JPH0424538A - 分光装置における被測定体位置決め装置 - Google Patents
分光装置における被測定体位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0424538A JPH0424538A JP13007290A JP13007290A JPH0424538A JP H0424538 A JPH0424538 A JP H0424538A JP 13007290 A JP13007290 A JP 13007290A JP 13007290 A JP13007290 A JP 13007290A JP H0424538 A JPH0424538 A JP H0424538A
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- Japan
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- optical axis
- mirror
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- Pending
Links
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Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、被測定体例えば光源の像を分光器の入射スリ
ット上に形成して光源の特定部分からの光を分光装置に
導入する装置に関する。
ット上に形成して光源の特定部分からの光を分光装置に
導入する装置に関する。
（従来の技術）
分光分析において、光源の各部で分光放射時１１が異っ
ている場合、分析上鏝も都合の良い部分が分光器の入射
スリット上に形成されるように光源の位置を調整する必
要がある。またプラズマｃＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｅｒ Ｄｅｐｏｓｉ ｔ ｉ ｏｎ）法で基板
表面に蒸着を行う場合、プラズマの指定位置でのスペク
トルをモニタする必要があり、このためプラズマの指定
位置の像を分光器の入射スリット上に形成させる必要が
ある。
ている場合、分析上鏝も都合の良い部分が分光器の入射
スリット上に形成されるように光源の位置を調整する必
要がある。またプラズマｃＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｅｒ Ｄｅｐｏｓｉ ｔ ｉ ｏｎ）法で基板
表面に蒸着を行う場合、プラズマの指定位置でのスペク
トルをモニタする必要があり、このためプラズマの指定
位置の像を分光器の入射スリット上に形成させる必要が
ある。
従来の分光装置では光源のどの部分が分光器の入射スリ
ット上に形成されているかを直接観測する方法がな（、
集光系の光軸の延長線上で集光レンズの焦点距離から割
出した入射スリットとの共役点に光源の所定部分が来る
ようにしていたが、集光系の光軸とが共役点等は目に見
える形で現示されているわけではないので、実際上は単
に目測的に大体の位置推定を行っているに過ぎず、光源
位置の調節は骨が折れる割に位置調節の精度は低いもの
であった。
ット上に形成されているかを直接観測する方法がな（、
集光系の光軸の延長線上で集光レンズの焦点距離から割
出した入射スリットとの共役点に光源の所定部分が来る
ようにしていたが、集光系の光軸とが共役点等は目に見
える形で現示されているわけではないので、実際上は単
に目測的に大体の位置推定を行っているに過ぎず、光源
位置の調節は骨が折れる割に位置調節の精度は低いもの
であった。
（発明が解決しようとする課ｒａ）
本発明は光源の所定部分の像を分光器の入射スリット上
に形成させる場合に、目測に頼らず、簡単適確に光源の
位置調節が出来る装置を提供しようとするものである。
に形成させる場合に、目測に頼らず、簡単適確に光源の
位置調節が出来る装置を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段）
分光器の集光レンズと入射スリットの間で集光レンズ光
軸上に出入自在に斜鏡を挿入し、この斜鏡により折曲さ
れた上記集光レンズの光軸上で、分光器入射スリットの
上記斜鏡による鏡像位置に規準体を配置した。或は更に
この規準体の後方（斜鏡より違い側）に規準体を後方か
ら照明する光源を配置した。
軸上に出入自在に斜鏡を挿入し、この斜鏡により折曲さ
れた上記集光レンズの光軸上で、分光器入射スリットの
上記斜鏡による鏡像位置に規準体を配置した。或は更に
この規準体の後方（斜鏡より違い側）に規準体を後方か
ら照明する光源を配置した。
（作用）
分光器の入射スリットと集光レンズとの間に斜鏡を挿入
した状態では集光レンズによる光源の像は斜鏡により折
曲された集光レンズの光軸方向に形成されている。この
折曲された光軸上の斜鏡による入射スリットの鏡像位置
と上記光源像との関係は斜鏡を退避させたときの入射ス
リットと光源像との関係と全く同じ′である。そして入
射スリットの上記鏡像位置にはそこにスリットがあるこ
とを示す規準体があるので、斜鏡により折曲された集光
レンズの光軸方向から見ると、光源の像と規準体とが重
なって見え、入射スリットと光源像との位置関係が明瞭
に観察可能となる。
した状態では集光レンズによる光源の像は斜鏡により折
曲された集光レンズの光軸方向に形成されている。この
折曲された光軸上の斜鏡による入射スリットの鏡像位置
と上記光源像との関係は斜鏡を退避させたときの入射ス
リットと光源像との関係と全く同じ′である。そして入
