JPH0425233U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0425233U JPH0425233U JP6696590U JP6696590U JPH0425233U JP H0425233 U JPH0425233 U JP H0425233U JP 6696590 U JP6696590 U JP 6696590U JP 6696590 U JP6696590 U JP 6696590U JP H0425233 U JPH0425233 U JP H0425233U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- gas supply
- vacuum pump
- reaction chamber
- normal pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims 1
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
Description
第１図は、本考案の実施例を示す概略構成図、
第２図は、実施例における薄膜形成を説明する断
面図、第３図は、従来例を示す概略構成図、第４
図ａ，ｂは、従来例における薄膜形成を説明する
断面図である。 １……反応室、４……基板、８……ガス供給口
、１３，１４……吸引口、１７……切換弁、１９
……真空ポンプ、２０……制御装置。
第２図は、実施例における薄膜形成を説明する断
面図、第３図は、従来例を示す概略構成図、第４
図ａ，ｂは、従来例における薄膜形成を説明する
断面図である。 １……反応室、４……基板、８……ガス供給口
、１３，１４……吸引口、１７……切換弁、１９
……真空ポンプ、２０……制御装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 反応室内に、基板へ向けて反応ガスを吹き出す
ガス供給口を備えた常圧ＣＶＤ装置において、 上記反応室内のガス供給口の周囲に、真空ポン
プに通じた複数の吸引口を対称的に配置するとと
もに、 その複数の吸引口のうち、上記真空ポンプで吸
引を行う吸引口を順次切換える手段を設けたこと
を特徴とする常圧ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6696590U JPH0425233U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6696590U JPH0425233U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425233U true JPH0425233U (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31600127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6696590U Pending JPH0425233U (ja) | 1990-06-25 | 1990-06-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425233U (ja) |
-
1990
- 1990-06-25 JP JP6696590U patent/JPH0425233U/ja active Pending