JPH04229693A - 電子デバイスの表面実装方法 - Google Patents
電子デバイスの表面実装方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
グパッドに接続する方法に関する。
路を半導体チップ上に画成し、チップを回路パッケージ
基板にボンディングし、次いで、このパッケージを印刷
回路基板にボンディングすることにより製造される。最
も一般的なボンディング技術はワイヤボンディングであ
る。この方法では、器具熱圧着によりワイヤをチップの
ような素子のボンディングパッドに接続し、次いで、ワ
イヤを引っ張り、別の素子のボンディングパッドに接続
させ、2個のボンディングパッド間にアーチ状の自立ワ
イヤブリッジを形成する。
った別の方法はリフロー半田付け法または表面実装法と
して知られている。この方法では、デバイスのリードは
半田で“スズメッキ”され、ボンディングパッドのアレ
ー上に配置されている。その後、加熱し、リードとボン
ディングパッドとの間で半田を溶融またはリフローさせ
、半田接続を形成する。
はリフローさせることは、例えば、熱風対流および赤外
線加熱などにより行われた。このような方法の欠点は、
チップの能動素子も含めたユニット全体を半田の融点以
上の温度にまで加熱しなければならないことである。こ
の欠点を避け、局部的に加熱するために、レーザビーム
半田付け法が提案された。この方法では、熱はレーザビ
ームによりボンディングパッド上のリードに対して直接
加えられる。異なる表面特性により生じる吸収および反
射の相違により様々な問題が発生する。また、ビームを
所望の正確さで照射位置決めすることも困難であり、更
に、レーザビームは基板を燃焼または炭化することもあ
る。
面実装する一層簡単な方法に対する需要は、集積回路上
の回路の密度が高まるにつれて、一層高まるものと思わ
れる。チップおよびチップキャリアから伸びるリードの
本数が多くなるにつれて、表面実装技術を用いて整然と
、かつ、均一にリードを半田付けすることは一層困難に
なる。リフロー半田付け法よりも熱圧着法のほうが優れ
ている点の一つは、半田付けされている各リードに均一
な力を加えられるが、これに対して、リフロー半田付け
法では、異なるリードが異なった加圧力で、異なったボ
ンディングパッド上に配置することがある。何れの方法
によっても、密度が高くなるにつれて、リードをボンデ
ィングパッドに対して正確に配列させることは困難にな
る。
の問題点の解決を目指した方法が米国特許第47851
56号明細書に開示されている。この明細書には、半田
付けすべき予備スズメッキされたリード上で溶融シリカ
部材を使用することが開示されている。シリカ部材に衝
突したレーザビームは熱に変換される。この熱は半田を
リフローさせ、半田接続を形成するのに十分である。
に電子デバイスから伸びる複数本のリードを有する電子
デバイスを表面実装する方法を改良する。リードの自由
端をスズメッキし、各リードがボンディングパッドの上
部に位置するように、ボンディングパッドの列に対して
整列させる。次いで、ガラス板でリードをボンディング
パッドに押し付ける。このガラス板はアレーのリードを
橋掛けし、各リードを対応するボンディングパッドに接
触するように押圧する。リードに対してガラス板を押圧
している間、ボンディングパッドの列の直上のラインに
沿ってガラス板をレーザビームで走査する。レーザ光線
は、ガラス板がレーザ光線を熱に変換するのに好適な波
長のものである。これにより半田を溶融し、接続を果た
させる。ガラス板は可視光線に対して透明なので、オペ
レータはガラス板を通して、ボンディングパッドに対し
て整列するリードを目視することができる。
成されている。電子デバイスは開口中に実装され、開口
の反対側が対向するデバイスのリードアレーを押圧する
。このような構成により、電子デバイスは摩擦により開
口中に維持することができる。その後、オペレータはガ
ラス板を操作し、リードとボンディングパッドを整列さ
せることができる。更に、2個以上の電子デバイスをガ
ラス板中の2個以上の開口内に保持し、様々なリードア
レーを基板の対応するボンディングパッドアレーとの同
時位置合わせを行うこともできる。半田付け処理を行っ
た後、ストッパー要素を電子デバイスに対して接触させ
ることにより、半田接続を損傷することなく、ガラス板
を除去することができる。
対して正確に配置された基板に電子デバイスを手動的に
、または自動的に配置する何れの方法にも向いている。 リフロー処理中、ガラス板はリードアレ−を押圧し、ボ
ンディングパッドに対してリードアレーを均一な力で圧
接させる。本発明のこのような構成は、その他の表面実
装技術よりも著しく優れている。本発明の方法によれば
、アレーのその他のリードに対して上方に向かって折れ
