JPH04238854A - Production of ceramic green sheet - Google Patents

Production of ceramic green sheet

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JPH04238854A
JPH04238854A JP3001490A JP149091A JPH04238854A JP H04238854 A JPH04238854 A JP H04238854A JP 3001490 A JP3001490 A JP 3001490A JP 149091 A JP149091 A JP 149091A JP H04238854 A JPH04238854 A JP H04238854A
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JP
Japan
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green sheet
ceramic
quaternary ammonium
ammonium salt
weight
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JP3001490A
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Japanese (ja)
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Takao Hosokawa
孝夫 細川
Yoshiaki Kono
芳明 河野
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To improve antistatic effects by blending raw material powder of ceramics composition with a quaternary ammonium salt containing neither halogen nor metallic element and slurrying. CONSTITUTION:100 pts.wt. raw material powder of ceramics composition is blended with 0.05-3 pts.wt. quaternary ammonium salt shown by the formula R4NX (R is alkyl or aryl; X is NO2<->, NO3<-> or CH3COO<->) containing neither halogen nor metallic element, a binder, a plasticizer and an organic solvent to give a ceramics slurry. The slurry is applied to a substrate and dried.

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明はセラミックグリーンシー
トの製造方法、特に、積層構造を有するセラミック電子
部品用材料として有用なセラミックグリーンシートの製
造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】一般に、積層構造を有するセラミック電
子部品、例えば、積層コンデンサを製造する場合、セラ
ミック原料粉末を所望の組成となるように配合してスラ
リー化し、得られたセラミックスラリーをシート成形し
て、その表面に電極層などの導電層を形成して積層し、
これを焼成して一体化する方法が採用されている。通常
、セラミックスラリー、特に、有機溶剤を用いて調製し
たセラミックスラリーをシート成形した場合、得られた
セラミックグリーンシートは表面抵抗が高いため、帯電
し易く、その強い静電気によってグリーンシート表面に
ゴミが付着したり、シワが発生したりし、結果的にセラ
ミック電子部品の品質が低下するという問題があった。 この現象はグリーンシートが薄くなった場合、特に、そ
の肉厚が10μm以下になった場合に著しい。このため
、グリーンシートを除電ブラシに接触させたり、グリー
ンシートにイオン風を吹き付けるなどの物理的手段でグ
リーンシートの静電気を除去することが行われている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記物
理的手段は、静電気の除去に極めて有効であるが、静電
気除去後、他の物質との接触、摩擦あるいは他の物質か
らの剥離によって、例えば、グリーンシートがロールに
接触したのち離れた場合、あるいはグリーンシートをキ
ャリアフイルムから剥離した場合、強い静電気が発生し
て再び帯電するという問題がある。従って、物理的手段
では一時的にしか除電できず、永続的な除電手段として
は不十分であった。 【0004】従って、本発明は、有機溶剤を用いたセラ
ミックグリーンシートであっても製造過程に於ける帯電
を防止できるようにし、セラミック電子部品の品質を向
上させることを目的とする。 【0005】 【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するための手段として、セラミック組成物の原料粉末
100重量部に対して、ハロゲンおよび金属元素を含ま
ない第4級アンモニウム塩を0.05〜3重量部添加し
てセラミックスラリーを調製するようにしたものである
。 【0006】第4級アンモニウム塩としては、ハロゲン
および金属元素を含まないものであれば任意のものを使
用できるが、代表的なものとしては、一般式:R4NX
(但し、Rは同じ又は異なりてアルキル、アリール基を
表し、XはNO2−、NO3−、CH3COO−を表す
。)で示される第4級アンモニウム塩が好適である。こ
れらの第4級アンモニウム塩は単独で、あるいは2種以
上を同時に使用することができる。 【0007】 【作用】セラミックスラリーに添加した第4級アンモニ
ウム塩は、セラミックグリーンシートの表面抵抗を小さ
くするため、製造過程においてセラミックグリーンシー
トが帯電してもその帯電圧の半減期が著しく短縮され、
静電気が除去され帯電によるトラブルが解消される。ま
た、この第4級アンモニウム塩を含有させることによっ
てセラミック粉末の溶剤への分散性及びセラミックグリ
ーンシートの成形密度を向上させる役割も果す。 【0008】第4級アンモニウム塩の添加量をセラミッ
ク組成物100重量部に対して0.05〜3重量部とし
たのは、その添加量が0.05重量部未満では十分な除
電効果が得られず、3重量部を越えると、グリーンシー
トがもろくなり、取り扱い性が悪くなるからである。 【0009】 【実施例】実施例1:チタン酸バリウム粉末100重量
部に、バインダとしてポリビニルブチラール樹脂10重
量部、可塑剤としてジオクチルフタレート5重量部、溶
剤としてトルエン50重量部およびエチルアルコール5
0重量部からなる混合液と共に、第4級アンモニウム塩
としてジメチルエチルプロピルアンモニウム酢酸塩を0
〜6重量部を添加してセラミックスラリーを調製した。 このスラリーをドクターブレード法によりシート成形し
て、乾燥させ、キャリアフィルム上に10μm厚のセラ
ミックグリーンシートを形成した。キャリアフィルムと
してはポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。 【0010】スラリー調製後およびセラミックグリーン
シート形成後、スラリーの粘度およびグリーンシートの
成形密度を測定したところ、第4級アンモニウム塩の添
加量が0のものではスラリーの粘度は420cpsで、
グリーンシートの成形密度は3.2g/cm3であった
