JPH0423400B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0423400B2 JPH0423400B2 JP57060634A JP6063482A JPH0423400B2 JP H0423400 B2 JPH0423400 B2 JP H0423400B2 JP 57060634 A JP57060634 A JP 57060634A JP 6063482 A JP6063482 A JP 6063482A JP H0423400 B2 JPH0423400 B2 JP H0423400B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- magnetic field
- sheet
- cylindrical
- cylindrical plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 27
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
シートプラズマ（厚みが数mm以下で巾が大きい
布状のプラズマ）は普通につくられる空間に拡が
つたプラズマにはない、いろいろな利用価値があ
る。例えば直流放電でつくられたシートプラズマ
は、陽極面積が小さくプラズマ中のイオンを集め
る面積が極めて大きく取れるので、一定の放電々
流に対して陽極へのイオン損失を小さくして効率
よく大電流のイオンを大面積の試料に集めること
ができる。これはイオンプレーテングに応用すれ
ば極めて有益である。
布状のプラズマ）は普通につくられる空間に拡が
つたプラズマにはない、いろいろな利用価値があ
る。例えば直流放電でつくられたシートプラズマ
は、陽極面積が小さくプラズマ中のイオンを集め
る面積が極めて大きく取れるので、一定の放電々
流に対して陽極へのイオン損失を小さくして効率
よく大電流のイオンを大面積の試料に集めること
ができる。これはイオンプレーテングに応用すれ
ば極めて有益である。
しかしながら一般に磁場をかけてもプラズマは
軸対称な円柱状になるだけでシートプラズマは得
られない。そこで放電の陰極を細長くしたり、放
電の中間電極をシートに合せてスリツト型にして
シートプラズマをつくる試みがなされているが、
大電流で且つ高いガス効率でシートプラズマをつ
くることには成功していない。
軸対称な円柱状になるだけでシートプラズマは得
られない。そこで放電の陰極を細長くしたり、放
電の中間電極をシートに合せてスリツト型にして
シートプラズマをつくる試みがなされているが、
大電流で且つ高いガス効率でシートプラズマをつ
くることには成功していない。
本発明は、磁場中の放電により形成された円柱
プラズマを挟むように、一対の永久磁石を配置
し、該永久磁石を同極同志を対向させて強い反発
磁場を形成して上記円柱プラズマを圧縮して拡
げ、かつ、円柱プラズマの軸方向における該永久
磁石の磁場成分の大きさを円柱プラズマ形成の場
における同方向の磁場より小さくすることによ
り、円柱プラズマ形成の場における磁場の方向の
シートプラズマ流を形成することを特徴とするシ
ートプラズマの生成法を提供するものである。
プラズマを挟むように、一対の永久磁石を配置
し、該永久磁石を同極同志を対向させて強い反発
磁場を形成して上記円柱プラズマを圧縮して拡
げ、かつ、円柱プラズマの軸方向における該永久
磁石の磁場成分の大きさを円柱プラズマ形成の場
における同方向の磁場より小さくすることによ
り、円柱プラズマ形成の場における磁場の方向の
シートプラズマ流を形成することを特徴とするシ
ートプラズマの生成法を提供するものである。
この発明に於いては、通常の磁場に沿つてつく
られた円柱状の放電プラズマの両側に角形の永久
磁石を配置するだけで簡単に管係一ぱいから任意
の巾で、厚みが数mm以下のシートプラズマをつく
ることに成功した。電極は全て普通の軸対称なも
のをそのまゝ転用できるので、大電流化、高ガス
効率化することは極めて簡単である。原理は図面
Ａ〜Ｄに示したように、初期の軸方向磁場Bzpに
新しく永久磁石の磁場（Bx、By、Bz）を加えた
ことである。Bxはプラズマ円柱を拡げ、Byはそ
れを圧縮する。このとき永久磁石の軸方向磁場成
分Bzは初期のBzpより大きくならないことが必要
条件である。Bzpと（Bx、By、Bz）の強さを変え
ることによつてシートプラズマの巾、厚み、密度
の一様性を任意に調節することができる。
られた円柱状の放電プラズマの両側に角形の永久
磁石を配置するだけで簡単に管係一ぱいから任意
の巾で、厚みが数mm以下のシートプラズマをつく
ることに成功した。電極は全て普通の軸対称なも
のをそのまゝ転用できるので、大電流化、高ガス
効率化することは極めて簡単である。原理は図面
Ａ〜Ｄに示したように、初期の軸方向磁場Bzpに
新しく永久磁石の磁場（Bx、By、Bz）を加えた
ことである。Bxはプラズマ円柱を拡げ、Byはそ
れを圧縮する。このとき永久磁石の軸方向磁場成
分Bzは初期のBzpより大きくならないことが必要
条件である。Bzpと（Bx、By、Bz）の強さを変え
ることによつてシートプラズマの巾、厚み、密度
の一様性を任意に調節することができる。
図面Ａ〜Ｄは本発明の原理を説明する説明図で
ある。 図に於いて、１は角形永久磁石（Bx、By、Bz
はその成分）、２は初期のプラズマ円柱断面、３
は初期のプラズマ円柱とその流れの方向、４は初
期のプラズマに加えてある磁場、５はシートプラ
ズマの断面、６は永久磁石の磁場を通過する前の
円柱プラズマ流、７は永久磁石の磁場を通過して
シート状に拡がつたプラズマ（目的のシートプラ
ズマ流）。
