JPH04234734A - 方向性結合器型光機能素子 - Google Patents

方向性結合器型光機能素子

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JPH04234734A
JPH04234734A JP26891A JP26891A JPH04234734A JP H04234734 A JPH04234734 A JP H04234734A JP 26891 A JP26891 A JP 26891A JP 26891 A JP26891 A JP 26891A JP H04234734 A JPH04234734 A JP H04234734A
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JP
Japan
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extinction ratio
length
optical
coupling part
state
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JP26891A
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English (en)
Inventor
Kanmei Baku
麦 漢明
Hisaharu Yanagawa
柳川 久治
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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Priority to EP19920300107 priority patent/EP0494751B1/en
Publication of JPH04234734A publication Critical patent/JPH04234734A/ja
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31Digital deflection, i.e. optical switching
    • G02F1/313Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
    • G02F1/3132Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure of directional coupler type

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は新規構造の方向性結合器
型光機能素子に関し、更に詳しくは、極めて高い消光比
特性を示し、光スイッチ,光偏波スプリッタ,光変調器
,光合分波器などに用いて好適な方向性結合器型光機能
素子に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、導波路型の方向性結合器構造を有
する各種の光機能素子が開発され、それを用いた光スイ
ッチ,光偏波スプリッタ,光変調器,光合分波器などが
提案されている。従来の方向性結合器型の光機能素子例
の平面パターンを図11に示す。図11で示した素子は
2入力・2出力の素子である。
【0003】図11において、互いに等しい路幅Wを有
する2本の光導波路A,Bをこれらがエバネッセント結
合可能となるように近接して間隔Gで平行配置し、長さ
Lの結合部Co が構成されている。光導波路A,Bの
それぞれ入射端A1,B1 および出射端A2,B2 
には、路幅がWで曲率半径Rの曲線光導波路D1,D2
,D3,D4 が光接続されて入射側リード部C1 ,
出射側リード部C2 が形成されている。更に、曲線光
導波路D1,D2,D3,D4 には、それぞれ、路幅
がWである直線光導波路E1,E2,E3,E4 が光
接続されている。直線光導波路E1,E2 における路
幅中心間の距離、および直線光導波路E3,E4 にお
ける路幅中心間の距離は、いずれもGF になっている
【0004】そして、結合部Co における光導波路A
,Bの上には、電極F1,F2,F3,F4 が装荷さ
れて、ここから光導波路へ電気信号を導入できるように
なっている。なお、電極F1 と電極F3,電極F2 
と電極F4 の間隔はほとんどゼロである。ここで、例
えば直線光導波路E1 を入射ポートとすると、直線光
導波路E3 ,E4 はそれぞれスルーポート,クロス
ポートになる。
【0005】この光機能素子の場合、電極F1,F2,
F3,F4 から適当な電気信号を与えることにより、
理論的には完全なクロス状態を実現することができる。 しかし、スルー状態においては、入射側リード部C1 
および出射側リード部C2 の結合によって完全なスル
ー状態は得られず、その場合の消光比は高々30dB程
度である。なお、上記構造の光機能素子において、比較
的高い消光比特性を示すものとしては、例えば、P.G
ranestrand らがTech Dig. IG
WO ’86で発表した消光比27dB程度の光スイッ
チや、H.M.Makらが電子情報通信学会1990秋
季全国大会C−216で発表した消光比28dB程度の
光偏波スプリッタなどが知られている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した素
子を現在実施段階に入りつつあるファイバ通信システム
に組込むためには、漏話による誤り発生を防止すること
が必要になる。したがって、低漏話、すなわち高消光比
特性を有する素子が必要になる。通常、要求される消光
比は15dB以上である。
【0007】なお、ここでいう消光比とは、スルーポー
トE3 の出力パワーを|r|2 とし、クロスポート
E4 の出力パワーを|s|2 としたとき、次式:1
0log10(|r|2 /|s|2 )で算出される
値をいう。そのため、方向性結合器型光機能素子が低消
光比を示すことの原因を糾明することに関する研究が盛
んに行なわれている。
【0008】そのような研究のうち、例えば、Jean
−Pierre Weber らは、IEEE. J.
