JPH04238683A - 金属版のレーザー切断方法 - Google Patents
金属版のレーザー切断方法Info
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- JPH04238683A JPH04238683A JP3025027A JP2502791A JPH04238683A JP H04238683 A JPH04238683 A JP H04238683A JP 3025027 A JP3025027 A JP 3025027A JP 2502791 A JP2502791 A JP 2502791A JP H04238683 A JPH04238683 A JP H04238683A
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0665—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
-
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/142—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor for the removal of by-products
-
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- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/1476—Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【発明の背景】本発明は金属版の切断方法に関し、特に
レーザービームによる紡糸口金のオリフィスの切断加工
に関する。
レーザービームによる紡糸口金のオリフィスの切断加工
に関する。
【0002】紡糸口金の毛管は2種の範ちゅう、即ち円
筒状オリフィス及び複合形状に分けられる。円筒形は普
通のツイストドリルによる穿孔で容易に作られる。複合
形状を作るための2種の公知の技術は、打ち抜きと放電
加工とである。打ち抜きには厳しい制限がある。より特
別には、幅の2倍より深い溝を打ち抜くことは不可能で
ある(L/W<2)。これは、正規の溝幅からのわずか
な変動がポリマーの流れを大きく変動させるので、繊維
の形と寸法とを制御することを困難にする。
筒状オリフィス及び複合形状に分けられる。円筒形は普
通のツイストドリルによる穿孔で容易に作られる。複合
形状を作るための2種の公知の技術は、打ち抜きと放電
加工とである。打ち抜きには厳しい制限がある。より特
別には、幅の2倍より深い溝を打ち抜くことは不可能で
ある(L/W<2)。これは、正規の溝幅からのわずか
な変動がポリマーの流れを大きく変動させるので、繊維
の形と寸法とを制御することを困難にする。
【0003】複合形の紡糸用オリフィスを作るための放
電加工は、作るべきオリフィスの形に電極を作ること、
及び通常は紡糸口金と電極との両者を油槽中に浸けなが
ら放電を使用して紡糸口金板を貫通加工することを含む
。これに伴って次の二つの問題点がある。即ち、電極製
造の高費用(電極は非常に長くは持たない)、及び処理
速度の遅さである。
電加工は、作るべきオリフィスの形に電極を作ること、
及び通常は紡糸口金と電極との両者を油槽中に浸けなが
ら放電を使用して紡糸口金板を貫通加工することを含む
。これに伴って次の二つの問題点がある。即ち、電極製
造の高費用(電極は非常に長くは持たない)、及び処理
速度の遅さである。
【0004】次の潜在的利点のため、レーザーによる複
合形紡糸口金オリフィスの切断が考えられた。
合形紡糸口金オリフィスの切断が考えられた。
【0005】(1) 金属だけでなくセラミックも、
また耐久性、耐食性等のため使用されるいかなる材料も
使用できる。
また耐久性、耐食性等のため使用されるいかなる材料も
使用できる。
【0006】(2) レーザー切断は迅速かつ費用が
少ない可能性がある。打ち抜き又は放電加工におけるよ
うな特別の工具を作る必要がない。一般に、切断速度は
レーザーにより限定されるのではなく、加工物(紡糸口
金)を十分な速さで動かす能力によるだけである。コン
ピューター制御装置のソフトウエアにより、ある毛管設
計から他の設計に容易に切り替えることができる。
少ない可能性がある。打ち抜き又は放電加工におけるよ
うな特別の工具を作る必要がない。一般に、切断速度は
レーザーにより限定されるのではなく、加工物(紡糸口
金)を十分な速さで動かす能力によるだけである。コン
ピューター制御装置のソフトウエアにより、ある毛管設
計から他の設計に容易に切り替えることができる。
【0007】(3) L/W(深さ/幅)についての
大きな制限がない。しかし、今日まで、紡糸口金オリフ
ィスのレーザー加工は成功していない。
大きな制限がない。しかし、今日まで、紡糸口金オリフ
ィスのレーザー加工は成功していない。
【0008】紡糸口金オリフィスとして満足しうる溝を
