JPH04251581A - 超音波モータの駆動制御装置 - Google Patents
超音波モータの駆動制御装置Info
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- JPH04251581A JPH04251581A JP2416327A JP41632790A JPH04251581A JP H04251581 A JPH04251581 A JP H04251581A JP 2416327 A JP2416327 A JP 2416327A JP 41632790 A JP41632790 A JP 41632790A JP H04251581 A JPH04251581 A JP H04251581A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 230000009189 diving Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動制
御装置に関する。
御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気発生がなく、小型でトルクが
大きいことから、磁気記憶媒体の処理装置等の駆動源と
して超音波モータが利用されている。
大きいことから、磁気記憶媒体の処理装置等の駆動源と
して超音波モータが利用されている。
【0003】超音波モータは、図5に示すように、中心
に回転軸1を有する円板状の回転子2と、環状に配列さ
れた複数の圧電体31 〜3n 、41 〜4n 、5
および圧電センサ6の上面に弾性体7が接着された固定
子8とによって構成されている。
に回転軸1を有する円板状の回転子2と、環状に配列さ
れた複数の圧電体31 〜3n 、41 〜4n 、5
および圧電センサ6の上面に弾性体7が接着された固定
子8とによって構成されている。
【0004】圧電体31 〜3n 、41 〜4n は
、極性が互い違いとなるように並んでおり、図6に示す
ように、左側の圧電体31 〜3n と右側の圧電体4
1 〜4n に対して、圧電体の共振周波数に近い周波
数で90度位相が異なる交流信号を電極9a、9b、1
0a、10bより印加すると、圧電体31 〜3n 、
41 〜4n は、円周方向に屈曲振動し、左右の波が
中間の圧電体5を介して干渉し、図7に示すように、弾
性体7の表面には、円周方向に沿って進行する弾性波が
生じる。
、極性が互い違いとなるように並んでおり、図6に示す
ように、左側の圧電体31 〜3n と右側の圧電体4
1 〜4n に対して、圧電体の共振周波数に近い周波
数で90度位相が異なる交流信号を電極9a、9b、1
0a、10bより印加すると、圧電体31 〜3n 、
41 〜4n は、円周方向に屈曲振動し、左右の波が
中間の圧電体5を介して干渉し、図7に示すように、弾
性体7の表面には、円周方向に沿って進行する弾性波が
生じる。
【0005】このため、弾性体7に上方から接している
回転子2は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転
駆動される。
回転子2は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転
駆動される。
【0006】なお、、弾性波の振幅は、図8の特性Aに
示すように交流信号の周波数が圧電体31 〜3n 、
41 〜4n の共振周波数F0 に近い程大きくなり
、弾性波の振幅の大きさに追従して、回転子2の回転速
度も速くなる。
示すように交流信号の周波数が圧電体31 〜3n 、
41 〜4n の共振周波数F0 に近い程大きくなり
、弾性波の振幅の大きさに追従して、回転子2の回転速
度も速くなる。
【0007】この超音波モータを所定の目標速度で定速
回転させるための駆動制御装置として、従来より図9に
示すように、超音波モータの回転子2に連結した回転速
度検出器(例えばロータリエンコーダ)11からの信号
の周期(あるいは周波数)を、回転速度比較手段21で
目標速度に対応した周期と比較し、その比較出力を受け
た駆動周波数制御手段22により、発振器23の発振周
波数を所定の周波数変化率で可変して、常に回転速度検
出器11からの信号周期を、目標速度に対応した周期に
近づける方向にフィードバック制御する駆動制御装置2
0が用いられている。
回転させるための駆動制御装置として、従来より図9に
示すように、超音波モータの回転子2に連結した回転速
度検出器(例えばロータリエンコーダ)11からの信号
の周期(あるいは周波数)を、回転速度比較手段21で
目標速度に対応した周期と比較し、その比較出力を受け
た駆動周波数制御手段22により、発振器23の発振周
波数を所定の周波数変化率で可変して、常に回転速度検
出器11からの信号周期を、目標速度に対応した周期に
近づける方向にフィードバック制御する駆動制御装置2
0が用いられている。
【0008】なお、図9において、24は発振器23の
出力信号を90度位相の異なる駆動信号に変換する移相