が、第4級アンモニウム塩を0.05重量部以上添加し
たものではスラリーの粘度は330cpsで、グリーン
シートの成形密度は、3.5g/cm3であった。 【0011】得られたグリーンシートの帯電圧およびそ
の半減期を測定した。それらの結果を第4級アンモニウ
ム塩の添加量の関数として図1および図2に示す。 【0012】図1に示す結果から明らかなように、第4
級アンモニウム塩を添加していないものでは、帯電圧が
6kvと極めて高く、その半減期も30秒以上であるが
、第4級アンモニウム塩の添加量の増加と共にシート成
形後の帯電圧は急激に低下し、チタン酸バリウム100
重量部に対して第4級アンモニウム塩が0.5重量部で
は帯電圧が半減し、2重量部以上では0.2kv以下に
減少する。また、図2に示す結果から、帯電圧の半減期
も第4級アンモニウム塩の添加量の増加と共に急減し、
その添加量が0.1重量部では5秒に、0.5重量部以
上では、1秒以下に低下することが判る。 【0013】また、前記チタン酸バリウムのグリーンシ
ートをキャリアフィルムから剥離した直後のセラミック
グリーンシートの帯電圧を測定したところ、図1と同様
な結果が得られた。このとき、第4級アンモニウム塩を
添加していないものでは、グリーンシートをキャリアフ
ィルムから剥離した時点でシワだらけになったが、第4
級アンモニウム塩を0.05重量部以上添加したグリー
ンシートでは、剥離した際にシワがよることもなかった
。さらに、グリーンシートを積み重ねたところ、第4級
アンモニウム塩の添加量が0重量部のものでは、静電気
によりめくれを生じたが、第4級アンモニウム塩を0.
05重量部以上添加したものではめくれることもなかっ
た。 【0014】前記キャリアフィルムから剥離したグリー
ンシートを窒素ガス雰囲気中450℃で3時間加熱して
脱脂した後、その残留カーボン量を測定したところ、0
.8〜0.9重量%でほぼ一定であることが認められた
。 【0015】前記成分組成において、第4級アンモニウ
ム酢酸塩の代わりに、第4級アンモニウム硝酸塩を用い
た以外は、同じ成分組成でスラリーを調製し、前記の場
合と同様にしてセラミックグリーンシートを形成した。 このセラミックグリーンシートの帯電特性を測定したと
ころ、図1および図2と同様な結果が得られた。また、
このグリーンシートを窒素ガス雰囲気中450℃で3時
間加熱して脱脂した後、その残留カーボン量を測定した
ところ、0.9〜1.0重量%でほぼ一定で、第4級ア
ンモニウム塩として酢酸塩を用いた場合の方が、残留カ
ーボン量が少なく、熱分解性において優れていることが
認められた。なお、除電効果およびスラリーの分散性も
酢酸塩の方が硝酸塩よりも若干優れていることが認めら
れた。 【0016】なお、前記実施例では、セラミックスラリ
ーを調製する際、その原料粉末として予め調製したチタ
ン酸バリウム粉末を用いているが、必ずしもその必要は
なく、その出発原料である炭酸バリウムと酸化チタンを
用いても良い。さらに、本発明はチタン酸バリウムから
なるセラミックグリーンシートの製造のみに限定される
ものではなく、バリウムの一部を一または二以上の他の
元素、例えば、鉛、ストロンチウム、カルシウム、マグ
ネシウム等で置換したもの、あるいはチタンの一部を一
または二以上の他の元素、例えば、ジルコニウム、錫等
で置換したチタン酸バリウム系磁器組成物の他、それら
に稀土類元素、ニオブその他の半導体化元素を添加した
チタン酸バリウム系半導体磁器組成物、あるいはチタン
酸鉛系磁器組成物など任意の磁器組成物からなるセラミ
ックグリーンシートの製造にも適用できる。 【0017】実施例2:チタン酸バリウム系誘電体セラ
ミック原料100重量部に対してジブチルメチルエチル
アンモニウム酢酸塩を0.5重量部添加してセラミック
スラリーを調製した。このスラリーを用いてドクターブ
レード法によりキャリアフィルム上に10μm厚のグリ
ーンシートを成形した。このシート上に積層コンデンサ
の内部電極用ペーストを印刷した後、常法により積層し
て積層コンデンサを作製した。 【0018】また、これとは別に、実施例2と同じセラ
ミック原料を用い、第4級アンモニウム塩を添加しない
スラリーを調製し、同様にして積層セラミックコンデン
サを作製した。 【0019】得られた各積層セラミックコンデンサにつ
いて、ショート率、ボイド数を調べた。それらの結果を
表1に示す。 【0020】 【表1】                          
   表1                    
            第4級アンモニウム塩   
                         
          無添加            
      添加              ショー
ト率        15個/100個       
 6個/100個        ボイド数     
       8個/10個          2個
/10個       【0021】表1に示す結果から明らかなように、ショ
ート率およびボイド数は、第4級アンモニウム塩を添加
することにより著しく改善され、積層セラミックコンデ
ンサの初期欠陥を抑制することができる。これは、セラ
ミックグリーンシートの静電気が減少し、ゴミ等の付着
が減少したためと考えられる。 【0022】 【発明の効果】本発明によれば、セラミックグリーンシ
ートを製造する際、そのスラリーに第4級アンモニウム
塩を所定量添加することにより、次のような優れた効果
が得られる。 【0023】セラミックグリーンシートの表面抵抗が小
さくすることができるため、製造後にグリーンシートが
帯電してもその帯電圧を極めて低くでき、また、帯電圧
の半減期を大幅に短縮できるので、セラミックグリーン
シートの静電気によるゴミの付着、シワの発生、積み重
ね時のメクレを防止できる。また、第4級アンモニウム
塩の除電効果は、一時的でなく、熱分解によりそれ消失
するまで持続するので、形成後に物理的除電を必要とせ
ず、取り扱い性を向上させることができる。さらに、セ
ラミックスラリーを調製する際、セラミック粉末粒子若
しくはセラミック原料粉末粒子の分散性を向上させるこ
とができる。しかも、これらの相乗的作用によりセラミ
ック電子部品の品質を向上させることができる。
Description: FIELD OF INDUSTRIAL APPLICATION [0001] The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic green sheet, and more particularly, to a method for manufacturing a ceramic green sheet useful as a material for ceramic electronic components having a laminated structure. [0002] Generally, when manufacturing a ceramic electronic component having a laminated structure, such as a laminated capacitor, ceramic raw material powders are mixed into a slurry to have a desired composition, and the resulting ceramic slurry is Form a sheet, form a conductive layer such as an electrode layer on its surface, and laminate it.