曲がったリードは十分な接続を確保できるほどボンディ
ングパッドに接触できない。
に説明する。図1および図2を参照する。ここには、基
板12のボンディングパッド11に半田付けすべき、カ
プセル封止された半導体チップのような電子デバイス1
0が図示されている。基板12は回路パッケージ基板で
あるか、または、別法として、電子デバイス10が回路
パッケージであり、基板12が印刷回路基板であること
もできる。各ボンディングパッド11は基板上の回路の
一部分を構成する。簡潔にするため、基板上の回路は図
示されていない。素子10は電気リードを含む。このリ
ードは“スズメッキ”されている。すなわち、ボンディ
ングパッドに対向するリードの表面は半田で被覆されて
いる。
17の所定箇所に照射することにより、半田被覆を溶融
し、そして、リード14をボンディングパッド11に半
田付けする。ガラス板はレーザビーム16を吸収し、著
しく損傷されることなく、レーザビームを熱に変換する
。次いで、この熱はリード14に伝熱され、リード上の
半田被覆を溶融するのに十分な熱量を有する。半田付け
処理後、ストッパー部材19を電子デバイス10に当接
させる。これにより、ガラス板17は半田接合部を損傷
することなく除去することができる。その後、このガラ
ス板は別の半田付け処理に再使用することができる。
うに、リード14は第1および第2のほぼ直角に曲げら
れた屈曲部を有する。第1のリード部分20は電子デバ
イスから第1の直角屈曲部まで延び、第2のリード部分
21は第1および第2の直角屈曲部を相互接続し、そし
て、第3のリード部分22は第2の直角屈曲部から延び
、ボンディングパッドに接触している。図2に示されて
いるように、開口24がガラス板17内に画成されてい
る。開口は電子デバイス10の周囲に嵌合し、これによ
り、開口を画成するガラス板の内面がリード14の第2
のリード部分21に当接する。
嵌合された時に、リードアレーを僅かに反対側に押圧す
るような大きさを有する。リードは十分にスプリング様
であり、弾性限界内で十分なヤング率を有する。これに
より、電子デバイスは摩擦により開口内に保持すること
ができる。その結果、ガラス板17は電子デバイスのホ
ルダーとして使用することができ、しかも、オペレータ
は目視により、リード14を対応するボンディングパッ
ド11に対して整列させることができる。ガラス板は可
視光線に対して透明であり、このため、オペレータはガ
ラス板を通してリードとボンディングパッドとの整列状
態を観察することができる。
ラス板17に対して加え、各リード14を対応するボン
ディングパッド11に対してしっかりと押し付ける。従
って、アレーのリードのうちの何れかが僅かに上方に向
かって屈曲していても、この屈曲しているリードはボン
ディングパッドにしっかりと押接される。現在使用され
ているカプセル封止集積回路チップは、その4個の面の
各々から延びる24本のリードを有する。
つが僅かに屈曲し、その結果、押圧力がなければ、屈曲
した自由端をボンディングパッドに完全に接触させられ
ないという可能性はかなり大きい。押圧力を加えること
の別の利点は接続形成用の半田量を最小にできることで
ある。常用の表面実装では、全てのボンディングパッド
に対する接続を確保するために十分に厚い半田被覆を使
用した場合、過剰量の半田が隣接するボンディングパッ
ド間で短絡を起こす危険を冒すことがある。
ミクロンで約15WのCW出力を有する光を放射する炭
酸ガスレーザにより発生される。溶融シリカガラスはこ
のような波長の光を十分に吸収し、本発明の例証的実施
例により、吸収した光を熱に変換する。厚さが40ミル
のガラス板17を実験的に使用した。この厚さのガラス
板は各リードに伝熱用の適度に短い経路と共に、構造的
強度も与える。デバイスのサイズが更に小さくなるにつ
れて、レーザ出力およびガラス厚の好ましい値も低下す
ると予想される。実際的なガラス厚は約5〜40ミルの
範囲内であると思われる。ボンディングパッドおよびリ
ードの厚さはガラス板17と基板12の間に固有の隙間
25をもたらす。このため、ガラス板による基板の著し
い加熱は防止される。実験によれば、図示されたような
装置の場合、基板12に加えられた熱はエポキシ樹脂が
充満されたガラスで作製された常用の印刷回路に損傷を
与えるには不十分であることが確認された。
線27に沿ってガラス板17を走査し、半田ボンドに熱
を供給する。レーザビームを直線に沿って所定の方式で
走査させるための装置は勿論周知であり、簡潔化のため
に図示されていない。走査線27に沿った熱の発生は熱
を局在化させ、その結果、基板12または電子デバイス
10は全く損傷されない。一方、ガラス板を使用しなか
ったとしたら、走査線27に沿った走査により光は基板
に直接入射し、基板、特に、印刷回路基板を損傷するで
あろう。