射スリットの上記鏡像位置にはそこにスリットがあるこ
とを示す規準体があるので、斜鏡により折曲された集光
レンズの光軸方向から見ると、光源の像と規準体とが重
なって見え、入射スリットと光源像との位置関係が明瞭
に観察可能となる。
更に規準体を後方から照明する光源を置いたときは集光
レンズによって規準体の像が光源位置に形成され、その
像は分光器の入射スリットの像と対応していて、光源上
の上記規準体の像の位置が入射スリット上に結像される
ことになるので、光源の場所で入射スリットと光源との
位置関係を直接観察することができることになる。
レンズによって規準体の像が光源位置に形成され、その
像は分光器の入射スリットの像と対応していて、光源上
の上記規準体の像の位置が入射スリット上に結像される
ことになるので、光源の場所で入射スリットと光源との
位置関係を直接観察することができることになる。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例を示す。図で１は分光素子、
２は入射スリット、３は分光素子１によるスペクトル像
面に沿って配置された受光素子で、これらの各部により
分光器を構成している。
２は入射スリット、３は分光素子１によるスペクトル像
面に沿って配置された受光素子で、これらの各部により
分光器を構成している。
４はこの分光器へ光を導入する集光光学系の集光レンズ
で、被測定体５の像を入射スリット上に形成する。集光
レンズ４′の中心と入射スリット２の中心を結ぶ直線Ａ
が上記集光光学系の光軸で、この光軸上で集光レンズ４
と入射スリット２との間に斜鏡６が出入可能に挿入され
ている。即ち斜鏡６は一端Ｐで回動可能に保持され、鏡
面が光軸Ａと４５°をなす９実線位置と、光軸と平行に
なる９鎖線位置の２位置を採り得るようにしである。
で、被測定体５の像を入射スリット上に形成する。集光
レンズ４′の中心と入射スリット２の中心を結ぶ直線Ａ
が上記集光光学系の光軸で、この光軸上で集光レンズ４
と入射スリット２との間に斜鏡６が出入可能に挿入され
ている。即ち斜鏡６は一端Ｐで回動可能に保持され、鏡
面が光軸Ａと４５°をなす９実線位置と、光軸と平行に
なる９鎖線位置の２位置を採り得るようにしである。
斜鏡Ｏを光軸Ａに対して４５°の９実線位置に位置させ
ると、光軸Ａは斜鏡６により折曲されてＡ゛となる。こ
の光軸Ａ゛上で実線位置の斜鏡６に関する入射スリット
２の鏡像位置に規準体７が配置されている。この規準体
は光軸Ａ゛に垂直に置かれた透明板７ａ上に入射スリッ
ト２の像く仮想されたもの）と平行に刻まれた刻線であ
る。透明板７ａは規準体７を保持するためのものである
が、それ自身をすりガラス状にしておいてもよい。８は
光軸Ａ°上で規準体７の後方に置かれた接眼レンズで、
規準体７にピントが合せである。
ると、光軸Ａは斜鏡６により折曲されてＡ゛となる。こ
の光軸Ａ゛上で実線位置の斜鏡６に関する入射スリット
２の鏡像位置に規準体７が配置されている。この規準体
は光軸Ａ゛に垂直に置かれた透明板７ａ上に入射スリッ
ト２の像く仮想されたもの）と平行に刻まれた刻線であ
る。透明板７ａは規準体７を保持するためのものである
が、それ自身をすりガラス状にしておいてもよい。８は
光軸Ａ°上で規準体７の後方に置かれた接眼レンズで、
規準体７にピントが合せである。
斜鏡６を９実線位置にして接眼レンズ８を通して規準体
７を見ると、被測定体５の像が規準体と重なって見える
ので、′被測定体５の測定点が規準体と重なるように被
測定体の位置を調節した後、斜鏡６を９鎖線位置にする
と、光軸Δから斜鏡が退避し、被測定体５の所定位置が
入射スリット２上に結像される。
７を見ると、被測定体５の像が規準体と重なって見える
ので、′被測定体５の測定点が規準体と重なるように被
測定体の位置を調節した後、斜鏡６を９鎖線位置にする
と、光軸Δから斜鏡が退避し、被測定体５の所定位置が
入射スリット２上に結像される。
分光器および集光光学系は一つの筐体９に収納されてお
り、斜鏡６、規準体７．接眼レンズ８は筺体９を貫通さ
せた筒体１０に保持されており、斜鏡６はこの筒体１０
の筺体９内の端部に枢着されていて、図ｇｔ線位置にし
たとき、筒体１０の筺体９内例の端面を閉鎖して外光が
筐体９内に侵入して測定の邪魔となるのを防ぐ。
り、斜鏡６、規準体７．接眼レンズ８は筺体９を貫通さ
せた筒体１０に保持されており、斜鏡６はこの筒体１０
の筺体９内の端部に枢着されていて、図ｇｔ線位置にし
たとき、筒体１０の筺体９内例の端面を閉鎖して外光が
筐体９内に侵入して測定の邪魔となるのを防ぐ。
第２図はこの出願の請求項２の発明の一実施例の要部を
示し、第１図の各部と対応する部分には同じ番号を付し
である。この実施例ではレンズ８の後方で同レンズの焦
点位置に規準体照明光１１を配置しである。斜鏡６を図
実線の光軸Ａに対し４５°の位置にして光源１１を点灯
すると規準対７は背後から照明され、集光レンズ４によ
って被測定体の上に明るい背景の中に規準体の像が形成
される。斜鏡６を退避させると、この像の位置が入射ス
リット２上に結像されることになるので、この規準体の
像の所に被測定体５の測定点を持って来るように調節す
ればよい。
示し、第１図の各部と対応する部分には同じ番号を付し
である。この実施例ではレンズ８の後方で同レンズの焦
点位置に規準体照明光１１を配置しである。斜鏡６を図
実線の光軸Ａに対し４５°の位置にして光源１１を点灯
すると規準対７は背後から照明され、集光レンズ４によ
って被測定体の上に明るい背景の中に規準体の像が形成
される。斜鏡６を退避させると、この像の位置が入射ス
リット２上に結像されることになるので、この規準体の