作るには、三つの重要な障害を克服しなければならない
。
作るには、三つの重要な障害を克服しなければならない
。
【0009】(1) 溝は、通常のレーザーにより提
供できる幅(100μ〜300μ)よりも狭い幅(〜6
0μ)でなければならない。
供できる幅(100μ〜300μ)よりも狭い幅(〜6
0μ)でなければならない。
【0010】(2) 溝は許容差が約±1μ以内の真
っ直ぐな側部を持たねばならない。これは固体レーザー
で行うには非常に困難である。金属を奇麗に切断するに
は少なくも約40MW/cm2のエネルギー密度が必要
である。ビーム直径が40μであれば500W以上のレ
ーザーエネルギーが要求される。この出力の固体レーザ
ーは入手可能ではあるが、そのビームの品質は40μの
点に焦点を合わせるには余りにも貧弱である。更に、加
工物の過熱を避けるため、切断速度は約2m/minと
しなければならない。このことは、10kgにもなる重
量の紡糸口金を、複合形紡糸口金毛管を形成するに要す
る複雑なパターンを通ってこのような速度で動かしうる
装置が無いため、全く不可能である。特に、約1μ以内
で停止させなければならない。商業的に入手しうる最高
水準のものでも、紡糸口金の設計の許容差に適合するに
は、切断速度は0.05m/minより速くすることは
できない。レーザーは、大部分が数%の低負荷率のパル
スモードで運転しなければならない。しかし、固体レー
ザーのパルス運転は別の問題を生ずる。即ち、熱レンズ
現象であり、このためビームは左右にさまよい、紡糸口
金オリフィスとして受け入れ難い波状切断が生ずる。熱
レンズ現象はフラッシュランプによるレーザー結晶の加
熱により発生する。レーザー製造業者がこの問題を最小
にすべく努力しているにもかかわらず加熱は決して完全
に一様にはならず、従って結晶は各フラッシュ中に変形
する。
っ直ぐな側部を持たねばならない。これは固体レーザー
で行うには非常に困難である。金属を奇麗に切断するに
は少なくも約40MW/cm2のエネルギー密度が必要
である。ビーム直径が40μであれば500W以上のレ
ーザーエネルギーが要求される。この出力の固体レーザ
ーは入手可能ではあるが、そのビームの品質は40μの
点に焦点を合わせるには余りにも貧弱である。更に、加
工物の過熱を避けるため、切断速度は約2m/minと
しなければならない。このことは、10kgにもなる重
量の紡糸口金を、複合形紡糸口金毛管を形成するに要す
る複雑なパターンを通ってこのような速度で動かしうる
装置が無いため、全く不可能である。特に、約1μ以内
で停止させなければならない。商業的に入手しうる最高
水準のものでも、紡糸口金の設計の許容差に適合するに
は、切断速度は0.05m/minより速くすることは
できない。レーザーは、大部分が数%の低負荷率のパル
スモードで運転しなければならない。しかし、固体レー
ザーのパルス運転は別の問題を生ずる。即ち、熱レンズ
現象であり、このためビームは左右にさまよい、紡糸口
金オリフィスとして受け入れ難い波状切断が生ずる。熱
レンズ現象はフラッシュランプによるレーザー結晶の加
熱により発生する。レーザー製造業者がこの問題を最小
にすべく努力しているにもかかわらず加熱は決して完全
に一様にはならず、従って結晶は各フラッシュ中に変形
する。
【0011】(3) (効果的な金属除去切断は酸化
雰囲気、例えば4barの純酸素内で行わねばならない
ため)紡糸口金を備えた金属が加工中に酸化されるとい
う、幅広切断では通常は見られない問題が関連する。金
属酸化物の蒸気が、前進しているレーザービームの後方
で凝縮し、小さな粒子を形成し、これが切断側部に沿っ
て溶融金属に付着し、切断部の両側間の間隙を実際に架
橋することがある。具合悪いことに、L/Wが10以上
で直径が例えば60μのブローチは剪断強度が不十分で
あり酸化物微粒子を除去することなく破損するので、こ
の問題はある種の機械的な清掃作業では修正できない。
雰囲気、例えば4barの純酸素内で行わねばならない
ため)紡糸口金を備えた金属が加工中に酸化されるとい
う、幅広切断では通常は見られない問題が関連する。金
属酸化物の蒸気が、前進しているレーザービームの後方
で凝縮し、小さな粒子を形成し、これが切断側部に沿っ
て溶融金属に付着し、切断部の両側間の間隙を実際に架
橋することがある。具合悪いことに、L/Wが10以上
で直径が例えば60μのブローチは剪断強度が不十分で
あり酸化物微粒子を除去することなく破損するので、こ
の問題はある種の機械的な清掃作業では修正できない。
【0012】
【発明の概要】本発明により、上面及び下面を有する紡
糸口金板に複合紡糸口金を切断する方法にして紡糸口金
板の上面と下面との間に金属の熔融たまりを作るように
紡糸口金板の上面に向かってパルス化マルチモードレー
ザーエネルギービームを方向付けし更に前記ビームと同
軸の加圧流体を流す手段により下面から熔融金属を排出
する段階を備えた方法が、パルス化マルチモードレーザ
ービームを実質的にシングルモードビームに縮小し更に
板の上面の上方でシングルモードビームを焦点合わせす
