JPH04228449A - マルチチャンネルプレートおよびガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は鉛ケイ酸ガラスおよびそ
のガラスを使用したマルチチャンネルプレート（ＭＣＰ
）に関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）
は、多数の開いたチャンネルまたはチューブを含む導電
性ガラスの薄いウェファーである。各チャンネルの直径
は約１０−１５　ミクロンである。このプレートは、Ｘ
−線、イオンまたは電子の増幅に使用される。それらは
暗視ゴーグルを含む種々の電子装置の重要な部品である
。

【０００３】マイクロチャンネルプレートの製造および
動作の原理は文献に詳細が記載されている。例えば、Ｓ
ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　Ａｍｅｒｉｃａ，２４５，６２−
７１ページ、１９８１年に掲載されたＭｉｃｈａｅｌ　
Ｌａｍｐｔｏｎ　の論文を参照のこと。現在使用される
製造工程は米国特許第４，６２９，４８６　号および第
４，１１２，１７０　号にその詳細が記載されている。 前者は特にアルカリ鉛ケイ酸クラッドガラスに関し、後
者はバリウムホウケイ酸コアガラスに関する。

【０００４】要約すると、それらに記載された方法は、
比較的不浸出性スキンガラスの管状部材内に浸出性コア
材料（好ましくはガラス）の固体ロッドを融着すること
を含む。そのような複合体のバンドルが形成され、融着
シールされる。次にこのバンドルは引かれ、ある長さに
切断され、再びバンドルにされてさらに引かれる。最終
的に、スキンガラスの連続ガラスマトリックス浸出性コ
アエレメントのアレイをおおう複合品が得られる。次に
この複合品は、例えば塩酸または硝酸などのリーチャン
ト（ｌｅａｃｈａｎｔ）にさらされてコアが取り除かれ
る。これにより、コアエレメントのアレイに対応するチ
ャンネルのアレイを備えたスキンガラスが残る。チャン
ネルは約１０ミクロンの直径とすることができる。この
ようにして作られた多孔板は次に水素含有雰囲気中で加
熱されてチャンネルの壁に還元金属の表面層を形成する
。

【０００５】ＭＣＰ製造に適したクラッドガラスは特定
の物理的特性および電気的特性を備えていなければなら
ない。まず、ガラスはガラス管引き（ｄｒａｗｉｎｇ　
ｔｕｂｉｎｇ）に適した液相線粘度を有していなければ
ならない。内部液相線（ｉｎｔｅｒｎａｌ　ｌｉｑｕｉ
ｄｕｓ）　で３０，０００ポアズを超える粘度が許容さ
れる。しかし１００，０００　ポアズ以上の粘度が好ま
しい。

【０００６】もう１つの要求条件は可溶性コアガラスと
の相容性である。マイクロチャンネル板の製造中、可溶
性コアガラスがクラッドガラス管の内側に挿入されて再
引き出し（ｒｅｄｒａｗ）中の寸法安定性が維持される
。コアガラスは最終的にはチャンネルから浸出する。そ
の結果、どのクラッドガラスも可溶性コアガラスより低
い軟化点および熱膨張率（ＣＴＥ）、そして１０４　倍
小さいエッチングレーサ（ｅｔｃｈ　ｒａｔｅ）　を必
要とする。都合の良いことに、広範囲の可溶性コアガラ
スが使用できる。例えば、米国特許第４，１１２，１７
０　号に開示されるようなガラスも使用できる。

【０００７】ガラスは適当な表面抵抗率を有する必要が
あり、通常約１０１３Ω／平方が望ましい。しかしなが
ら、あるバリエーションは許容され得るものであり、１
０１１−１０１４Ω／平方の表面抵抗率が可能である。 典型的には鉛ケイ酸ガラスが使用され、水素下で４００
−５００　℃で焼成されて適切な表面抵抗率が得られる
。

【０００８】もちろん、重要な要素は大きい二次電子放
出定数（ｓｅｃｏｎｄａｒｙ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｅｍ
ｉｓｓｉｏｎ　ｃｏｎｓｔａｎｔ）である。実際問題と
して、二次電子放出の安定性により重要である。それは
ＭＣＰ装置の有効寿命を決定する。

