JPH04249701A - レプリカフィルムによる粗度測定方法 - Google Patents

レプリカフィルムによる粗度測定方法

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JPH04249701A
JPH04249701A JP3009994A JP999491A JPH04249701A JP H04249701 A JPH04249701 A JP H04249701A JP 3009994 A JP3009994 A JP 3009994A JP 999491 A JP999491 A JP 999491A JP H04249701 A JPH04249701 A JP H04249701A
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JP
Japan
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replica film
measured
film
replica
roughness
Prior art date
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Pending
Application number
JP3009994A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiro Fujisao
藤竿 佳弘
Takashi Uehara
隆 上原
Minoru Fujiwara
稔 藤原
Kazuyoshi Kono
河野 一良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/2806Means for preparing replicas of specimens, e.g. for microscopal analysis

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  • Health & Medical Sciences (AREA)
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  • Pathology (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレプリカフィルムによる
粗度測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ロール、鉄板等の表面の粗度を測定する
には、例えば特開昭61−137005号公報に示され
ているように、被測定面に10μm厚程度のレプリカフ
ィルム(アセチルセルローズ等の高分子フィルム)を張
付けて、被測定面の表面性状をレプリカフィルム上に転
写し、このレプリカフィルム転写面を粗度計により触針
して表面粗度を測定する方法がある。
【0003】このレプリカフィルム転写面を触針する際
、レプリカフィルムを皺や変形がないように測定板上に
固定する装置として、実開昭62−99803号公報記
載のものがある。
【0004】これは、図3に示すように側壁部に吸引用
パイプ3を有するボックス2の上面にシール材4を介し
て全面または一部に多数の小貫通孔5を有する測定板1
を配設し、測定板1の上面にレプリカフィルム6を載置
した後、ボックス2内を吸引用パイプ3を通して減圧す
ることにより、測定板1の上面にレプリカフィルム6を
吸引固定するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、レプリカフィ
ルムを被測定面より剥取った後、触針場所まで搬送する
間に皺、変形が発生するおそれがある。また、搬送して
来たレプリカフィルムを粗度計で触針する際、レプリカ
フィルム面に所定の圧力をかけており、しかもこの粗度
計は0.1μmの凹凸を検出可能という高精度のもので
あるため、前記のように全面に多数の小貫通孔を有する
測定板を使用すると、その小貫通孔の凹凸をレプリカフ
ィルムを介して検出することがあり、精度良い測定がで
きないという問題があった。
【0006】これに対しては、測定板の一部、つまり周
囲のみに小貫通孔を設けることにより、レプリカフィル
ムの被測定面の表面性状が転写されていない部分を小貫
通孔で吸引固定すれば前記問題は発生しない。しかし、
被測定面の表面性状測定範囲は常に同一ではなく様々に
異なり、レプリカフィルムはその被測定面の測定範囲の
広さに応じた寸法となるため、レプリカフィルムの大き
さに応じて多種類の測定板が必要となり、管理上厄介で
ある。
【0007】本発明は、被測定面より剥取ったレプリカ
フィルムに変形、皺を発生させずに搬送し、しかも変形
、皺を発生させずに測定板上に簡単に固定する方法を提
供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、被測定
表面の凹凸を転写したレプリカフィルムを被測定表面よ
り剥取り、これを測定場所に搬送して測定板上に伸展載
置した後、触針式粗度計でこの転写面の粗度を測定する
に際し、被測定表面より剥取ったレプリカフィルムを硬
質ケースに入れて測定場所に挟持搬送し、測定場所にて
下方に磁石を設けた測定板上に硬質ケースより抜取った
レプリカフィルムをその転写面を上面にして伸展載置し
、次いでレプリカフィルムの上面の周囲を磁性体で押さ
えた後、粗度計で触針することを特徴とするレプリカフ
ィルムによる粗度測定方法である。
【0009】硬質ケースはレプリカフィルムの表裏面全
体を所定圧で挟み、変形と皺の発生を防止するもので、
一般に市販されているカードケース等を用いることがで
きる。材質はアクリル樹脂、ポリスチレン、ポリエチレ
ン等のプラスチック性のものがあるが、透明なケースが
取扱い上好ましい。
【0010】磁石は永久磁石、電磁石のいずれでもよく
、さらに磁性体はレプリカフィルムが測定時に動かない
ように磁石の吸着力で固定できればよく、常磁性体でも
よいが、鉄、ステンレス等の強磁性体とすることが磁力
の比較的小さい磁石でも使用可能なことから好ましい。
【0011】測定板は上面が凹凸がない平滑面で、しか
も磁力を遮断しないものであれば良く、例えば、鉄板、
硝子板が使用できる。
【0012】
【作  用】本発明の作用を図1、図2を参照して説明
する。