ることにより改良される。好ましくは、ビームは実質的
に200μsecより短いパルス長のTEMooモード
であり、かつパルス化されたビームは約130Hzから
約185Hzの範囲の周波数を持つ。毛管は全体的に溝
切りされ、板を少なくも2種の経路においてビームに関
して動かすことにより形成される。
糸口金板に複合紡糸口金を切断する方法にして紡糸口金
板の上面と下面との間に金属の熔融たまりを作るように
紡糸口金板の上面に向かってパルス化マルチモードレー
ザーエネルギービームを方向付けし更に前記ビームと同
軸の加圧流体を流す手段により下面から熔融金属を排出
する段階を備えた方法が、パルス化マルチモードレーザ
ービームを実質的にシングルモードビームに縮小し更に
板の上面の上方でシングルモードビームを焦点合わせす
ることにより改良される。好ましくは、ビームは実質的
に200μsecより短いパルス長のTEMooモード
であり、かつパルス化されたビームは約130Hzから
約185Hzの範囲の周波数を持つ。毛管は全体的に溝
切りされ、板を少なくも2種の経路においてビームに関
して動かすことにより形成される。
【0013】
【好ましい実施例の詳細説明】図1は本発明の好ましい
実施例を示し、これは、上面16と下面18とを有する
紡糸口金板14を支持しているテーブル12に関し、X
、Y及びZ面(矢印で指示)内で動けるように取り付け
られたパルス化マルチモードレーザーエネルギー源10
を備える。紡糸口金板は形成されたとき多数の複合形状
の毛管20を備えるであろう。毛管20は溝形毛管とし
て知られ、この例では内側の小部分を囲んだ周囲の4個
の溝形開口22を備える(図2)。周囲開口22とその
中央で接続する4個の直線溝形開口24が交点から半径
方向内向きに延びる。空気通路26が周囲溝22を分離
する。
実施例を示し、これは、上面16と下面18とを有する
紡糸口金板14を支持しているテーブル12に関し、X
、Y及びZ面(矢印で指示)内で動けるように取り付け
られたパルス化マルチモードレーザーエネルギー源10
を備える。紡糸口金板は形成されたとき多数の複合形状
の毛管20を備えるであろう。毛管20は溝形毛管とし
て知られ、この例では内側の小部分を囲んだ周囲の4個
の溝形開口22を備える(図2)。周囲開口22とその
中央で接続する4個の直線溝形開口24が交点から半径
方向内向きに延びる。空気通路26が周囲溝22を分離
する。
【0014】パルス化マルチモードエネルギー源は、多
数のクセノン(最大700V)フラッシュ管32により
励起されるネオジウム−イットリウムアルミニウムガー
ネット(Nd−YAG)のロッド30のような固体レー
ザーである。好ましいNd−YAGレーザーは、西ドイ
ツ、シュラムベルク、ハース−レーザーGmbHより発
売のモデルLAY50−2である。通常、Nd−YAG
レーザーは同時に多くのモードで運転でき、このため幾
分かビーム品質を劣化させる。これを救済するために、
3.2mmの孔の空けられた2個の円盤34、35が、
それぞれ前後の鏡36、38の間のレーザー空洞の内側
に挿入される。
数のクセノン(最大700V)フラッシュ管32により
励起されるネオジウム−イットリウムアルミニウムガー
ネット(Nd−YAG)のロッド30のような固体レー
ザーである。好ましいNd−YAGレーザーは、西ドイ
ツ、シュラムベルク、ハース−レーザーGmbHより発
売のモデルLAY50−2である。通常、Nd−YAG
レーザーは同時に多くのモードで運転でき、このため幾
分かビーム品質を劣化させる。これを救済するために、
3.2mmの孔の空けられた2個の円盤34、35が、
それぞれ前後の鏡36、38の間のレーザー空洞の内側
に挿入される。
【0015】結晶と2個の鏡との間に2個の3.2mm
直径の孔を置くことにより、モード数は、ビーム品質が
非常に改善された実質的に卓越したTEMooモードに
縮小される。通常、Nd−YAGレーザーは非常に発散
が小さく、かつ与えられたレーザー及び作動条件につい
ては発散と焦点半径との積は目立って一定であるので、
発散を幾らか増加させ焦点半径を小さくさせることが可
能であった。これは次のように行なわれた。焦点距離が
−20mmの平凹レンズ40が光学軸上でアウトカプリ
ング鏡(outcouplingmirror)38の
外側に置かれた。焦点距離が+100mmの両凸レンズ
42が光学軸上で平凹レンズ40と同焦点に置かれた。 これにより直径16mmで光学軸と平行にされたビーム
44が作られる。同じく焦点距離が+100mmの第2
の両凸レンズ46が直径約35−40μの点にビームの
焦点を合わせる。焦点合わせ以前のより大きなビーム直
径は約5倍に広げられ、また約5倍でビーム直径を減ら
される。しかし、約2mradの拡散はこの目的にはな
お受容しうるもであった。
直径の孔を置くことにより、モード数は、ビーム品質が
非常に改善された実質的に卓越したTEMooモードに
縮小される。通常、Nd−YAGレーザーは非常に発散
が小さく、かつ与えられたレーザー及び作動条件につい
ては発散と焦点半径との積は目立って一定であるので、