0×750ミルのカプセル封止されたチップである。こ
のデバイスは一般的に、各側面から延びる24本のリー
ドを有する。各リードの厚さは7ミルで、幅は8ミルで
ある。説明するまでもなく、ガラス板は、ボンディング
パッド11に対応するリードの自由端を心合わせするた
めの補助具として、オペレータにより都合良く使用でき
る。明瞭化のために、各種のボンディングパッド11は
図2に示されていないが、基板12は4列のボンディン
グパッドを有している。この各ボンディングパッドの上
に、リードの自由端の一つを配置させる。
を適正に位置決めする際に、オペレータを大いに助ける
ことができる。一方、このガラス板は、自動またはロボ
ット配置を助ける、また、自動配置用に重要な補助具で
あることもできる。この場合、ガラス板17を可視光線
に対して透明にする必要はないであろう。レーザ波長と
開口付ガラス板材料との異なる組み合わせは、ガラス板
がレーザ光線の全部または大部分を熱に変換するように
選択することもできる。
ードアレーを自動配置するのに使用できる本発明の使用
方法の一例の模式図である。基板30は一般的に、矩形
のボンディングパッドアレー31および32を有する。 このボンディングパッドの上に、電子デバイス34およ
び35のリードアレーを心合わせすることが望ましい。 ガラス板36は、前記と同じ方法で電子デバイス34お
よび35をそれぞれ保持するための開口37および38
を有する。割送りロッド40および41は、ガラス板3
6を垂直移動可能にし、ガラス板36と基板30との所
定の位置合わせを確実にする。開口37および38は、
デバイス34および35のリードアレーをそれぞれ基板
30のボンディングパッド列アレー32および31と心
合わせするように、ガラス板36内に配置されている。
デバイス34および35をそれぞれ挿入し、次いで、リ
ードアレーの自由端(図示されていない)がボンディン
グパッドアレー32および31に接触するまでガラス板
を下降させる。前記のように、ガラス板は、図2に示さ
れたような態様で各開口の外縁の周囲をレーザが走査し
ている間中、対応するボンディングパッドに対して各リ
ードを押接させる。図1に図示されたような態様で、半
田付け処理の終了後に、ガラス板36が上方へ向けて取
り除かれる際に、ストッパー部材19により、基板に対
してデバイスを保持する目的のために、ストッパー部材
(図示されていない)を各デバイスの上部に配置するこ
ともできる。
ードを有する電子デバイスを図示したが、言うまでもな
く、対応するボンディングパッドのアレーに接続すべき
リードアレーを有する電子デバイスならば全てについて
本発明は使用可能である。電子デバイスに対する開口の
保持作用は4個の全側面から延びるリードを必要としな
い。従って、リードが対向する2側面にしかないか、あ
るいは、1側面にしか含まれていない場合であっても、
本発明は極めて首尾良く実施できる。当業者ならば、レ
ーザビーム16を開口24の外縁の周囲の連続的矩形ラ
インに沿って走査させる走査メカニズムを工夫すること
ができる。或る例では、ガラス板の重量は加熱処理中に
リードに十分な下方押圧力を加えるので、その他の押圧
力をリードに加える必要はない。当業者ならば、本発明
にもとることなく、様々なその他の実施例および変形例
を想到することができる。
開口付ガラス板を使用し、電子デバイスのリードを基板
上のボンディングパッドと心合わせし、ガラス板でリー
ドをボンディングパッドに押し付け、リードに対してガ
ラス板を押圧している間、ボンディングパッドの列の直
上のラインに沿ってガラス板をレーザビームで走査する
。ガラス板に入射したレーザビームはガラス板により熱
に変換され半田を溶融し、リードをボンディングパッド
に接続する。レーザビームはガラス板を通して入射され
るるので、レーザビームによる電子デバイスおよび基板
上の印刷回路の損傷は殆ど起こらない。また、本発明で
使用されるガラス板は可視光線に対して透明なので、オ
ペレータはガラス板を通して、ボンディングパッドとリ
ードとの心合わせ状態を目視することができ、作業性を
向上させることができる。半田付け処理を行った後、ス
トッパー要素を電子デバイスに対して接触させることに
より、リード/ボンディングパッド間の半田接続を全く
損傷することなくガラス板を取り除くことができる。 この結果、歩留りが向上される。
施するための装置の模式的断面図である。
するための装置の模式図である。
Claims (14)
- 【請求項1】 片持ちばり状に側面から延びる複数本
のリードを有する電子デバイスを基板表面上の取付パッ
ドの列に表面実装する方法であって、各リードがボンデ
ィングパッドの上部に位置するように、リードの自由端
をボンディングパッドと心合わせし;前記複数本のリー
ドを橋架けするプレートでリードをボンディングパッド
に押圧し、各リードを対応するボンディングパッドに押