【０００９】以前には、アルカリ鉛ケイ酸ガラスがＭＣ
Ｐに広く使用されていた。しかしながら、二次電子放出
の安定性が問題であり、有効寿命を短くしていた。英国
のＭｕｌｌａｒｄ　研究所での研究は、イオンマイグレ
ーションが安定性に影響することを示した。従って、鉛
ケイ酸ガラス組成中の例えばカリウムおよびナトリウム
などの小さいイオンをセシウムまたはルビジウムなどの
大きいアルカリイオンで置換する試みがなされた。これ
は効果があったが、それでも問題は残った。

【００１０】ＭＣＰ使用中におけるＨ２　およびＯ２　
のガス発生はＳ／Ｎ比低下の主な原因となる。これは、
主に、ガス発生が電界によってＭＣＰチャンネルの内部
で促進されるためである。これによって擬似電子放出（
ｓｐｕｒｉｏｕｓ　ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ　ｅｍｉｓｓ
ｉｏｎ）が起こる。

【００１１】このガス発生を防止するため、通常ＭＣＰ
は装置に装着される前に比較的高い温度で加熱される。 可能な解決策は、より硬いＭＣＰガラス、すなわちより
高い温度で軟化するガラスを提供することである。その
ようなガラスはより高温での処理を可能にする。これに
よってガラスからのガス拡散が増し、その結果使用中の
ガス発生が低減される。

【００１２】以下の米国特許は種々の用途の鉛ケイ酸ガ
ラスを開示している。

【００１３】米国特許第４，６２９，４８６　号は、可
溶性をコアガラスと不溶性クラッドガラスからクラッド
繊維のバンドルを形成することによってマイクロチャン
ネルプレートを製造することを記載している。このクラ
ッドガラスは３５−５０　％のＳｉ　Ｏ２　、１−３％
のＮａ　２　Ｏ、１−５　％のＫ２　Ｏ、０−２　％の
Ｌｉ　２Ｏ、１−５　％のＭｇ　Ｏ、０−５　％のＣａ
　Ｏ、３０−５５　％のＰｂ　Ｏおよび０．５−７　％
のＺｒ　Ｏ２を含む。Ｍｇ　ＯおよびＣａＯを使用する
とゲイン（ｇａｉｎ）が低下し、それによって有効寿命
が延びることが報告されている。このガラスはアルカリ
不含有ではなく、Ｂａ　ＯおよびＺｎ　Ｏを含まない。

【００１４】米国特許第３，６２７，５５０　号は上記
特許に類似した製造方法を記載するが、ここでは可溶性
コア材料としてモリブデンを使用している。さらに、こ
の特許は、マトリックスすなわちクラッドガラスのため
のビスマス鉛ケイ酸ガラスを開示している。このガラス
は３５−５０　％のＳｉ　Ｏ２　、０−１０％のＢ２　
Ｏ３　、１−３．５％のＡｌ　２　Ｏ３　、２−４　％
のＮａ　２　Ｏ、０−４　％のＫ２　Ｏ、０−６　％の
Ｃａ　Ｏ＋Ｓｒ　Ｏ＋Ｍｇ　Ｏ、５−６．５　％のＺｎ
　Ｏ、２５−３０　％のＰｂ　Ｏおよび１０−１２　％
のＢｉ　２　Ｏ３を含む。このガラスはアルカリ金属酸
化物とＢｉ　２　Ｏ３　の両方は含まず、Ｐｂ　Ｏの量
が比較的少なく、そしてＢａ　Ｏを含まない。

【００１５】米国特許第４，６０９，６３２　号は、オ
ゾン発生器のインシュレーターとして有用な電気特性を
有するアルカリ不含有ガラスを開示している。それらの
ガラスはＰｂ　Ｏとアルカリ土類金属酸化物を含むアル
ミノホウケイ酸塩である。それらのガラスは異ったガラ
スの系統に属し、異った目的に使用されるものである。

【００１６】米国特許第４，３９１，９１６　号はフォ
トエッチングマスクの形成に使用さるアルカリ不含有ガ
ラスを開示している。それらはＲＯ−ＰｂＯ−Ａｌ　２
　Ｏ３　−Ｓｉ　Ｏ２　ガラスである。それらは異った
目的に使用され、Ｃａ　ＯおよびＭｇ　Ｏの含有量が多
く、Ｂａ　Ｏを含まず、そしてＰｂ　Ｏの含有量が少な
い。

