無電解めっき液にコ
バルトを含む水溶液を加える処理と、この処理の後に溶
媒抽出によって界面活性剤を抽出しその量を測定する処
理を行なう無電解めっき液中の成分濃度測定方法を提供
するものである。
【0005】
【作用】界面活性剤を含む無電解めっき液に、コバルト
チオシアン酸アンモニウム溶液等のコバルトを含む水溶
液を加えるとコバルト化合物を生成する。なお、無電解
めつき液は、原液のまま用いると、沈澱を生じ、正確な
測定ができなくなるので、5倍以上に希釈して用いる。 次に、溶媒抽出にクロロホルムを用い、このコバルト化
合物を抽出する。この際、一般に界面活性剤の定量法と
して知られているコバルトチオシアネート法に従って溶
媒にベンゼンを用いてもよいが、クロロホルムの方法が
定量性に優れている。溶媒抽出後、分光光度計等により
抽出した界面活性剤の濃度を測定する。
チオシアン酸アンモニウム溶液等のコバルトを含む水溶
液を加えるとコバルト化合物を生成する。なお、無電解
めつき液は、原液のまま用いると、沈澱を生じ、正確な
測定ができなくなるので、5倍以上に希釈して用いる。 次に、溶媒抽出にクロロホルムを用い、このコバルト化
合物を抽出する。この際、一般に界面活性剤の定量法と
して知られているコバルトチオシアネート法に従って溶
媒にベンゼンを用いてもよいが、クロロホルムの方法が
定量性に優れている。溶媒抽出後、分光光度計等により
抽出した界面活性剤の濃度を測定する。
【0006】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
実施例1)
無電解めっき液としては次の成分比のものを用い、これ
を標準液とする。 硫酸銅 10g/l37%
ホルマリン 3ml/lEDTA
40g/l界面活性剤(分子量1000
のポリエチレングリコール)1〜3g/l pH 12.0次に、
この標準液を10倍希釈した液25mlと、コバルトチ
オシアン酸アンモニウム5mlを分液ロートの内に入れ
、振動する。コバルトチオシアン酸アンモニウム溶液は
チオシアン酸アンモニウム620gと硝酸コバルト28
0gとを水に溶解して1lとしたものを用いる。その後
、分液ロートにクロロホルム25mlを加え、これを2
分間振って混合し、5分間放置して溶媒抽出する。放置
することにより、分液ロート内の液は水層とクロロホル
ム層とに分離するので、クロロホルム層のみを採取する
。そして採取したコバルト化合物を含むクロロホルムを
試料として、分光光度計(株式会社日立製作所製U−2
000形)を用い波長320nmとし吸光度を測定する
。この際、対照となる液にはクロロホルムを用いる。 次にポリエチレングリコールの濃度を1g/l、2g/
l及び3g/lの3種類とした各標準液につき吸光度を
測定し、図1に示す通りの検量線を求めた。そして、上
記の各処理を再度行ない、吸光度を測定し、図1の検量
線からポリエチレングリコールの濃度を算出した。表1
に実際に添加した濃度を真値とし、検量線を使用して算
出した濃度を測定値として表わした。表1から明らかな
通り、真値に対する測定値のズレは約−4〜3%であり
、微小であった。
を標準液とする。 硫酸銅 10g/l37%
ホルマリン 3ml/lEDTA
40g/l界面活性剤(分子量1000
のポリエチレングリコール)1〜3g/l pH 12.0次に、
この標準液を10倍希釈した液25mlと、コバルトチ
オシアン酸アンモニウム5mlを分液ロートの内に入れ
、振動する。コバルトチオシアン酸アンモニウム溶液は
チオシアン酸アンモニウム620gと硝酸コバルト28
0gとを水に溶解して1lとしたものを用いる。その後
、分液ロートにクロロホルム25mlを加え、これを2
分間振って混合し、5分間放置して溶媒抽出する。放置
することにより、分液ロート内の液は水層とクロロホル
ム層とに分離するので、クロロホルム層のみを採取する
。そして採取したコバルト化合物を含むクロロホルムを
試料として、分光光度計(株式会社日立製作所製U−2
000形)を用い波長320nmとし吸光度を測定する
。この際、対照となる液にはクロロホルムを用いる。 次にポリエチレングリコールの濃度を1g/l、2g/
l及び3g/lの3種類とした各標準液につき吸光度を
測定し、図1に示す通りの検量線を求めた。そして、上
記の各処理を再度行ない、吸光度を測定し、図1の検量
線からポリエチレングリコールの濃度を算出した。表1
に実際に添加した濃度を真値とし、検量線を使用して算
出した濃度を測定値として表わした。表1から明らかな
通り、真値に対する測定値のズレは約−4〜3%であり
、微小であった。
【0007】実施例2)
実施例1)において、無電解めっき液としてさらに硫酸
ナトリウムとギ酸ナトリウムを各々40g/lを加えた