A method is adopted in which this is baked and integrated. Normally, when a ceramic slurry, especially a ceramic slurry prepared using an organic solvent, is formed into a sheet, the resulting ceramic green sheet has a high surface resistance, so it is easily charged, and the strong static electricity causes dust to adhere to the surface of the green sheet. There is a problem in that the quality of ceramic electronic components deteriorates as a result. This phenomenon is remarkable when the green sheet becomes thin, especially when its wall thickness becomes 10 μm or less. For this reason, static electricity on the green sheet is removed by physical means such as bringing the green sheet into contact with a static elimination brush or blowing ionized air onto the green sheet. [Problems to be Solved by the Invention] However, although the above-mentioned physical means are extremely effective in removing static electricity, after removing static electricity, static electricity may be removed due to contact with other substances, friction, or peeling from other substances. For example, when a green sheet comes into contact with a roll and then separates from the roll, or when the green sheet is peeled off from a carrier film, strong static electricity is generated and the roll is charged again. Therefore, physical means can only temporarily eliminate static electricity, and are insufficient as permanent static elimination means. [0004] Accordingly, an object of the present invention is to improve the quality of ceramic electronic components by making it possible to prevent charging during the manufacturing process even in ceramic green sheets using organic solvents. Means for Solving the Problems The present invention, as a means for solving the above problems, provides that quaternary ammonium containing no halogen or metal element is added to 100 parts by weight of raw material powder of a ceramic composition. A ceramic slurry is prepared by adding 0.05 to 3 parts by weight of salt. As the quaternary ammonium salt, any salt can be used as long as it does not contain halogen or metal elements, but typical ones include those with the general formula: R4NX
(However, R is the same or different and represents an alkyl or aryl group, and X represents NO2-, NO3-, CH3COO-.) A quaternary ammonium salt represented by the following formula is preferred. These quaternary ammonium salts can be used alone or in combination of two or more. [Function] The quaternary ammonium salt added to the ceramic slurry reduces the surface resistance of the ceramic green sheet, so even if the ceramic green sheet is charged during the manufacturing process, the half-life of the charged voltage is significantly shortened. ,
Static electricity is removed and problems caused by charging are eliminated. Furthermore, the inclusion of this quaternary ammonium salt also serves to improve the dispersibility of ceramic powder in a solvent and the molded density of ceramic green sheets. The reason why the amount of the quaternary ammonium salt added is 0.05 to 3 parts by weight per 100 parts by weight of the ceramic composition is that if the amount added is less than 0.05 parts by weight, a sufficient static elimination effect is not obtained. If the amount exceeds 3 parts by weight, the green sheet becomes brittle and becomes difficult to handle. [Example] Example 1: 100 parts by weight of barium titanate powder, 10 parts by weight of polyvinyl butyral resin as a binder, 5 parts by weight of dioctyl phthalate as a plasticizer, 50 parts by weight of toluene and 5 parts by weight of ethyl alcohol as a solvent.
