JPH0424610A - 光変調器 - Google Patents
光変調器Info
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- JPH0424610A JPH0424610A JP12975190A JP12975190A JPH0424610A JP H0424610 A JPH0424610 A JP H0424610A JP 12975190 A JP12975190 A JP 12975190A JP 12975190 A JP12975190 A JP 12975190A JP H0424610 A JPH0424610 A JP H0424610A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0121—Operation of devices; Circuit arrangements, not otherwise provided for in this subclass
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光変調器に関し、
高速駆動の外部光変調において、放射光を用いたフィー
ドバックにより動作点の制御を行うことを目的とし、 電気光学効果を有する基板上に、分岐光導波路と該分岐
光導波路を伝播する光の間に位相差を生じさせるように
形成された電極とを少なくとも設けたマツハツエンダ型
光変調器において、前記分岐光導波路の合波点近傍の前
記基板上に傾斜面を有する溝を形成し、前記合波点から
放射される放射光を前記傾斜面で反射させて前記基板の
裏面に導出し、光検知器で受光変換した出力電気信号の
変化に応じて、前記電極に印加される直流バイアスを変
化させ、光変調器の動作点を制御するように光変調器を
構成する。
ドバックにより動作点の制御を行うことを目的とし、 電気光学効果を有する基板上に、分岐光導波路と該分岐
光導波路を伝播する光の間に位相差を生じさせるように
形成された電極とを少なくとも設けたマツハツエンダ型
光変調器において、前記分岐光導波路の合波点近傍の前
記基板上に傾斜面を有する溝を形成し、前記合波点から
放射される放射光を前記傾斜面で反射させて前記基板の
裏面に導出し、光検知器で受光変換した出力電気信号の
変化に応じて、前記電極に印加される直流バイアスを変
化させ、光変調器の動作点を制御するように光変調器を
構成する。
本発明は、高速・高安定の光変調を行うための光変調器
の構成に関する。
の構成に関する。
近年、光ファイバやレーザ光源の進歩・発達に伴い、光
通信をはじめ光技術を応用した各種のシステム、デバイ
スが実用化され広く利用されるようになる一方、ますま
す、その高度技術開発への要請が強まってきた。
通信をはじめ光技術を応用した各種のシステム、デバイ
スが実用化され広く利用されるようになる一方、ますま
す、その高度技術開発への要請が強まってきた。
とくに、最近の光通信システムの高速化の要求から、光
信号を送信する光送信器においても、高速で光を変調す
る必要が生じてきた。
信号を送信する光送信器においても、高速で光を変調す
る必要が生じてきた。
たとえば、１．６ Ｇｂｐｓ程度までの低速光通信シス
テムにおいては、レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調
する方式を用いてきたが、変調周波数がより高くなると
、変調光波長の時間的微小変動、いわゆる、チャーピン
グ現象と、光ファイバの分散特性のために高速化と長距
離伝送が困難になってきている。
テムにおいては、レーザダイオード（ＬＤ）を直接変調
する方式を用いてきたが、変調周波数がより高くなると
、変調光波長の時間的微小変動、いわゆる、チャーピン
グ現象と、光ファイバの分散特性のために高速化と長距
離伝送が困難になってきている。
一方、今後ますます大容量・長距離通信の要求が強まっ
てくるので、より高速、かつ、高安定な光変調方式の開
発が求められている。
てくるので、より高速、かつ、高安定な光変調方式の開
発が求められている。
高速光変調方式としては、半導体レーザ光を外部で変調
する外部変調方式がよく知られている。
する外部変調方式がよく知られている。
とくに、電気光学効果を有する基板、たとえば、ＬｉＮ
ｂ０：＋基板上に分岐光導波路を設け、信号電極。
ｂ０：＋基板上に分岐光導波路を設け、信号電極。
たとえば、進行波信号電極を用いて駆動するマ・ンハツ