像の所に被測定体５の測定点を持って来るように調節す
ればよい。
（発明の効果）
本発明は分光器の入射スリットと鏡像の位置関係にある
規準体と集光光学系による被測定体の像或は集光光学系
による規準体の像と被測定体とを重ねて見ながら被測定
体の位置調節をするので、集光光学系における入射スリ
ットとの共役点を想像しながら被測定体の位置調節を行
っていた従来装置に比し、入射スリットと被測定体との
位置関係が明瞭に目視可能な状態で位置調節されること
になり、位置調節が大へんやり易（なり、しがち泣面設
定の精度が向上する。
規準体と集光光学系による被測定体の像或は集光光学系
による規準体の像と被測定体とを重ねて見ながら被測定
体の位置調節をするので、集光光学系における入射スリ
ットとの共役点を想像しながら被測定体の位置調節を行
っていた従来装置に比し、入射スリットと被測定体との
位置関係が明瞭に目視可能な状態で位置調節されること
になり、位置調節が大へんやり易（なり、しがち泣面設
定の精度が向上する。
第１図は本出願の請求項１に対応する発明の一実施例の
平面図、第２図は同じく請求項２に対する発明の一実施
例の要部平面図である。 １・・・分光素子、２・・・入射スリット、３・・・受
光素子、４・・・集光レンズｚ５・・・被測定体、６・
・・斜鏡、７・・・規準体、８・・・接眼レンズ、９・
・・筐体、１０・・・筒体、１１・・・規準体照明光源
。 代理人 弁理士 縣 浩 介
平面図、第２図は同じく請求項２に対する発明の一実施
例の要部平面図である。 １・・・分光素子、２・・・入射スリット、３・・・受
光素子、４・・・集光レンズｚ５・・・被測定体、６・
・・斜鏡、７・・・規準体、８・・・接眼レンズ、９・
・・筐体、１０・・・筒体、１１・・・規準体照明光源
。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (2)
- （１）分光器の集光レンズと入射スリットとの間で集光
レンズ光軸上に出入自在に斜鏡を挿入し、この斜鏡によ
り折曲された上記集光レンズ光軸上で、分光器入射スリ
ットの上記斜鏡による鏡像位置に規準体を配置したこと
を特徴とする分光装置における被測定体位置決め装置。 - （２）分光器の集光レンズと入射スリットとの間で集光
レンズ光軸上に出入自在に斜鏡を挿入し、この斜鏡によ
り折曲された上記集光レンズ光軸上で、分光器入射スリ
ットの上記斜鏡による鏡像位置に規準体を設置し、上記
折曲された集光レンズ光軸上で上記斜鏡からみて上記規
準体より遠方に規準体照明光源を配置したことを特徴と
する分光装置における被測定体位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13007290A JPH0424538A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 分光装置における被測定体位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13007290A JPH0424538A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 分光装置における被測定体位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0424538A true JPH0424538A (ja) | 1992-01-28 |
Family
ID=15025327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13007290A Pending JPH0424538A (ja) | 1990-05-18 | 1990-05-18 | 分光装置における被測定体位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0424538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7817268B2 (en) | 2004-08-27 | 2010-10-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Alignment system for spectroscopic analysis |
| CN107144346A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-09-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可视化对焦高光谱成像仪 |
-
1990
- 1990-05-18 JP JP13007290A patent/JPH0424538A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7817268B2 (en) | 2004-08-27 | 2010-10-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Alignment system for spectroscopic analysis |
| CN107144346A (zh) * | 2017-06-12 | 2017-09-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种可视化对焦高光谱成像仪 |
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