ものを用いる以外は同じ処理をして吸光度を測定する。 そして図1の検量線を用いて、吸光度に応対するポリエ
チレングリコールの濃度を求めた。表1に、実際に添加
した濃度を真値とし、検量線によって求めた濃度を測定
値として表わした。表1から明らかな通り、測定値のズ
レは約−4〜1.3%であった。
ナトリウムとギ酸ナトリウムを各々40g/lを加えた
ものを用いる以外は同じ処理をして吸光度を測定する。 そして図1の検量線を用いて、吸光度に応対するポリエ
チレングリコールの濃度を求めた。表1に、実際に添加
した濃度を真値とし、検量線によって求めた濃度を測定
値として表わした。表1から明らかな通り、測定値のズ
レは約−4〜1.3%であった。
【0008】
【0009】
【発明の効果】以上の通り、本発明の成分濃度測定方法
によれば、無電解めっき液にコバルトを含む水溶液を加
えてコバルト化合物を生成し、その後溶媒抽出を行なう
ことにより、界面活性剤をコバルト化合物として分離で
きる。そしてこの分離した界面活性剤を吸光度等を測定
することにより、無電解めっき液中の界面活剤の濃度を
高い精度で定量化できる。
によれば、無電解めっき液にコバルトを含む水溶液を加
えてコバルト化合物を生成し、その後溶媒抽出を行なう
ことにより、界面活性剤をコバルト化合物として分離で
きる。そしてこの分離した界面活性剤を吸光度等を測定
することにより、無電解めっき液中の界面活剤の濃度を
高い精度で定量化できる。
【図1】検量線のグラフを示す。
Claims (1)
- 【請求項1】 界面活性剤を含む無電解めっき液にコ
バルトを含む水溶液を加える処理と、この処理の後に溶
媒抽出によって界面活性剤を抽出しその量を測定する処
理を行なう無電解めっき液の成分濃度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3027996A JPH04252951A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 無電解めっき液の成分濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3027996A JPH04252951A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 無電解めっき液の成分濃度測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04252951A true JPH04252951A (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=12236435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3027996A Pending JPH04252951A (ja) | 1991-01-29 | 1991-01-29 | 無電解めっき液の成分濃度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04252951A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0954036A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Kobe Steel Ltd | Cr濃度計 |
US5627076A (en) * | 1995-11-13 | 1997-05-06 | Baker Hughes Incorporated | Method for determination of glycols and polyglycols in drilling fluid filtrates |
-
1991
- 1991-01-29 JP JP3027996A patent/JPH04252951A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0954036A (ja) * | 1995-08-17 | 1997-02-25 | Kobe Steel Ltd | Cr濃度計 |
US5627076A (en) * | 1995-11-13 | 1997-05-06 | Baker Hughes Incorporated | Method for determination of glycols and polyglycols in drilling fluid filtrates |
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