【００１７】米国特許第４，５４２，１０５　号は半導
体のガラス質不動態化コーティングを開示する。その組
成範囲は３５−４５　％のＳｉ　Ｏ２　、３−８　％の
Ａｌ　２　Ｏ３　、１−１０％のＢ２　Ｏ３　、１０−
３０　％のＺｎ　Ｏ、５−３０％のＰｂ　Ｏおよび５−
２０％のＭｇ　Ｏ＋Ｃａ　Ｏ＋Ｓｒ　Ｏ＋Ｂａ　Ｏであ
る。これはＺｎ　Ｏ含有量が多く、Ｐｂ　Ｏ含有量が少
ないアルミノホウケイ酸塩である。

【００１８】米国特許第２，４６９，８６７　号は、小
さい熱膨張率と６００　℃以上の軟化点を有する電子管
ガラスを開示している。それらはアルミノホウケイ酸ガ
ラスであり、ＲＯおよびＰｂ　Ｏと共にＮａ　２　Ｏを
含み、Ｐｂ　Ｏの含有量が比較的小さい。

【００１９】米国特許第４，１１２，１７０　号は可溶
性コアガラスに適したバリウムホウケイ酸ガラスを開示
している。 この開示内容は、前述したように、本明細書に取り込ん
である。

【００２０】

【発明の目的】本発明の目的は、新規な鉛ケイ酸ガラス
を提供することである。

【００２１】本発明のもう１つの目的は、アルカリ金属
酸化物を含まない上記のようなガラスを提供することで
ある。

【００２２】本発明のもう１つの目的は、ガラス管引に
適した特性を有する上記のようなガラスを提供すること
である。

【００２３】本発明のさらにもう１つの目的は、従来の
ガラスより高い温度でのベークアウト（ｂａｋｅｏｕｔ
）　を可能にする６５０　℃を超える軟化点を有する上
記のようなガラスを提供することである。

【００２４】本発明のもう１つの目的は、マルチチャン
ネルプレートブランクを形成するため、可溶性コアガラ
スロッドと関連してクラッドガラスとして引くことがで
きる上記のような鉛ケイ酸ガラスを提供することである
。

【００２５】本発明のさらにもう１つの目的は、改善さ
れかつより安定した二次電子放出特性を有するマルチチ
ャンネルプレートのための多孔ガラスプレートを提供す
ることである。

【００２６】

【発明の構成】本発明の１つの側面によれば、バッチか
ら計算した、酸化物基準の重量％で表わして、２８−４
０　％のＳｉ　Ｏ２　、４２−５５　％のＰｂ　Ｏ、６
−１４％のＢａ　Ｏ、２−８　％のＺｎ　Ｏ、１−５　
％のＣａ　Ｏ、０−２　％のＭｇ　Ｏ、０−５　％のＡ
ｌ　２　Ｏ３　および０−１．５　％のＳｂ　２　Ｏ３
　から実質的に成るアルカリ不含有鉛ケイ酸ガラスが提
供される。１つの好ましい実施態様において、その組成
は、Ｃａ　Ｏ＋Ｂａ　Ｏが１２％以下の場合に限り０．
１　％以上、好ましくは０．５　％以上のＭｇ　Ｏを含
む。もう１つにおいて、ガラスは６５０　℃を超える（
好ましくは６７５　℃を超える）軟化点および３０，０
００ポアズを超える液相線温度における粘度を有する。

【００２７】本発明のもう１つの側面において、アルカ
リ不含有で上記組成を有する連続鉛ケイ酸ガラスマトリ
ックス中に複数の可溶性コアロッドを有して成る融接さ
れたバンドルが提供される。１つの実施態様において、
可溶性コアロッドが、好ましくはマトリックスガラスの
１０４　倍以上の溶解レート（ｓｏｌｕｔｉｏｎ　ｒａ
ｔｅ）を有するガラスから成る。