回路である。
出力信号を90度位相の異なる駆動信号に変換する移相
回路である。
【0009】このフィードバック制御により、例えば負
荷の変動等で回転速度が一時的に変動しても、モータ回
転速度は、フィードバックループの応答速度に応じて目
標速度に復帰し、長時間にわたって定速に駆動される。
荷の変動等で回転速度が一時的に変動しても、モータ回
転速度は、フィードバックループの応答速度に応じて目
標速度に復帰し、長時間にわたって定速に駆動される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、超音波
モータの共振特性は、図8の特性Aや特性Bのように個
々に大きなバラツキがあり、例えば、傾きの小さい特性
Aの超音波モータに適した周波数変化率で特性Bの超音
波モータを定速駆動した場合、超音波モータの回転速度
の変動に対してループの応答が追いつけない状態になっ
てしまう。
モータの共振特性は、図8の特性Aや特性Bのように個
々に大きなバラツキがあり、例えば、傾きの小さい特性
Aの超音波モータに適した周波数変化率で特性Bの超音
波モータを定速駆動した場合、超音波モータの回転速度
の変動に対してループの応答が追いつけない状態になっ
てしまう。
【0011】逆に、傾きの大きい特性Bの超音波モータ
に適した周波数変化率で特性Aの超音波モータを定速制
御した場合は、超音波モータの回転速度の変動に対して
過大な制御がかかり、ループ応答が振動のある不安定な
ものになってしまう。
に適した周波数変化率で特性Aの超音波モータを定速制
御した場合は、超音波モータの回転速度の変動に対して
過大な制御がかかり、ループ応答が振動のある不安定な
ものになってしまう。
【0012】本発明は、この課題を解決した超音波モー
タの駆動制御装置を提供することを目的としている。
タの駆動制御装置を提供することを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
、本発明の超音波モータの駆動制御装置は、回転速度検
出器からの検出信号を受けつつ駆動信号の周波数を所定
範囲可変して、駆動信号の周波数とモータ回転速度との
関係を示す特性データを予め記憶する特性データ記憶手
段と、定速駆動時における1回毎の周波数可変による回
転速度変化量が、ほぼ所定値となるための周波数変化率
を、特性データ記憶手段に記憶された特性データに基づ
いて算出する周波数変化率算出手段とを備えている。
、本発明の超音波モータの駆動制御装置は、回転速度検
出器からの検出信号を受けつつ駆動信号の周波数を所定
範囲可変して、駆動信号の周波数とモータ回転速度との
関係を示す特性データを予め記憶する特性データ記憶手
段と、定速駆動時における1回毎の周波数可変による回
転速度変化量が、ほぼ所定値となるための周波数変化率
を、特性データ記憶手段に記憶された特性データに基づ
いて算出する周波数変化率算出手段とを備えている。
【0014】
【作用】したがって、超音波モータは、予め記憶された
特性データに基づいて算出された周波数変化率で定速駆
動され、周波数可変による回転速度変化量は、毎回ほぼ
所定値となる。
特性データに基づいて算出された周波数変化率で定速駆
動され、周波数可変による回転速度変化量は、毎回ほぼ
所定値となる。
【0015】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
【0016】図1は、一実施例の超音波モータの駆動制
御装置(以下、駆動制御装置と記す)30の構成を示す
ブロック図である。
御装置(以下、駆動制御装置と記す)30の構成を示す
ブロック図である。
【0017】図1において、31は、後述するCPU4
0からの出力データに対応した電圧を出力するDA変換
器、32は、DA変換器31の出力電圧の変化に対して
逆方向に周波数変化する信号を発振出力するVCO(電
圧制御発振器)である。
0からの出力データに対応した電圧を出力するDA変換
器、32は、DA変換器31の出力電圧の変化に対して
逆方向に周波数変化する信号を発振出力するVCO(電
圧制御発振器)である。
【0018】33は、後述するスイッチ42を介して入
力されるVCO32からの信号を1/4分周することに
より、90度位相の異なる交流信号を発生する移相回路
である。34、35は、移相回路33の出力を増幅して
超音波モータMの圧電体31 〜3n 、41 〜4n
にそれぞれ印加するドライバである。
力されるVCO32からの信号を1/4分周することに
より、90度位相の異なる交流信号を発生する移相回路
である。34、35は、移相回路33の出力を増幅して
超音波モータMの圧電体31 〜3n 、41 〜4n
にそれぞれ印加するドライバである。
【0019】超音波モータMの回転子2には、回転子2
の回転速度に比例した周波数のパルス信号を出力するロ
ータリエンコーダ36が連結されている。
の回転速度に比例した周波数のパルス信号を出力するロ
ータリエンコーダ36が連結されている。
【0020】37は、超音波モータMの定常速度(目標