エンダ型光変調器が有力視されている。しかし、このよ
うな光変調器を実際に動作させる際、分岐光導波路間の
温度差による動作点変動が生したり、ＤＣバイアスが加
わることによる。いわゆる、ＤＣドリフト（たとえば、
Ｊａｐ、Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、。
エンダ型光変調器が有力視されている。しかし、このよ
うな光変調器を実際に動作させる際、分岐光導波路間の
温度差による動作点変動が生したり、ＤＣバイアスが加
わることによる。いわゆる、ＤＣドリフト（たとえば、
Ｊａｐ、Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、。
Ｖｏｌ、２０．Ｎｏ、４．ｐｐ７３３〜７３７．１９８
１参照）によって動作点がシフトするので、動作点の変
動を抑えるようにＤＣバイアスにフィードバックをかけ
て制御するようにしている。
１参照）によって動作点がシフトするので、動作点の変
動を抑えるようにＤＣバイアスにフィードバックをかけ
て制御するようにしている。
そのような制御方法の一例として、たとえば、第４図は
従来の安定化外部変調器の構成例を示す図である。
従来の安定化外部変調器の構成例を示す図である。
図中、１は電気光学効果を有する基板、２ａ 、 ２ｂ
は分岐光導波路で合波点２２で交わって出射側の１本の
光導波路となる。先導波路は分岐光導波路２ａ。
は分岐光導波路で合波点２２で交わって出射側の１本の
光導波路となる。先導波路は分岐光導波路２ａ。
２ｂを含めて、公知の方法、たとえば、基板表面にＴｉ
などの金属を光導波路部分だけに選択的に拡散させ、そ
の部分の屈折率を回りの部分よりも少し大きくなるよう
にして形成する。
などの金属を光導波路部分だけに選択的に拡散させ、そ
の部分の屈折率を回りの部分よりも少し大きくなるよう
にして形成する。
３ａ、３ｂはＡｕなとの金属膜からなる電極で、たとえ
ば、進行波信号電極と接地電極とから構成され、光導波
路と電極層の間に通常は電極金属層への光の吸収を抑え
るため、ＳｉＯ□などの薄膜からなるバッファ層が設け
られている。
ば、進行波信号電極と接地電極とから構成され、光導波
路と電極層の間に通常は電極金属層への光の吸収を抑え
るため、ＳｉＯ□などの薄膜からなるバッファ層が設け
られている。
いま、半導体レーザ７からの直流光が光ファイバ６を経
由して左側の光導波路に入り、分岐光導波路２ａ、２ｂ
の分岐点で２つに分けられ、そこを通過する間に、電極
３ａ、３ｂに電源９から変調信号電圧を印加すると、基
板上に設けられた前記分岐光導波路２ａ 、 ２ｂにお
ける電気光学効果によって分岐された両光に位相差が生
じる。この両光を再び合波点２２で合流させて、右側の
光導波路の光出射端から変調された光信号出力を取り出
し、光ファイバ６を経由して光検知器８で受光して電気
信号に変換するように構成されている。
由して左側の光導波路に入り、分岐光導波路２ａ、２ｂ
の分岐点で２つに分けられ、そこを通過する間に、電極
３ａ、３ｂに電源９から変調信号電圧を印加すると、基
板上に設けられた前記分岐光導波路２ａ 、 ２ｂにお
ける電気光学効果によって分岐された両光に位相差が生
じる。この両光を再び合波点２２で合流させて、右側の
光導波路の光出射端から変調された光信号出力を取り出
し、光ファイバ６を経由して光検知器８で受光して電気
信号に変換するように構成されている。
前記分岐光導波路２ａ、２ｂにおける両光の位相差がＯ
およびπになるように駆動電圧を印加すれば光信号出力
は０Ｎ−ＯＦＦのパルス信号として得られる。なお、Ｒ
Ｔは終端抵抗である。
およびπになるように駆動電圧を印加すれば光信号出力
は０Ｎ−ＯＦＦのパルス信号として得られる。なお、Ｒ
Ｔは終端抵抗である。
しかし、実際には上記のごとく変調器を動作させている
と、通常は動作点が変動したりシフトしたりし、そのま
＼では消光比が劣化して使用できなくなってしまう。
と、通常は動作点が変動したりシフトしたりし、そのま
＼では消光比が劣化して使用できなくなってしまう。
そこで、このように動作点がずれて光変調器の性能が劣
化するのを防止するために、出力信号光からモニタ光を
取り出して入力電気信号にフィードバックをかけ、動作
点の安定化を図るようにしたのがこの従来例の構成であ
る。すなわち、ファイバカップラ２００を光導波路の右
側の光出射端に結合し、信号光の一部を分岐して、たと