【００２８】本発明のもう１つの側面において、上記の
組成を有するアルカリ不含有鉛ケイ酸ガラスを含む多孔
ガラスプレートが提供される。ある実施態様において、
多孔壁には金属鉛が形成され、１０１１−１０１４Ω／
平方の表面抵抗率を有し、そしてこの多孔ガラスプレー
トはマルチチャンネルプレート装置の部品である。

【００２９】本発明は新規な鉛ケイ酸ガラスを提供する
。それらのガラスは特に融接バンドルを形成するのに使
用できるようにガラス管引きされるよう適合される。 再引き（ｒｅｄｒａｗｉｎｇ）　の後、それらのバンド
ルは例えばマルチチャンネルプレート（ＭＣＰ）に使用
されるような多孔板を与える。

【００３０】これまで、多孔板製造におけるクラッドガ
ラスまたはマトリックスガラスとしてアルカリ鉛ケイ酸
塩チューブ材料を使用することは一般的な商業的プラク
ティスであった。本発明のガラスは、アルカリ金属酸化
物（Ｒ２　Ｏ）を含まないという点で従来のものとは大
きく異なっている。本発明のガラスは制限された量のア
ルカリ土類金属酸化物（ＲＯ）、酸化鉛（Ｐｂ　Ｏ）、
酸化亜鉛（Ｚｎ　Ｏ）および任意にアルミナ（Ａｌ　２
　Ｏ３　）を含む。

【００３１】その結果、本発明のガラスは従来のものよ
り硬い（すなわちより高温で軟化する）。これにより、
より高温で多孔板をベークアウト（ｂａｋｅ　ｏｕｔ）
することが可能となる。使用中のガス発生およびその結
果としてのＭＣＰ中のノイズレベルが低減される。また
、アルカリ金属を含まないことによってイオンマイグレ
ーションが最少限にされ、より安定した二次電子放出レ
ベルおよびより長い有効寿命が得られる。

【００３２】本発明のガラスの組成範囲は、ガラスバッ
チから計算した酸化物基準の重量％で、２８−４０　％
のＳｉ　Ｏ２　、４２−５５　％のＰｂ　Ｏ、６−１４
％のＢａ　Ｏ、２−８　％のＺｎ　Ｏ、１−５　％のＣ
ａ　Ｏ、０−２　％のＭｇ　Ｏ、０−５　％のＡｌ　２
　Ｏ３　および０−１．５　％のＳｂ　２　Ｏ３　から
実質的に成る。 この構成において特に特徴的なことは、ガラス改質剤と
して従来のガラスのようにＲ２　Ｏではなく、ＲＯおよ
びＺｎ　Ｏを使用したことである。

【００３３】一般に、良好なガラス管引きのために液相
線温度において適切な粘度を維持するため、酸化物の含
有量範囲を注意深く監視しなければならない。通常、表
示した範囲外の組成は、その組成を有するガラスをして
ガラス溶融体からのガラス管引きに適さないガラスとな
すような液相線温度を有する。

【００３４】さらにまた、Ｃａ　Ｏ＋Ｂａ　Ｏの合計含
有量が約１２％以下の場合、Ｍｇ　ＯとＣａＯの両方を
含むことが望ましいことがわかった。アルカリ土類の低
含量レベルにおいて、低い液相線温度を維持するために
３種類のアルカリ土類を使用することが好ましい。Ｃａ
　ＯはＭｇ　Ｏよりはるかに液相線温度に悪影響を及ぼ
さない。従って許容されるＣａ　Ｏのレベルは広範囲に
亘る。アルカリ土類の高含量レベルにおいて、２種類の
みのアルカリ土類が要求され、Ｍｇ　Ｏは許容されない
。

【００３５】ガラス組成の表面抵抗率に対する効果につ
いても多くの実験を行った。明らかに、ガラス中の鉛の
濃度が増すと、表面抵抗率は下がる。しかしながら驚い
たことに、ガラス中のアルカリ土類の濃度も、表面抵抗
率に影響を与えるようである。アルカリ土類酸化物の濃
度を高くすると表面抵抗率が上がる。それは、おそらく
ケイ酸塩網状構造中の空隙が埋まるためであると思われ
る。