発散を幾らか増加させ焦点半径を小さくさせることが可
能であった。これは次のように行なわれた。焦点距離が
−20mmの平凹レンズ40が光学軸上でアウトカプリ
ング鏡(outcouplingmirror)38の
外側に置かれた。焦点距離が+100mmの両凸レンズ
42が光学軸上で平凹レンズ40と同焦点に置かれた。 これにより直径16mmで光学軸と平行にされたビーム
44が作られる。同じく焦点距離が+100mmの第2
の両凸レンズ46が直径約35−40μの点にビームの
焦点を合わせる。焦点合わせ以前のより大きなビーム直
径は約5倍に広げられ、また約5倍でビーム直径を減ら
される。しかし、約2mradの拡散はこの目的にはな
お受容しうるもであった。
【0016】パルス運転の際は、パルスはできるだけ短
くすべきであるが、Nd−YAGレーザーはレーザー発
光の立ち上がりに幾らかの最小時間を要する。パルス持
続時間、周波数、及びランプ電圧の総ての可能な組み合
わせを徹底的に探求し、所有のレーザーでは200μs
より短いランプパルスの使用は実際的ではなかったこと
を見出だした。
くすべきであるが、Nd−YAGレーザーはレーザー発
光の立ち上がりに幾らかの最小時間を要する。パルス持
続時間、周波数、及びランプ電圧の総ての可能な組み合
わせを徹底的に探求し、所有のレーザーでは200μs
より短いランプパルスの使用は実際的ではなかったこと
を見出だした。
【0017】作動の際は、この目的に対しては130H
zが良好な繰り返し速度であることが見出だされた。平
滑に切断するためには、繰り返し速度は合理的に高くす
べきである。切断速度50mm/s及び繰り返し速度1
30Hzにおいては、加工物はパルス間で約6μ動く。 これより速く動かすべきではない。一方、130Hz以
上の繰り返し速度ではレーザー出力が低下し、レーザー
はランプ電圧500V及びランプのパルス持続時間20
0μsにおいて185Hz以上では作動しなかった。ラ
ンプのパルスを短くするとより速い繰り返し速度が得ら
れた。例えば平均出力の同じ損失ではランプのパルス1
75μsで約150−160Hzの繰り返しが得られた
。ランプ電圧500V及びパルス持続時間200μsで
、レーザーパルスは130Hzにおいて負荷率1.6%
に対し125μsである。
zが良好な繰り返し速度であることが見出だされた。平
滑に切断するためには、繰り返し速度は合理的に高くす
べきである。切断速度50mm/s及び繰り返し速度1
30Hzにおいては、加工物はパルス間で約6μ動く。 これより速く動かすべきではない。一方、130Hz以
上の繰り返し速度ではレーザー出力が低下し、レーザー
はランプ電圧500V及びランプのパルス持続時間20
0μsにおいて185Hz以上では作動しなかった。ラ
ンプのパルスを短くするとより速い繰り返し速度が得ら
れた。例えば平均出力の同じ損失ではランプのパルス1
75μsで約150−160Hzの繰り返しが得られた
。ランプ電圧500V及びパルス持続時間200μsで
、レーザーパルスは130Hzにおいて負荷率1.6%
に対し125μsである。
【0018】ランプ32の電圧を小刻みに485Vに低
下させると、切断の品質が連続的に改善されることが見
出だされた。しかし、485Vより下がると、レーザー
はもはや新しい切断を始めるように金属を貫通すること
ができなかった。このとき、レーザーは11W又は85
mJ/パルスで作動していた。ビームのエネルギーの7
0%が直径32μの円内に落ち、90%が42μの円内
に落ちた。重要な要件は、必要な低い切断速度における
加工物の過熱を避けるために、低く十分な負荷率で約4
0MW/cm2のしっかりと焦点合わせされた短いパル
スを発射することである。最適の作動条件は、切断され
る金属の化学組成及び厚さにより幾分変わるであろう。
下させると、切断の品質が連続的に改善されることが見
出だされた。しかし、485Vより下がると、レーザー
はもはや新しい切断を始めるように金属を貫通すること
ができなかった。このとき、レーザーは11W又は85
mJ/パルスで作動していた。ビームのエネルギーの7
0%が直径32μの円内に落ち、90%が42μの円内
に落ちた。重要な要件は、必要な低い切断速度における
加工物の過熱を避けるために、低く十分な負荷率で約4
0MW/cm2のしっかりと焦点合わせされた短いパル
スを発射することである。最適の作動条件は、切断され
る金属の化学組成及び厚さにより幾分変わるであろう。
【0019】金属の除去は金属切断において重要な点で
ある。普通は切断用ノズルが使用される。ガス圧力はあ
る実験室では特殊設計により10bar又はそれ以上に
達したが、焦点用レンズ50の機械的強度がガス圧力を
約5barに限定する。5barでのガス供給52が使
用され、これはノズルが切断しているときの実際の圧力
が約4barであることを意味する。もちろん、切断用
ガスは試験され、純酸素が最善であった。切断用ノズル
と加工物との間の距離は重要であった(約400mmの
距離にわたり100+10μ)。
ある。普通は切断用ノズルが使用される。ガス圧力はあ