えば、シングルモード光ファイバ６゛に導入し、光検知
器５で電気信号に変換して、信号処理・制御回路部９０
で動作点のずれを検知し電源９にフィードパ・ンクして
、ＤＣバイアスの調整を行い常に正しい動作点に保持す
るようにしている。
化するのを防止するために、出力信号光からモニタ光を
取り出して入力電気信号にフィードバックをかけ、動作
点の安定化を図るようにしたのがこの従来例の構成であ
る。すなわち、ファイバカップラ２００を光導波路の右
側の光出射端に結合し、信号光の一部を分岐して、たと
えば、シングルモード光ファイバ６゛に導入し、光検知
器５で電気信号に変換して、信号処理・制御回路部９０
で動作点のずれを検知し電源９にフィードパ・ンクして
、ＤＣバイアスの調整を行い常に正しい動作点に保持す
るようにしている。
なお、ファイバカップラ２００は２本の光ファイバを平
行に近接・結合させると一方の光ファイバの光の一部（
たとえば、１／１０程度）が、他方の光ファイバに移行
して伝送されるように構成されたものである。
行に近接・結合させると一方の光ファイバの光の一部（
たとえば、１／１０程度）が、他方の光ファイバに移行
して伝送されるように構成されたものである。
しかし、このような構成の光変調器においては、光導波
路から光ファイバに導入された信号光の一部がファイバ
カップラ２００によってモニタ光として分岐されている
。したがって、送信される光信号パワーが分岐された分
だけ減少し、それに相当する分だけ光ファイバの伝送距
離が短くなるという重大な問題があり、その解決が必要
であった。
路から光ファイバに導入された信号光の一部がファイバ
カップラ２００によってモニタ光として分岐されている
。したがって、送信される光信号パワーが分岐された分
だけ減少し、それに相当する分だけ光ファイバの伝送距
離が短くなるという重大な問題があり、その解決が必要
であった。
上記の課題は、電気光学効果を有する基板１上に、分岐
光導波路２ａ、２ｂと該分岐光導波路２ａ、２ｂを伝播
する光の間に位相差を生じさせるように形成された電極
３ａ、３ｂとを少なくとも設けたマツハツエンダ型光変
調器において、 前記分岐光導波路２ａ、２ｂの合波点２２近傍の前記基
板１上に傾斜面４０を有する溝４を形成し、前記合波点
２２から放射される放射光を前記傾斜面４０で反射させ
て前記基板１の裏面に導出し、光検知器５で受光変換し
た出力電気信号の変化に応じて、前記電極３ａ、３ｂに
印加される直流バイアスを変化させ、光変調器の動作点
を制御するように構成した光変調器により解決すること
ができる。
光導波路２ａ、２ｂと該分岐光導波路２ａ、２ｂを伝播
する光の間に位相差を生じさせるように形成された電極
３ａ、３ｂとを少なくとも設けたマツハツエンダ型光変
調器において、 前記分岐光導波路２ａ、２ｂの合波点２２近傍の前記基
板１上に傾斜面４０を有する溝４を形成し、前記合波点
２２から放射される放射光を前記傾斜面４０で反射させ
て前記基板１の裏面に導出し、光検知器５で受光変換し
た出力電気信号の変化に応じて、前記電極３ａ、３ｂに
印加される直流バイアスを変化させ、光変調器の動作点
を制御するように構成した光変調器により解決すること
ができる。
第３図は合波点における放射光を説明する図で、同図（
イ）は斜視図、同図（ロ）は信号光■と放射光■特性の
関係を示したものである。すなわち、信号電圧が０の時
には光出力は１００χ光導波路の光出射端から出射し、
分岐光導波路２ａと２ｂの光の位相差がλ／２を与える
電圧■πまたは一■πの時は光出力はＯとなる。
イ）は斜視図、同図（ロ）は信号光■と放射光■特性の
関係を示したものである。すなわち、信号電圧が０の時
には光出力は１００χ光導波路の光出射端から出射し、
分岐光導波路２ａと２ｂの光の位相差がλ／２を与える
電圧■πまたは一■πの時は光出力はＯとなる。
それ以外の、すなわち、光出射端から出射しない光は当
然のことなから光導波路から外に洩れ出し損失となる。
然のことなから光導波路から外に洩れ出し損失となる。
この洩れ光が、いわゆる、放射光１０であり分岐光導波
路２ａと２ｂの合波点２２から放射される。
路２ａと２ｂの合波点２２から放射される。
この放射光１０は同図（イ）に示したごとく合波点２２
から両側や一下方の基板１内に広がった光ビームとして
放射される。そして、その光パワーの合計と位相は同図
（ロ）の破線■に示したごとく、実線■に示した信号光
と丁度相補な関係にある。
から両側や一下方の基板１内に広がった光ビームとして