0 parts by weight of dimethylethylpropylammonium acetate as a quaternary ammonium salt.
A ceramic slurry was prepared by adding ~6 parts by weight. This slurry was formed into a sheet by a doctor blade method and dried to form a 10 μm thick ceramic green sheet on a carrier film. A polyethylene terephthalate film was used as the carrier film. [0010] After preparing the slurry and forming the ceramic green sheet, the viscosity of the slurry and the molded density of the green sheet were measured. When the amount of quaternary ammonium salt added was 0, the viscosity of the slurry was 420 cps;
The molded density of the green sheet was 3.2 g/cm3, but when 0.05 parts by weight or more of quaternary ammonium salt was added, the viscosity of the slurry was 330 cps, and the molded density of the green sheet was 3.5 g/cm3. It was cm3. [0011] The charging voltage and half-life of the obtained green sheet were measured. The results are shown in FIGS. 1 and 2 as a function of the amount of quaternary ammonium salt added. As is clear from the results shown in FIG.
In the case where quaternary ammonium salt is not added, the charging voltage is extremely high at 6 kV and its half-life is more than 30 seconds, but as the amount of quaternary ammonium salt added increases, the charging voltage after sheet forming increases rapidly. barium titanate 100
When the amount of the quaternary ammonium salt is 0.5 parts by weight, the charging voltage is halved, and when it is 2 parts by weight or more, it is reduced to 0.2 kv or less. Furthermore, from the results shown in Figure 2, the half-life of the charging voltage rapidly decreases as the amount of quaternary ammonium salt added increases.
It can be seen that when the amount added is 0.1 part by weight, the time required is 5 seconds, and when the amount added is 0.5 parts by weight or more, it is reduced to 1 second or less. [0013] Furthermore, when the charged voltage of the ceramic green sheet immediately after the barium titanate green sheet was peeled off from the carrier film was measured, the same results as those shown in FIG. 1 were obtained. At this time, when the green sheet was peeled off from the carrier film in the case where no quaternary ammonium salt was added, the green sheet was full of wrinkles.
The green sheets to which 0.05 parts by weight or more of grade ammonium salts were added did not wrinkle when peeled. Furthermore, when green sheets were stacked, when the amount of quaternary ammonium salt added was 0 parts by weight, they turned over due to static electricity, but when the amount of quaternary ammonium salt added was 0.
When 0.05 parts by weight or more was added, no peeling occurred. After degreasing the green sheet peeled from the carrier film at 450° C. for 3 hours in a nitrogen gas atmosphere, the amount of residual carbon was measured and found to be 0.