 of Quantum Electronics (
Vol 24. March. 1988) で、この
低消光比は必要なスイッチング状態を生ずるための屈折
率制御が方向性結合器においては困難であるということ
に基づくものであると発表している。また、L. Mc
Canghanらは、同じくIEEE. J. of 
Quantum Electromics (Vol 
.QE−22. No.6. June. 1986)
で、光導波路の延在方向(光の伝搬方向)に沿って屈折
率が不均一になることが原因であると発表している。
【0009】更に、T. K. Findaklyらは
、J. of Lightwave Technolo
gy (Vol 6. No.1. January.
 1988) で、これら素子を光ファイバを接続する
ための入射側および出射側のリード部において、僅かな
がら結合が存在し、そのことによって、スルー状態にお
けるスイッチング状態が得られないので、そのことに起
因する消光比の低下は不可避になると指摘している。
【0010】ところで、これら発表されている3つの原
因のうち、Jean − Pierre Weber 
らが発表した原因に関しては、電極の駆動方法や光導波
路の構成材料を適切に選択することによって解消するこ
とは不可能ではない。 また、L. McCanghanらが発表した原因に関
しては、光導波路の形成時における膜成長の制御を改善
して解決することができる。
【0011】しかしながら、T. K. Findak
lyらが提唱した原因は、接続すべき光ファイバの外径
が数μm程度にまで細径化して素子の入射側および出射
側のリード部が不要になるまでは解決不能の問題として
残らざるを得ない。ところで、前記したように、図11
で示した従来構造の光機能素子は、それが完全対称な方
向性結合器であったとしても、入・出射側リード部C1
,C2 の結合によってスルー状態の場合にだけその消
光比は劣化する。
【0012】そして、光機能素子における消光比特性は
、スルー状態またはクロス状態の消光比のうち低い消光
比で規定されるので、結局、たとえクロス状態における
消光比が無限であっても、スルー状態における消光比が
低ければ、素子全体の消光比としては低い値しか得られ
ないことになる。しかも図11の光機能素子の場合、入
射側リード部C1 と出射側リード部C2 が同じ構成
でないとすると、クロス状態においても消光比の劣化が
起こることになる。
【0013】例えば図11の素子の場合、実際に製作さ
れるものでは、入射側リード部C1 の曲率半径と出射
側リード部C2 の曲率半径が異なった値になり、両部
の対称性が崩れていることが多い。そのようなときには
、前記した理由でスルー状態における消光比が劣化する
だけではなく、クロス状態においてもその消光比は劣化
する。
【0014】このように、従来の方向性結合器型の光機
能素子においては、スルー状態の消光比は低く、また入
射側リード部C1 と出射側リード部C2 の対称が崩
れている場合には、クロス状態における消光比も劣化す
るという問題がある。本発明は、上記した問題を解決し
、スルー状態,クロス状態のいずれにおいても30dB
以上の消光比を示す新規構造の方向性結合器型光機能素
子の提供を目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、電気光学効果を発現する材
料または電気信号の導入により屈折率制御が可能な構造
を有する材料から成る等幅の2本の光導波路を平行配置
した長さLの結合部を有し、前記結合部の2本の光導波
路の入射端はそれぞれ曲線または直線の光導波路と光接
続して入射側リード部を形成し、また、前記結合部の2
本の光導波路の出射端はそれぞれ曲線または直線の光導
波路と光接続して出射側リード部を形成している2入力
・2出力の方向性結合器において、p1,p2,p3 
がp1 +p2 +p3 <1(ただしp2 ≠0)を
満足する小数またはゼロとしたとき、前記接合部は、長
さp1 ×Lの前段部分結合部、長さ(1−p1 −p
2 −p3 )×L/2の前段電極付き部分結合部、長
さp2 ×Lの中央部分結合部、前記前段電極付き部分
