JPH04250338A - 表面張力測定装置及び表面張力測定方法 - Google Patents
表面張力測定装置及び表面張力測定方法Info
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- JPH04250338A JPH04250338A JP818691A JP818691A JPH04250338A JP H04250338 A JPH04250338 A JP H04250338A JP 818691 A JP818691 A JP 818691A JP 818691 A JP818691 A JP 818691A JP H04250338 A JPH04250338 A JP H04250338A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は融液表面張力測定技術に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、融液の表面張力の測定において、
セッサイルドロップ法は広く行われている。例えば、ジ
ャーナル オブ クリスタル グロース（Ｊｏｕ
ｒｎａｌ ｏｆ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｇｒｏｗｔｈ
）６９巻（１９８４年）４５６ページに記載されている
。このセッサイルドロップ法による表面張力測定では、
横型炉内に水平に置かれた基板（ホルダー）上にのせら
れた、融液試料の外形形状を測定する事により表面張力
係数が求められる。この外形形状の測定は、一般的に、
水平方向から、光をあて、反対側でその光を観察するこ
とにより為される。
セッサイルドロップ法は広く行われている。例えば、ジ
ャーナル オブ クリスタル グロース（Ｊｏｕ
ｒｎａｌ ｏｆ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｇｒｏｗｔｈ
）６９巻（１９８４年）４５６ページに記載されている
。このセッサイルドロップ法による表面張力測定では、
横型炉内に水平に置かれた基板（ホルダー）上にのせら
れた、融液試料の外形形状を測定する事により表面張力
係数が求められる。この外形形状の測定は、一般的に、
水平方向から、光をあて、反対側でその光を観察するこ
とにより為される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】外形形状の決定は、前
述のように光を当てて、その投影の像の観察によってい
る。ところが、たとえば溶融半導体のように、構成元素
が高い蒸気圧をもつ材料では、この投影像の観察が困難
になる。なぜなら、蒸発により試料の組成が変化しない
ように、試料は、シリカ製等のアンプルに封入され炉内
にいれられるが、このアンプルに、光が屈折されないよ
うな光学的な窓を作製する事が困難なためである。光学
的に平坦な窓でなければ、光の投影像が歪められ、正確
に外形形状の決定ができないからである。
述のように光を当てて、その投影の像の観察によってい
る。ところが、たとえば溶融半導体のように、構成元素
が高い蒸気圧をもつ材料では、この投影像の観察が困難
になる。なぜなら、蒸発により試料の組成が変化しない
ように、試料は、シリカ製等のアンプルに封入され炉内
にいれられるが、このアンプルに、光が屈折されないよ
うな光学的な窓を作製する事が困難なためである。光学
的に平坦な窓でなければ、光の投影像が歪められ、正確
に外形形状の決定ができないからである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の表面張力測定装
置はセッサイルドロップ法を用いた装置であって、加熱
炉と試料を置くホルダーと、その試料にＸ線を照射する
Ｘ線源と試料の投影像を観測するＸ線ディテクターとを
備えることを特徴とする。
置はセッサイルドロップ法を用いた装置であって、加熱
炉と試料を置くホルダーと、その試料にＸ線を照射する
Ｘ線源と試料の投影像を観測するＸ線ディテクターとを
備えることを特徴とする。
【０００５】また本発明の測定方法はセッサイルドロッ
プ法を用いたもので、試料をアンプルに封入し、その試
料を加熱して溶融させ、その溶融試料にＸ線を照射し、
試料の投影像を観測し、表面張力の値を得ることを特徴
とする。
プ法を用いたもので、試料をアンプルに封入し、その試
料を加熱して溶融させ、その溶融試料にＸ線を照射し、
試料の投影像を観測し、表面張力の値を得ることを特徴
とする。
【０００６】
【作用】試料に蒸気圧が高い構成元素が含まれる場合、
試料はアンプルに封入され溶融されるが、光の代わりに
、Ｘ線を用いる事により、Ｘ線はアンプルを透過するの
でアンプルに光学的な窓を作る必要がない。従って、蒸
気圧が高い元素を含む試料をアンプルに封入したままで
、その表面張力の測定が可能となる。
試料はアンプルに封入され溶融されるが、光の代わりに
、Ｘ線を用いる事により、Ｘ線はアンプルを透過するの
でアンプルに光学的な窓を作る必要がない。従って、蒸
気圧が高い元素を含む試料をアンプルに封入したままで
、その表面張力の測定が可能となる。
【０００７】またアンプルの材質が、光を使用する場合
には、可視光が透過する材質を選ばなければならなかっ
たが、Ｘ線に線源を変えることによりＸ線が透過するも
のであればよいのでアンプルの材質の選択に自由度がで
きる。
には、可視光が透過する材質を選ばなければならなかっ
たが、Ｘ線に線源を変えることによりＸ線が透過するも
のであればよいのでアンプルの材質の選択に自由度がで
きる。
【０００８】
【実施例】第１の実施例を図１を用いて説明する。炭化
シリコンを表面コートしたカーボン基板６のホルダー上
に溶融試料のシリコン４をのせシリカアンプル５中に封
入した。これを図１のように横型炉１に挿入し加熱して
シリコン４を溶融させ、微小焦点（１０ミクロンｘ１０