【0013】被測定表面10に溶剤を塗布し、この上か
らレプリカフィルム12を張付ける。溶剤によりレプリ
カフィルム12の下面が半溶融し、この半溶融物は被測
定表面10の凹部に流れ込む。この状態で所定時間放置
することにより溶剤が順次揮発し、半溶融物は乾燥して
再凝固する。この乾燥度合い、乾燥再凝固の際に起きる
凝固収縮の不均一、表面の半溶融量(溶剤量)の不均一
、作業者が被測定表面より剥取る際にレプリカフィルム
12にかかる歪み等により、レプリカフィルム12は測
定表面の転写面を内側にして変形したり、皺が発生する
【0014】このため、被測定表面10より剥取ったレ
プリカフィルム12を直ちに硬質ケース13に入れて挟
み、それを搬送することにより変形、皺の発生を防止す
る。既に変形、皺が発生している場合にはそれを矯正し
て平面状にし、測定場所まで搬送する。
【0015】レプリカフィルム保持具14を、測定板1
6の下方に設けた磁石17とレプリカフィルム12の周
囲を押さえる枠状の磁性体18とから構成する。測定場
所まで搬送されたレプリカフィルム12を測定板16上
に載せ、その外周に磁性体18を置くことにより磁石1
7が磁性体18をレプリカフィルム12を介して吸着し
、レプリカフィルム12を測定板16上に簡単に固定す
る。
【0016】
【実施例】本発明の一実施例を図1、図2を参照して説
明する。
【0017】この例では、ロールの被測定表面10にス
ポイド11から溶剤を塗布する。溶剤はレプリカフィル
ム12の表面を半溶融させるために塗布するが、測定す
る被測定表面10の表面温度により使い分け、表面温度
が常温であれば酢酸メチルを使用し、常温以上であれば
酢酸メチルとホルムアミドの混合液を使用し、温度が高
くなるに従ってホルアミドの混合比を高くすることが好
ましい。
【0018】被測定表面10より剥取ったレプリカフィ
ルム12は硬質ケース13で挟んで搬送する。レプリカ
フィルム保持具14は測定板16の下に磁石17として
電磁石を配置し、測定板16上に置載したレプリカフィ
ルム12の端部に載せる枠状の磁性体18として強磁性
体の鉄板を用いる。レプリカフィルム12の表面の粗度
は触針式粗度計15で測定する。
【0019】先ず、被測定表面10の測定対象範囲に応
じてレプリカフィルム12をカットする。次に、図1(
a)に示すように、スポイド11で測定対象範囲に溶剤
を滴下して濡らした後レプリカフィルム12を張付ける
。これによりレプリカフィルム12の接触面側が半溶融
して被測定表面10の凹部に流れ込み、表面の凹凸に応
じた状態となる。
【0020】このレプリカフィルム12の半溶融物は時
間の経過により順次凝固するため、所定時間(5分間程
度)後レプリカフィルム12を剥取り、図1(b)に示
すように硬質ケース13に挟んで測定場所に搬送する。
【0021】測定場所でレプリカフィルム12の表面粗
度を測定するに際し、レプリカフィルム12を硬質ケー
ス13から取り出してレプリカフィルム保持具14の測
定板16上に載置する。この際、硬質ケース13より取
出したレプリカフィルム12は皺や変形が殆どない平面
状態となっている。
【0022】次に、測定板16上に置載したレプリカフ
ィルム12に皺、変形が発生しないように端部に磁性体
18をコ型に載せる。この状態で磁石17をオンにし、
磁性体18を測定板16、レプリカフィルム12を介し
て吸着することによりレプリカフィルム12を固定する
。そして、レプリカフィルム12上面を触針式粗度計1
5で触針することにより粗度を測定する。
【0023】測定が完了すると磁石17をオフにして磁
性体18、レプリカフィルム12を測定板16上より取
り去り、次の測定に備える。
【0024】尚、本実施例は電磁石を使用した場合につ
いて説明したが、これに代えて永久磁石を使用しても良
く、この場合は永久磁石を上下動可能にしておき、レプ
リカフィルム12を測定板16にセットする際永久磁石
を上昇させて測定板16下面に接触させ、磁性体18を
吸着してレプリカフィルム12を固定する。そして、粗
度測定が終了してレプリカフィルム12を測定板16よ
り取り去る場合は永久磁石を降下させて測定板16より
離し、磁性体18の吸着力を弱くしてレプリカフィルム
12を取り去るようにする。
【0025】また、被測定表面10に溶剤を塗布するの
にスポイドを用いたが、測定対象が小面積の場合には注
射器を用いることが好ましい。
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、被測定表面から剥取っ
たレプリカフィルムを変形、皺のない状態で搬送し、搬
送されたレプリカフィルムを変形、皺のない状態で測定
板上に簡単にセットすることが可能となり、精度良い表
面粗度の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の作業工程を示すブロック図
である。
【図2】レプリカフィルム保持具を示す斜視図である。
【図3】従来のレプリカフィルム保持具を示す側断面図
である。
【符号の説明】
1  測定板 2  ボックス 3  吸引用パイプ 4  シール材 5  小貫通孔 6  レプリカフィルム 10  被測定表面 11  スポイド 12  レプリカフィルム 13  硬質ケース 14  レプリカフィルム保持具 15  触針式粗度計 16  測定板 17  磁石 18  磁性体

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  被測定表面の凹凸を転写したレプリカ
    フィルムを被測定表面より剥取り、これを測定場所に搬
    送して測定板上に伸展載置した後、触針式粗度計でこの
    転写面の粗度を測定するに際し、被測定表面より剥取っ
    たレプリカフィルムを硬質ケースに入れて測定場所に挟
    持搬送し、測定場所にて下方に磁石を設けた測定板上に
    硬質ケースより抜取ったレプリカフィルムをその転写面
    を上面にして伸展載置し、次いでレプリカフィルムの上
    面の周囲を磁性体で押さえた後、粗度計で触針すること
    を特徴とするレプリカフィルムによる粗度測定方法。
JP3009994A 1991-01-04 1991-01-04 レプリカフィルムによる粗度測定方法 Pending JPH04249701A (ja)

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