結合部と同じ長さの後段電極付き部分結合部、および長
さp3 ×Lの後段部分結合部をこの順序で光接続して
成ることを特徴とする方向性結合器型光機能素子が提供
される。
【0016】本発明の光機能素子の基本構成を平面パタ
ーン図として図1に示す。図から明らかなように、本発
明の光機能素子の平面パターンは、結合部C0 が後述
するような構成をとることを除いては、図11で示した
従来の2入力・2出力方向性結合器型光機能素子と変わ
ることはない。まず、結合部C0 においては、等幅(
路幅W)の2本の光導波路A,Bが微小間隔Gで平行配
置され、これら光導波路A,Bのそれぞれの入射端A1
,B1 には、曲率半径がR1 で路幅がWの曲線光導
波路D1,D2 が光接続されて入射側リード部C1 
を構成し、また光導波路A,Bのそれぞれの出射端A2
,B2 には曲率半径がR2 で路幅Wの曲線光導波路
D3,D4 が光接続されて出射側リード部C2 を構
成している。更にこれら曲線光導波路D1 ,D2 に
は、導波路の中心間距離がG1 で路幅Wの直線光導波
路E1,E2 がそれぞれ光接続され、また曲線光導波
路D3,D4 には、導波路の中心間距離がG0 で路
幅Wの直線光導波路E3,E4 がそれぞれ光接続され
ている。ここで、直線光導波路E1 を入射ポートにす
ると、直線光導波路E3,E4 はそれぞれスルーポー
ト,クロスポートになる。
【0017】なお本発明においては、入射側リード部C
1 と出射側リード部C2 は図のような曲線光導波路
で構成することに限定されるものではなく、例えば、入
射端A1 と直線光導波路E1,入射端B1 と光線光
導波路E2 ,出射端A2 と直線光導波路E3,出射
端B2 と直線光導波路E4 の間を、それぞれ、微小
テーパ角から成る直線光導波路で光接続して構成してよ
い。
【0018】これら各光導波路は、いずれも電気光学効
果を発現する材料や電気信号を導入することによってそ
の屈折率を制御することができる構造の材料で構成され
ている。例えば、GaAs/AlGaAsのような半導
体材料をMOCVD法で多層に積層して形成することが
できる。結合部C0 は、その入射端A1(B1)から
出射端A2(B2)にかけて、前段部結合部C3,前段
電極付き部分結合部C4,中央部分結合部C5,後段電
極付き部分結合部C6,および後段部分結合部C7 を
この順序で光接続して構成されている。
【0019】各部分結合部の長さは、今、結合部C0 
の全体の長さをL,p1,p2,p3 を次式:p1 
+p2 +p3 <1(ただしp2 ≠0)を満足する
小数または0としたとき、前段部分結合部C3 はp1
 ×L、前段電極付き部分結合部C4 は(1−p1 
−p2 −p3 )×L/2、中央部分結合部C5 は
p2 ×L、後段電極付き部分結合部C6 は(1−p
1 −p2 −p3 )×L/2、後段部分結合部C7
 はp3 ×Lになっている。
【0020】この場合、入射側リード部C1 と前段部
分結合部C3 を合わせた部分が新たに等価的な入射側
リード部(C1 +C3 )になり、また出射側リード
部C2 と後段部分結合部C7 を合わせた部分が新た
に等価的な出射側リード部(C2 +C7 )になる。 したがって、係数p1 ,p3 は、入・出射側リード
部C1 ,C2 における曲率半径R1,R2 が互い
に異なっていてこれらリード部C1 ,C2 の結合が
対称でない場合であっても、前記した等価的な入・出射
側リード部の全体において、対称な結合が実現できるよ
うな前段部分結合部C3 および後段部分結合部C7 
の長さとなるような値として選定される。
【0021】また係数p2 は、中央部分結合部C5 
の長さを変えてスルー状態における消光比を測定したと
きに、その値が極大値を示すときの長さを実現できるよ
うな係数として選定される。また、部分結合部C4,C
6 における電極F1,F2,F3,F4 の相互の接
続状態は用いた光導波路の材料によって異なってくるが
、例えば光導波路材料が半導体である場合には、図2で
示したように、電極F2 と電極F3 ,電極F1 と
電極F4 をそれぞれリードf1 ,f2 で接続した