速度)を設定するための速度設定器であり、超音波モー
タMが目標速度で回転するときの、ロータリエンコーダ
36のパルス周期Tが設定される。
速度)を設定するための速度設定器であり、超音波モー
タMが目標速度で回転するときの、ロータリエンコーダ
36のパルス周期Tが設定される。
【0021】CPU40は、スイッチ42の操作あるい
は外部からの起動信号により、メモリ41内に予め記憶
された処理手順に従って、超音波モータの特性データの
記憶と周波数変化率の算出、起動制御および定速制御を
行なう。
は外部からの起動信号により、メモリ41内に予め記憶
された処理手順に従って、超音波モータの特性データの
記憶と周波数変化率の算出、起動制御および定速制御を
行なう。
【0022】図2は、スイッチ42のオン操作で起動さ
れるCPU40の処理手順を示すフローチャートであり
、以下、このフローチャートに従って、駆動制御装置3
0の超音波モータの特性データの記憶と周波数変化率の
算出動作を説明する。
れるCPU40の処理手順を示すフローチャートであり
、以下、このフローチャートに従って、駆動制御装置3
0の超音波モータの特性データの記憶と周波数変化率の
算出動作を説明する。
【0023】始めに、スイッチ42のオン操作が検知さ
れると、DA変換器31に対する電圧データDが初期値
D0 に設定される(ステップ1、2)。
れると、DA変換器31に対する電圧データDが初期値
D0 に設定される(ステップ1、2)。
【0024】このため、電圧データD0 に対応した周
波数(例えば図8のF1 )の2相の交流信号が超音波
モータMに印加される。この交流信号の印加により、超
音波モータMが除々に回転し、ロータリエンコーダ36
からは、周期の長いパルス信号が出力され、その周期t
が測定される(ステップ3)。
波数(例えば図8のF1 )の2相の交流信号が超音波
モータMに印加される。この交流信号の印加により、超
音波モータMが除々に回転し、ロータリエンコーダ36
からは、周期の長いパルス信号が出力され、その周期t
が測定される(ステップ3)。
【0025】次に、測定された周期tが、予め速度設定
器37に設定された周期Tよりαだけ長い周期に達した
かが判定され、次に測定された周期tが、周期Tよりα
だけ短い周期に達したかが判定され、これらの周期に達
していない場合は、電圧データがCだけ加算更新される
(ステップ4〜6)。
器37に設定された周期Tよりαだけ長い周期に達した
かが判定され、次に測定された周期tが、周期Tよりα
だけ短い周期に達したかが判定され、これらの周期に達
していない場合は、電圧データがCだけ加算更新される
(ステップ4〜6)。
【0026】この電圧データの加算更新が繰り返し行わ
れるうちに回転速度が上昇して、測定周期tが、T+α
に等しくなると、このときの電圧データDa が記憶さ
れ、さらに加算更新が続いて測定周期tが、T−αに等
しくなると、このときの電圧データDbが記憶される(
ステップ7、8)。
れるうちに回転速度が上昇して、測定周期tが、T+α
に等しくなると、このときの電圧データDa が記憶さ
れ、さらに加算更新が続いて測定周期tが、T−αに等
しくなると、このときの電圧データDbが記憶される(
ステップ7、8)。
【0027】これらの処理によって、図3のGに示すこ
の超音波モータM固有の特性のうち、目標回転速度をは
さんだ所定範囲の特性データDa 、Dbが記憶された
ことになる。
の超音波モータM固有の特性のうち、目標回転速度をは
さんだ所定範囲の特性データDa 、Dbが記憶された
ことになる。
【0028】次に、この超音波モータの特性の目標回転
速度付近の傾きKが、2α/(Db −Da )で算出
され、さらに所望の回転速度変化量Pが傾きKで除算さ
れ、定速制御時における電圧データの1回毎の更新量β
(周波数可変率)が算出記憶される(ステップ9〜11
)。
速度付近の傾きKが、2α/(Db −Da )で算出
され、さらに所望の回転速度変化量Pが傾きKで除算さ
れ、定速制御時における電圧データの1回毎の更新量β
(周波数可変率)が算出記憶される(ステップ9〜11
)。
【0029】以上の処理によって、この超音波モータの
特性に最適な定速制御時の周波数変化率が得られる。
特性に最適な定速制御時の周波数変化率が得られる。
【0030】次に、外部からの起動信号を受けたCPU
40の処理手順を図4のフローチャートに基づいて説明
する。
40の処理手順を図4のフローチャートに基づいて説明
する。
【0031】起動信号がHレベルになると、DA変換器
31に初期データDoが出力され、この電圧データに対
応した周波数の駆動信号が超音波モータに印加される(
ステップ12、13)。
31に初期データDoが出力され、この電圧データに対
応した周波数の駆動信号が超音波モータに印加される(
ステップ12、13)。
【0032】次に、ロータリエンコーダ36からの信号
の周期tが設定周期Tに達するまで、電圧データの加算
更新がEずつ行われ、超音波モータが目標速度まで起動