放射される。そして、その光パワーの合計と位相は同図
（ロ）の破線■に示したごとく、実線■に示した信号光
と丁度相補な関係にある。
以上の説明かられかるように、本発明の構成によれば、
動作点がずれた場合に分岐光導波路２ａおよび２ｂの合
波点２２から放射される放射光を、合波点２２近傍の基
板１上に形成した溝４の傾斜面４０で反射させて基板１
の裏面に導出し、モニタ光として光検知器５で受光し、
電気信号に変換した出力の変化に応じて、前記電極３ａ
、３ｂに印加される直流バイアスを変化させ光変調器の
動作点を制御するので、常に正しい動作点に保持され、
しかも、信号光の光パワーに何ら影響を与えることな（
。
動作点がずれた場合に分岐光導波路２ａおよび２ｂの合
波点２２から放射される放射光を、合波点２２近傍の基
板１上に形成した溝４の傾斜面４０で反射させて基板１
の裏面に導出し、モニタ光として光検知器５で受光し、
電気信号に変換した出力の変化に応じて、前記電極３ａ
、３ｂに印加される直流バイアスを変化させ光変調器の
動作点を制御するので、常に正しい動作点に保持され、
しかも、信号光の光パワーに何ら影響を与えることな（
。
したがって、光ファイバの伝送距離の短縮を招くような
問題は一切生じることがない。
問題は一切生じることがない。
（実施例〕
第１図は本発明の実施例を示す図で、同図（イ）は上面
図、同図（ロ）はＸ−Ｘ断面図である。
図、同図（ロ）はＸ−Ｘ断面図である。
基板１には大きさ３０ｍｍＸ２ｍｍ、厚さ１ｍｍのＬｉ
Ｎｂ０＋のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。
Ｎｂ０＋のＺ板の表面を鏡面研磨して使用した。
この基板の上にＴｉを約１１００ｎの厚さに真空蒸着し
、分岐光導波路２ａおよび２ｂを含む光導波路に相当す
る部分にＴｉが残るように通常のホトエツチング法で処
理したのち、約１０５０°Ｃ１酸素中で１０時間加熱し
ＴｉをＬｉＮｂＯ２中に熱拡散させて深さ約５μｍの光
導波路を形成した。
、分岐光導波路２ａおよび２ｂを含む光導波路に相当す
る部分にＴｉが残るように通常のホトエツチング法で処
理したのち、約１０５０°Ｃ１酸素中で１０時間加熱し
ＴｉをＬｉＮｂＯ２中に熱拡散させて深さ約５μｍの光
導波路を形成した。
分岐光導波路部分の長さは２０ｍｍ、光導波路の幅は７
μｍになるように調整した。分岐光導波路２ａおよび２
ｂの間隔は約１５μｍとし、分岐部および合波部の角度
は２°に形成した。
μｍになるように調整した。分岐光導波路２ａおよび２
ｂの間隔は約１５μｍとし、分岐部および合波部の角度
は２°に形成した。
次いで、バッファ層としてＳｉＯ□を５００ｎｍの厚さ
にスバンタ法で形成した。
にスバンタ法で形成した。
電極３ａ （進行波信号電極）および電極３ｂ （接地
電極）はＴ ｉ −Ａ ｕ合金膜を蒸着したのち、分岐
光導波路２ａおよび２ｂ上に所定の電極形状にパターン
エツチングし、さらに、その上に厚さ８μｍのＡｕをめ
っきにより付着形成した。終端抵抗Ｒｔは電極３ａおよ
び３ｂの特性インピーダンスに合わせて５０Ωになるよ
うに調整した。光ファイバ６には定偏波ファイバおよび
シングルモード光ファイバを用いた。
電極）はＴ ｉ −Ａ ｕ合金膜を蒸着したのち、分岐
光導波路２ａおよび２ｂ上に所定の電極形状にパターン
エツチングし、さらに、その上に厚さ８μｍのＡｕをめ
っきにより付着形成した。終端抵抗Ｒｔは電極３ａおよ
び３ｂの特性インピーダンスに合わせて５０Ωになるよ
うに調整した。光ファイバ６には定偏波ファイバおよび
シングルモード光ファイバを用いた。
４は溝で放射光１０のいずれか一方の光路に交叉するよ
うに形成され、放射光１０の少なくとも一部が反射され
て基板１の裏面に導出されるような傾斜面を持っている
。５は光検知器で前記傾斜面で反射された放射光を受光
するように位置させて基板１の裏面に近接配置するか、
あるいは、光学接着剤などで接着固定する。
うに形成され、放射光１０の少なくとも一部が反射され
て基板１の裏面に導出されるような傾斜面を持っている
。５は光検知器で前記傾斜面で反射された放射光を受光
するように位置させて基板１の裏面に近接配置するか、
あるいは、光学接着剤などで接着固定する。
光検知器５で受光された光は電気信号に変換され、信号
処理・制御回路部９０に入力し、光検知器５の出力電気
信号の変化に応じて、電極３ａ、３ｂに印加される電源
９の直流バイアスを変化させ、光変調器の動作点を制御
するように構成する。