ミクロン）Ｘ線源２からの試料の投影像をＸ線ディテク
ター３で観察することにより表面張力を測定した。その
結果、１４２０℃において表面張力は８６０ｍ−Ｎ／ｍ
となり、報告されている８７０ｍ−Ｎ／ｍ（ジャーナル
オブ クリスタル グロース （Ｊｏｕｒｎ
ａｌ ｏｆ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｇｒｏｗｔｈ）６
９巻（１９８４）４５６ページ）とほぼ一致した。本発
明では従来の方法に比べアンプルの材質や、形状に特別
の工夫をすることなく容易に正確な値が得られた。
シリコンを表面コートしたカーボン基板６のホルダー上
に溶融試料のシリコン４をのせシリカアンプル５中に封
入した。これを図１のように横型炉１に挿入し加熱して
シリコン４を溶融させ、微小焦点（１０ミクロンｘ１０
ミクロン）Ｘ線源２からの試料の投影像をＸ線ディテク
ター３で観察することにより表面張力を測定した。その
結果、１４２０℃において表面張力は８６０ｍ−Ｎ／ｍ
となり、報告されている８７０ｍ−Ｎ／ｍ（ジャーナル
オブ クリスタル グロース （Ｊｏｕｒｎ
ａｌ ｏｆ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｇｒｏｗｔｈ）６
９巻（１９８４）４５６ページ）とほぼ一致した。本発
明では従来の方法に比べアンプルの材質や、形状に特別
の工夫をすることなく容易に正確な値が得られた。
【０００９】第２の実施例について説明する。試料のガ
リウム砒素４をパイロリテックボロンナイトライド基板
６上にのせ、シリカアンプル５中に封入した。これを横
型炉１に挿入し、試料４を溶融し、微小焦点（１０ミク
ロンｘ１０ミクロン）Ｘ線源２からの試料の投影像をＸ
線ディテクター３で観察することにより表面張力を測定
した。その結果、１２６０℃において４８０ｍ−Ｎ／ｍ
となり、報告されている４６０ｍ−Ｎ／ｍ（ジャーナル
オブ クリスタル グロース、１００巻（１９
９０）５８ページ）とほぼ一致した。本実施例により蒸
気圧の高いガリウム砒素試料の表面張力を正確に測定で
きた。
リウム砒素４をパイロリテックボロンナイトライド基板
６上にのせ、シリカアンプル５中に封入した。これを横
型炉１に挿入し、試料４を溶融し、微小焦点（１０ミク
ロンｘ１０ミクロン）Ｘ線源２からの試料の投影像をＸ
線ディテクター３で観察することにより表面張力を測定
した。その結果、１２６０℃において４８０ｍ−Ｎ／ｍ
となり、報告されている４６０ｍ−Ｎ／ｍ（ジャーナル
オブ クリスタル グロース、１００巻（１９
９０）５８ページ）とほぼ一致した。本実施例により蒸
気圧の高いガリウム砒素試料の表面張力を正確に測定で
きた。
【００１０】
【発明の効果】本発明により高い蒸気圧をもつ融体の表
面張力を精度よく測定することが可能となった。
面張力を精度よく測定することが可能となった。
【図１】本発明の表面張力測定装置を説明する図である
。
。
１ 横型炉
２ Ｘ線源
３ Ｘ線ディテクター
４ 溶融試料
５ 試料アンプル
６ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 セッサイルドロップ法を用いた表面張
力測定装置において加熱炉と試料を設置するホルダと該
ホルダ上の試料にＸ線を照射するためのＸ線源と、試料
の投影像を観測するＸ線ディテクターとを備えることを
特徴とする表面張力測定装置。 - 【請求項２】 セッサイルドロップ法を用いた表面張
力測定方法において試料をアンプルに封入する工程と、
該試料を加熱炉に入れて溶融させる工程と、該溶融した
試料にＸ線を照射する工程と試料の投影像を観測する工
程とを備えることを特徴とする表面張力測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP818691A JPH04250338A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 表面張力測定装置及び表面張力測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP818691A JPH04250338A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 表面張力測定装置及び表面張力測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04250338A true JPH04250338A (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=11686274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP818691A Pending JPH04250338A (ja) | 1991-01-28 | 1991-01-28 | 表面張力測定装置及び表面張力測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04250338A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114279896A (zh) * | 2020-09-27 | 2022-04-05 | 上海交通大学 | 观测铝熔液润湿角的密封室座滴法 |
-
1991
- 1991-01-28 JP JP818691A patent/JPH04250338A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114279896A (zh) * | 2020-09-27 | 2022-04-05 | 上海交通大学 | 观测铝熔液润湿角的密封室座滴法 |
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