される(ステップ14〜16)。
の周期tが設定周期Tに達するまで、電圧データの加算
更新がEずつ行われ、超音波モータが目標速度まで起動
される(ステップ14〜16)。
【0033】このようにして、超音波モータMが目標速
度まで起動されると、CPU40は、定速制御処理に移
行する。この定速制御処理では、ロータリエンコーダ3
6の出力パルスの周期tが測定され、測定された周期t
と設定周期Tとの大小比較がなされる(ステップ17、
18)。
度まで起動されると、CPU40は、定速制御処理に移
行する。この定速制御処理では、ロータリエンコーダ3
6の出力パルスの周期tが測定され、測定された周期t
と設定周期Tとの大小比較がなされる(ステップ17、
18)。
【0034】ここで、モータ回転速度が目標速度に等し
い場合は、t=Tと判定され、ステップ17へ戻る。
い場合は、t=Tと判定され、ステップ17へ戻る。
【0035】また、負荷の変動等により、回転速度が目
標回転速度より上昇した場合は、t<Tと判定され、電
圧データは、特性データより得られた更新量βだけ減算
更新され、回転速度はPだけ低下する(ステップ19)
。
標回転速度より上昇した場合は、t<Tと判定され、電
圧データは、特性データより得られた更新量βだけ減算
更新され、回転速度はPだけ低下する(ステップ19)
。
【0036】逆に、回転速度が低下した場合は、t>T
と判定され、電圧データは更新量βだけ加算更新され、
回転速度はPだけ上昇する(ステップ20)。
と判定され、電圧データは更新量βだけ加算更新され、
回転速度はPだけ上昇する(ステップ20)。
【0037】このように周波数可変毎の回転速度の変化
量は、毎回Pずつなされることになるが、例えば図3の
Hに示すように、この超音波モータMと異なる特性を有
する超音波モータを駆動制御する場合でも、前述のステ
ップ1からステップ11までの処理を行えば、この特性
Hの傾きK′に対応した更新量β′が得られ、毎回の回
転速度変化量を、一定値Pのままで定速制御することが
できる。
量は、毎回Pずつなされることになるが、例えば図3の
Hに示すように、この超音波モータMと異なる特性を有
する超音波モータを駆動制御する場合でも、前述のステ
ップ1からステップ11までの処理を行えば、この特性
Hの傾きK′に対応した更新量β′が得られ、毎回の回
転速度変化量を、一定値Pのままで定速制御することが
できる。
【0038】
【他の実施例】なお、前記実施例では、DA変換器31
に対する電圧データと、駆動信号の周波数とを等価とし
て特性データを得るようにしていたが、周波数カウンタ
で読み込んだ駆動信号の周波数データによって周波数変
化率を算出するようにしてもよい。
に対する電圧データと、駆動信号の周波数とを等価とし
て特性データを得るようにしていたが、周波数カウンタ
で読み込んだ駆動信号の周波数データによって周波数変
化率を算出するようにしてもよい。
【0039】また、前記実施例では、目標回転速度を挟
む比較的狭い範囲の特性の傾きにより、1つの周波数変
化率を算出していたが、目標回転速度の設定範囲が広い
場合は、その範囲を複数の領域に区分して、どの区分で
も回転速度変化量が一定値となるような、区分毎の周波
数変化率を算出して記憶すればよい。
む比較的狭い範囲の特性の傾きにより、1つの周波数変
化率を算出していたが、目標回転速度の設定範囲が広い
場合は、その範囲を複数の領域に区分して、どの区分で
も回転速度変化量が一定値となるような、区分毎の周波
数変化率を算出して記憶すればよい。
【0040】また前記実施例では、モータ回転速度と目
標速度の比較やVCOに対する発振周波数制御をCPU
40によって行なっていたが、これは本発明を限定する
ものでなく、アナログコンパレータや演算増幅器によっ
てこれらの制御を行なう駆動制御装置についても本発明
を適用することができる。
標速度の比較やVCOに対する発振周波数制御をCPU
40によって行なっていたが、これは本発明を限定する
ものでなく、アナログコンパレータや演算増幅器によっ
てこれらの制御を行なう駆動制御装置についても本発明
を適用することができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の超音波モ
ータの駆動制御装置は、回転速度検出器からの信号を受
けつつ駆動信号の周波数を可変して、駆動する超音波モ
ータ固有の特性データを記憶し、定速制御時における回
転速度変化量をほぼ所定値にするための周波数変化率を
算出し、この算出された周波数変化率で、定速制御時に
おける周波数可変を行っているため、駆動される超音波
モータに特性のバラツキがあっても、ループ応答の一定
した安定な制御ができる。
ータの駆動制御装置は、回転速度検出器からの信号を受
けつつ駆動信号の周波数を可変して、駆動する超音波モ
ータ固有の特性データを記憶し、定速制御時における回
転速度変化量をほぼ所定値にするための周波数変化率を
算出し、この算出された周波数変化率で、定速制御時に
おける周波数可変を行っているため、駆動される超音波