【００３６】

【実施例】本発明を以下の実施例に基づいてさらに詳細
に説明する。

【００３７】表１は本発明による５つのガラス組成を示
す。各組成は酸化物基準の重量部（合計はほぼ１００　
）で表わしてある。これらの組成を有するガラスを溶融
し、表１に示す物性を測定した。これらガラスは、ガラ
ス管引きに適した、表１に示すような液相線温度におけ
る粘度（ｖｉｓｃ．）　および内部液相線温度（ｌｏｑ
．）、並びにＨ２　存在下の焼成後の１０１１−１０１
４Ω／平方の電気抵抗率（Ｅ．Ｒ．）および６５０　℃
を超える軟化点（ｓｏｆｔ．ｐｔ．）　を有していた。 また、これらのガラスはアルカリ金属を含まず、アルカ
リ土類酸化物（ＲＯ）のある組合せを有していた。

【００３８】こらのガラスをｐｔるつぼ中で１４５０℃
において４時間溶融し、４″×４″または６″×６″の
モールドに注ぎ、一晩アニールした。酸化条件を維持す
るため、硝酸アンモニウムをバッチに加えた。軟化点、
熱膨張率（ＣＴＥ）および液相線温度等の物性を標準的
方法を用いて測定した。表面抵抗率はＶａｒｉａｎ　Ｅ
ｌｅｃｔｒｏ−Ｏｐｔｉｃｓ　社の装置を用いて測定し
た。

【００３９】

【表１】 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１　　
　　　　　　２　　　　　　　　３　　　　　　　　４
　　　　　　　　５　　　　Ｓｉ　Ｏ２　　　　　　　
　　　３４．９　　　　　　３１．４　　　　　　３８
．７　　　　　　３６．４　　　　　　３６．１　　　
　　　　　　　　Ｐｂ　Ｏ　　　　　　　　　　　５２
．５　　　　　　５０．５　　　　　　４４．２　　　
　　　４４．３　　　　　　４３．９　　　　　　　　
　　　Ａｌ　２　Ｏ３　　　　　　　　　−−　　　　
　　　　−−　　　　　　　　３．２　　　　　　　３
．２　　　　　　　３．２　　　　　　　　　　　Ｍｇ
　Ｏ　　　　　　　　　　　　０．８　　　　　　　−
−　　　　　　　　０．８　　　　　　　０．８　　　
　　　　０．８　　　　　　　　　　　Ｃａ　Ｏ　　　
　　　　　　　　　１．１　　　　　　　２．０　　　
　　　　１．２　　　　　　　３．５　　　　　　　１
．２　　　　　　　　　　　Ｂａ　Ｏ　　　　　　　　
　　　　７．２　　　　　　１２．５　　　　　　　８
．０　　　　　　　８．０　　　　　　　７．９　　　
　　　　　　　　Ｚｎ　Ｏ　　　　　　　　　　　　３
．１　　　　　　　２．９　　　　　　　３．４　　　
　　　　３．４　　　　　　　６．７　　　　　　　　
　　　Ｓｂ　２　Ｏ３　　　　　　　　　０．３　　　
　　　　０．３　　　　　　　０．４　　　　　　　−
−　　　　　　　　−−　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｓｏｆｔ．
ｐｔ．（℃）　　６８４　　　　　　　６８１　　　　
　　　７５５　　　　　　　７３７　　　　　　　７３
２　　　　　　　　　　　　　ＣＴＥ（×１０−７／℃
）　６８．２　　　　　　７３．８　　　　　　５５．
８　　　　　　６５．４　　　　　　５９．１　　　　
　　　　　　　Ｌｉｑ．（℃）　　　　　　８０１　　
　　　　　７４７　　　　　　　９１７　　　　　　　
８８１　　　　　　　８４９　　　　　　　　　　　　
　Ｖｉｓｃ．　（ポアズ）　１×１０５　　　　２×１
０６　　　　５×１０４　　　　５×１０４　　　　２
×１０５　　　　　　　　　Ｅ．Ｒ．（Ω／平方）　　
−−　　　　　　　１×１０１１　　　６×１０１１　
　　５×１０１３　　　６×１０１２　　　　図１は表
１中の試料２における温度と粘度の関係を示すグラフで
ある。このガラスの液相線が点Ａで示されている。