反転Δβ構造にすればよく、また光導波路の材料がLi
NbO3 のような誘電体である場合には、図3で示し
たように接続すればよい。
【0022】
【作用】本発明の光機能素子においては、まず、入射側
リード部C1 と前段部分結合部C3 とから成る等価
的な入射側リード部(C1+C3 ),および出射側リ
ード部C2 と後段部分結合部C7 とから成る等価的
な出射側リード部(C2 +C7 )の働きにより、そ
れぞれの結合が相殺されるようになっているので、素子
全体としては完全対称の入・出射リード部を有すること
になり、その結果、クロス状態における消光比の劣化を
除去することができる。
【0023】また、結合部C0 の中に形成されている
中央部分結合部C5 の長さはスルー状態における消光
比が極大となるような長さに設定されていて、スルー状
態における消光比は60dB以上になる。したがって、
この光機能素子は、クロス状態,スルー状態のいずれの
場合においても、従来の構造のものに比べて、消光比が
大幅に向上するようになる。
【0024】
【実施例】図4の平面パターン図で示した本発明の光機
能素子を製造した。この光機能素子は、図1に示した素
子においてp1 =p3 =0としたもの、すなわち、
光導波路A,Bの各入射側A1 ,B1 と各出射端A
2,B2 はそれぞれ直接曲線光導波路D1,D2,D
3,D4 に光接続して、前段部分結合部と後段部分結
合部が存在しない構造のものである。
【0025】図において、結合部C0 の長さは8.0
mm 、光導波路A,Bの間隔Gは3.5μm、スルー
ポートE3 とクロスポートE4 の間隔G0 および
入射ポートE1 と入射ポートE2 の間隔G1 はい
ずれも250μm、曲線光導波路D1,D2 の曲率半
径R1 および曲線光導波路D3,D4 の曲率半径R
2 はいずれも30μm、路幅Wは7μmである。
【0026】そして、中央部分結合部C3 の長さ:p
2 ×Lは540μm(p2 =0.0675) 、前
段電極付き部分結合部C4,後段電極付き部分結合部C
6 の長さはいずれも3.73mmになっている。この
結合部C0 における前・後段電極付き部分結合部C4
,C6 、および中央部分結合部C5 は、それぞれ図
4のV−V線に相断面図である図5、VI−VI線に沿
う断面図である図6で示したような構成になっている。
【0027】すなわち、AuGeNi/Auから成る下
部電極1の上に、MOCVD法によって、n+ GaA
sから成る基板2,n+ GaAlAsから成る厚み0
.5μmのバッファ層,n+ GaAlAsから成る厚
み3.0μmの部分クラッド層4,n− GaAsから
成る厚み1.0μmのコア層5がこの順序で積層されて
いる。更にこのコア層5の上には、n− GaAlAs
から成るクラッド6a,p− GaAlAsから成るク
ラッド6b,p+ GaAsから成るキャップ6cが順
次MOCVD法で積層されて上部クラッド層6をを形成
し、その上面はSiO2 膜のような絶縁膜7で被覆さ
れることにより、路幅がWである2本の光導波路A,B
が間隔Gでリッジ状に形成されている。
【0028】電極F1,F2,F3,F4 が装荷され
る個所では、図5で示したように、絶縁膜7の一部をス
リット状に除去して窓7aを形成し、ここからキャップ
6cの上面にTi/Pt/Auを例えば蒸着して電極F
3,F4 を形成する。図6においては、電極F1 と
電極F4 を接続するリードf2 が絶縁膜7の上に形
成されている。
【0029】このようにして形成された光導波路A,B
においては、クラッド6aとクラッド6bの界面がpn
接合界面6dになっている。したがって、電極F1,F
2,F3,F4 から所定の電気信号を導入すると、p
n接合界面6dでは電気光学効果、プラズマ効果やバン
ドフィリング効果などが発現して電極直下に位置するコ
ア層の屈折率が変化して、光導波路A,B間における光
の結合状態が変化する。
【0030】この素子において、入射ポートE1 に波
長1.3 μmのTEモード光を励起し、電極に逆バイ
アス電圧を印加して電気光学効果のみを発現せしめた場
合のスイッチング特性の理論特性図を図7に示す。実際