モータに特性のバラツキがあっても、ループ応答の一定
した安定な制御ができる。
【図1】一実施例の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の一実施例の処理手順を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図3】一実施例の要部の動作を説明するための図であ
る。
る。
【図4】本発明の一実施例の処理手順を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図5】超音波モータの構成を示す概略斜視図である。
【図6】超音波モータの要部の正面図である。
【図7】超音波モータの動作を説明するための概略図で
ある。
ある。
【図8】超音波モータの駆動周波数に対する弾性波振幅
の特性を示す図である。
の特性を示す図である。
【図9】従来装置の構成を示す図である。
30 超音波モータの駆動制御装置
32 VCO
33 移相回路
36 ロータリエンコーダ
37 速度設定器
40 CPU
41 メモリ
42 スイッチ
M 超音波モータ
Claims (1)
- 【請求項1】 駆動信号の周波数に応じて回転速度が
変化する超音波モータの回転速度を、超音波モータの回
転子に連結された回転速度検出器からの検出信号に基づ
いて検出し、該検出された回転速度を予め設定された目
標速度に近づける方向に、前記駆動信号の周波数を所定
の周波数変化率で可変させ、前記超音波モータを前記目
標回転速度で定速駆動する超音波モータの駆動制御装置
において、前記回転速度検出器からの検出信号を受けつ
つ前記駆動信号の周波数を所定範囲可変して、前記駆動
信号の周波数とモータ回転速度との関係を示す特性デー
タを予め記憶する特性データ記憶手段と、前記定速駆動
時における1回毎の周波数可変による回転速度変化量が
、ほぼ所定値となるための周波数変化率を、前記特性デ
ータ記憶手段に記憶された特性データに基づいて算出す
る周波数変化率算出手段とを備え、前記算出された周波
数変化率で前記駆動信号の周波数を可変して、超音波モ
ータを定速駆動することを特徴とする超音波モータの駆
動制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2416327A JP2814148B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2416327A JP2814148B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04251581A true JPH04251581A (ja) | 1992-09-07 |
JP2814148B2 JP2814148B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=18524556
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2416327A Expired - Fee Related JP2814148B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 超音波モータの駆動制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2814148B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6084334A (en) * | 1997-10-29 | 2000-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus for driving plurality of vibration type motors |
KR100411433B1 (ko) * | 2001-09-14 | 2003-12-18 | 엘지전자 주식회사 | 건조기용 히터 보호 장치 |
JP2010206857A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Canon Inc | 振動波モータの駆動方法及び駆動装置 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2416327A patent/JP2814148B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100411433B1 (ko) * | 2001-09-14 | 2003-12-18 | 엘지전자 주식회사 | 건조기용 히터 보호 장치 |
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JP2814148B2 (ja) | 1998-10-22 |
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