【００４０】表２は本発明のガラス組成範囲外にあるガ
ラスの組成を示している。これらのガラスは本発明のガ
ラスに要求される物性値を示さない。これにより、本発
明の特徴的組成範囲の重要性か示される。

【００４１】ガラス試料６および７は、前記米国特許第
４，１１２，１７０　号において好ましい実施例として
示されている従来のアルカリ鉛ケイ酸ガラスである。ガ
ラス試料８〜１１を溶融し、表１のガラスと同じように
して各物性を測定した。しかしながら、それらは本発明
のガラスに要求される物性を示さなかった。

【００４２】

【表２】 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　６　　
　　　　　　７　　　　　　　　８　　　　　　　　９
　　　　　　　　１０　　　　Ｓｉ　Ｏ２　　　　　　
　　　　３９．０　　　　　　４７．０　　　　　　３
５．０　　　　　　３４．５　　　　　　３４．８　　
　　　　　　　　　Ｐｂ　Ｏ　　　　　　　　　　　５
０．７　　　　　　４５．０　　　　　　５２．６　　
　　　　４２．１　　　　　　５２．３　　　　　　　
　　　　Ｍｇ　Ｏ　　　　　　　　　　　　−−　　　
　　　　　−−　　　　　　　　１．５　　　　　　　
−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　　　　　Ｃ
ａ　Ｏ　　　　　　　　　　　　−−　　　　　　　　
−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　５．６　　
　　　　　２．１　　　　　　　　　　　Ｂａ　Ｏ　　
　　　　　　　　　　２．０　　　　　　　−−　　　
　　　　　７．２　　　　　　１３．７　　　　　　　
７．２　　　　　　　　　　　Ｚｎ　Ｏ　　　　　　　
　　　　　−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　
３．１　　　　　　　３．２　　　　　　　３．１　　
　　　　　　　　　Ｋ２　Ｏ　　　　　　　　　　　　
５．３　　　　　　　８．０　　　　　　　−−　　　
　　　　　−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　
　　　　Ｒｂ　２　Ｏ　　　　　　　　　　２．０　　
　　　　　−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　
−−　　　　　　　　−−　　　　　　　　　　　　Ｓ
ｂ　２　Ｏ３　　　　　　　　　−−　　　　　　　　
−−　　　　　　　　０．４　　　　　　　０．４　　
　　　　　０．４　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　Ｓｏｆｔ．ｐｔ．（
℃）　　５９６　　　　　　　６５０　　　　　　　６
８７　　　　　　　７２０　　　　　　　６８７　　　
　　　　　　　　　　ＣＴＥ（×１０−７／℃）　８８
．１　　　　　　８２．７　　　　　　６４．２　　　
　　　７７．０　　　　　　６６．９　　　　　　　　
　　　Ｌｉｑ．（℃）　　　　　　　　−−　　　　　
　　　−−　　　　　１０００　　　　　　１０１１　
　　　　　　９４７　　　　　　　　　　　　　Ｖｉｓ
ｃ．　（ポアズ）　　−−　　　　　　　　−−　　　
　　３×１０３　　　　１×１０４　　　　７×１０３
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　１１　　　　　　　　１２　　　　　　　　１
３　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　Ｓｉ　Ｏ２　　　　　　　　　　３３
．６　　　　　　３７．０　　　　　　３３．５　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　Ｐｂ　Ｏ　　　　　　　　　　　４５．４　　　
　　　５２．２　　　　　　５０．４　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｍｇ
　Ｏ　　　　　　　　　　　　１．６　　　　　　　−
−　　　　　　　　−−　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｃａ　Ｏ　　　
　　　　　　　　　２．２　　　　　　　−−　　　　
　　　　−−　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　Ｂａ　Ｏ　　　　　　　　
　　　１３．４　　　　　　　７．２　　　　　　１２
．５　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　Ｚｎ　Ｏ　　　　　　　　　　　　３
．２　　　　　　　３．１　　　　　　　２．９　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　Ｓｂ　２　Ｏ３　　　　　　　　　０．４　　　
　　　　０．４　　　　　　　０．４　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｓｏｆｔ．
ｐｔ．（℃）　　６９８　　　　　　　６８４　　　　
　　　６７５　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　ＣＴＥ（×１０−７／℃
）　７５．３　　　　　　７０．４　　　　　　７０．
６　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　Ｌｉｑ．（℃）　　　　　　９１７　　
　　　　１１７６　　　　　　　８６２　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　Ｖｉｓｃ．　（ポアズ）　１×１０４　　　　２×１
０２　　　　２×１０４　　　　　　　　　　　　　　