処理・制御回路部９０に入力し、光検知器５の出力電気
信号の変化に応じて、電極３ａ、３ｂに印加される電源
９の直流バイアスを変化させ、光変調器の動作点を制御
するように構成する。
なお、前記の諸国面で説明したものと同等の部分につい
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
第２図は本発明の要部を示す図で、同図（イ）は拡大斜
視図、同図（ロ）は断面模式図である。
視図、同図（ロ）は断面模式図である。
上記に記載した分岐光導波路条件では、放射光１０は信
号光に対して１〜２°の角度をなして広がってくるので
、溝４は合波後の導波路には＼直角に形成すればよい。
号光に対して１〜２°の角度をなして広がってくるので
、溝４は合波後の導波路には＼直角に形成すればよい。
溝４の位置と形状は、たとえば、図中に示した。［＝１
ｍｍ、ｄ＝３０μｍ、溝の長さ＝１００ Ｉｊｍ、溝
の巾＝５０μｍ、溝の深さ一３０μｍ程度にし、溝４の
傾斜面４０が垂線とのなす傾斜角θ＝３５〜５５°程度
にすればよい。
ｍｍ、ｄ＝３０μｍ、溝の長さ＝１００ Ｉｊｍ、溝
の巾＝５０μｍ、溝の深さ一３０μｍ程度にし、溝４の
傾斜面４０が垂線とのなす傾斜角θ＝３５〜５５°程度
にすればよい。
このような溝４を具体的に形成する方法としては、たと
えば、基板１上にＡｕ膜を蒸着し溝４を形成する所定位
置に５０ Ｘ １００ μｍの大きさの孔部をエツチン
グで形成してマスクとし、４０°Ｃ１５０χの弗酸中で
１００分間エツチングを行うと傾斜角θ＝約３５°の前
記形状の溝４が容易に得られる。
えば、基板１上にＡｕ膜を蒸着し溝４を形成する所定位
置に５０ Ｘ １００ μｍの大きさの孔部をエツチン
グで形成してマスクとし、４０°Ｃ１５０χの弗酸中で
１００分間エツチングを行うと傾斜角θ＝約３５°の前
記形状の溝４が容易に得られる。
なお、上記実施例では、放射光の取り出しは光導波路の
片側から、１個の溝４の傾斜面４０からの反射光により
行ったが、光導波路の両側に溝４を形成して両側の放射
光１０を利用し、モニタ光の受光強度を上げて感度を高
めるようにしてもよい。
片側から、１個の溝４の傾斜面４０からの反射光により
行ったが、光導波路の両側に溝４を形成して両側の放射
光１０を利用し、モニタ光の受光強度を上げて感度を高
めるようにしてもよい。
以上述べた実施例は一例を示したもので、本発明の趣旨
に添うものである限り、使用する素材や構成など適宜好
ましいもの、あるいはその組み合わせを用いてよいこと
は言うまでもない。
に添うものである限り、使用する素材や構成など適宜好
ましいもの、あるいはその組み合わせを用いてよいこと
は言うまでもない。
以上説明したように、本発明の構成によれば、動作点が
ずれた場合に分岐光導波路２ａおよび２ｂの合波点２２
から放射される放射光をモニタ光として基板１の裏面に
取り出し、光検知器５と信号処理・制御回路部９０で動
作点のずれを検知し電源９にフィードバックして、ＤＣ
バイアスの調整を行ない常に正しい動作点に保持するの
で、極めて簡易な構成で、かつ、信号光の光パワーに何
ら影響を与えることなく、すなわち、光ファイバの伝送
距離の短縮を招くことがない。したがって、高速・長距
離光通信用の光変調器の性能、信軌性の向上に寄与する
ところが極めて大きい。
ずれた場合に分岐光導波路２ａおよび２ｂの合波点２２
から放射される放射光をモニタ光として基板１の裏面に
取り出し、光検知器５と信号処理・制御回路部９０で動
作点のずれを検知し電源９にフィードバックして、ＤＣ
バイアスの調整を行ない常に正しい動作点に保持するの
で、極めて簡易な構成で、かつ、信号光の光パワーに何
ら影響を与えることなく、すなわち、光ファイバの伝送
距離の短縮を招くことがない。したがって、高速・長距
離光通信用の光変調器の性能、信軌性の向上に寄与する
ところが極めて大きい。
第１図は本発明の実施例を示す図、
第２図は本発明の要部を示す図、
第３図は合波点における放射光を説明する図、第４図は
従来の安定化外部変調器の構成例を示す図である。 図において、 １は基板、 ２ａ、２ｂは分岐光導波路、 ３ａ、３ｂは電極、 ４は溝、 ５．８は光検知器、 ６は光ファイバ、 ７は半導体レーザ、 ９は電源、 １０は放射光、 ２２は合波点、 ０は傾斜面、 ９０は信号処理・制御回路部である。 基板 ２ａガ故を専人路 （イ） Ｌ面図 （［１） Ｘ −Ｘ断面図 本月明の夫確汐・１ン示イ一構双図 第」図 （イ）択人牟」＋ｐ ｃ （ロ）断面４碧六■づ 本月明のや肝と説明１６図 躬 ２ 図 合濃ゑ、に７）’ｌすｊ奴紺尤持・１牛と説明ｉ図第３