にこの素子を逆バイアス電圧で駆動したとき、測定系の
都合により、クロス状態における印加電圧が−7Vであ
ると消光比は30dB以上で、またスルー状態における
印加電圧が−15Vで消光比はやはり30dB以上にな
るものと評価することができる。
【0031】次に、この素子において係数p2 を変化
させて中央部分結合部C5 の長さp2 ×Lを変えた
ときの消光比の変動をp2 との関係として図8に示す
。図中、○印はスルー状態,黒四角印はクロス状態を表
す。図8から明らかなようにp2 が多少変動しても、
すなわち中央部分結合部C5 の長さが多少変化しても
、この素子はスルー状態,クロス状態のいずれの場合で
も60dB以上の消光比を得ることが可能である。
【0032】また、この素子が最大消光比を示すために
は、係数p1,p2,p3 をある値に選定すべきであ
ることがわかる。例えばG0,G1,G,R1,R2,
Wを上記した値に設定したとき、p1 =0,p3 =
0に設定しないとクロス状態における消光比の劣化は避
けられず、また、p2 が0.0675からずれた場合
には74.29dBというスルー状態における最大の消
光比を得ることはできない。
【0033】次に図4の構造において、結合部C0 の
長さ:8mm,W:7μm,G0 =G1:250μm
,G:3.5μm,R1:50mm,R2:30mm,
p1=0、中央部分結合部C5 の長さ:656μm(
p2 =0.082), 後段部分結合部C7 の長さ
:59μm(p3 =0.007375)として光機能
素子を製造した。入射ポートE1 に波長1.3 μm
のTEモード光を励起し、電極に逆バイアス電圧を印加
して電気光学効果のみを発現せしめた場合のこの素子の
スイッチング特性の理論特性図を図9に示す。
【0034】実際にこの素子を逆バイアス電圧で駆動し
たとき、測定系の都合により、クロス状態における印加
電圧が−7Vであると消光比は30dB以上で、またス
ルー状態における印加電圧が−15Vで消光比はやはり
30dB以上になるものと評価することができる。次に
、この素子において係数p2 を変化させて中央部分結
合部C5 の長さp2 ×Lを変えたときの消光比の変
動をp2 との関係として図10に示す。図中、○印は
スルー状態,黒四角印はクロス状態を表す。図10から
明らかなように、この素子は50dB以上の消光比特性
を示している。
【0035】なお、この素子の場合、入射側リード部C
1 と出射側リード部C2 の曲率半径がそれぞれ異な
っているにもかかわらず、クロス状態における消光比は
劣化していない。
【0036】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
方向性結合器型光機能素子は、電気光学効果を発現する
材料または電気信号の導入により屈折率制御が可能な構
造を有する材料から成る等幅の2本の光導波路を平行配
置した長さLの結合部を有し、前記結合部の2本の光導
波路の入射端はそれぞれ曲線または直線の光導波路と光
接続して入射側リード部を形成し、また、前記結合部の
2本の光導波路の出射端はそれぞれ曲線または直線の光
導波路と光接続して出射側リード部を形成している2入
力・2出力の方向性結合器において、p1,p2,p3
 がp1 +p2 +p3 <1(ただしp2 ≠0)
を満足する小数またはゼロとしたとき、前記接合部は、
長さp1 ×Lの前段部分結合部、長さ(1−p1 −
p2 −p3 )×L/2の前段電極付き部分結合部、
長さp2 ×Lの中央部分結合部、前記前段電極付き部
分結合部と同じ長さの後段電極付き部分結合部、および
長さp3 ×Lの後段部分結合部をこの順序で光接続し
て成ることを特徴とするので、前記前段部分結合部と前
記後段部分結合部の働きにより、従来の方向性結合器に
おける入射側リード部と出射側リード部の結合の非対称
性が消去されて、クロス状態における消光比の劣化は除
去され、また、中央部分結合部がスルー状態における消
光比を極大にするような長さで形成されているので、ス
ルー状態の消光比も高水準を実現することができる。す
なわち、本発明の光機能素子は、スルー状態,クロス状
態のいずれにおいても高消光比を示す。