る実験室では特殊設計により10bar又はそれ以上に
達したが、焦点用レンズ50の機械的強度がガス圧力を
約5barに限定する。5barでのガス供給52が使
用され、これはノズルが切断しているときの実際の圧力
が約4barであることを意味する。もちろん、切断用
ガスは試験され、純酸素が最善であった。切断用ノズル
と加工物との間の距離は重要であった(約400mmの
距離にわたり100+10μ)。
【0020】少なくも1個又はそれ以上の主要な要求が
ある。即ち、ビーム44は板14上に焦点を合わせるの
ではなく、板の上面16の上方で、ある距離48(約
.2mm)の処である。これは焦点用レンズ50により
行なわれる。
ある。即ち、ビーム44は板14上に焦点を合わせるの
ではなく、板の上面16の上方で、ある距離48(約
.2mm)の処である。これは焦点用レンズ50により
行なわれる。
【0021】
【実施態様】本発明の実施態様につき説明すれば次の通
りである。
りである。
【0022】1.上面及び下面を有する金属板を貫通し
て切断する方法にして、板の上面と下面との間に金属の
熔融たまりを作るように前記板の上面に向かってパルス
化マルチモードレーザーエネルギー源ビームを方向付け
し更に前記ビームと同軸に加圧流体を流す手段により下
面から熔融金属を排出する段階を備えた方法において、
マルチモードレーザービームを実質的にシングルモード
ビームに縮小し、更に前記板の上面の上方にシングルモ
ードビームを焦点合わせすることを含んだ改良。
て切断する方法にして、板の上面と下面との間に金属の
熔融たまりを作るように前記板の上面に向かってパルス
化マルチモードレーザーエネルギー源ビームを方向付け
し更に前記ビームと同軸に加圧流体を流す手段により下
面から熔融金属を排出する段階を備えた方法において、
マルチモードレーザービームを実質的にシングルモード
ビームに縮小し、更に前記板の上面の上方にシングルモ
ードビームを焦点合わせすることを含んだ改良。
【0023】2.前記シングルモードビームがTEMo
oモードである上記1の方法。
oモードである上記1の方法。
【0024】3.前記ビームのパルスの長さが約200
μsより短い上記1の方法。
μsより短い上記1の方法。
【0025】4.パルス化されたビームが約130Hz
から約185Hzの周波数を有する上記3の方法。
から約185Hzの周波数を有する上記3の方法。
【0026】5.前記加圧流体が酸素である上記1の方
法。
法。
【0027】6.前記板を前記溝により定められる経路
でビームに関して少なくも1個の経路で動かすことによ
って、溝により定められた紡糸口金が前記板に切られる
上記1の方法。
でビームに関して少なくも1個の経路で動かすことによ
って、溝により定められた紡糸口金が前記板に切られる
上記1の方法。
【0028】7.前記板が少なくも2個の経路内で動か
される上記6の方法。
される上記6の方法。
【0029】8.前記板が少なくも3個の経路内で動か
される上記6の方法。
される上記6の方法。
【図1】本発明の方法の実施に有用な装置の図式的な斜
視図である。
視図である。
【図2】本発明の方法を使用して作られた複合形紡糸口
金毛管の平面図である。
金毛管の平面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】上面及び下面を有する金属板を貫通して切
断する方法にして、板の上面と下面との間に金属の熔融
たまりを作るように前記板の上面に向かってパルス化マ
ルチモードレーザーエネルギー源ビームを方向付けし更
に前記ビームと同軸に加圧流体を流す手段により下面か
ら熔融金属を排出する段階を備えた方法において、マル
チモードレーザービームを実質的にシングルモードビー
ムに縮小し、更に前記板の上面の上方にシングルモード
ビームを焦点合わせすることを含んだ改良。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US47160390A | 1990-01-29 | 1990-01-29 | |
US471603 | 1990-01-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04238683A true JPH04238683A (ja) | 1992-08-26 |
Family
ID=23872277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3025027A Pending JPH04238683A (ja) | 1990-01-29 | 1991-01-28 | 金属版のレーザー切断方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0440397B1 (ja) |
JP (1) | JPH04238683A (ja) |
BR (1) | BR9100338A (ja) |
CA (1) | CA2034551C (ja) |
DE (1) | DE69117996T2 (ja) |