ある。 図に於いて、１は角形永久磁石（Bx、By、Bz
はその成分）、２は初期のプラズマ円柱断面、３
は初期のプラズマ円柱とその流れの方向、４は初
期のプラズマに加えてある磁場、５はシートプラ
ズマの断面、６は永久磁石の磁場を通過する前の
円柱プラズマ流、７は永久磁石の磁場を通過して
シート状に拡がつたプラズマ（目的のシートプラ
ズマ流）。
Claims (1)
- １ 磁場中の放電により形成された円柱プラズマ
を挟むように、一対の永久磁石を配置し、該永久
磁石を同極同志を対向させて強い反発磁場を形成
して上記円柱プラズマを圧縮して拡げ、かつ、円
柱プラズマの軸方向における該永久磁石の磁場成
分の大きさを円柱プラズマ形成の場における同方
向の磁場より小さくすることにより、円柱プラズ
マ形成の場における磁場の方向のシートプラズマ
流を形成することを特徴とするシートプラズマの
生成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57060634A JPS5927499A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 簡単で高能率なシ−トプラズマの生成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57060634A JPS5927499A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 簡単で高能率なシ−トプラズマの生成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927499A JPS5927499A (ja) | 1984-02-13 |
| JPH0423400B2 true JPH0423400B2 (ja) | 1992-04-22 |
Family
ID=13147936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57060634A Granted JPS5927499A (ja) | 1982-04-12 | 1982-04-12 | 簡単で高能率なシ−トプラズマの生成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5927499A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066548A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Shinmaywa Industries, Ltd. | シートプラズマ成膜装置 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2545369B2 (ja) * | 1986-08-19 | 1996-10-16 | 株式会社 ト−ビ | シ−トプラズマ・イオンプレ−テイング方法とその装置 |
| US5123227A (en) * | 1988-04-21 | 1992-06-23 | Snow Brand Milk Products Co., Ltd. | Positioning and press-sealing means |
| JPH0762244B2 (ja) * | 1991-03-19 | 1995-07-05 | 株式会社ライムズ | イオンプレーティングによる成膜方法 |
| KR100246116B1 (ko) * | 1992-06-11 | 2000-03-15 | 히가시 데쓰로 | 플라즈마 처리장치 |
| JP3095614B2 (ja) * | 1993-04-30 | 2000-10-10 | 株式会社東芝 | 半導体ウェハ等の被処理体をプラズマ処理するに際して使用されるプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
| WO2008120430A1 (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Shinmaywa Industries, Ltd. | シートプラズマ装置及びシート状プラズマ調整方法 |
| WO2008136130A1 (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-13 | Canon Anelva Corporation | プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置 |
-
1982
- 1982-04-12 JP JP57060634A patent/JPS5927499A/ja active Granted
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| MACHINE.DESIGN.VOL.51.N09.P30-36=1979 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007066548A1 (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-14 | Shinmaywa Industries, Ltd. | シートプラズマ成膜装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5927499A (ja) | 1984-02-13 |
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