図 従来の７定止７ト部更訓春Ｏ構八１列とホテ図第４ 図
従来の安定化外部変調器の構成例を示す図である。 図において、 １は基板、 ２ａ、２ｂは分岐光導波路、 ３ａ、３ｂは電極、 ４は溝、 ５．８は光検知器、 ６は光ファイバ、 ７は半導体レーザ、 ９は電源、 １０は放射光、 ２２は合波点、 ０は傾斜面、 ９０は信号処理・制御回路部である。 基板 ２ａガ故を専人路 （イ） Ｌ面図 （［１） Ｘ −Ｘ断面図 本月明の夫確汐・１ン示イ一構双図 第」図 （イ）択人牟」＋ｐ ｃ （ロ）断面４碧六■づ 本月明のや肝と説明１６図 躬 ２ 図 合濃ゑ、に７）’ｌすｊ奴紺尤持・１牛と説明ｉ図第３
図 従来の７定止７ト部更訓春Ｏ構八１列とホテ図第４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電気光学効果を有する基板（１）上に、分岐光導波路（
２ａ、２ｂ）と該分岐光導波路（２ａ、２ｂ）を伝播す
る光の間に位相差を生じさせるように形成された電極（
３ａ、３ｂ）とを少なくとも設けたマッハツエンダ型光
変調器において、 前記分岐光導波路（２ａ、２ｂ）の合波点（２２）近傍
の前記基板（１）上に傾斜面（４０）を有する溝（４）
を形成し、前記合波点（２２）から放射される放射光を
前記傾斜面（４０）で反射させて前記基板（１）の裏面
に導出し、光検知器（５）で受光変換した出力電気信号
の変化に応じて、前記電極（３ａ、３ｂ）に印加される
直流バイアスを変化させ、光変調器の動作点を制御する
ことを特徴とした光変調器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2129751A JP2800368B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2129751A JP2800368B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光変調器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0424610A true JPH0424610A (ja) | 1992-01-28 |
| JP2800368B2 JP2800368B2 (ja) | 1998-09-21 |
Family
ID=15017299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2129751A Expired - Fee Related JP2800368B2 (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 光変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2800368B2 (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO1996010766A1 (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-11 | Honeywell Inc. | Bidirectional optical modulator having lightwave signal conservation |
| EP0859262A2 (en) * | 1997-02-12 | 1998-08-19 | Fujitsu Limited | Optical modulator |
| EP0859263A3 (en) * | 1997-02-14 | 1998-12-23 | Fujitsu Limited | Optical modulator |
| WO2001069308A1 (fr) * | 2000-03-15 | 2001-09-20 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Modulateur de guide d'onde optique comprenant un moniteur de lumiere de sortie |
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| JP2007286428A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 光導波路型光変調器及び出力光モニタ付光導波路型光変調器 |
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| US9081214B2 (en) | 2010-10-25 | 2015-07-14 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical control element |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP2129751A patent/JP2800368B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| US7359581B2 (en) | 2000-03-15 | 2008-04-15 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator with output light monitor |
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| US7200289B2 (en) | 2000-03-15 | 2007-04-03 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| EP1818712A1 (en) * | 2000-03-15 | 2007-08-15 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| EP1186936A1 (en) * | 2000-03-15 | 2002-03-13 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator with output light monitor |
| US7532778B2 (en) | 2000-03-15 | 2009-05-12 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical waveguide modulator equipped with an output light monitor |
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| US6904186B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-06-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical modulators and a method for modulating light |
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| US7260288B2 (en) | 2002-09-30 | 2007-08-21 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical wave guide element, and manufacture therefor |
| JP2004347716A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 導波路型光学素子、及び出力光の監視方法 |
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| US9081214B2 (en) | 2010-10-25 | 2015-07-14 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Optical control element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2800368B2 (ja) | 1998-09-21 |
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Legal Events
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