【図面の簡単な説明】

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　バッチから計算した酸化物基準の重量
   ％で、２８−４０　％のＳｉＯ２　、４２−５５　％の
   Ｐｂ　Ｏ、６−１４％のＢａ　Ｏ、２−８　％のＺｎ　
   Ｏ、１−５　％のＣａ　Ｏ、０−２　％のＭｇ　Ｏ、０
   −５　％のＡｌ　２　Ｏ３　および０−１．５　％のＳ
   ｂ　２　Ｏ３　から実質的に成る組成を有するアルカリ
   不含有鉛ケイ酸ガラス。
2. 【請求項２】　　前記組成が、Ｃａ　Ｏ＋Ｂａ　Ｏの含
   有量が１２％以下の場合に限りＭｇ　Ｏを含むことを特
   徴とする請求項１記載の鉛ケイ酸ガラス。
3. 【請求項３】　　６５０　℃を超える軟化点および３０
   ，０００ポアズを超える液相線温度における粘度を有す
   ることを特徴とする請求項１記載の鉛ケイ酸ガラス。
4. 【請求項４】　　連続する鉛ケイ酸ガラスマトリックス
   中に複数の可溶性コアロッドを有して成る融接バンドル
   において、前記ガラスマトリックスが、バッチから計算
   した酸化物基準の重量％で、２８−４０　％のＳｉ　Ｏ
   ２　、４２−５５　％のＰｂ　Ｏ、６−１４％のＢａ　
   Ｏ、２−８　％のＺｎ　Ｏ、１−５　％のＣａ　Ｏ、０
   −２　％のＭｇ　Ｏ、０−５　％のＡｌ　２　Ｏ３　お
   よび０−１．５　％のＳｂ　２　Ｏ３　から実質的に成
   る組成を有するアルカリ不含有鉛ケイ酸ガラスであるこ
   とを特徴とする融接バンドル。
5. 【請求項５】　　前記ガラスマトリックスが、Ｃａ　Ｏ
   ＋Ｂａ　Ｏの含有量が１２％以下の場合に限りＭｇ　Ｏ
   を含むことを特徴とする請求項４記載の融接バンドル。
6. 【請求項６】　　前記可溶性コアロッドがガラスから成
   ることを特徴とする請求項４記載の融接バンドル。
7. 【請求項７】　　前記可溶性コアロッドが前記マトリッ
   クスガラスの少なくとも１０４　倍速い速度で溶剤中に
   溶解することを特徴とする請求項６記載の融接バンドル
   。
8. 【請求項８】　　バッチから計算した酸化物基準の重量
   ％で、２８−４０　％のＳｉＯ２　、４２−５５　％の
   Ｐｂ　Ｏ、６−１４％のＢａ　Ｏ、２−８　％のＺｎ　
   Ｏ、１−５　％のＣａ　Ｏ、０−２　％のＭｇ　Ｏ、０
   −５　％のＡｌ　２　Ｏ３　および０−１．５　％のＳ
   ｂ　２　Ｏ３　から実質的に成る組成を有するアルカリ
   不含有鉛ケイ酸ガラスから成る多孔ガラスプレート。
9. 【請求項９】　　前記多孔ガラスプレート内の孔の壁上
   に水素存在下の焼成によって金属鉛が形成されているこ
   とを特徴とする請求項８記載の多孔ガラスプレート。
10. 【請求項１０】　　表面抵抗率が１０１１−１０１４Ω
    ／平方の範囲にあることを特徴とする請求項９記載の多
    孔ガラスプレート。
11. 【請求項１１】　　表面抵抗率が約１０１３Ω／平方で
    あることを特徴とする請求項１０記載の多孔ガラスプレ
    ート。
12. 【請求項１２】　　マルチチャンネルプレート装置の部
    品であることを特徴とする請求項９記載の多孔ガラスプ
    レート。