接させ;各リードと、接続を形成するボンディングパッ
ドとの間に半田を配置し;押圧工程と同時にレーザビー
ムでプレートを走査し、該プレートはレーザビームエネ
ルギーを、リードをボンディングパッドに半田付けする
のに十分な熱エネルギーに変換する;工程からなること
を特徴とする表面実装方法。 - 【請求項2】 各リードの表面部分は、対応するボン
ディングパッドに接触する前に、前記半田で被覆されて
いる請求項1の方法。 - 【請求項3】 各リードは第1および第2の概ね直角
の屈曲部を含み、第1のリード部分は電子デバイスから
第1の直角屈曲部まで延び、第2のリード部分は第1お
よび第2の直角屈曲部を相互接続し、そして、第3のリ
ード部分は第2の直角屈曲部から延び、ボンディングパ
ッドと接触しており;前記押圧工程は第2および第3の
リード部分に対してプレートを当接させることからなる
請求項1の方法。 - 【請求項4】 リードの第1および第2のアレーは電
子デバイスの対向する側面から延び;開口をプレート中
に形成し;開口を画成するプレートの内面が第1および
第2のアレーのリードの第2のリード部分に当接するよ
うに、電子デバイスの周囲に開口を嵌合させる;請求項
3の方法。 - 【請求項5】 開口の大きさは、開口がリードの第1
および第2のアレーを僅かに押圧し、これにより電子デ
バイスは摩擦力により開口中に懸垂されるような大きさ
である請求項4の方法。 - 【請求項6】 プレートは透明なガラスから出来てお
り、これによりリードの自由端は心合わせ工程中にオペ
レータが目視できる請求項1の方法。 - 【請求項7】 レーザビームは炭酸ガスレーザにより
発生され、プレートは溶融シリカから出来ており、これ
により、レーザビームはプレートにより効率的に熱エネ
ルギーに変換される請求項1の方法。 - 【請求項8】 電子デバイスの対向する側面から延び
るリードの少なくとも第1および第2のアレーを有し、
各リードはボンディングパッドと接触可能な自由端部分
と、該自由端部分に対して概ね垂直に延びる第2の部分
を有する電子デバイスを、基板のボンディングパッドの
アレーと心合わせし、このアレーに半田付けする方法で
あり、プレート中に開口を形成し、該開口は電子デバイ
スを取り巻くには十分な大きさであるが、一次元の幅は
第1および第2のアレーの対応するリードの自由端部分
間の距離よりも若干小さい;電子デバイス上に該開口を
嵌合させ、第1および第2のアレーを若干押圧し、これ
により、摩擦力により電子デバイスを支持し;ボンディ
ングパッドに対してプレートを移動させ、ボンディング
パッドアレーの対応するボンディングパッドに対して各
リードを心合わせし;基板方向に向かってプレートを押
圧し、各リードを対応するボンディングパッドにしっか
りと接触させ;押圧工程中に、プレートをレーザビーム
で走査し、リードをボンディングパッドに半田付けする
のに十分な熱を発生させる;工程からなることを特徴と
する電子デバイスの心合わせ・半田付け方法。 - 【請求項9】 各リードの表面部分は、対応するボン
ディングパッドに接触する前に、前記半田で被覆されて
いる請求項8の方法。 - 【請求項10】 プレートは透明なガラスから出来て
おり、これにより、心合わせ工程中にオペレータは対応
するボンディングパッドと重なり合うリードを目視する
ことができ;レーザビームは透明なガラスにより熱に変
換される波長を有する請求項9の方法。 - 【請求項11】 電子デバイスは4個の側面を有し、
第2および第3のリードアレーはデバイスの対向する側
面から延びており;開口は、第3および第4のリードア
レーを若干押圧するように形成されている請求項10の
方法。 - 【請求項12】 各リードは第1および第2の概ね直
角の屈曲部を含み、第1のリード部分は電子デバイスか
ら第1の直角屈曲部まで延び、第2のリード部分は第1
および第2の直角屈曲部を相互接続し、そして、第3の
リード部分は第2の直角屈曲部から延び、ボンディング
パッドと接触しており;前記押圧工程は第2および第3
のリード部分に対してプレートを当接させることからな
る請求項11の方法。 - 【請求項13】 プレート中に2個の開口が形成され
;両方の開口とも電子デバイス上に嵌合され、対向する
アレーのリードを若干押圧し;両方の電子デバイスとも
、そのリードが対応するボンディングパッドに対して心
合わせされるように配列される請求項8の方法。 - 【請求項14】 プレートと取り除く工程は、プレー
トが電子デバイスから取り除かれるにつれて、電子デバ
イスに対してストッパー部材を当接させ、これにより、
半田付けされたリードをボンディングパッドから引っ張
ることを避けることからなる請求項8の方法。
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