【0037】したがって、光通信システムにおいて本発
明の素子を組込むと低漏話を実現することができ、光信
号の伝達を一層正確に行なうことができる。なお、実施
例では光スイッチとして駆動させる場合を説明したが、
本発明の光機能素子は、例えば電極から順方向電流の注
入と逆電圧の印加を同時に行なってTEモード光とTM
モード光の分離を行なう光偏波スプリッタとして使用す
ることもできる。更に、光変調器や光合分波器として使
用したときに、高消光比特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光機能素子の基本構成を示す平面パタ
ーン図である。
【図2】電極の接続例を示す平面パターン図である。
【図3】電極の他の接続例を示す平面パターン図である
【図4】実施例の光機能素子を示す平面パターン図であ
る。
【図5】図4のV−V線に沿う断面図である。
【図6】図4のVI−VI線に沿う断面図である。
【図7】実施例素子のスイッチング特性の理論特性図で
ある。
【図8】実施例素子において、p1 =p3 =0にし
たときの係数p2 と消光比との関係を示すグラフであ
る。
【図9】他の実施例素子のスイッチング特性の理論特性
図である。
【図10】他の実施例素子におけるp2 と消光比との
関係を示すグラフである。
【図11】従来の2入力・2出力方向性結合器の平面パ
ターン図である。
【符号の説明】
1  下部電極 2  基板 3  バッファ層 4  下部クラッド層 5  コア層 6  上部クラッド層 6a,6b  クラッド 6c  キャップ 6d  pn接合界面 7  絶縁膜 7a  窓 A  光導波路 A1 光導波路Aの入射端 A2 光導波路Aの出射端 B  光導波路 B1 光導波路Bの入射端 B2 光導波路Bの出射端 D1,D2,D3,D4   曲線光導波路E1,E2
   直線光導波路(入射ポート)E3 直線光導波路
(スルーポート) E4 直線光導波路(クロスポート) C0 結合部 C1 入射側リード部 C2 出射側リード部 C3 前段部分結合部 C4 前段電極付き部分結合部 C5 中央結合部 C6 後段電極付き部分結合部 C7 後段部分結合部 f1,f2 リード F1,F2,F3,F4 電極 L  結合部C0 の長さ p1,p2,p3,  p1 +p2 +p3 <1(
ただしp2 ≠0)を満足する小数またはゼロ W  光導波路の路幅 G  光導波路A,B間の間隔

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  電気光学効果を発現する材料または電
    気信号の導入により屈折率制御が可能な構造を有する材
    料から成る等幅の2本の光導波路を平行配置した長さL
    の結合部を有し、前記結合部の2本の光導波路の入射端
    はそれぞれ曲線または直線の光導波路と光接続して入射
    側リード部を形成し、また、前記結合部の2本の光導波
    路の出射端はそれぞれ曲線または直線の光導波路と光接
    続して出射側リード部を形成している2入力・2出力の
    方向性結合器において、p1,p2,p3 がp1 +
    p2 +p3<1(ただしp2 ≠0)を満足する小数
    またはゼロとしたとき、前記接合部は、長さp1 ×L
    の前段部分結合部、長さ(1−p1−p2 −p3 )
    ×L/2の前段電極付き部分結合部、長さp2 ×Lの
    中央部分結合部、前記前段電極付き部分結合部と同じ長
    さの後段電極付き部分結合部、および長さp3 ×Lの
    後段部分結合部をこの順序で光接続して成ることを特徴
    とする方向性結合器型光機能素子。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2006162984A (ja) * 2004-12-07 2006-06-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光強度変調器

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