SU (1) | SU1834771A3 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112809211A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-05-18 | 烟台恩邦智能科技有限公司 | 一种高精度激光切割机 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4226620C2 (de) * | 1992-08-12 | 1995-01-19 | Thyssen Stahl Ag | Verfahren zum Laserstrahlschneiden von band- oder plattenförmigen Werkstücken, insbesondere von Elektroblech |
JP4055353B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2008-03-05 | 松下電器産業株式会社 | 光加工装置 |
WO2002040132A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Cuno Incorporated | Edge-type filter |
DE102006013170A1 (de) * | 2006-03-22 | 2007-09-27 | Irema-Filter Gmbh | Plissierbares Vliesmaterial und Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung derselben |
KR20170067793A (ko) * | 2014-10-13 | 2017-06-16 | 에바나 테크놀로지스, 유에이비 | 스파이크형 형상의 손상 구조물 형성을 통한 기판 클리빙 또는 다이싱을 위한 레이저 가공 방법 |
RU179186U1 (ru) * | 2017-07-24 | 2018-05-03 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Устройство для удаления газообразных продуктов лазерной резки |
RU180970U1 (ru) * | 2017-08-01 | 2018-07-02 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Приспособление для удаления газообразных и твердых продуктов лазерной резки |
-
1991
- 1991-01-18 CA CA002034551A patent/CA2034551C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-25 BR BR919100338A patent/BR9100338A/pt not_active IP Right Cessation
- 1991-01-28 SU SU914894474A patent/SU1834771A3/ru active
- 1991-01-28 EP EP91300626A patent/EP0440397B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-28 DE DE69117996T patent/DE69117996T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-01-28 JP JP3025027A patent/JPH04238683A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112809211A (zh) * | 2021-04-19 | 2021-05-18 | 烟台恩邦智能科技有限公司 | 一种高精度激光切割机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69117996T2 (de) | 1996-09-12 |
SU1834771A3 (ru) | 1993-08-15 |
EP0440397B1 (en) | 1996-03-20 |
EP0440397A2 (en) | 1991-08-07 |
EP0440397A3 (en) | 1991-10-02 |
BR9100338A (pt) | 1991-10-22 |
CA2034551A1 (en) | 1991-07-30 |
CA2034551C (en) | 2000-08-01 |
DE69117996D1 (de) | 1996-04-25 |
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HEAD | G iuseppe D aurelio |