.. It was observed that the content was approximately constant at 8 to 0.9% by weight. A slurry was prepared with the same composition as above except that quaternary ammonium nitrate was used instead of quaternary ammonium acetate, and a ceramic green sheet was formed in the same manner as in the above case. did. When the charging characteristics of this ceramic green sheet were measured, results similar to those shown in FIGS. 1 and 2 were obtained. Also,
After degreasing this green sheet by heating it at 450°C for 3 hours in a nitrogen gas atmosphere, the amount of residual carbon was measured, and it was found to be approximately constant at 0.9 to 1.0% by weight. It was found that when salt was used, the amount of residual carbon was smaller and the thermal decomposition properties were better. It was also found that acetate was slightly better than nitrate in terms of static elimination effect and slurry dispersibility. [0016] In the above example, when preparing the ceramic slurry, barium titanate powder prepared in advance is used as the raw material powder, but this is not necessarily necessary, and the starting materials barium carbonate and titanium oxide are used. You may also use Furthermore, the present invention is not limited only to the production of ceramic green sheets made of barium titanate, but a portion of barium is replaced with one or more other elements, such as lead, strontium, calcium, magnesium, etc. In addition to barium titanate-based ceramic compositions in which titanium is partially replaced with one or more other elements such as zirconium and tin, rare earth elements, niobium, and other semiconducting elements are added to them. It can also be applied to the production of ceramic green sheets made of any ceramic composition such as a barium titanate-based semiconductor ceramic composition or a lead titanate-based ceramic composition. Example 2: A ceramic slurry was prepared by adding 0.5 parts by weight of dibutylmethylethylammonium acetate to 100 parts by weight of barium titanate dielectric ceramic raw material. Using this slurry, a 10 μm thick green sheet was formed on a carrier film by a doctor blade method. After printing a paste for internal electrodes of a multilayer capacitor on this sheet, the sheets were laminated by a conventional method to produce a multilayer capacitor. Separately, a slurry was prepared using the same ceramic raw material as in Example 2 without the addition of a quaternary ammonium salt, and a multilayer ceramic capacitor was fabricated in the same manner. The short circuit rate and number of voids were investigated for each of the obtained multilayer ceramic capacitors. The results are shown in Table 1. [Table 1]
Table 1
Quaternary ammonium salt

Additive-free
Addition Short rate 15 pieces/100 pieces
6/100 voids
8 pieces/10 pieces 2 pieces/10 pieces As is clear from the results shown in Table 1, the short-circuit ratio and the number of voids were significantly improved by adding the quaternary ammonium salt, and the initial value of the multilayer ceramic capacitor was Defects can be suppressed. This is considered to be because the static electricity of the ceramic green sheet was reduced, and the adhesion of dust and the like was reduced. According to the present invention, the following excellent effects can be obtained by adding a predetermined amount of quaternary ammonium salt to the slurry when producing ceramic green sheets. [0023] Since the surface resistance of the ceramic green sheet can be reduced, even if the green sheet is charged after manufacturing, the charging voltage can be extremely low, and the half-life of the charging voltage can be greatly shortened, so the ceramic green sheet can be It can prevent dust from adhering to sheets, wrinkles, and crinkling when stacked due to static electricity. In addition, the static elimination effect of the quaternary ammonium salt is not temporary, but lasts until it disappears due to thermal decomposition, so that physical static elimination is not required after formation, and handleability can be improved. Furthermore, when preparing a ceramic slurry, the dispersibility of ceramic powder particles or ceramic raw material powder particles can be improved. Moreover, these synergistic effects can improve the quality of ceramic electronic components.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】  第4級アンモニウム塩の添加量とセラミッ
クグリーンシートの帯電圧との関係を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing the relationship between the amount of quaternary ammonium salt added and the charging voltage of a ceramic green sheet.

【図2】  第4級アンモニウム塩の添加量とセラミッ
クグリーンシートの帯電圧半減期との関係を示す図であ
る。
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the amount of quaternary ammonium salt added and the half-life of the charging voltage of a ceramic green sheet.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  セラミック組成物の原料粉末100重
量部に対して、ハロゲンおよび金属元素を含まない第4
級アンモニウム塩を0.05〜3重量部添加してセラミ
ックスラリーを調製することを特徴とするセラミックグ
リーンシートの製造方法。
Claim 1: Based on 100 parts by weight of the raw material powder of the ceramic composition, a fourth powder containing no halogen or metal element is added.
1. A method for producing a ceramic green sheet, which comprises preparing a ceramic slurry by adding 0.05 to 3 parts by weight of a class ammonium salt.
【請求項2】  前記第4級アンモニウム塩が一般式:
R4NX(但し、Rは同じ又は異なりてアルキル、アリ
ール基を表し、XはNO2−、NO3−、CH3COO
−を表す。)で示される第4級アンモニウム塩の少なく
とも一種である請求項1記載の製造方法。
[Claim 2] The quaternary ammonium salt has the general formula:
R4NX (However, R is the same or different and represents an alkyl or aryl group, and X is NO2-, NO3-, CH3COO
- represents. 2. The method according to claim 1, wherein the quaternary ammonium salt is at least one of the following quaternary ammonium salts.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007005725A (en) * 2005-06-27 2007-01-11 Tdk Corp Method of manufacturing ceramic laminate

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